一种碳化硅半导体生产用的洁净厂房的制作方法

技术特征：
1.一种碳化硅半导体生产用的洁净厂房，包括地面(1)，其特征在于：所述地面(1)的顶部固定连接有厂房本体(2)，所述厂房本体(2)的内部固定连接有挡板(3)，所述挡板(3)的顶部固定连接有净化箱(4)，所述挡板(3)的顶部固定连接有吸风机(5)，所述吸风机(5)的输入端与厂房本体(2)连通，所述吸风机(5)的输出端与净化箱(4)连通，所述净化箱(4)的内壁固定连接有夹板(6)，两个所述夹板(6)之间滑动连接有防尘网(7)，两个所述夹板(6)之间滑动连接有第一活性炭杀菌网(8)，两个所述夹板(6)之间滑动连接有第二活性炭杀菌网(9)，所述净化箱(4)的一侧固定连接有出气管(11)，所述出气管(11)的另一端与厂房本体(2)连通，所述厂房本体(2)的一侧固定连接有电机(12)，所述电机(12)的输出轴固定连接有螺纹杆(13)，所述螺纹杆(13)的外表面螺纹连接有螺纹块(14)，所述地面(1)的顶部固定连接有水箱(15)，所述水箱(15)的顶部固定连接有抽水泵(16)，所述抽水泵(16)的输入端与水箱(15)连通，所述抽水泵(16)的输出端通过软管(17)固定连接有喷头(18)，所述喷头(18)与螺纹块(14)固定连接。2.根据权利要求1所述的一种碳化硅半导体生产用的洁净厂房，其特征在于：所述厂房本体(2)的内部固定连接有限位杆(20)，所述限位杆(20)的外表面滑动连接有套筒(21)，所述套筒(21)与螺纹块(14)固定连接。3.根据权利要求1所述的一种碳化硅半导体生产用的洁净厂房，其特征在于：所述水箱(15)的顶部固定连接有进水口(22)，所述进水口(22)的形状为圆台形。4.根据权利要求1所述的一种碳化硅半导体生产用的洁净厂房，其特征在于：所述电机(12)的外表面固定连接有保护罩，保护罩为圆形。

技术总结
本实用新型属于厂房技术领域，尤其为一种碳化硅半导体生产用的洁净厂房，包括地面，所述地面的顶部固定连接有厂房本体，所述厂房本体的内部固定连接有挡板，所述挡板的顶部固定连接有净化箱，所述挡板的顶部固定连接有吸风机，所述吸风机的输入端与厂房本体连通，所述吸风机的输出端与净化箱连通，所述净化箱的内壁固定连接有夹板。本实用新型通过吸风机的设置，可将空气吸入净化箱内，利用第一活性炭杀菌网和第二活性炭杀菌网的灭菌作用，对空气进行净化，增加厂房质量，配合防尘网的吸附效果，可将灰尘进行去除，进一步加强净化效果，通过螺栓，使防尘网、第一活性炭杀菌网和第二活性炭杀菌网可以拆卸。炭杀菌网可以拆卸。炭杀菌网可以拆卸。


技术研发人员：鲁煜 王祎 刘玉良 姜经理 谭大胜
受保护的技术使用者：浙江中电环境科技有限公司
技术研发日：2020.12.29
技术公布日：2021/10/23