一种蒸镀机电极的支撑装置及用途的制作方法

技术特征：
1.一种蒸镀机电极的支撑装置，其特征在于，所述的支撑装置包括至少一个支撑件，所述蒸镀机内壁周向设置有支撑件，用于将电极固定并支撑于蒸镀机上，所述支撑件的表面涂覆有镍铁氟龙层。2.根据权利要求1所述的支撑装置，其特征在于，所述的支撑件的数量为2～4个。3.根据权利要求1或2所述的支撑装置，其特征在于，所述的支撑件材质为铝合金。4.根据权利要求1
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3任一项所述的支撑装置，其特征在于，所述的支撑件包括竖向垫和横向垫，所述的竖向垫和横向垫呈十字相嵌结构；优选地，所述竖向垫的厚度为12～15mm；优选地，所述竖向垫的宽度为17～20mm；优选地，所述横向垫的厚度为12～15mm；优选地，所述横向垫的宽度为17～20mm。5.根据权利要求1
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4任一项所述的支撑装置，其特征在于，所述的支撑件十字相嵌结构每一端中部均设置有阶梯螺纹孔，所述阶梯螺纹孔配合螺母使用，用于将支撑件固定在蒸镀机上；优选地，所述每一个阶梯螺纹孔均包括由下至上依次堆叠设置的大孔和小孔；优选地，所述大孔的直径为9～12mm；优选地，所述大孔的高度为7～9mm；优选地，所述小孔的直径为5～7mm；优选地，所述小孔的高度为5～7mm。6.根据权利要求1
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5任一项所述的支撑装置，其特征在于，所述的竖向垫和横向垫的交叉处为圆弧形；优选地，所述竖向垫和横向垫边缘的倒角均为45
°
；优选地，所述的阶梯螺纹孔的圆心位于同一圆周上，所述圆周直径为34～38mm。7.根据权利要求1
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6任一项所述的支撑装置，其特征在于，所述的竖向垫和横向垫相嵌处沿厚度方向开设有螺杆套；优选地，所述的螺杆套中部设置有螺纹柱，所述的无尾钢套旋合安装于螺杆套和螺纹柱之间；优选地，所述螺杆套的外直径为18～20mm；优选地，所述螺杆套的高度为17～19mm。8.根据权利要求1
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7任一项所述的支撑装置，其特征在于，所述的竖向垫或横向垫的内部沿长度方向开设有贯穿的通槽；优选地，所述通槽的直径为3～5mm。9.根据权利要求1
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8任一项所述的支撑装置，其特征在于，所述支撑装置的质量为43～58g；优选地，所述支撑装置的表面粗糙度不高于ra1.6。10.一种权利要求1
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9任一项所述的支撑装置的用途，其特征在于，所述的支撑装置用于将电极固定并支撑于蒸镀机上。

技术总结
本发明提供了一种蒸镀机电极的支撑装置及用途，所述的支撑装置包括至少一个支撑件，所述蒸镀机内壁周向设置有支撑件，用于将电极固定并支撑于蒸镀机上，所述支撑件的表面涂覆有镍铁氟龙层。在本发明中，在支撑装置表面镀镍铁氟龙层，使铁氟龙微粒进入镍磷合金镀层，极大的改善镍磷镀层的化学性能，增加化学镍镀层的耐蚀性和耐酸碱特性，并且镀层的摩擦系数大幅降低，从而大幅改善金属材料的性能，使得零部件减少腐蚀、磨损，不易损坏。不易损坏。不易损坏。


技术研发人员：姚力军 潘杰 王学泽 赵丽 陈会兵 陈敏
受保护的技术使用者：广东江丰电子材料有限公司
技术研发日：2021.07.26
技术公布日：2021/10/29