掩模清洗系统的制作方法

1.本实用新型涉及显示器制造技术领域，尤其涉及一种掩模清洗系统。


背景技术：

2.在显示器制造工艺中，需要在玻璃板上形成有机薄膜以实现其特有的光学特性。在玻璃板镀膜过程中，对不需要形成薄膜结构的位置采用掩模进行遮挡，同时，掩模对玻璃板起到安装固定的作用。在镀膜时，掩模上也会因有机材料的沉积而形成薄膜结构，在重复使用前，需要对掩模进行清洗，以去除掩模上的薄膜结构。在清洗掩模时，主要采用的清洗设备包括用于储存有机溶液的储液罐和用于清洗掩模的清洗喷头，储液罐通过输液管道与清洗喷头连接，清洗喷头安装在清洗室内，清洗喷头朝向掩模并向掩模的表面喷洒有机溶液，实现对掩模的清洗。由于有机溶液为循环使用，因此有机溶液中容易混入清洗后的杂质物或者有机溶液中自身存在的杂质物，杂质物沉积在输液管道内以及输液管道内因细菌滋生形成异物均对清洗设备的自身清洁度造成较大影响。现有对清洗设备自身的清洗方法主要是利用水或者清洗溶液进行冲洗，该方式不易对输液管道内壁吸附牢固的异物进行清理，以及管道上的阀门接头缝隙中的异物也不易清洗，清洗效率和清洗质量均无法得到保证。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于提出一种掩模清洗系统，其清洗效率高和清洗质量好。
4.为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：
5.提供的一种掩模清洗系统，包括第一清洗设备和第二清洗设备，所述第一清洗设备包括用于存放清洗溶液的储液槽、输液管道和清洗组件，所述输液管道的两端分别与所述储液槽和所述清洗组件连接，所述清洗组件安装于清洗室内，且所述清洗组件用于向掩模喷洒所述清洗溶液，所述第二清洗设备包括依次连接的空气压缩机、储气罐和超声波发生器，所述超声波发生器与所述输液管道通过连接管连接，且所述连接管与所述输液管道之间通过第一阀门选择性连通。
6.作为掩模清洗系统的一种优选方案，所述连接管为多个，多个所述连接管沿所述输液管道的长度方向间隔设置，所述超声波发生器与所述连接管可拆卸连接。
7.作为掩模清洗系统的一种优选方案，所述连接管与所述超声波发生器之间通过法兰组件连接。
8.作为掩模清洗系统的一种优选方案，所述第二清洗设备还包括吹气管道，所述吹气管道的一端与所述储气罐连接，所述吹气管道的另一端用于与所述连接管选择性连接。
9.作为掩模清洗系统的一种优选方案，所述储液槽的出口设置有第二阀门，所述输液管道靠近所述储液槽的一端与所述第二阀门连接。
10.作为掩模清洗系统的一种优选方案，所述吹气管道为软管，所述法兰组件包括第一法兰、第二法兰和用于固定所述第一法兰和第二法兰的紧固螺栓，所述第一法兰设置于
所述连接管的一端，所述第二法兰设置于所述吹气管道靠近所述连接管的一端。
11.作为掩模清洗系统的一种优选方案，所述第一清洗设备还包括回收管道，所述回收管道的一端安装于所述清洗室且用于收集所述清洗溶液，所述回收管道的另一端与所述储液槽连接，所述回收管道设置有过滤器，所述过滤器对所述回收管道内的所述清洗溶液进行过滤处理。
12.作为掩模清洗系统的一种优选方案，所述回收管道上设置有所述连接管，所述连接管用于与所述第二清洗设备连接。
13.作为掩模清洗系统的一种优选方案，所述第一清洗设备为多个，多个所述第一清洗设备与多个所述清洗室一一对应设置。
14.作为掩模清洗系统的一种优选方案，所述第二清洗设备包括多个超声波发生器，每个所述超声波发生器与相对应的所述第一清洗设备上的输液管道连接，所有的所述超声波发生器与所述储气罐通过输气管道连接。
15.本实用新型相比于现有技术的有益效果：
16.本实用新型的掩模清洗系统，通过设置第二清洗设备，第二清洗设备具有依次连接的空气压缩机、储气罐和超声波发生器，超声波发生器与输液管道连接，以使第二清洗设备对输气管道以及与输气管道连接的清洗组件进行超声波清洗，促使输气管道和清洗组件内附着在管壁上的异物脱落，提高清洗效率。该结构可实现对第一清洗设备的清洗作业，有利于避免第一清洗设备自身的异物对掩模清洗作业造成影响，进而保证该掩模清洗系统对掩模的清洗质量。
附图说明
17.图1为实施例的掩模清洗系统的示意图。
18.图中：
19.1、第一清洗设备；11、储液槽；12、输液管道；13、清洗组件；14、连接管；15、第二阀门；16、回收管道；17、过滤器；2、第二清洗设备；21、空气压缩机；22、储气罐；23、超声波发生器；24、输气管道；3、清洗室；4、法兰组件。
具体实施方式
20.参考下面结合附图详细描述的实施例，本实用新型的优点和特征以及实现它们的方法将变得显而易见。然而，本实用新型不限于以下公开的实施例，而是可以以各种不同的形式来实现，提供本实施例仅仅是为了完成本实用新型的公开并且使本领域技术人员充分地了解本实用新型的范围，并且本实用新型仅由权利要求的范围限定。相同的附图标记在整个说明书中表示相同的构成要素。
21.以下，参照附图来详细描述本实用新型。
22.实施例一
23.参照图1所示，提供一种掩模清洗系统，包括第一清洗设备1和第二清洗设备2，其中，第一清洗设备1用于对清洗室3内的掩模进行清洗，第二清洗设备2用于对第一清洗设备1进行清洗，避免第一清洗设备1内残留异物，以提高第一清洗设备1的自身清洁度，进而保证对掩模的清洗质量。为达此目的，第一清洗设备1包括储液槽11、输液管道12和清洗组件
13，储液槽11用于存放清洗溶液，清洗溶液优选为有机溶液，该有机溶液对掩模上的薄膜具有良好的清洗效果。当然，有机溶液的具体成分可根据被清洗的薄膜组分作相应选择。输液管道12用于连通储液槽11和清洗组件13，输液管道12上还设置有水泵，水泵用于将储液槽11内的清洗溶液抽取至清洗组件13。清洗组件13安装于清洗室3内，清洗组件13包括多个间隔设置的喷头，清洗组件13内的清洗溶液通过喷头喷洒至掩模的表面，实现对掩模的清洗。第二清洗设备2包括依次连接的空气压缩机21、储气罐22和超声波发生器23，输液管道12上设置有连接管14，超声波发生器23与输液管道12通过连接管14连接，连接管14与输液管道12之间设置有第一阀门，第一阀门用于控制连接管14与输液管道12之间的通断，以使连接管14与输液管道12之间通过第一阀门选择性连通。空气压缩机21用于将压缩后的空气注入到储气罐22内，储气罐22与超声波发生器23通过输气管道24连通。储气罐22内的气体形成气流，气流通过超声波发生器23后，以气体脉冲的形式输入输液管道12，并使输液管道12内的清洗溶液在超声波的机械振动作用下产生微气泡，进而超声波空化所产生的巨大压力对输液管道12的内壁具有良好的清洗效果，以实现对输液管道12以及与输液管道12连接的清洗组件13的清洗处理。清洗掩模时，关闭第一阀门，使清洗溶液通过输液管道12输送至清洗组件13，并由清洗组件13向掩模喷洒清洗溶液；清洗第一清洗设备1时，打开第一阀门，使连接管14与输液管道12连通，压缩空气通过超声波发生器23进入输液管道12，压缩空气沿输液管道12流至清洗组件13，以实现对第一清洗设备1的清洗。
24.具体地，连接管14为多个，多个连接管14沿输液管道12的长度方向间隔设置，超声波发生器23与连接管14可拆卸连接。可以理解的是，本实施例的第一清洗设备1用于制造显示屏的自动化车间使用，储液槽11与清洗室3之间的距离较远，以致于输液管道12的长度较长。为避免随着清洗距离的变长，超声波的能量不断衰减而降低清洗效果，沿输液管道12的长度方向设置多个连接管14，第二清洗设备2可通过各个连接管14对输液管道12进行超声波清洗，以保证清洗质量。当然，相邻两个连接管14之间的间距可根据超声波发生器23的输出功率以及实际清洗效果作适应性选择。作为优选方案，由于第二清洗设备2输入的气体在清洗溶液的液流作用下只能朝向清洗组件13的方向运动，为尽量使整个输液管道12实现清洗处理，输液管道12靠近储液槽11的一侧设置有连接管14，以进一步保证对输液管道12的清洗质量。
25.具体地，连接管14与超声波发生器23之间通过法兰组件4连接。可以理解的是，通过法兰组件4对连接管14与超声波发生器23进行连接，以便于拆装，使超声波发生器23相继与多个连接管14连接使用，减少超声波发生器23的装备数量，节约成本。本实施例中，法兰组件4包括第一法兰、第二法兰和用于固定第一法兰和第二法兰的紧固螺栓，第一法兰和第二法兰上均对应设置有多个用于穿设紧固螺栓的连接孔，第一法兰设置于连接管14背离输液管道12的一端，第二法兰设置于超声波发生器23靠近输液管道12的一端，第一法兰和第二法兰相互抵接并通过紧固螺栓连接固定。同时，第一法兰和第二法兰之间还设置有密封垫圈，提高两者之间的连接密封性。
26.具体地，第一清洗设备1还包括回收管道16，回收管道16的一端安装于清洗室3且用于收集清洗溶液，回收管道16的另一端与储液槽11连接，回收管道16设置有过滤器17，过滤器17对回收管道16内的清洗溶液进行过滤处理。可以理解的是，为避免清洗溶液的浪费，通过回收管道16对清洗溶液进行回收以便重复使用。本实施例中，清洗室3内设置有积液
盘，积液盘与回收管道16靠近清洗室3的一端连通，积液盘位于清洗组件13的下方，并对清洗组件13喷洒的清洗溶液进行收集。回收管道16将积液盘内的清洗溶液输入至过滤器17，过滤器17过滤掉清洗溶液中的固体异物，再通过回收管道16将过滤后的清洗溶液输入至储液槽11，实现清洗溶液的回收。为实现对回收管道16的清洗，在回收管道16上设置有连接管14，连接管14用于与第二清洗设备2选择性连接。连接管14上设置有第一法兰，当需要对回收管道16清洗时，将超声波发生器23与连接管14通过法兰组件4连接，进而使第二清洗设备2对回收管道16进行清洗。
27.实施例二
28.参照图1所示，第二清洗设备2还包括吹气管道(图中未示出)，吹气管道的一端与储气罐22连接，吹气管道的另一端与连接管14选择性连接。本实施例中，吹气管道用于输送压缩空气。储液槽11的出口设置有第二阀门15，输液管道12靠近储液槽11的一端与第二阀门15连接，第二阀门15用于控制输液管道12的通断。清洗第一清洗设备1时，首先打开第二阀门15，以及将超声波发生器23与连接管14连接，实现第一清洗设备1对输液管道12以及清洗组件13的超声波清洗。由于超声波清洗时主要促使异物与输液管道12的内部分离，异物会随着清洗溶液流出输液管道12。为提升清洗效果，在超声波清洗后拆除超声波发生器23，将吹气管道与连接管14连接，并关闭第二阀门15。通过吹气管道向输液管道12内注入压缩空气，以对输液管道12的内部进行干燥，以及将脱落的异物吹出输液管道12。该结构可避免异物在输液管道12内残留，进一步提升清洗效果。作为优选方案，为便于吹气管道的连接，吹气管道为软管，以方便收纳和展开使用，吹气管道上设置有第二法兰，吹气管道与连接管14通过法兰组件4连接。
29.实施例三
30.参照图1所示，第一清洗设备1为多个，第一清洗设备1的数量与清洗室3的数量相等，且多个第一清洗设备1与多个清洗室3一一对应设置。本实施例中，清洗室3有多个，每个清洗室3对应设置有一个第一清洗设备1，每个第一清洗设备1独立地对相应的清洗室3内的掩模进行清洗作业。第二清洗设备2包括多个超声波发生器23，超声波发生器23的数量和第一清洗设备1的数量相等，每个超声波发生器23与相对应的第一清洗设备1上的输液管道12通过连接管14连接，所有的超声波发生器23与储气罐22通过输气管道24连接。在每个第一清洗设备1上均设置有超声波发生器23，可减少超声波发生器23的拆装，提高作业效率。将多个超声波发生器23通过输气管道24连接在一个储气罐22上，有利于减少空气压缩机21以及储气罐22的设置数量，简化结构和节省成本。
31.本实施例的技术效果为：通过设置第二清洗设备2，第二清洗设备2具有依次连接的空气压缩机21、储气罐22和超声波发生器23，超声波发生器23与输液管道12连接，以使第二清洗设备2对输液管道12以及与输液管道12连接的清洗组件13进行超声波清洗，促使输液管道12和清洗组件13内附着在管壁上的异物脱落，提高清洗效率。该结构可实现对第一清洗设备1的清洗作业，有利于避免第一清洗设备1自身的异物对掩模清洗作业造成影响，进而保证该掩模清洗系统对掩模的清洗质量。
32.尽管上面已经参考附图描述了本实用新型的实施例，但是本实用新型不限于以上实施例，而是可以以各种形式制造，并且本领域技术人员将理解，在不改变本实用新型的技术精神或基本特征的情况下，可以以其他特定形式来实施本实用新型。因此，应该理解，上
述实施例在所有方面都是示例性的而不是限制性的。