一种管式吹气烘干槽的制作方法

1.本实用新型涉及一种烘干槽，尤其涉及一种管式吹气烘干槽。


背景技术：

2.在光伏、半导体领域的产品制作过程中，需要进行清洗和烘干工作，烘干工作通常都是利用烘干槽来完成的。针对硅片的烘干，目前烘干槽的设计是内部放置固定有硅片的花篮，然后从侧面和下面对花篮进行吹风，达到对花篮和硅片的烘干效果。
3.其实硅片本身经过缓慢提拉后带水是非常少的，可以很快烘干，一般烘不干的都是花篮的底杆部分，水分在重力作用下会汇集在底杆底部，由于目前硅片尺寸越来越大，所用烘干槽体积也越来越大，槽内单位面积的风量变的非常有限，因此即使烘干时间达到700秒以上底杆仍然会残留大量水滴，水滴在工序周转过程中容易弄到硅片上产生污染。
4.目前采用的办法是在一个气腔腔体的上端设置有若干吹气孔或吹气部件对底杆进行一对一式的吹气，从而提高烘干效果，但是气腔腔体下端的进气管路只有一个，在长时间的使用过程中，气腔腔体由于受力不均会发生变形，不仅影响自身的使用寿命，还会造成花篮的位置变动导致压篮情况的发生。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的是克服现有的缺陷，提供一种管式吹气烘干槽，解决目前吹气装置采用气腔送气易变形，造成花篮位置变动的问题。
6.为了解决上述技术问题，本实用新型提供了如下的技术方案：
7.一种管式吹气烘干槽，包括箱体，所述箱体包括箱体侧壁和箱体底板，所述箱体底板上间隔设置有花篮固定座，所述花篮固定座两两一组，每组所述花篮固定座上放置有花篮，所述箱体内部在所述花篮的两侧设置有若干侧面吹风管，所述侧面吹风管通过加热器连接有鼓风泵，所述侧面吹风管朝向所述花篮的侧面均匀设置有若干第一吹风孔，每组所述花篮固定座的两个所述花篮固定座之间设置有吹风管组，每个所述吹风管组包括若干平行排列的底部吹风管，每个所述底部吹风管的上端面设置有若干第二吹风孔，所述底部吹风管共同连接有集气管，所述集气管连接有送气管，所述送气管连接有进气管路，所述进气管路与所述加热器连接。
8.进一步地，每个所述花篮的每根底杆下方对应设置有一个底部吹风管。
9.进一步地，每个所述吹风管组的所述底部吹风管的两端分别连接有一个所述集气管，两个所述集气管共同连接有一个送气管。
10.进一步地，所述进气管路包括两个平行设置的纵向进气管，两个所述纵向进气管之间设置有两个横向进气管，每个所述横向进气管的两端分别与所述纵向进气管连通，每个所述横向进气管的上端面与所述送气管的下端面连通。
11.进一步地，所述箱体底板上设置有若干抽气孔，所述抽气孔通过管路与所述鼓风泵连接。
12.进一步地，所述抽气孔设置有两个，分别设置在所述吹风管组的下方。
13.进一步地，所述侧面吹风管和底部吹风管与加热器之间均设置有第一过滤器。
14.进一步地，所述加热器与鼓风泵之间设置有第二过滤器。
15.本实用新型一种管式吹气烘干槽，采用吹气管结构代替原有的气腔腔体结构，吹气效果好且吹气管内各处受力均匀，不会出现变形的情况，保证烘干工作的稳定进行。
附图说明
16.附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：
17.图1是本实用新型的立体示意图一；
18.图2是本实用新型的立体示意图二；
19.图3是本实用新型中吹风管组、集气管、送气管和进气管路的结构示意图。
具体实施方式
20.以下结合附图对本实用新型的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
21.如图1
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3所示，一种管式吹气烘干槽，包括箱体，箱体包括箱体侧壁1和箱体底板2，箱体底板2上间隔设置有花篮固定座3，花篮固定座3两两一组，每组花篮固定座3上放置有花篮(图中未画出)，箱体内部在花篮的两侧设置有两个侧面吹风管4，侧面吹风管4通过加热器(图中未画出)连接有鼓风泵(图中未画出)，侧面吹风管4朝向花篮的侧面均匀设置有若干第一吹风孔，每组花篮固定座3的两个花篮固定座3之间设置有吹风管组，每个吹风管组包括若干平行排列的底部吹风管5，每个底部吹风管5的上端面设置有若干第二吹风孔，底部吹风管5共同连接有集气管6，集气管6连接有送气管7，送气管7连接有进气管路，进气管路与加热器连接。
22.工作原理：
23.当清洗结束后，将装有硅片的花篮从清洗槽提出放入烘干槽内，开启鼓风泵和加热器，热气从吹风管的吹风孔吹出，从侧面和底部对花篮进行吹风烘干，底部的吹风更加具有针对性。这种结构能够大幅提升烘干效果，以光伏湿制成工序制绒或槽式碱抛光工序为例，目前量产一批400片大尺寸210硅片，烘干时间可以由原有750秒以上时间缩短至700秒以内，烘干温度也可以由90℃降至85℃左右，保证更好烘干效果的同时降低了能耗，改善了高温槽体变形导致的槽体使用寿命变短的缺点。
24.每个花篮的每根底杆下方对应设置有一个底部吹风管5，确保每一个底杆上的水滴都能被吹到。
25.每个吹风管组的底部吹风管5的两端分别连接有一个集气管6，两个集气管6共同连接有一个送气管7。两个集气管同时从两端向底部吹风管内注入气体，提高输气效率。
26.进气管路包括两个平行设置的纵向进气管8，两个纵向进气管8之间设置有两个横向进气管9，每个横向进气管9的两端分别与纵向进气管8连通，每个横向进气管9的上端面与送气管7的下端面连通。利用两个纵向进气管同时向横向进气管内注入气体，提高输气效率。
27.箱体底板2上设置有两个抽气孔10，分别设置在吹风管组的下方，抽气孔10通过管路与鼓风泵连接。槽内的空气通过抽气孔到达鼓风泵，进行循环再利用，节省资源，降低能耗。
28.侧面吹风管4和底部吹风管5与加热器之间均设置有第一过滤器(图中未画出)，过滤侧面吹风管和底部吹风管吹出的气体中可能存在的杂质，保证产品质量。
29.加热器与鼓风泵之间设置有第二过滤器(图中未画出)，过滤进入加热器的气体中可能存在的杂质，防止加热器损坏。
30.本实用新型一种管式吹气烘干槽，采用吹气管结构代替原有的气腔腔体结构，吹气效果好且吹气管内各处受力均匀，不会出现变形的情况，保证烘干工作的稳定进行。
31.最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。


技术特征：
1.一种管式吹气烘干槽，包括箱体，所述箱体包括箱体侧壁和箱体底板，所述箱体底板上间隔设置有花篮固定座，所述花篮固定座两两一组，每组所述花篮固定座上放置有花篮，所述箱体内部在所述花篮的两侧设置有若干侧面吹风管，所述侧面吹风管通过加热器连接有鼓风泵，所述侧面吹风管朝向所述花篮的侧面均匀设置有若干第一吹风孔，其特征在于：每组所述花篮固定座的两个所述花篮固定座之间设置有吹风管组，每个所述吹风管组包括若干平行排列的底部吹风管，每个所述底部吹风管的上端面设置有若干第二吹风孔，所述底部吹风管共同连接有集气管，所述集气管连接有送气管，所述送气管连接有进气管路，所述进气管路与所述加热器连接。2.根据权利要求1所述的一种管式吹气烘干槽，其特征在于：每个所述花篮的每根底杆下方对应设置有一个底部吹风管。3.根据权利要求1所述的一种管式吹气烘干槽，其特征在于：每个所述吹风管组的所述底部吹风管的两端分别连接有一个所述集气管，两个所述集气管共同连接有一个送气管。4.根据权利要求3所述的一种管式吹气烘干槽，其特征在于：所述进气管路包括两个平行设置的纵向进气管，两个所述纵向进气管之间设置有两个横向进气管，每个所述横向进气管的两端分别与所述纵向进气管连通，每个所述横向进气管的上端面与所述送气管的下端面连通。5.根据权利要求1所述的一种管式吹气烘干槽，其特征在于：所述箱体底板上设置有若干抽气孔，所述抽气孔通过管路与所述鼓风泵连接。6.根据权利要求5所述的一种管式吹气烘干槽，其特征在于：所述抽气孔设置有两个，分别设置在所述吹风管组的下方。7.根据权利要求1所述的一种管式吹气烘干槽，其特征在于：所述侧面吹风管和底部吹风管与加热器之间均设置有第一过滤器。8.根据权利要求1所述的一种管式吹气烘干槽，其特征在于：所述加热器与鼓风泵之间设置有第二过滤器。

技术总结
本实用新型属于高纯清洗领域，提供了一种管式吹气烘干槽，包括箱体，箱体包括箱体侧壁和箱体底板，箱体底板上间隔设置有两两一组的花篮固定座，每组花篮固定座上放置有花篮，箱体内部在花篮的两侧设置有若干侧面吹风管，侧面吹风管通过加热器连接有鼓风泵，每组花篮固定座的两个花篮固定座之间设置有吹风管组，每个吹风管组包括若干平行排列的底部吹风管，底部吹风管共同连接有集气管，集气管连接有送气管，送气管连接有进气管路，进气管路与加热器连接。本实用新型提供的管式吹气烘干槽，采用吹气管结构代替原有的气腔腔体结构，吹气效果好且吹气管内各处受力均匀，不会出现变形的情况，保证烘干工作的稳定进行。保证烘干工作的稳定进行。保证烘干工作的稳定进行。


技术研发人员：翟连方 张三洋
受保护的技术使用者：无锡琨圣智能装备股份有限公司
技术研发日：2020.12.18
技术公布日：2021/10/18