掩模清洗系统的制作方法

技术特征：
1.一种掩模清洗系统，其特征在于，包括第一清洗设备和第二清洗设备，所述第一清洗设备包括用于存放清洗溶液的储液槽、输液管道和清洗组件，所述输液管道的两端分别与所述储液槽和所述清洗组件连接，所述清洗组件安装于清洗室内，且所述清洗组件用于向掩模喷洒所述清洗溶液，所述第二清洗设备包括依次连接的空气压缩机、储气罐和超声波发生器，所述超声波发生器与所述输液管道通过连接管连接，且所述连接管与所述输液管道之间通过第一阀门选择性连通。2.根据权利要求1所述的掩模清洗系统，其特征在于，所述连接管为多个，多个所述连接管沿所述输液管道的长度方向间隔设置，所述超声波发生器与所述连接管可拆卸连接。3.根据权利要求2所述的掩模清洗系统，其特征在于，所述连接管与所述超声波发生器之间通过法兰组件连接。4.根据权利要求3所述的掩模清洗系统，其特征在于，所述第二清洗设备还包括吹气管道，所述吹气管道的一端与所述储气罐连接，所述吹气管道的另一端用于与所述连接管选择性连接。5.根据权利要求4所述的掩模清洗系统，其特征在于，所述储液槽的出口设置有第二阀门，所述输液管道靠近所述储液槽的一端与所述第二阀门连接。6.根据权利要求4所述的掩模清洗系统，其特征在于，所述吹气管道为软管，所述法兰组件包括第一法兰、第二法兰和用于固定所述第一法兰和第二法兰的紧固螺栓，所述第一法兰设置于所述连接管的一端，所述第二法兰设置于所述吹气管道靠近所述连接管的一端。7.根据权利要求1所述的掩模清洗系统，其特征在于，所述第一清洗设备还包括回收管道，所述回收管道的一端安装于所述清洗室且用于收集所述清洗溶液，所述回收管道的另一端与所述储液槽连接，所述回收管道设置有过滤器，所述过滤器对所述回收管道内的所述清洗溶液进行过滤处理。8.根据权利要求7所述的掩模清洗系统，其特征在于，所述回收管道上设置有所述连接管，所述连接管用于与所述第二清洗设备连接。9.根据权利要求1所述的掩模清洗系统，其特征在于，所述第一清洗设备为多个，多个所述第一清洗设备与多个所述清洗室一一对应设置。10.根据权利要求9所述的掩模清洗系统，其特征在于，所述第二清洗设备包括多个超声波发生器，每个所述超声波发生器与相对应的所述第一清洗设备上的输液管道连接，所有的所述超声波发生器与所述储气罐通过输气管道连接。

技术总结
本实用新型涉及一种掩模清洗系统，包括第一清洗设备和第二清洗设备，第一清洗设备包括用于存放清洗溶液的储液槽、输液管道和清洗组件，输液管道的两端分别与储液槽和清洗组件连接，清洗组件安装于清洗室内，且清洗组件用于向掩模喷洒清洗溶液，第二清洗设备包括依次连接的空气压缩机、储气罐和超声波发生器，超声波发生器与输液管道通过连接管连接，且连接管与输液管道之间通过第一阀门选择性连通。通过设置第二清洗设备，以使第二清洗设备对输气管道以及清洗组件进行超声波清洗，促使输气管道和清洗组件内附着在管壁上的异物脱落，具有清洗效率高和清洗质量好的特点。洗效率高和清洗质量好的特点。洗效率高和清洗质量好的特点。


技术研发人员：闵丙琦
受保护的技术使用者：乐金显示光电科技（中国）有限公司
技术研发日：2020.12.23
技术公布日：2021/10/29