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一种测量沿面介质阻挡放电等离子体激励器表面电荷的装置的制作方法

2021-10-29 23:01:00 来源:中国专利 TAG:大气压 等离子体 电荷 放电 低温

技术特征:
1.一种测量沿面介质阻挡放电等离子体激励器表面电荷的装置,其特征在于,所述的装置包括上电极、介质板、下电极、交流

脉冲双高压电源和光学系统,所述的上电极为方形铝箔电极,下电极为表面镀膜的氧化铟锡导电玻璃,介质板为嵌有硅酸铋晶体的石英玻璃;上、下电极不对称排布,上电极为暴露电极,下电极的导电层与介质板紧贴充当掩埋电极;上电极与脉冲电源相连,下电极与交流电源连接,正脉冲叠加在交流波谷;光学系统由依次排布的红光光源、柯勒照明系统、起偏器、1/4波片、激励器和检偏器组成,各光学元件置于同轴支架上,光路与上电极垂直。2.根据权利要求1所述的一种测量沿面介质阻挡放电等离子体激励器表面电荷的装置,其特征在于,所述的上、下电极不对称排布是指所述的上电极下边缘与下电极上边缘对齐。3.根据权利要求1或2所述的一种测量沿面介质阻挡放电等离子体激励器表面电荷的装置,其特征在于,所述的上电极为四个顶角剪为弧形的方形铝箔。4.根据权利要求1或2所述的一种测量沿面介质阻挡放电等离子体激励器表面电荷的装置,其特征在于,所述的交流

脉冲触发频率根据放电要求选取,具体为:正弦交流电源的调节范围为4khz

5khz,峰峰值选择14

18kv;脉冲电源幅值由电源参数决定,调节范围为1

7kv;高速相机的曝光时间和帧率根据实验所需调节。5.根据权利要求3所述的一种测量沿面介质阻挡放电等离子体激励器表面电荷的装置,其特征在于,所述的交流

脉冲触发频率根据放电要求选取,具体为:正弦交流电源的调节范围为4khz

5khz,峰峰值选择14

18kv;脉冲电源幅值由电源参数决定,调节范围为1

7kv;高速相机的曝光时间和帧率根据实验所需调节。6.根据权利要求1、2或5所述的一种测量沿面介质阻挡放电等离子体激励器表面电荷的装置,其特征在于,红光光源的波长为634nm,柯勒照明系统包括两个凸透镜与一个光阑,起偏器的偏振角度为φ
p1
=0
°
,1/4波片的快轴角度为φ
f
=45
°
,检偏器的偏振角度为φ
p2
=90
°
。7.根据权利要求3所述的一种测量沿面介质阻挡放电等离子体激励器表面电荷的装置,其特征在于,红光光源的波长为634nm,柯勒照明系统包括两个凸透镜与一个光阑,起偏器的偏振角度为φ
p1
=0
°
,1/4波片的快轴角度为φ
f
=45
°
,检偏器的偏振角度为φ
p2
=90
°
。8.根据权利要求4所述的一种测量沿面介质阻挡放电等离子体激励器表面电荷的装置,其特征在于,红光光源的波长为634nm,柯勒照明系统包括两个凸透镜与一个光阑,起偏器的偏振角度为φ
p1
=0
°
,1/4波片的快轴角度为φ
f
=45
°
,检偏器的偏振角度为φ
p2
=90
°


技术总结
本发明属于大气压低温等离子体应用技术领域,涉及一种测量沿面介质阻挡放电等离子体激励器表面电荷的装置。所述的装置包括上电极、介质板、下电极、交流


技术研发人员:闫慧杰 俞思琦 李婷
受保护的技术使用者:大连理工大学
技术研发日:2021.08.19
技术公布日:2021/10/28
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