带加热功能的烘干槽的制作方法

1.本实用新型涉及清洗及烘干设备领域，特别涉及一种带加热功能的烘干槽。


背景技术：

2.随着太阳能光伏行业的发展，晶体硅电池发展的趋势是低成本、高效率、大产量，晶体硅电池的制备需要经过各种工艺槽，烘干槽为其中的一种。
3.现有的设备中有两种烘干槽，一种是烘干槽内温度比较高、烘干效率也高，但是不容易维护，烘干槽内的洁净度较低。另一种是烘干槽的温度低，烘干效率也低，但是洁净度高。通常，现有采用在烘干槽槽盖上设置外接管路用于向槽内通入烘干风，外接管路一般采用软质材料制成的管路，以实现配合槽盖的张开或闭合，但在槽盖张开或闭合的反复运动过程中，易对外接管路产生磨损，一方面需要定期更换，增加设设备维护成本，一方面在更换的过程中，易对烘干槽产生污染，同时，管路本身易带有杂质，对烘干槽造成不必要的污染，影响槽内洁净度及工艺效果。
4.此外，对于产能提升的要求，当烘干槽内的加工物变多时，很可能位于中间的加工物无法被烘干，以硅片为例，现有的烘干槽仅仅只能安装4个载具，每个载具上放置100片硅片，若是安装6个载具，现有技术中通常采用的烘干方式是对烘干槽内的加工物进行吹干，则6个载具当中位于中间的两个载具上的硅片很难被烘干，因此，现有的烘干槽的烘干方式也不利于扩大产能。
5.因此，如何提供一种可以增加产品良率、烘干效率、清洁度的烘干槽是业界亟待解决的技术问题。


技术实现要素：

6.本实用新型为了解决上述现有技术中存在的烘干槽存在缺陷不能满足更优的产品良率和烘干效率的技术问题，提出一种带加热功能的烘干槽。
7.本实用新型提出的带加热功能的烘干槽，包括槽体和槽盖，设置在槽体内的物料支持座，所述槽体内设有多根带风孔且可绕轴心转动的风管，所述槽体外设有一端与所述风管连通的循环管路，所述循环管路的进风口和出风口之间依次串联着高压风机、加热器以及第一过滤器。
8.进一步，还包括排湿支路，所述排湿支路一端的出风口与外界空气连通，另一端的进风口与所述高压风机的出风口和加热器的进风口之间的管路连通，所述排湿支路上设有排湿阀。
9.进一步，还包括初步过滤支路，所述初步过滤支路一端的进风口与外界空气连通，另一端的出风口与所述高压风机的进风口和所述回风口之间的管路连通，所述初步过滤支路的进风口与出风口之间依次设有第二过滤器和开关阀。
10.进一步，还包括设置在物料支持座上的真空孔，所述真空孔与抽真空管路以及抽真空发生器连接，和/或，所述物料支持座与载具的接触面呈锯齿状，且物料支持座与载具
的接触面上设有底部凹陷的空置区。
11.进一步，所述槽体的一端设有汇流盒，盒内形成汇流腔，且汇流盒上设有多个出风口，所述吹风管的一端连接在汇流盒的出风口处并沿槽体的长度方向设置。进一步，所述风管设置在槽体的两侧，所述槽体底部设有回风口，所述循环管路的进风口与所述回风口连接，循环管路的出风口与所述风管连接。
12.进一步，所述槽体的端部设有风盒，所述槽盖设有腔室，所述腔室上设有分别连通槽体和风盒的回风口和连通口，所述循环管路的进风口与所述风盒连接，所述循环管路的出风口与所述风管连接。
13.进一步，所述槽体的端部设有风盒，所述槽盖设有腔室，所述腔室上设有分别连通槽体和风盒的吹风口和连通口，所述循环管路的出风口与所述风盒连接，所述循环管路的进风口与所述风管连接。
14.进一步，还包括两端带内螺纹接头的连通管，所述内螺纹接头与连通管垂直，并连接两根吹风管的另一端将两根吹风管连通。
15.进一步，所述槽盖沿槽体长度方向的中线分为两块，分别与槽体相对的两侧铰接。
16.进一步，所述吹风管共四根，且靠近槽体的两侧壁设置，每个侧壁设置两根，所述吹风孔沿吹风管的径向设置两排。
17.进一步，所述槽体和/或槽盖采用pp、pvdf、pvc当中的任意一种材质制成，或者是采用表面进行了喷氟处理的金属材质制成。
18.进一步，所述回风口在所述腔室上间隔均匀地设有多个，所述回风口包括至少两种内径不同的回风口，远离连通口的部分回风口的内径小于靠近连通口的部分回风口的内径。
19.进一步，所述吹风口在所述腔室上间隔均匀地设有多个，所述吹风口包括至少两种内径不同的吹风口，远离连通口的部分吹风口的内径小于靠近连通口的部分吹风口的内径。
20.与现有技术比较，本实用新型的优点在于：本实用新型通过在槽体的循环管路上设置加热辅助装置、湿气排除装置，提高了烘干效率，同时槽内增加真空抽局部液体装置，循环或补加新风洁净风过滤装置，提高了良品率。进一步，本发明通过改变烘干气流的循环方向，使得本发明的烘干槽可以进一步扩大容量，同时增设风盒和汇流盒，风流动更均匀，槽内洁净度高。本发明可根据需要调整加热温度，排湿方式等；且槽体结构简单易维护，槽体为耐腐蚀的非金属槽体亦可是金属内部防腐喷氟槽体，大大提高了槽内的洁净度，提高生产质量。
附图说明
21.图1为本实用新型槽体的截面图；
22.图2为本实用新型槽体的整体连接管路示意图一；
23.图3为本实用新型槽体与物料支撑座的局部结构图一；
24.图4为本实用新型槽体与物料支撑座的局部结构图二；
25.图5为本实用新型槽体的整体连接管路示意图二；
26.图6为本实用新型槽盖上回风口和连通口的结构示意图；
27.图7为本实用新型槽体的吹风口和连通口的连接管路示意图。
28.图中标记为1、槽体，2、槽盖，3、排湿支路，4、高压风机，5、加热器，6、初步过滤支路，7、物料支撑座，8、第一过滤器，9、风管，10、回风口，11、抽真空管路，12、真空孔，13、风盒，14、连通口，15、槽盖转轴，16、分隔板，17、汇流盒，18、进风管路，19、吸风管路，31、出风口，32、排湿阀，61、第二过滤器，62、开关阀（手阀）。
具体实施方式
29.下面结合附图以及实施例对本实用新型的原理及结构进行详细说明。
30.如图1至图3所示，本实用新型提出的带加热功能的烘干槽，包括槽体1和槽盖2，槽体1呈长方体的盒状，槽盖2共两块，分别与槽体1相对的两侧铰接，当两块槽盖2同时盖在槽体1的开口处时，可使槽体1封闭。
31.槽体1内设有物料支撑座7，物料支撑座7用来支撑载具，载具上设有待烘干的基板（如太阳能电池片等），在槽体1内还设有多根风管9，风管9上设有多个风孔，并且风管9可以围绕其轴心转动，使吹风孔的吹风角度可调整，从而改变出风方向，可根据需要调整出风方向，提高生产效率。
32.图2示出了本实用新型的烘干循环风道结构的第一实施例，在槽体1的底部设有至少一个回风口10，槽体1内设有多层风管9，图中示出了两层吹风管，风管9的两端连接在槽体两侧，在一个实施例中，风管9的长度方向与槽体的长度方向一致。风管9的一端为其进风口，回风口10与风管9的进风口之间在槽体外通过管路连接，形成一个可以使槽体内的空气循环的回路。并且回风口10与风管9的进风口之间通过管路依次串联着高压风机4、加热器5以及第一过滤器8。当高压风机4运行时，在回风口10处形成负压，将槽体1内的空气往槽体外抽取，经过高压风机4后，再经过加热器5进行加热，然后再经过第一过滤器8进入到风管9的进风口，最后从风管9的各个风孔吹出，经过加热器5、第一过滤器8之后的空气变得温度适宜且较为纯净的热空气，从而可以提高产品的生产良率，以及产品的烘干效率。本实用新型中，槽体1一端设有汇流盒17，汇流盒17具体设置在风管9的进风口与第一过滤器8之间，汇流盒内形成汇流腔，汇流盒朝向另一端的侧壁上设有多个出风口，风管9的进风口连接在汇流盒的出风口上与汇流盒17连通。
33.图5示出了本实用新型的烘干循环风道结构的第二实施例，在槽体1内同样设置有物料支撑座7，用于放置载具，沿槽体长度方向，物料支撑座7的下方设置有一层风管9，风管9可通过固定件固定在槽底部，与上面一个实施例一样，风管9的一端可通过连接管路进行连通，另一端连接汇流盒17，吹风管和连接管上均设置有吹风孔，吹风孔可以通过直接在管路上开孔形成，或者吹风孔可以进一步再连接可调节角度的喷嘴，转轴连接板对称设置在槽体宽度方向的外侧，槽盖转轴15通过转轴连接板设置在槽体1上。槽体1的端部设有风盒13和汇流盒17，风盒13和汇流盒17可以设置在槽体1的同一端，也可以分别设置在槽体的两端，槽盖2下方设有带回风口14和连通口的分隔板16，分隔板16和槽盖2之间形成腔室，也称为连通腔，连通口通过腔室连通回风口14和风盒13，回风口14通过腔室连通连通口和槽体，汇流盒17上设有多个出风口，风管9位于槽体底部，在本实施例中，风管9仅设有一层，风管9的一端连接在汇流盒17的出风口处并沿槽体的长度方向设置。如图6所示，回风口14在分隔板16上间隔均匀地设有多个，回风口14包括圆形回风口和/或条形回风口，当分隔板16上设
有两种回风口时，由于远离连通口的部分回风口处的负压动力小于靠近连通口处的部分回风口，故靠近连通口处的回风口的内径要设置的小于连通口处的部分回风口，回风口的设置种类、大小及形式不固定，只要其作用和功能能够保证风能均匀的从槽盖上被吸出。当槽盖2闭合在槽体1上时，槽盖2上的连通口与槽体上的风盒13自然对接，相互适配，此时，在槽体外部风机的作用下，外部热风经由进风管路、第一过滤器8进入到汇流盒17内，再经由各路吹风管路和连接管路，将热风散布至槽体内，同时，在外部风机的作用下，由槽体底部吹进的热风经过待烘干件（含硅片的载具）、回风口、连通口、汇流盒排出至吸风管路19，外部吸风管路及吸风管路上设置的部件（风机、加热器、排湿阀等）与上述第一个实施例一致。
34.如图6所示，第二个实施例在槽体1的槽盖2上设置风盒（热蒸气向上窜动，便于吸走），分隔板上的连通口与槽体的风盒上方的开口在槽盖闭合的情况下自然对接，抽风管路与外部进风同时接入风机的进风口（补风管路上设置手阀，可依据工艺要求，合理调节手阀，控制外入补风量的大小），风机的出风口外接排湿（槽内的湿气会经过一定时间的热循环后，湿气会达到高点，定时排除，利于物料的烘干）与加热包窜联（经过风机的气体通过加热包的辅助升温达到温度要求），加热的气体经过高效过滤掉气体中的颗粒物，净化加热的气体通过均布在载具下部的吹风管，将热气向上吹，蒸发载具及硅片上的湿气，使载具及硅片达到烘干的目的。
35.如图7所示，在第三个实施例中，第三实施例与第二实施例的管路结构相同，但是气体流向不同，因而循环管路上的高压风机、加热器等安装顺序与第二实施例完全相反。
36.上述三个实施例中，第一过滤器8具体是设置在一个过滤器安装箱内，加热器5的出风口通过管路连通过滤器安装箱，在气体经过升压升温后，通过第一过滤器8过滤送至槽体内。
37.在一个较优实施例中，高压风机4的出风口和加热器5的进风口之间的管路上还连接着一个排湿支路3，该排湿支路3连接着高压风机4的出风口和加热器5的进风口之间的管路的一端为进风口，另一端为与外界空气连通的出风口，排湿支路3上设有排湿阀32，由于加工件带有一定的湿度或是液滴，烘干风逐渐带有一定湿气，为有效实现烘干效果，需要将含有一定湿气的烘干风排出，例如当对槽体内的基板进行烘干到一定阶段后，槽体内循环的空气的湿气会增大到一定程度，此时打开排湿阀32，可以将循环的一部分含有较多湿气的空气排出，可以有助于进一步提高烘干效率。
38.在进一步的较优实施例中，高压风机4的进风口和槽体1的回风口10之间的管路上还连通着一个初步过滤支路6，该初步过滤支路6的一端为出风口，另一端为进风口，其中初步过滤支路6的出风口与高压风机4的进风口和槽体1的回风口10之间的管路连通，初步过滤支路6的进风口与外界空气连通，初步过滤支路6的进风口与出风口之间依次设有第二过滤器61和开关阀62。烘干时还可以打开开关阀62来为槽体内补充新的空气，例如，排湿过程中排出了一部分湿度较大的空气，此时可以为槽体1内补充新的空气，就可以打开开关阀62，本实施例中，开关阀62具体为手阀，在负压的作用下，外界的空气经过第二过滤器61以后，就会进入到高压风机4内，再经过加热器5、第一过滤器8，最终通过风管9进入到槽体内。
39.本实施例中，加热器5的功率可以将空气加热到最高250℃，具体需要加热的温度可以根据实际需要来进行调整。而第一过滤器采用的是高效过滤器，第二过滤器采用的是初效过滤器，高压风机的风压可以达到30kpa~200kpa。
40.当烘干槽处于工作状态时，高压风机4及加热器5一直处于工作状态，烘干风不断地在槽体以及管路内进行循环。此外，为加强烘干效果，可在物料支撑座7上设置负压装置或将改变物料支撑座7与载具的接触形式，或者两种方式相结合使用。
41.如图3所示，在一个实施例中，在物料支撑座7与载具的接触平面上，开设真空孔12，真空孔12一端接触载具底部，一端连接抽真空管路11，抽真空管路11另一端连接抽真空发生器，当烘干槽工作时，启动真空发生器，在物料支撑座7与载具的接触平面上，载具上的溶液在负压的作用下，沿着真空孔12被抽吸，真空孔的作用一方面作为负压管道，一方面用于形成液体导流区，可加快液体的去除。在一个较优实施例中，真空孔呈漏斗状。
42.如图4所示，在另一实施例中，将物料支撑座7与载具的接触面设置成锯齿状，在接触面与载具底部形成一定空置区，便于液滴滴落，优选地，空置区底部设置一定角度，形成底部凹陷的空置区，使液体在重力作用下自动滑落至空置区的底部，进而排出。物料支撑座7与载具的接触面本身并非为一个平面，而是与载具底部形状相匹配的具有起伏的不规则的面，锯齿状的部分可以进一步设置在与载具相互接触的部分上。
43.风管9的进风口这一端带活接凸台，另一端的出风口带有外螺纹，带活接凸台的进风口这端通过连接组件与汇流腔连通，连接组件包括：衬套、顶紧螺母、连接头活接螺母，衬套的内壁带有内螺纹，并通过热焊接固定在汇流盒17的出风口上，连接头的两端带有外螺纹，其一端安装有防止滑动的顶紧螺母，并与衬套螺纹连接，另一端通过活接螺母与吹风管的一端连接，其中，通过活接螺母套住吹风管端部的活接凸台，拧紧后将吹风管扣在连接头上，使风管9与连接头对接并与汇流腔连通，吹风管的另一端通过连通管连接，连通管的两端设有内螺纹接头，内螺纹接头与连通管的管壁垂直，使连通管两端的内螺纹接头可与两根吹风管的端部连接，将两根吹风管互相连通，且连通管上也可设置吹风孔，进行全方位烘干。
44.在一个进一步的实施例中，槽体1的侧壁设有多个卡扣，卡扣可卡住风管9的管壁，用于支撑风管9，保证结构的稳定性。
45.在图2的具体的实施例中，风管9共四根，且靠近槽体1的两侧壁设置通过卡扣卡住，每个侧壁设置不同高度的两根，且相同高度的风管9通过连通管连接，吹风孔沿风管9的径向设置两排，形成风幕，且便于调整风向。
46.本实用新型还包括出风口堵头，在使用时可通过堵住部分出风口，选择只从槽盖吹风的烘干方式或者选择只从吹风管吹风的烘干方式，且汇流盒的侧面还设有预留出风口，通过出风口堵头堵住，必要时可根据被烘干物件的实际情况，改变风管9位置，或者加装风管9。
47.本实用新型的槽体为耐腐蚀的非金属槽体，具体材质可以为pp、pvdf、pvc等，使槽体的洁净度高，并且不会被酸性液体侵蚀。还可以为金属材质，例如不锈钢材质，并在表面进行喷氟处理。
48.本实用新型在过滤器与高压风机之间设有加热装置，常温风与槽内的循环风经过高压风机后温度有提升，但温度不够高，需通过加热辅助温度升高，在风机的出风口设有通过时间或湿度测试阶段性的排湿，因为在湿物料进入烘干槽内烘了一定的时间后，槽内的湿度会达到最大，此时需要通过排湿排除槽内的湿气，利于烘干。并且在槽体内部，除了设有常规的吹风管外，还针对不易烘干的局部设有真空发生器，对物体的局部表面的液体已
抽真空的方式带走液体。
49.本实用新型还可以在槽底部设置排液口，用于排除载具残留在烘干槽内的液体，也可不设置排液口，依靠热风循环也可以烘干槽内的液体。
50.本实用新型的第一个实施例的吹风管布置在载具的四周，采用的是四周环绕的吹风方式，可以适用于400片硅片的烘干。第二个实施例是上吸下吹的形式，第三个实施例是下吸上吹的形式，第二、三个实施例均适用于当槽体尺寸变大时（例如用户产能提升且用户的占地面积有限的情况下，每批次的硅片产量可以由原来的400片转换到现有的600片），即由原来可容纳4个载具扩大到6个载具时，现有技术中将吸风管路设置在侧壁上时不能有效烘干位于中部位置的载具，故本实用新型可以很好地解决该问题。
51.以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。