精密陶瓷工作台的制作方法

1.本发明涉及一种精密陶瓷工作盘，特别是涉及一种抗静电的精密陶瓷工作台。


背景技术：

2.精密陶瓷工作盘是一种吸附工件以便于进行加工的器具。精密陶瓷工作盘利用空气泵抽气而在多通孔精密陶瓷盘的工件吸附面上产生吸附工件的吸力。由此，使得工件的位置固定。空气泵也可以对精密陶瓷工作盘提供空气，而使得工件解除吸附甚至是悬浮在精密陶瓷工作盘上。
3.然而，现有的精密陶瓷工作盘与工件的多次碰触所产生的静电难以消散，使得静电会逐渐累积而对工件造成静电放电(electrostatic discharge，esd)现象。静电放电会减损或破坏工件的特性，使得产品的质量、良率下降。


技术实现要素：

4.因此，本发明的目的即在提供一种精密陶瓷工作台，能避免静电逐渐累积，从而避免静电放电。
5.本发明为解决现有技术的问题所采用的技术手段提供一种精密陶瓷工作台，包含：底座，具有数个气体流道及贯通孔，各个该气体流道为空气连通于该贯通孔，该贯通孔贯通于该底座的上表面及下表面之间；抗静电多通孔精密陶瓷盘，设置于该底座的上表面，该抗静电多通孔精密陶瓷盘为抗静电材料且具有数个通孔，各个通孔贯通于该抗静电多通孔精密陶瓷盘的上表面及下表面之间，数个该通孔连通于该气体流道而空气连通于空气泵，该抗静电多通孔精密陶瓷盘的该上表面为工件吸附面。
6.在本发明的一实施例中提供一种精密陶瓷工作台，该抗静电多通孔精密陶瓷盘的阻抗值为105欧姆至109欧姆之间。
7.在本发明的一实施例中提供一种精密陶瓷工作台，该抗静电多通孔精密陶瓷盘为碳化硅陶瓷盘、磷酸铝陶瓷盘及氧化铝陶瓷盘的其中一种。
8.在本发明的一实施例中提供一种精密陶瓷工作台，该抗静电多通孔精密陶瓷盘为碳化硅-磷酸铝复合陶瓷盘、磷酸铝-氧化铝复合陶瓷盘及碳化硅-氧化铝复合陶瓷盘或碳化硅-磷酸铝-氧化铝复合陶瓷盘。
9.在本发明的一实施例中提供一种精密陶瓷工作台，该底座于上表面形成有槽体，该抗静电多通孔精密陶瓷盘设置于该槽体中。
10.在本发明的一实施例中提供一种精密陶瓷工作台，该气体流道为凹下于该底座的上表面。
11.在本发明的一实施例中提供一种精密陶瓷工作台，该气体流道为以左右对称及上下对称的方式而分布。
12.经由本发明的精密陶瓷工作台所采用的技术手段，抗静电多通孔精密陶瓷盘为抗静电材料。在抗静电多通孔精密陶瓷盘因感应而产生的静电时，或者在抗静电多通孔精密
陶瓷盘碰触到工件而产生静电时，静电能逐渐消散而避免静电的累积，从而避免静电放电及静电放电对产品造成的影响。
附图说明
13.图1为显示根据本发明的第一实施例的精密陶瓷工作台的俯视示意图。
14.图2为显示根据本发明的第一实施例的精密陶瓷工作台的底座的俯视示意图。
15.图3为显示根据本发明的第一实施例的精密陶瓷工作台的仰视示意图。
16.图4为显示根据本发明的第二实施例的精密陶瓷工作台的俯视示意图。
17.附图标记
18.100
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精密陶瓷工作台
19.100a
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精密陶瓷工作台
[0020]1ꢀꢀꢀꢀꢀ
底座
[0021]
11
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气体流道
[0022]
12
ꢀꢀꢀꢀ
贯通孔
[0023]
13
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上表面
[0024]
14
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下表面
[0025]
15
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槽体
[0026]2ꢀꢀꢀꢀꢀ
抗静电多通孔精密陶瓷盘
[0027]
21
ꢀꢀꢀꢀ
上表面
具体实施方式
[0028]
以下根据图1至图4，而说明本发明的实施方式。该说明并非为限制本发明的实施方式，而为本发明的实施例的一种。
[0029]
如图1至图3所示，依据本发明的第一实施例的精密陶瓷工作台100，包含：底座1以及抗静电多通孔精密陶瓷盘2。
[0030]
底座1具有数个气体流道11及贯通孔12，各个气体流道11为空气连通于贯通孔12，贯通孔12贯通于底座的上表面13及下表面14之间。
[0031]
抗静电多通孔精密陶瓷盘2设置于底座的上表面13，抗静电多通孔精密陶瓷盘2为抗静电材料且具有数个通孔，各个通孔贯通于抗静电多通孔精密陶瓷盘2的上表面21及下表面之间，数个通孔连通于气体流道11而空气连通于空气泵，抗静电多通孔精密陶瓷盘2的上表面21为工件吸附面。
[0032]
在本实施例中，底座1为金属材料。详细而言，底座1为不锈钢材料，耐锈蚀而为耐长久的使用。当然，底座1也可以是其他硬质的材料。
[0033]
如图2所示，依据本发明的第一实施例的精密陶瓷工作台100，底座1的上表面13的中间形成有槽体15，供抗静电多通孔精密陶瓷盘2设置。气体流道11为槽体15内凹下的凹沟，供气体流通。而在其他实施例中，气体流道11也可以是位于底座1内部的通道，并在上表面13开设有数个开口。
[0034]
如图2所示，数个气体流道11为以左右对称及前后对称的方式而分布，贯通孔12位于数个气体流道11的中央，以使抽气的效果于抗静电多通孔精密陶瓷盘2上为左右对称及
前后对称。在本实施例中，数个气体流道11为纵横排列而呈棋盘状，以使抽气的吸力于抗静电多通孔精密陶瓷盘2上均匀分布。
[0035]
如图3所示，依据本发明的第一实施例的精密陶瓷工作台100，贯通孔12于底座1的下表面14供空气泵连接，使得空气泵经由贯通孔12、气体流道11、抗静电多通孔精密陶瓷盘2的通孔而对工件吸附面上的工件产生吸力。
[0036]
如图1所示，依据本发明的第一实施例的精密陶瓷工作台100，抗静电多通孔精密陶瓷盘2为方形板体。固定于底座1的上表面13的方形槽体15中。当然，抗静电多通孔精密陶瓷盘2不限于方形。
[0037]
通孔的直径一般是在数微米至数百微米之间。抗静电多通孔精密陶瓷盘2通过数个通孔，使得气体能够穿过抗静电多通孔精密陶瓷盘2，而具有良好的透气性，
[0038]
抗静电多通孔精密陶瓷盘2整体为抗静电材料。抗静电多通孔精密陶瓷盘2的抗静电材料主要包括碳化硅、磷酸铝及氧化铝的其中一种。其中，氧化铝可以是形成为刚玉的晶体结构。在部分的实施例中，抗静电多通孔精密陶瓷盘2的抗静电材料包括碳化硅、磷酸铝及氧化铝中的至少二种。
[0039]
抗静电多通孔精密陶瓷盘2整体为抗静电材料，详细而言，抗静电多通孔精密陶瓷盘的表面阻抗的阻抗值为105欧姆至109欧姆之间。由此，在抗静电多通孔精密陶瓷盘2因感应而产生的静电时，或者在抗静电多通孔精密陶瓷盘2碰触到工件而产生静电时，静电能逐渐消散而避免静电的累积造成静电放电。较佳地，抗静电多通孔精密陶瓷盘的阻抗值为108欧姆。
[0040]
如图4所示，依据本发明的第二实施例的精密陶瓷工作台100a，其结构与第一实施例的精密陶瓷工作台100大致相同，差别在于：抗静电多通孔精密陶瓷盘2为圆形板体，且底座1的槽体亦为对应的圆形。当然，抗静电多通孔精密陶瓷盘2不限于圆形。
[0041]
以上的叙述以及说明仅为本发明的较佳实施例的说明，对于本领域技术人员当可依据以上权利要求书以及上述的说明而作其他的修改，只是这些修改仍应是为本发明的发明精神而在本发明的保护范围中。