标记检测方法、装置及计算机可读存储介质与流程

1.本发明实施例涉及半导体制造技术领域，特别涉及一种标记检测方法、装置及计算机可读存储介质。


背景技术：

2.在集成电路的制作过程中，需要正确设置待制作光掩膜板上标记的开关信息。现有技术中在准备待制作光掩膜板的制作文件时，采用人工检查的方法判断待制作光掩膜板上标记的开关信息是否设置正确。发明人发现现有技术中至少存在如下问题：人工检测的方式难以确保标记开关情况的正确性，且需要消耗较大的人力成本。


技术实现要素：

3.本发明实施方式的目的在于提供一种标记检测方法、装置及计算机可读存储介质，其能够自动检测标记的开关是否准确，在提高检测准确率的同时，减少人力成本。
4.为解决上述技术问题，本发明的实施方式提供了一种标记检测方法，所述标记检测方法包括：
5.获取待制作光掩膜板上标记的开关信息；将所述开关信息与预设开关信息进行比对，判断所述开关信息是否与预设开关信息一致；在判定不一致时，根据所述预设开关信息修正所述开关信息。
6.本发明的实施方式还提供了一种标记检测装置，包括：至少一个处理器；以及，与所述至少一个处理器通信连接的存储器；其中，所述存储器存储有可被所述至少一个处理器执行的指令，所述指令被所述至少一个处理器执行，以使所述至少一个处理器能够执行上述的标记检测方法。
7.本发明的实施方式还提供了一种计算机可读存储介质，存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现上述的标记检测方法。
8.本发明的实施方式相对于现有技术而言，通过获取待制作光掩膜板上标记的开关信息，能够得知待制作光掩膜板上标记的开关情况，以便于后续步骤的核对；由于在制备待制作光掩膜板之前，会预设标记的开关信息，从而制备出满足不同需求的标记，因此通过将所述开关信息与预设开关信息进行比对，并判断开关信息是否与预设开关信息一致，从而能够实现利用脚本自动检测待制作光掩膜板上标记的开关情况是否准确，提高了检测的准确率，且减少了人力成本，避免了“人工检测的方式难以确保标记开关情况的正确性，且需要消耗较大的人力成本”的情况的发生；在判定不一致时，根据所述预设开关信息修正所述开关信息，从而可以在标记的开关信息出错时自动纠错。
9.另外，所述获取待制作光掩膜板上标记的开关信息，包括：获取待制作光掩膜板上n个标记的开关信息，其中，所述n个标记包含m种标记类型，n、m均为大于1的整数。
10.另外，所述m种标记类型包括以下类型之一或其任意组合：套刻标记、对准标记、检测标记。
11.另外，在将所述开关信息与预设开关信息进行比对之前，还包括：根据m种所述标记类型建立m个区块，其中，一个所述区块包含属于同一种标记类型的多个标记；将所述m个区块进行合并，并根据所述m个区块设置m个识别层，其中，一个区块对应一个识别层；所述将所述开关信息与预设开关信息进行比对，包括：根据所述识别层将合并后的所述区块中所述标记的所述开关信息与预设开关信息进行比对。
12.另外，所述根据m种所述标记类型建立m个区块，包括：根据所述标记类型确定所述标记在所述待制作光掩膜板上的分布区域；根据所述分布区域生成所述区块。
13.另外，所述分布区域包括多个标记条形区域。
14.另外，同一所述区块中不同所述标记条形区域上包含的标记数目和标记种类均相同。
15.另外，所述预设开关信息通过以下方式获取：获取每个标记的子预设开关信息；整合所述子预设开关信息，生成所述预设开关信息。
16.另外，通过脚本对所述子预设开关信息进行整合，以及通过脚本进行合并后的所述区块中所述标记的所述开关信息与预设开关信息的比较。
17.另外，所述将所述开关信息与预设开关信息进行比对，包括：将所述开关信息和预设开关信息输入预设的检测程序；根据所述检测程序比对所述开关信息和所述预设开关信息。
18.另外，在根据所述预设开关信息修正所述开关信息之后，还包括：再次判断所述开关信息是否与预设开关信息一致；在判定不一致时，根据所述预设开关信息修正所述开关信息，直至所述开关信息与所述预设开关信息一致。
附图说明
19.一个或多个实施例通过与之对应的附图中的图片进行示例性说明，这些示例性说明并不构成对实施例的限定，附图中具有相同参考数字标号的元件表示为类似的元件，除非有特别申明，附图中的图不构成比例限制。
20.图1是根据本发明第一实施方式提供的标记检测方法的流程图；
21.图2是根据本发明第二实施方式提供的标记检测方法的流程图；
22.图3是根据本发明第三实施方式提供的标记检测方法的流程图；
23.图4是根据本发明第四实施方式提供的标记检测装置的结构示意图。
具体实施方式
24.为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明的各实施方式进行详细的阐述。然而，本领域的普通技术人员可以理解，在本发明各实施方式中，为了使读者更好地理解本发明而提出了许多技术细节。但是，即使没有这些技术细节和基于以下各实施方式的种种变化和修改，也可以实现本发明所要求保护的技术方案。
25.本发明的第一实施方式涉及一种标记检测方法，具体流程如图1所示，包括：
26.s101：获取待制作光掩膜板上标记的开关信息。
27.具体的说，通过设置待制作光掩膜板上多个标记的开关，能够制备出满足不同需求的标记，也就是说，待制作光掩膜板上标记为n个，n为大于1的整数，因此获取的开关信息
也为n个，可以理解的是，本实施方式并不对n的大小做具体限定。在一示例中，所述开关信息可以理解为待制作光掩膜板上标记是透光的、非透光的或者为部分透光的。
28.更具体的，n个标记中包含m种标记类型，m为大于1的整数，m种标记类型包括以下类型之一或其任意组合：套刻标记、对准标记、检测标记，本实施方式并不对m的大小做具体限定。在一示例中，套刻标记可以理解为与前层待制作光掩膜板上套刻图案相同位置处的后层待制作光掩膜板上的图案；对准标记可以理解为与前层待制作光掩膜板上对准图案相同位置处的后层待制作光掩膜板上的图案；检测标记可以理解为与前层待制作光掩膜板上检测图案相同位置处的后层待制作光掩膜板上的图案。具体的，所述套刻图案包括ovl量测中的套刻前层图案，如aim图案、bar-in-bar图案或box-in-box图案中的套刻前层图案；对准图案包括光刻机曝光时需要对准的前层图案；检测图案包括检测工艺质量的前层图案，如检测膜厚的图案，电性的图案等。
29.s102：将开关信息与预设开关信息进行比对，判断开关信息是否与预设开关信息一致，在判定一致时，结束流程；在判定不一致时，执行步骤s103。
30.具体的说，所述将所述开关信息与预设开关信息进行比对，包括：将所述开关信息和预设开关信息输入预设的检测程序；根据所述检测程序比对所述开关信息和所述预设开关信息。可以理解的是，本实施方式中的检测程序通过运用脚本对标记进行处理，从而实现对每一种标记的开关检查。
31.更具体的，本实施方式的预设开关信息可以通过以下方式获取：获取每个标记的子预设开关信息；整合所述子预设开关信息，生成所述预设开关信息。作为示例，首先对同一待制作光掩膜板上标记的开关信息进行整理，然后将多个待制作光掩膜板上所有的标记的开关信息整合成一份完整的预设开关信息(可以整理成表格的形式)，以便于预设开关信息用于脚本(即检测程序)的编辑。
32.s103：根据预设开关信息修正开关信息。
33.具体的说，在开关信息与预设开关信息不一致时，将开关信息调整为与预设开关信息一致，例如标记a预设为关闭，实际为打开，则应调整标记a关闭。
34.本发明的实施方式相对于现有技术而言，通过获取待制作光掩膜板上标记的开关信息，能够得知待制作光掩膜板上标记的开关情况，以便于后续步骤的核对；由于在制备待制作光掩膜板之前，会预设标记的开关信息，从而制备出满足不同需求的标记，因此通过将所述开关信息与预设开关信息进行比对，并判断开关信息是否与预设开关信息一致，从而能够实现利用脚本自动检测将要制备的待制作光掩膜板上标记的开关情况是否准确，提高了检测的准确率，且减少了人力成本，避免了“人工检测的方式难以确保标记开关情况的正确性，且需要消耗较大的人力成本”的情况的发生；在判定不一致时，根据所述预设开关信息修正所述开关信息，从而可以在标记的开关信息出错时自动纠错。
35.本发明的第二实施方式涉及一种标记检测方法，本实施方式是在第一实施方式的基础上做了进一步的改进，具体改进之处在于：在本实施方式中，在将所述开关信息与预设开关信息进行比对之前，还包括：根据m种所述标记类型建立m个区块，其中，一个所述区块包含属于同一种标记类型的多个标记；将所述m个区块进行合并，并根据所述m个区块设置m个识别层，其中，一个区块对应一个识别层；所述将所述开关信息与预设开关信息进行比对，包括：根据所述识别层将合并后的所述区块中所述标记的所述开关信息与预设开关信
息进行比对。通过此种方式，能够减少标记检测的时间，从而提高标记检测效率。
36.本实施方式的具体流程如图2所示，包括：
37.s201：获取待制作光掩膜板上标记的开关信息。
38.s202：根据m种标记类型建立m个区块。
39.具体的说，一个所述区块包含属于同一种标记类型的多个标记，本实施方式中根据m种所述标记类型建立m个区块，可以为：根据所述标记类型确定所述标记在所述待制作光掩膜板上的分布区域；根据所述分布区域生成所述区块。
40.s203：根据m个区块建立m个识别层。
41.具体的说，一个区块对应一个识别层，每个识别层都会定义一个编号，如编号111、112、113代表三个不同的识别层。
42.s204：根据识别层将区块中标记的开关信息与预设开关信息进行比对，判断开关信息是否与预设开关信息一致，在判定一致时，结束流程；在判定不一致时，执行步骤s205。
43.具体的说，由于每个识别层内的标记类型是一致的，因此在检测标记的过程中仅需对该识别层进行检测即可，从而减少了不必要的标记检测，提高了标记检测效率。
44.s205：根据预设开关信息修正开关信息。
45.本实施方式的步骤s201、s205和第一实施方式的步骤s101、s103类似，为了避免重复，此处不再赘述。
46.为了便于理解，下面对本实施方式的标记检测方法进行具体的举例说明：
47.1、提供待制作光掩膜板上标记的开关信息(可以为scribe line layout jds(可以当做一份文件))和预设开关信息(标记开关表格)。
48.2、对待制作光掩膜板上每一种类型的的多个标记新建一个区块去包含它并用一个识别层去标记。具体的，每个区块可以包含同种类型的所有标记，根据所述同种类型的所有标记在所述待制作光掩膜板上的分布区域生成所述区块，所述分布区域可以包括多个标记条形区域，所述标记条形区域可以为矩形，每个所述标记条形区域包括同类型的多个所述标记，同一所述区块上的不同条形标记区域的尺寸相同，并且包含的标记数量也相同。如此设定，可以防止在比对时出现不同类型标记的开关信息的错误比对。
49.3、将不同类型标记的区块进行合并，并对每一区块都用一个识别层标记，可以方便脚本进行快速准确的处理。
50.4、利用识别层将合并后的所述区块中的标记的开关信息和标记开关表格进行比对。
51.本发明的实施方式相对于现有技术而言，通过获取待制作光掩膜板上标记的开关信息，能够得知待制作光掩膜板上标记的开关情况，以便于后续步骤的核对；由于在制备待制作光掩膜板之前，会预设标记的开关信息，从而制备出满足不同需求的标记，因此通过将所述开关信息与预设开关信息进行比对，并判断开关信息是否与预设开关信息一致，从而能够实现自动检测待制作光掩膜板上标记的开关情况是否准确，提高了检测的准确率，且减少了人力成本，避免了“人工检测的方式难以确保标记开关情况的正确性，且需要消耗较大的人力成本”的情况的发生；在判定不一致时，根据所述预设开关信息修正所述开关信息，从而可以在标记的开关信息出错时自动纠错。
52.本发明的第三实施方式涉及一种标记检测方法，本实施方式是在第一实施方式的
基础上做了进一步的改进，具体改进之处在于，在本实施方式中，在根据所述预设开关信息修正所述开关信息之后，还包括：再次判断所述开关信息是否与预设开关信息一致；在判定不一致时，根据所述预设开关信息修正所述开关信息，直至所述开关信息与所述预设开关信息一致。通过此种方式，进一步确保了标记检测的准确性。
53.本实施方式的具体流程图如图3所示，包括以下步骤：
54.s301：获取待制作光掩膜板上标记的开关信息。
55.s302：将开关信息与预设开关信息进行比对，判断开关信息是否与预设开关信息一致，在判定一致时，结束流程；在判定不一致时，执行步骤s303。
56.s303：根据预设开关信息修正开关信息。
57.本实施方式的步骤s301至步骤s303和第一实施方式的步骤s101至步骤s103类似，为了避免重复，此处不再赘述。
58.s304：再次判断开关信息是否与预设开关信息一致，在判定一致时，结束流程；在判定不一致时，执行步骤s305。
59.s305：根据预设开关信息修正开关信息，直至开关信息与预设开关信息一致。
60.本发明的实施方式相对于现有技术而言，通过获取待制作光掩膜板上标记的开关信息，能够得知待制作光掩膜板上标记的开关情况，以便于后续步骤的核对；由于在制备待制作光掩膜板之前，会预设标记的开关信息，从而制备出满足不同需求的标记，因此通过将所述开关信息与预设开关信息进行比对，并判断开关信息是否与预设开关信息一致，从而能够利用脚本实现自动检测将要制备的待制作光掩膜板上标记的开关情况是否准确，提高了检测的准确率，且减少了人力成本，避免了“人工检测的方式难以确保标记开关情况的正确性，且需要消耗较大的人力成本”的情况的发生；在判定不一致时，根据所述预设开关信息修正所述开关信息，从而可以在标记的开关信息出错时自动纠错。
61.本发明第四实施方式涉及一种标记检测装置，如图4所示，包括：
62.至少一个处理器401；以及，
63.与至少一个处理器401通信连接的存储器402；其中，
64.存储器402存储有可被至少一个处理器401执行的指令，指令被至少一个处理器401执行，以使至少一个处理器401能够执行上述标记检测方法。
65.其中，存储器402和处理器401采用总线方式连接，总线可以包括任意数量的互联的总线和桥，总线将一个或多个处理器401和存储器402的各种电路连接在一起。总线还可以将诸如外围设备、稳压器和功率管理电路等之类的各种其他电路连接在一起，这些都是本领域所公知的，因此，本文不再对其进行进一步描述。总线接口在总线和收发机之间提供接口。收发机可以是一个元件，也可以是多个元件，比如多个接收器和发送器，提供用于在传输介质上与各种其他装置通信的单元。经处理器401处理的数据通过天线在无线介质上进行传输，进一步，天线还接收数据并将数据传送给处理器401。
66.处理器401负责管理总线和通常的处理，还可以提供各种功能，包括定时，外围接口，电压调节、电源管理以及其他控制功能。而存储器402可以被用于存储处理器401在执行操作时所使用的数据。
67.本发明第五实施方式涉及一种计算机可读存储介质，存储有计算机程序。计算机程序被处理器执行时实现上述方法实施例。
68.即，本领域技术人员可以理解，实现上述实施例方法中的全部或部分步骤是可以通过程序来指令相关的硬件来完成，该程序存储在一个存储介质中，包括若干指令用以使得一个设备(可以是单片机，芯片等)或处理器(processor)执行本技术各个实施例所述方法的全部或部分步骤。而前述的存储介质包括：u盘、移动硬盘、只读存储器(rom，read-only memory)、随机存取存储器(ram，random access memory)、磁碟或者光盘等各种可以存储程序代码的介质。
69.本领域的普通技术人员可以理解，上述各实施方式是实现本发明的具体实施例，而在实际应用中，可以在形式上和细节上对其作各种改变，而不偏离本发明的精神和范围。