绑定压合平台及热压绑定装置的制作方法

1.本发明涉及半导体器件加工的技术领域，特别是涉及一种绑定压合平台及热压绑定装置。


背景技术：

2.在目前的mini led基板bonding led芯片生产过程中，通常需要采用热压工艺，也就是将fpc（flexible printed circuit，柔性电路板）或pcb（printed circuit board，印制电路板）绑定在玻璃上的工艺。
3.传统的热压绑定装置包括绑定平台与载料平台。其中，载料平台可以固定基板。绑定平台则作为热压绑定的支撑平台，基板前段的绑定区域与fpc或pcb的端部放置到绑定平台，然后通过热压头进行热压绑定。
4.现有的绑定平台的压合面较小，其普遍是宽度为3 mm
‑
30mm。此外，对于绑定平台的面精度要求较高。
5.而目前对于大尺寸绑定平台来说，其绑定平台面积加大后，会由于其自重以及绑定热压时的压力，导致绑定平台产生形变，无法满足面精度要求。


技术实现要素：

6.基于此，有必要针对大尺寸绑定平台无法满足面精度要求的问题，提供一种绑定压合平台及热压绑定装置。
7.一种绑定压合平台，包括：载料平台；θ轴导向机构，包括安装板与设置在安装板上的θ轴偏转装置与支撑装置，所述θ轴偏转装置用于驱动所述载料平台绕θ轴转动，所述支撑装置用于支撑所述载料平台的底面。
8.在其中一个实施例中，所述支撑装置包括第一支撑组件，所述第一支撑组件包括弧形轨道与连接支架，所述弧形轨道的固定设置在所述安装板上，所述连接支架的一端与所述弧形轨道滑动连接，所述连接支架的另一端与所述载料平台的底部连接。
9.在其中一个实施例中，所述支撑装置还包括第二支撑组件，所述第二支撑组件的数量为多个，所述第二支撑组件间隔设置；所述第二支撑组件的一端与所述安装板固定连接，所述第二支撑组件的另一端与载料平台抵触。
10.在其中一个实施例中，所述第二支撑组件包括连接座与转动件，所述连接座与所述安装板连接，所述转动件转动设置在连接座上，所述转动件的环形侧壁用于与载料平台抵触。
11.在其中一个实施例中，所述第二支撑组件还包括调节块，所述调节块与所述连接座可拆卸连接，且所述调节块的底部与所述连接座的底部之间的距离可调，所述调节块与所述转动件转动连接。
12.在其中一个实施例中，所述载料平台包括载料板、连接板与调节件；
所述载料板具有载料面所述连接板位于所述载料板的背向所述载料面的一侧，并通过所述调节件与所述载料板相连接，所述调节件的数量为多个，且多个所述调节件间隔设置，所述调节件用于调节连接板与所述载料板之间的距离；所述θ轴导向机构设置于所述连接板的背向所述载料板的一侧，其中，所述θ轴偏转装置与所述连接板相连接，以经所述连接板带动所述载料板绕θ轴转动。
13.在其中一个实施例中，所述连接板包括可拆卸连接的第一板与第二板，所述第一板与所述θ轴偏转装置连接，以使所述θ轴偏转装置带动所述第一板运动；所述第二板与所述调节件活动连接，所述第二板与所述载料板连接。
14.在其中一个实施例中，所述第二板间隔设置有若干第一调节孔与若干第二调节孔；所述调节件包括第一调节件与第二调节件；所述第一调节件用于穿过对应的第一调节孔，并与所述连接板可拆卸连接，所述第一调节件可沿所述第一调节孔的轴向移动，以改变所述第一板与所述第二板之间的距离；所述第二调节件用于穿过对应的第二调节孔，并与所述载料板可拆卸连接，所述第二调节件可沿所述第二调节孔的轴向移动，以改变所述载料板与所述第二板之间的距离。
15.在其中一个实施例中，载料板包括基体板与隔热板，所述隔热板与所述基体板连接，所述隔热板用于抵触基板，所述基体板与所述连接板活动连接。
16.在其中一个实施例中，所述隔热板为石英玻璃隔热板，所述基体板为钢制基体板。
17.在其中一个实施例中，所述θ轴偏转装置包括θ轴驱动件、θ轴连接件与限位组件；所述θ轴驱动件用于驱动所述θ轴连接件沿所述θ轴转动，所述θ轴连接件与所述载料平台连接；所述限位组件用于限定θ轴连接件转动角度。
18.在其中一个实施例中，所述限位组件包括第一限位结构与第二限位结构，所述第一限位结构与所述安装板连接，所述第二限位结构与所述载料平台连接，所述第一限位结构与所述第二限位结构活动配合设置。
19.在其中一个实施例中，所述第一限位结构和所述第二限位结构的其中之一为限位槽，所述第一限位结构和所述第二限位结构的其中之另一为限位杆，所述限位杆部分伸入所述限位槽中，且所述限位杆用于位于极限位置时与所述限位槽的内壁抵触。
20.在其中一个实施例中，所述第一限位结构包括限位支架，所述限位支架的一端与所述安装板连接，所述限位支架的另一端设置有所述限位槽。
21.在其中一个实施例中，所述θ轴导向机构还包括感应装置，所述感应装置用于检测θ轴驱动件复位位置。
22.在其中一个实施例中，还包括第一导向机构与第二导向机构，所述第一导向机构用于驱动所述载料平台沿第一方向移动；所述第二导向机构用于驱动所述载料平台沿第二方向移动；所述第二导向机构包括第二底板、第二驱动组件与滑动板，所述第二驱动组件用于驱动所述滑动板沿所述第二方向移动，所述滑动板与所述安装板连接，所述第二底板用于与所述第一导向机构连接。
23.在其中一个实施例中，所述第二驱动组件包括第二驱动件和第二丝杆，所述第二驱动件用于驱动第二丝杆转动，所述第二丝杆的长度方向与第二方向一致，所述滑动板与所述第二丝杆螺纹套接，所述滑动板用于沿所述第二方向移动。
24.在其中一个实施例中，所述滑动板包括支撑部、滑动部与连接部，所述连接部与所述第二丝杆螺纹套接，所述支撑部与所述连接部连接，所述支撑部与所述安装板连接；所述第二导向机构还包括第二滑轨，所述第二滑轨的长度方向与第二方向一致，所述滑动部与所述第二滑轨滑动连接。
25.在其中一个实施例中，所述第一导向机构包括第一底板、第一驱动组件和连接块；所述第一驱动组件和连接块均设置在所述第一底板上；所述第一驱动组件用于驱动所述连接块沿第一方向运动；所述连接块与所述第二导向机构连接。
26.在其中一个实施例中，所述第一驱动组件包括第一驱动件与第一丝杆，所述第一驱动件用于驱动第一丝杆转动，所述第一丝杆的长度方向与第一方向一致，所述连接块与所述第一丝杆螺纹套接，所述连接块用于沿所述第一方向移动。
27.在其中一个实施例中，所述第一驱动组件还设置有保护板，所述保护板间隔设置在第一丝杆远离第一底板的一侧，所述连接块设置有避位槽，所述避位槽用于容置保护板，所述连接块可相对于保护板滑移。
28.一种热压绑定装置，包括主体与设置在所述主体上的上述的绑定压合平台。
29.上述绑定压合平台，通过θ轴导向机构可以对载料平台进行偏转，使得载料平台可以在一定角度内转动，以使得载料平台上所承载的基板位于合适位置。支撑装置可以对载料平台的底面进行支撑，可以有效防止由于载料平台自重过大以及受到的压力过大，从而导致载料平台产生形变而导致的面精度降低的情况发生。
附图说明
30.图1为本发明的一实施例所提供的一种绑定压合平台的结构示意图；图2为本发明的一实施例所提供的一种绑定压合平台的第一导向机构的结构示意图；图3为本发明的一实施例所提供的一种绑定压合平台的第二导向机构的结构示意图；图4为本发明的一实施例所提供的一种绑定压合平台的θ轴导向机构与载料平台的结构示意图；图5为本发明的一实施例所提供的一种绑定压合平台的θ轴导向机构的结构示意图；图6为图5的俯视图；图7为本发明的一实施例所提供的一种绑定压合平台的第二支撑组件的结构示意图；图8为图7的爆炸图；图9为本发明的一实施例所提供的一种绑定压合平台的连接板的结构示意图。
31.附图标记：100、第一导向机构；110、第一底板；120、第一驱动组件；121、第一驱动件；122、第
一丝杆；123、第一轴联器；124、保护板；130、连接块；131、避位槽；140、滑块；150、第一滑轨；160、感应片；200、第二导向机构；210、第二底板；220、第二驱动组件；221、第二驱动件；222、第二丝杆；223、第二轴联器； 230、滑动板；231、滑动部；232、支撑部；233、第二板体；234、镂空结构；240、第二滑轨；300、θ轴导向机构；310、安装板；320、θ轴偏转装置；321、θ轴连接件；322、θ轴驱动件；323、感应装置；330、限位组件；340、第一限位结构；341、限位槽；342、限位支架；343、缓冲件；350、第二限位结构；351、限位杆；360、支撑装置；370、第一支撑组件；371、弧形轨道；372、连接支架；373、底部连接板；374、顶部连接板；375、中部连接板；376、加强筋；380、第二支撑组件；381、连接座；382、转动件；383、调节块；384、条形孔；385、螺纹孔；386、支撑杆；387、导向块；388、导向槽；400、载料平台；410、载料板；411、载料面；412、基体板；413、隔热板；420、连接板；421、第一板；422、第二板；423、第一调节孔；424、第二调节孔。
具体实施方式
32.为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明。但是本发明能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本发明内涵的情况下做类似改进，因此本发明不受下面公开的具体实施例的限制。
33.在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
34.此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
35.在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
36.在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
37.需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另
一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。
38.参阅图1
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图9，本发明一实施例提供的一种绑定压合平台，其包括θ轴导向机构 300与载料平台 400。其中，θ轴导向机构 300包括安装板310与设置在安装板310上的θ轴偏转装置320与支撑装置360，θ轴偏转装置320可以驱动载料平台 400绕θ轴转动，θ轴垂直于载料平台400。θ轴如图5中的虚线示出。支撑装置360可以对载料平台 400的底面进行支撑。
39.通过θ轴偏转装置320驱动载料平台 400转动，使得载料平台 400可在一定程度上进行偏转。而支撑装置360可以对载料平台 400进行支撑，使得载料平台 400具有较好的支撑力，可以有效避免由于载料平台 400自重过大或所受到的压力过大而导致的载料平台 400变形，保持载料平台 400的平面度。
40.此外，为了便于对产品进行校正，以确保载料平台400上的产品位置较为准确。在一些实施例中，绑定压合平台还包括第一导向机构100与第二导向机构 200。其中，第一导向机构100可以驱动载料平台 400沿第一方向移动。第二导向机构 200可以驱动载料平台 400沿第二方向移动。
41.这里需要说明的是：在一些实施方式中，第一方向可以定义为x轴方向 ，第二方向可以定义为y轴方向。在另一些实施方式中，第一方向可以定义为y轴方向，第二方向可以定义为x轴方向。在其他的一些实施方式中，第一方向与第二方向可以为非垂直设置，可根据实际情况进行调整。
42.可理解地，θ轴垂直于x轴方向和y轴方向界定的x
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y二维平面，因此，θ轴偏转装置320用于驱动载料平台 400在x
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y二维平面内绕θ轴转动，从而调整载料平台 400的角度，以便对位于载料平台 400上的产品的角度进行校正。
43.例如，在对产品放置在载料平台400上时，若采用人工放置的方法，可能在放置过程中产品会产生偏移。通过第一导向机构100、第二导向机构 200与θ轴导向机构 300可以校正产品的位置，以确保载料平台400上的产品位置较为准确。在一些实施方式中，还可以通过添加ccd（感光元件）拍照模组配合第一导向机构100、第二导向机构 200与θ轴导向机构 300，以保证放置在载料平台400上的产品位置的精度可以达到0.001mm，保证产品的压接精度。
44.通过设置第一导向机构100与第二导向机构 200实现载料平台 400沿对应的第一方向和第二方向移动，以使得载料平台 400上所载基板位于合适的热压位置。第一导向机构100与第二导向机构 200配合θ轴偏转装置320，可以使得有效保证放置在载料平台400上的产品位置的精度，从而保证产品的压接精度。
45.在一些实施例中，沿绑定压合平台的高度方向可以依次设置第一导向机构100、第二导向机构 200、θ轴导向机构 300与载料平台 400。
46.如图2所示，在一些实施例中，第一导向机构100包括第一底板110、第一驱动组件120以及连接块130。第一驱动组件120与连接块130均设置在第一底板110上。第一驱动组件120可以驱动连接块130沿第一方向运动，连接块130可以带动第二导向机构 200及其他机构沿第一方向运动，以实现带动载料平台 400沿第一方向运动。
47.在一些实施例中，第一驱动组件120包括第一驱动件121与第一丝杆122。
48.第一驱动件121可以驱动第一丝杆122转动。在一些实施例中，第一驱动件121可以采用伺服电机等驱动件，比如，可以选用功率为800w的伺服电机提供转矩。第一丝杆122可以选用导向滚珠丝杠。在其他实施例中，第一驱动件121可以采用旋转气缸等驱动件。在选用伺服电机作为第一驱动件121时，可以使用第一轴联器123将第一驱动件121与第一丝杆122连接，以降低第一丝杆122的转速。第一丝杆122的长度方向与第一方向一致。第一丝杆122的两端可以通过丝杆螺母座设置在第一底板110上。
49.连接块130的一端与第一丝杆122螺纹套接，连接块130的另一端与第二驱动组件220连接。连接块130与第二驱动组件220可以通过螺丝或螺栓等连接方式连接，也可以采用其他的连接方式进行连接。
50.当第一驱动件121带动第一丝杆122转动时，第一丝杆122带动连接块130沿第一丝杆122的长度方向移动，从而带动与连接块130相连接的第二驱动组件220移动，实现沿第一方向运动。
51.在一些实施例中，第一驱动组件120还设置有保护板124。保护板124间隔设置在第一丝杆122远离第一底板110的一侧。保护板124的长度可以大于等于第一丝杆122的长度。保护板124的设置可以防止第二驱动组件220对第一丝杆122产生压力，以对第一丝杆122进行保护。对应的，连接块130设置有避位槽131，避位槽131可以容置保护板124。即在第一驱动件121带动第一丝杆122转动的过程中，连接块130可相对于保护板124滑移。也就是说，保护板124在对第一丝杆122进行保护的过程中，对连接块130起导向作用。
52.此外，在一些实施例中，第一导向机构100还设置有滑块140与第一滑轨150。
53.其中，第一滑轨150的长度方向与第一方向一致，且第一滑轨150与第一丝杆122平行间隔设置。滑块140的一侧设置有第一滑槽，第一滑槽与第一滑轨150配合。滑块140的另一侧与第二导向机构 200连接，连接方式可以选用螺栓连接等方式，也可以采用其他的连接方式，可根据实际情况进行调整。当第一驱动组件120带动第二导向机构 200移动时，滑块140对第二导向机构 200具有支撑作用，以分散对连接块130的压力。滑块140可以选用重载型滑块。
54.在图示实施例中，第一滑轨150的数量为两个，且分别设置在第一丝杆122的两侧，以平衡各滑块140所受到的力。此外，滑块140的宽度较第一滑轨150的宽度大，以增大与第二导向机构 200的接触面积，以减小对第一滑轨150的压强。另外，一个第一滑轨150上可以设置有两个及以上滑块140，滑块140可以间隔设置。多个滑块140的设置可以减少一个滑块140所对应的压力，而且相比于采用一个较大的滑块140可以减轻第一导向机构100的重量。比如，在一具体实施例中，各第一滑轨150上均设置有四个滑块140，以支撑第二导向机构 200件以及其余机构的重量。
55.在一些实施例中，第一导向机构100还设置有感应片160，感应片160的设置可以便于实时检测连接块130是否移动至极限位置，以防止连接块130过度移动。
56.通过第一驱动件121带动第一丝杆122转动，以使得连接块130沿第一丝杆122的长度方向，即第一方向移动，以带动与连接块130相连接的其他机构运动。在上述过程中，滑块140对第二导向机构 200提供支撑力，减少连接块130的压力。滑块140随第二导向机构 200沿第一滑轨150的长度方向移动。感应片160可以对连接块130是否位于极限位置进行感应，
以便于启闭第一驱动件121。
57.如图3所示，在一些实施例中，第二导向机构 200包括第二底板210、第二驱动组件220以及滑动板 230。第二驱动组件220与滑动板 230均设置在第二底板210上。第二驱动组件220可以驱动滑动板 230沿第二方向运动。滑动板 230可以带动θ轴导向机构 300及载料平台 400沿第二方向运动，以实现带动载料平台 400沿第二方向运动。
58.在一些实施例中，第二底板210的中部与连接块130固定连接，第二底板210的靠近边缘处可以与滑块140固定连接。连接方式均可以通过螺栓连接，也可以采用其他的连接方式，可以根据实际情况进行选取。
59.在一些实施例中，第二驱动组件220包括第二驱动件221与第二丝杆222。
60.第二驱动件221可以驱动第二丝杆222转动。比如，在一些实施例中，第二驱动件221可以采用伺服电机等驱动件。第二驱动件221的功率可以小于第一驱动件121的功率。比如，可以选用功率为400w的伺服电机提供转矩。第二丝杆222可以选用导向滚珠丝杠。在其他实施例中，第二驱动件221可以采用旋转气缸等驱动件。在选用伺服电机作为第二驱动件221时，可以使用第二轴联器223将第二驱动件221与第二丝杆222连接，以降低第二丝杆222的转速。第二丝杆222的长度方向与第二方向一致。第二丝杆222的两端可以通过丝杆螺母座设置在第二底板210上。
61.滑动板 230的一端与第二丝杆222螺纹套接，滑动板 230的另一端与θ轴导向机构 300的安装板310连接。滑动板 230与安装板310可以通过螺丝或螺栓等连接方式连接，也可以采用其他的连接方式进行连接。
62.当第二驱动件221带动第二丝杆222转动时，第二丝杆222带动连接块130沿第二丝杆222的长度方向移动，从而带动与滑动板 230相连接的θ轴导向机构 300移动，实现θ轴导向机构 300沿第二方向运动。
63.在一些实施例中，滑动板 230的面积可以近似于安装板310的面积，也可以略小于安装板310的面积，以使滑动板 230可以对安装板310进行较好的连接与支撑作用。
64.如图3所示，在图示实施例中，滑动板 230包括第二板体233、支撑部232、滑动部231与连接部（图中未示出）。第二板体233、支撑部232、滑动部231与连接部可以一体成型，也可以分体成型后一体装配，也可以采用焊接或螺栓连接等连接方式。
65.其中，连接部位于第二板体233的底面。连接部与第二丝杆222螺纹套接。
66.支撑部232设置在第二板体233的顶面。支撑部232用于与安装板310的底部连接。
67.在一些实施方式中，支撑部232的数量为多个，且间隔设置。多个支撑部232可以对安装板310的各部分进行较好的支撑，同时相比于采用一个较大的支撑部232来说，可以减少滑动板 230的重量。此外，在一些实施方式中，支撑部232设置有镂空结构234，以减轻滑动板 230的重量。镂空结构234的数量可以为多个，根据实际情况进行调整即可。
68.滑动部231可以设置在第二板体233的侧壁或者设置在第二板体233的底面。滑动部231设置有第二滑槽。对应的，第二底板210设置有第二滑轨240。第二滑轨240的长度方向与第二丝杆222的长度方向一致，且第二滑轨240与第二丝杆222间隔设置。滑动部231可以与第二滑轨240配合，且滑动部231可沿第二滑轨240的长度方向移动。通过在第二导向机构 200上设置第二滑轨240可以减少θ轴导向机构 300对连接部的压力，进而减少对第二丝杆222的压力。
69.比如，在图示实施例中，第二滑轨240的数量为两个，且分别设置在第二丝杆222的两侧。对应的，第二底板210的两个相对的侧壁均设置有滑动部231，滑动部231与第二滑轨240一一对应。
70.通过第二驱动件221带动第二丝杆222转动，以使得滑动板 230沿第二丝杆222的长度方向，即第二方向移动，以带动与滑动板 230相连接的θ轴导向机构 300及载料平台 400运动。在上述过程中，第二滑轨240的设置可以减轻对第二丝杆222的压力。镂空结构234的设置可以有效减轻第二导向机构 200的重量。
71.在一些实施例中，如图4
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图6所示，θ轴导向机构 300包括安装板310与设置在安装板310上的θ轴偏转装置320与支撑装置360。其中，安装板310可以选择金属板材。
72.如图5与图6所示，θ轴偏转装置320包括θ轴连接件321，θ轴驱动件322与限位组件330。θ轴连接件321与载料平台 400连接。θ轴驱动件322可以驱动θ轴连接件321转动。限位组件330可以限定θ轴连接件321转动角度。
73.当θ轴驱动件322带动θ轴连接件321转动时，θ轴连接件321带动载料平台 400转动，以实现载料平台 400转动一定的角度。在此过程中，限位组件330可以防止θ轴连接件321过度转动。
74.具体的，如图5所示，θ轴驱动件322可以选择dd马达（direct driver，直驱力矩电动机）等驱动件，也可以选择其他的驱动件。θ轴驱动件322的本体部分可以通过螺丝连接等方式安装在安装板310上。θ轴驱动件322的输出端与θ轴连接件321的底部固定连接，比如可以通过螺丝连接等连接方式进行连接，也可以采用其他的连接方式，可以根据实际情况进行选择。
75.在图示实施例中，θ轴连接件321可以选择平板状连接件，以增大与载料平台 400的接触面积。同样的，θ轴连接件321也可以选择其他的形状，以满足实际需求。θ轴连接件321与载料平台 400可以通过螺丝连接等方式进行连接，也可以采用其他的连接方式，可以根据实际情况进行选择。
76.如图5与图6所示，限位组件330可以包括相配合的第一限位结构340与第二限位结构350。其中，第一限位结构340与安装板310连接。第二限位结构350与载料平台 400连接。第一限位结构340与第二限位结构350活动配合设置。当第一限位结构340与第二限位结构350抵触时，θ轴连接件321转动至极限位置，此时仅可以停止θ轴连接件321的转动或使得θ轴连接件321反向转动。
77.具体的，在一些实施例中，第一限位结构340和第二限位结构350的二者的其中之一为限位槽341，第一限位结构340和第二限位结构350的二者的其中之另一为限位杆351。限位杆351的部分可以伸入限位槽341中，且限位杆351可在限位槽341内移动。当限位杆351位于极限位置时，也就是θ轴连接件321位于转动的极限位置时，限位杆351可以与限位槽341的对应的内壁抵触。也就是说，在θ轴连接件321转动过程中，限位杆351随着载料平台 400在两个极限位置之间往复运动。
78.在一些实施例中，限位槽341的内壁设置有缓冲件343，缓冲件343可以对限位杆351进行缓冲，以减少限位杆351直接与限位槽341碰撞而导致限位杆351的损坏。
79.在图示实施例中，第一限位结构340为限位槽341，第二限位结构350为限位杆351。此外，第一限位结构340还包括限位支架342，限位支架342的一端与安装板310连接，连接方
式可以为固定连接，比如焊接、螺丝连接等连接方式，也可以根据实际需求调整为其他的连接方式。限位支架342的另一端设置有前述限位槽341。
80.由于限位杆351与θ轴连接件321连接，因此，上述设置有限位支架342的技术方案可以有效减少限位杆351的长度，进而减少限位杆351的质量，从而减少对θ轴连接件321产生的偏离旋转中心的拉力，提高θ轴连接件321的转动的精度。在一些实施例中，第一限位结构340与第二限位结构350的数量为两个以上，且均匀间隔设置，以减少θ轴连接件321产生的偏心力。在另一些实施例中，θ轴连接件321上还可以设有配重件，配重件与限位杆351对称设置，且二者重量相同。
81.θ轴导向机构 300还包括感应装置323，感应装置323用于θ轴驱动件322复位动作校调位置时使用，以对θ轴驱动件322复位位置进行调整。感应装置323可从感应器中选取，比如可以选用正负原点感应器和感应片组合的感应装置等。
82.通过θ轴驱动件322带动θ轴连接件321转动，θ轴连接件321带动载料平台 400转动，以使得载料平台 400转动相应角度。在此过程中，限位杆351随θ轴连接件321转动。当θ轴连接件321转动至极限位置时，限位杆351与限位槽341的内壁抵触，以防止θ轴连接件321过度运动。除此之外，θ轴驱动件322也可以对载料平台 400提供支撑作用。
83.如图5与图6所示， 在一些实施例中，支撑装置360包括第一支撑组件370。第一支撑组件370可以对载料平台 400的底部抵触，以对载料平台 400进行支撑。
84.在图示实施例中，第一支撑组件370对载料平台 400的端部进行抵触，以减少由于载料平台 400的端部没有支撑力，而带来的载料平台 400自重过大导致其端部下弯的情况，也可以减少由于热压过程中，热压时载料平台 400的端部收到局部过大的压力而导致的变形的情况发生。第一支撑组件370可以对载料平台 400进行支撑的同时，确保载料平台 400在θ轴偏转装置320的驱使下能够绕θ轴平稳转动。通过增加第一支撑组件370可以有效减少载料平台 400变形，保证载料平台 400的面精度。
85.在其中一些实施例中，如图5与图6所示，第一支撑组件370包括弧形轨道371与连接支架372。弧形轨道371的固定设置在安装板310上。弧形轨道371所对应的圆周的圆心位于θ轴。连接支架372的一端与弧形轨道371滑动连接，连接支架372的另一端与载料平台 400的底部连接。
86.当载料平台 400在θ轴导向机构 300的带动下沿θ轴转动时，连接支架372随载料平台 400沿弧形轨道371转动。通过弧形轨道371与连接支架372相对滑动的安装方式，可以减小载料平台400在运动过程中与第一支撑组件370之间的摩擦力，确保载料平台 400在θ轴偏转装置320的驱使下能够绕θ轴平稳转动。
87.在图示实施例中，连接支架372包括底部连接板373、顶部连接板374与中部连接板375，底部连接板373靠近弧形轨道371的一侧设置有对应的弧形滑槽（图中未示出）。底部连接板373与顶部连接板374通过中部连接板375进行连接。此外，中部连接板375上还可以设置加强筋376，以增加中部连接板375与底部连接板373、顶部连接板374的接触面积，以及增加中部连接板375的强度。
88.比如，在一些实施方式中，如图5与图6所示，第一支撑组件370的数量为两个，且分别设置在θ轴驱动件322的两侧。即θ轴驱动件322对载料平台 400的中部进行支撑，且可以使载料平台 400转动。而第一支撑组件370分别设置在载料平台 400的两端，以对其端部进
行支撑。这里需要注意的是，由于仅有两组第一支撑组件370，第一支撑组件370可以设置在载料平台 400的长度方向的两侧。
89.又比如，在一些实施方式中，第一支撑组件370的数量为一个，θ轴驱动件322对载料平台 400的一个端部进行支撑，第一支撑组件370对载料平台 400的另一个端部进行支撑。
90.再比如，在一些实施方式中，第一支撑组件370的数量为两个及以上，θ轴驱动件322对载料平台 400的一个端部进行支撑，第一支撑组件370对载料平台 400的中部与另一个端部进行支撑。
91.当采用第一支撑组件370的数量为两个，且分别设置在θ轴驱动件322的两侧的技术方案时，安装板310的尺寸较小、重量轻。
92.如图5
‑
图8所示，在一些实施例中，支撑装置360还包括第二支撑组件380。第二支撑组件380可以对未被第一支撑组件370所支撑的载料平台 400的底部进行支撑。
93.第二支撑组件380的数量为多个，且第二支撑组件380间隔设置。第二支撑组件380的一端与安装板310固定连接，第二支撑组件380的另一端与载料平台 400抵触，以对载料平台 400的局部提供支撑。
94.具体的，如图7
‑
图8所示，第二支撑组件380包括连接座381与转动件382。连接座381与安装板310连接，连接方式可以为通过螺栓连接。转动件382转动设置在连接座381，转动件382的环形侧壁用于与载料平台 400抵触。转动件382可以选择轮子或滚珠等转动件，以减小与载料平台 400底面的摩擦。
95.在一些实施例中，转动件382可以选择轮子。轮子的转动轴线与θ轴相交，确切的说，轮子的转动轴线指向载料平台 400的旋转中心，以使第二支撑组件380对载料平台400支撑的同时，可以尽可能降低与载料平台400的摩擦，使得载料平台400在θ轴偏转装置320的驱使下绕θ轴转动时更为平稳且更为顺畅。
96.第二支撑组件380还包括调节块383。其中，调节块383与连接座381可拆卸连接，调节块383与转动件382转动连接。调节块383的底部与连接座381的底部之间的距离可调。通过改变调节块383与连接座381之间的相对位置，以条件转动件382相对于连接座381底部的距离，进而确保不同位置的第二支撑组件380均可对载料平台 400的相应底部进行支撑。
97.在本实施例中，连接座381与调节块383通过调节件连接，调节件可以选择螺丝等具有外螺纹的调节件。对应的，连接座381与调节块383的二者的其中之一设置有对应的螺纹孔385，而连接座381与调节块383的二者的其中之另一设置有条形孔384，条形孔384的长度较螺纹孔385的直径大，且条形孔384的宽度较螺纹孔385的直径小。
98.在将连接座381与调节块383进行连接时，可以将调节件穿过条形孔384，并与螺纹孔385螺纹连接。在此过程中，可以通过调节件与条形孔384外壁的不同位置抵触，以调节连接座381与调节块383之间的相对位置，进而实现对转动件382相对于安装板310的距离进行调节。
99.此外，在一些实施例中，如图8所示，连接座381和调节块383的二者的其中之一设置有导向槽388，导向槽388的长度方向与条形孔384的长度方向一致，均是沿载料平台 400至安装板310的方向。对应的，连接座381和调节块383的二者的其中之另一设置有对应的导向块387，导向块387与导向槽388插接，且导向块387可沿导向槽388的长度方向移动。导向
槽388与导向块387的设置可以便于调节块383在相对于连接座381移动以微调的过程中，条形孔384与螺纹孔385便于对齐。
100.在一些实施例中，如图7
‑
图8所示，调节块383还设置有支撑杆386，支撑杆386与调节块383活动连接，且支撑杆386的一端与安装板310抵触。即支撑杆386可以相对于调节块383移动，以改变调节块383底部与安装板310之间的支撑杆386的长度，以确保调节块383在改变位置的过程中，支撑杆386均可对调节块383进行支撑。
101.如图5
‑
图8所示，在图示实施例中，支撑杆386为螺杆。支撑杆386设置有两个螺母。支撑杆386依次螺纹穿过第一个螺母、调节块383与第二个螺母，通过两个螺母的位置移动，以改变调节块383的底部与安装板310之间的支撑杆386的长度，确保支撑杆386可以对调节块383进行支撑。
102.此外，在一些实施例中，一个连接座381对应连接有一个调节块383。在另一些实施例中，一个连接座381对应连接有两个以上的调节块383。在其中一些实施例中，部分连接座381对应连接有一个调节块383，部分连接座381对应连接有两个以上调节块383。
103.比如，如图6所示，在图示实施例中，θ轴偏转装置320位于安装板310的中部，沿安装板310长度方向的两端分别对称设置有第一支撑组件370，以对载料平台 400的两个端部进行支撑。而安装板310的其余位置可以间隔设置有第二支撑组件380，第二支撑组件380可沿θ轴偏转装置320所在位置对称间隔设置。其中，位于θ轴偏转装置320与第一支撑组件370之间的第二支撑组件380，其连接座381可以对应连接有三个调节块383。位于安装板310的顶角部分与沿安装板310的宽度方向的端部的第二支撑组件380，其连接座381可以对应连接有一个调节块383。上述分布可以对载料平台 400提供足够支撑的同时，合理分布第二支撑组件380。
104.在一些实施例中，转动件382可以选用滚珠。滚珠部分位于连接座381内，且滚珠可相对于连接座381转动，滚珠远离连接座381的一侧与载料平台 400的底部抵触。此时滚珠的转动轴线可以与θ轴相交，也可以与θ轴不相交。具体的，连接座381设置有滚珠容纳槽，滚珠位于滚珠容纳槽内，且滚珠部分伸出滚珠容纳槽。此外，一个连接座381可以与两个及以上滚珠连接，可以根据实际情况进行调整。
105.在本实施例中，θ轴导向机构 300通过θ轴偏转装置320对载料平台 400进行驱动，使得载料平台 400可以转动一定角度。θ轴导向机构 300通过第一支撑组件370对载料平台 400的端部提供支撑，θ轴导向机构 300通过第二支撑组件380对载料平台 400的其余部分提供支撑。此外，第二支撑组件380还可以对载料平台 400实现粗校调，以调节载料平台 400的面平整度。
106.在一些实施例中，如图4与图9所示，载料平台 400可以包括载料板410、连接板420与调节件。其中，载料板410用于承载基板。连接板420用于连接载料板410与θ轴导向机构 300。调节件位于载料板410与连接板420之间，调节件用于对局部载料板410与对应的连接板420之间的距离进行调整，从而对载料板410的板面进行精细微调，以确保载料板410的面平整度。
107.如图4所示，在一些实施方式中，载料板410具有载料面411，载料面411可以承载基板。载料板410可耐高温。在图示实施例中，载料板410包括基体板412与隔热板413。
108.隔热板413可以抵触并承载基板，即隔热板413远离基体板412的表面为前述载料
面411。隔热板413可以选用石英玻璃隔热板413，以提高隔热板413的隔热性能，有效地将热压过程中热压头的热量与隔热板413下方的机构隔绝。此外，石英玻璃具有较好的加工性能，便于提高加工平面度，可以使得加工平面度达到5um。
109.基体板412可以与隔热板413连接。基体板412可以选用钢制基体板412，比如采用45钢制成。在图示实施例中，隔热板413嵌设在基体板412内。即基体板412表面开设有安装槽，隔热板413设置在安装槽中。上述设置方式可以使得基体板412保护隔热板413的边缘，有效减少磕碰隔热板413。基体板412远离隔热板413的表面与连接板420活动连接。
110.在一些实施方式中，如图4与图9所示，连接板420包括第一板421与第二板422。其中，第一板421与θ轴导向机构 300连接。也就是说，第一板421可以与θ轴连接件321以及连接支架372连接。
111.具体的，第一板421的底部的中部设置有槽体（图中未示出）。θ轴连接件321嵌设在槽体内，且第一板421与θ轴连接件321通过螺栓等紧固件进行紧固。第一板421的底部的端部通过螺栓连接或螺丝连接等方式，与连接支架372的顶部连接板374连接板420连接，以确保θ轴偏转装置320带动第一板421转动时，连接支架372可保持对第一板421的支撑。此外，转动件382的外缘也与第一板421的底面抵触，以对第一板421进行支撑。
112.如图9所示，第二板422间隔设置有若干第一调节孔423与若干第二调节孔424。在一些实施方式中，第一调节孔423与第二调节孔424成对设置。第一调节孔423与其配对的第二调节孔424间隔设置，且二者之间的距离小于等于任意相邻的第一调节孔423或任意相邻的第二调节孔424之间的距离。第一调节孔423与第二调节孔424均可以为螺纹调节孔，且二者的螺纹设置可以相同，也可以不同。
113.对应的，调节件（图中未示出）包括第一调节件与第二调节件。
114.其中，第一调节件可以穿过对应的第一调节孔423，并与连接板420可拆卸连接。连接方式可以选用螺纹连接。第一调节件可沿第一调节孔423的轴向移动，以改变第一板421与第二板422之间的距离。各第一调节件均可单独移动。即通过第一调节件位置的变化，调节第二板422的局部部分与第一板421之间的距离，以对第二板422进行精确微调。第一调节件可以选用沉头螺丝。
115.第二调节件可以穿过对应的第二调节孔424，并与载料板410可拆卸连接，连接方式可以选用螺纹连接。第二调节件可沿第二调节孔424的轴向移动，以改变载料板410与第二板422之间的距离。各第二调节件均可单独移动。即通过第二调节件位置的变化，调节第二板422的局部部分与载料板410的基体板412之间的距离，以对载料板410进行精确微调。第二调节件可以选择顶丝。
116.也就是说，通过移动第一调节件或第二调节件的位置，以改变载料板410的局部的水平位置，以校调整面。由于隔热板413的平面可以实现加工平面度达到5um，因此，仅需确保其下方的基体板412的平面度，即可实现载料平台 400达到所要求的平整度。而在调节过程中，第一调节件相当于下拉对应部分的基体板412，第二调节件相当于上顶对应部分的基体板412。即通过顶拉的方式，使得基体板412的由于加工变形的微小变形量的局部消除，使其平面度达到
±
25um。因此，在一些实施例中，第一调节件与第二调节件配对设置，以保证可以在一定面积内，具有可进行调整的第一调节件与第二调节件。第一调节件与第二调节件的数量与间距均可以根据实际情况进行调整。
117.在实际使用绑定压合平台时，可以先通过调节各第二限位结构350的各转动件382的高度，以对连接板420进行粗校调。在校调过程中，可以选择百分表进行粗校调。以校调连接板420的平整度。当连接板420的平面度达到
±
50um时，粗校调完成。通过调节对应的第一调节件或第二调节件，通过顶拉的方式把连接板420的局部因为加工变形的微小变形量消除，连接板420的平面度达到
±
25um，完成细校调。此时，将载料板410安装在连接板420上，即可完成载料平台 400的安装。
118.在一些实施例中，载料平台 400通过真空吸附的方式对产品进行固定。在这种实施方式中，可以通过对载料板410开设真空孔，并在工作时提供负压。载料平台 400的真空度可达到85%，使得产品吸附在载料板410上。
119.上述绑定压合平台通过第一导向机构100使得载料平台 400可以沿第一方向移动，且通过。第二导向机构 200使得载料平台 400可以沿第二方向移动。θ轴偏转装置320可以带动载料平台 400转动一定角度。第一支撑组件370与第二支撑组件380可以对载料平台 400的底部进行支撑，减少载料平台 400的自重或局部受到的压力过大导致变形而影响面精度。
120.此外，通过调节各第二支撑组件380中的调节块383的位置，以改变转动件382的高度，进而可以对载料平台 400进行粗校调。通过第一调节件与第二调节件位置的改变，以顶拉连接板420，将连接板420的局部因为加工变形的微小变形量消除，以保证面精度。
121.本方案具有以下优点：1.可以制作大尺寸的载料平台 400，且载料平台 400的面精度可以达到要求。
122.2.载料平台 400可以同时多个位置受力，且最大可承受300kg的压力。
123.3.载料平台 400具有角度校正的功能，即载料平台 400在压合过程中，部分位置发生形变后，可以通过校调消除形变影响，保证面精度。
124.4.通过设置石英玻璃制得的隔热板413，可以很好地阻隔热量，防止热量在绑定压合平台上积累。
125.本发明一实施例提供的一种热压绑定装置，其包括主体与设置在主体上的绑定压合平台。其中，主体设置有热压头。热压头位于绑定压合平台的上方。当对产品进行热压时，将产品置于绑定压合平台后，调节载料平台400的位置，以使产品的待热压处位于热压头正下方，然后通过热压头对产品进行热压，以完成热压绑定工序。
126.以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
127.以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。