一种真空镀膜机排气系统用罗茨泵的制作方法

1.本发明涉及排气设备技术领域，具体为一种真空镀膜机排气系统用罗茨泵。


背景技术：

2.真空镀膜机是现在制造真空条件使用最为广泛的设备，其是由真空腔合辅助抽气系统组成，此排气系统选用“分散泵 机械泵 罗茨泵 低温冷陷 polycold”构成。
3.罗茨真空泵是指泵内装有两个相反方向同步旋转的叶形转子，转子间，转子与泵壳内壁间有细小间隙而互不接触的一种变容真空泵，是通过转子的不断旋转，被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间，再经排气口排出，气体沿着一个方向流动，进气口连接件内可形成真空。
4.罗茨泵在使用过程中，为了保证吸入空气的量，需要对设备进行降温，防止空气进入腔内吸热膨胀，导致进入气体的量减少，利用真空泵的真空度，吸入适量水量，降低泵内温度，在水吸热后，容易在泵的内表面产生水垢，影响转子与泵的缝隙，转子易损坏，且水垢清除困难，同时，转子在转动过程中，将下部分的气体携带至与排气口连通时，排气口处的气压会增加，气体会从转子凸端和壳体之间的间隙回流。


技术实现要素：

5.本发明提供了一种真空镀膜机排气系统用罗茨泵，具备清除水分及时，水垢清除方便干净，排出气体不会回流的优点，解决了水分在泵壁残留结垢，水垢清除时麻烦，排出气体时，会增压导致气体回流的问题。
6.本发明提供如下技术方案：一种真空镀膜机排气系统用罗茨泵，包括泵体，所述泵体的右腔固定安装有电机，所述电机的左端伸出有主轴，所述主轴的外表面且位于泵体的中腔固定套装有齿轮，所述齿轮在泵体中腔啮合有同尺寸另一个齿轮，另一个所述齿轮中部固定套装有从动轴，所述主轴和从动轴的左端且位于泵体的左腔固定套装有转子，所述泵体左腔的顶部开设有排出口，所述泵体左腔的底部开设有进气口，所述转子的两侧活动套装有磁铁滑块，所述磁铁滑块的一端固定安装有弹簧二，所述磁铁滑块的一侧滑动安装有活动块，所述活动块与转子活动套装，所述活动块与转子之间固定安装有弹簧一，所述转子的内部且与弹簧一配合开设有导气孔，所述导气孔的另一端连通有分气槽，所述泵体下部分两侧弯曲段固定安装有弯磁铁，所述磁铁滑块与弯磁铁同极配合安装，所述转子内两侧结构反向对称安装，所述分气槽弧形设置连通转子凸端的外表面。
7.作为优选，所述分气槽的一侧开设有弧槽。
8.作为优选，所述磁铁滑块与活动块配合表面为阶梯斜面。
9.作为优选，所述弹簧一的弹力小于转子的离心力，所述弹簧一和弹簧二的弹力之和大于转子的离心力。
10.作为优选，所述弧槽的弧度与转子的外表面弧度配合。
11.本发明具备以下有益效果：
12.1、该真空镀膜机排气系统用罗茨泵，通过分气槽弧形设置连通转子凸端的外表面，使得活动块回位挤出空气时，一部分空气从导气孔输送到分气槽内排出，从分气槽喷出的气流与回流的气流方向相反，进而改变回流气流方向，防止其回流，喷出的气体对泵体的内表面冲击，在注水降温过程中，能够将水吹走，减轻水垢结成，在添加盐酸清洗时，气体的冲击力能够将反应后的水垢吹掉，水垢清除更干净。
13.2、该真空镀膜机排气系统用罗茨泵，通过弧槽的弧度与转子的外表面弧度配合，且与分气槽连通，使得转子在旋转时，空气在转子的外表面相对运动，运动的空气进入弧槽内输送到分气槽内配出，使得从分气槽内喷出的气流压力增大，更进一步防止空气回流，以及水垢的堆积，和清除水垢更干净，且弧槽内气体在周向任何部位能够进入气体，使得分气槽喷出的范围更广，清污效果更好。
附图说明
14.图1为本发明剖视结构示意图；
15.图2为本发明侧面剖视结构示意图。
16.图中：1、泵体；2、电机；3、主轴；4、齿轮；5、从动轴；6、转子；7、排出口；8、进气口；9、磁铁滑块；10、活动块；11、弹簧一；12、导气孔；13、分气槽；14、弯磁铁；15、弧槽；16、弹簧二。
具体实施方式
17.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
18.请参阅图1
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2，一种真空镀膜机排气系统用罗茨泵，包括泵体1，泵体1的右腔固定安装有电机2，电机2的左端伸出有主轴3，主轴3的外表面且位于泵体1的中腔固定套装有齿轮4，齿轮4在泵体1中腔啮合有同尺寸另一个齿轮4，另一个齿轮4中部固定套装有从动轴5，主轴3和从动轴5的左端且位于泵体1的左腔固定套装有转子6，泵体1左腔的顶部开设有排出口7，泵体1左腔的底部开设有进气口8，转子6的两侧活动套装有磁铁滑块9，磁铁滑块9与活动块10配合表面为阶梯斜面，通过磁铁滑块9的斜面设置，使得活动块10与磁铁滑块9配合后，在转子6内的滑动距离增大，进而能够增加其存储空气量，提高设备工作效率，磁铁滑块9的一端固定安装有弹簧二16，磁铁滑块9的一侧滑动安装有活动块10，活动块10与转子6活动套装，活动块10与转子6之间固定安装有弹簧一11，弹簧一11的弹力小于转子6的离心力，弹簧一11和弹簧二16的弹力之和大于转子6的离心力，使得弯磁铁14与磁铁滑块9配合后，活动块10在弹簧一11作用下缩回转子6内，增加储气空间，在磁铁滑块9不与弯磁铁14配合时，活动块10在离心力作用下能够回位将空气挤出，保证转子6内部空气全部排出，转子6的内部且与弹簧一11配合开设有导气孔12，导气孔12的另一端连通有分气槽13，泵体1下部分两侧弯曲段固定安装有弯磁铁14，磁铁滑块9与弯磁铁14同极配合安装，转子6内两侧结构反向对称安装，通过分气槽13弧形设置连通转子6凸端的外表面，使得活动块10回位挤出空气时，一部分空气从导气孔12输送到分气槽13内排出，从分气槽13喷出的气流与回流的气流方向相反，进而改变回流气流方向，防止其回流，喷出的气体对泵体1的内表面冲击，在
注水降温过程中，能够将水吹走，减轻水垢结成，在添加盐酸清洗时，气体的冲击力能够将反应后的水垢吹掉，水垢清除更干净，分气槽13的一侧开设有弧槽15，弧槽15的弧度与转子6的外表面弧度配合，且与分气槽13连通，使得转子6在旋转时，空气在转子6的外表面相对运动，运动的空气进入弧槽15内输送到分气槽13内配出，使得从分气槽13内喷出的气流压力增大，更进一步防止空气回流，以及水垢的堆积，和清除水垢更干净，且弧槽15内气体在周向任何部位能够进入气体，使得分气槽13喷出的范围更广，清污效果更好。
19.本发明罗茨泵的工作原理如下：
20.主轴3顺时针转动，从动轴5逆时针转动，将进气口8内空气吸进，向泵体1内两侧扫动，在转子6的带动下，空气从两侧上移从排出口7排出，转子6的凸端与弯磁铁14配合时，磁铁滑块9向上移动，带动活动块10向转子6内部移动，增加其储气空间，在转子6旋转磁铁滑块9不与弯磁铁14配合后，磁铁滑块9在弹簧二16作用下回位，活动块10在离心力作用下克服弹簧一11的弹力将空气挤出，活动块10挤出的空气一部分从导气孔12输送到分气槽13排出，能够改变回流气体的流向，防止回流，转子6的旋转，空气沿着转子6表面流动，转子6表面流动的气体从弧槽15进入，增大分气槽13内气体压力，改变回流气体压力更大。
21.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
22.尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。