一种蒸镀机电极的支撑装置及用途的制作方法

1.本发明属于蒸镀工艺技术领域，涉及电极的支撑装置，尤其涉及一种蒸镀机电极的支撑装置及用途。


背景技术：

2.有机发光二极管(organic light emitting diode，oled)面板蒸镀工艺，是将玻璃基板放入真空室内，加热膜料使膜料蒸发，气化为具有一定能量(0.1～0.3ev)的粒子(原子、分子或原子团)。气态粒子以基本无碰撞的直线运动飞速传送至玻璃基板，到达玻璃基板表面的粒子一部分被反射，另一部分吸附在玻璃基板上并发生表面扩散，沉积原子之间产生二维碰撞，形成簇团。粒子簇团不断地与扩散粒子相碰撞，或吸附单粒子，或放出单粒子。此过程反复进行，当聚集的粒子数超过某一临界值时就变为稳定的核，再继续吸附扩散粒子而逐步长大，最终通过相邻稳定核的接触、合并，在玻璃基板表面形成连续薄膜。
3.cn109002063a公开了一种角度自动调节的等离子体激励器支撑装置，包括：支撑柱，其竖直间隔设置，所述支撑柱高度能够调节；从动轮，其可旋转设置在所述支撑柱相对侧上部且所述从动轮相对设置；主动轮，其可旋转设置在所述从动轮正上方的支撑柱上且所述主动轮相对设置，所述主动轮与所述从动轮啮合传动；第一支撑杆，其两端固定连接相对设置的所述从动轮中心处；第二支撑杆，其两端偏心连接相对设置的所述从动轮，且所述第二支撑杆与所述第一支撑杆平行；动力机构，其固定设置在所述支撑柱顶端，且输出端与所述主动轮中心固定连接，用于驱动所述主动轮旋转。该发明还提供一种角度自动调节的等离子体激励器支撑装置的控制方法。
4.cn108506399b公开了一种基于介电弹性体的可调刚度支撑装置，包括：基座及与之相连的弹性悬臂梁和介电弹性体索带，其中：弹性悬臂梁与介电弹性体索带相连，弹性悬臂梁和介电弹性体索带的另一端分别与基座相连，检测仪器设置于弹性悬臂梁上，其中：介电弹性体索带由弹性体膜和柔性电极组成，该发明结构结构简单、响应快、控制方便、功耗低，可通过对介电弹性体索带施加电压控制结构的刚度和阻尼，从而实现较宽工作频带内的振动控制。
5.cn205398755u公开了一种用于电泳的电极装置。其包括电极管以及固定该电极管的固定架，所述电极管外周套设有夹紧环，所述夹紧环与电极管之间套设有第一绝缘套，所述电极管上部设置有电源接线柱，所述电源接线柱通过电源线与电极夹连接；所述固定架与夹紧环之间固定连接，所述固定架外周设置有用于将电极管支撑在油箱口处的支撑装置。该实用新型中通过将电极管与固定架固定连接，在固定架外周设置支撑装置，能够使电极管悬空被支撑在油箱口上方，同时固定架、支撑装置结构简单，体积小。
6.现有电极支撑垫，采用铝型材阳极氧化方式进行抗腐蚀处理，在高温环境下，电极和支撑垫之间摩擦后，零件容易磨损，磨损过程中产生的粉尘，会沉积在玻璃基板表面，导致玻璃基板被粉尘沾染，产生短路或异物不良，从而影响到液晶面板良率，因此，亟需开发设计一种蒸镀机电极的支撑装置。


技术实现要素：

7.针对现有技术存在的不足，本发明的目的在于提供一种蒸镀机电极的支撑装置及用途，在本发明中，在支撑装置表面镀镍铁氟龙层，使铁氟龙微粒进入镍磷合金镀层，极大的改善镍磷镀层的化学性能，增加化学镍镀层的耐蚀性和耐酸碱特性，并且镀层的摩擦系数大幅降低，从而大幅改善金属材料的性能，使得零部件减少腐蚀、磨损，不易损坏。
8.第一方面，本发明提供了一种蒸镀机电极的支撑装置，所述的支撑装置包括至少一个支撑件，所述蒸镀机内壁周向设置有支撑件，用于将电极固定并支撑于蒸镀机上，所述支撑件的表面涂覆有镍铁氟龙层。
9.在本发明中，在支撑装置表面镀镍铁氟龙层，使铁氟龙微粒进入镍磷合金镀层，极大的改善镍磷镀层的化学性能，增加化学镍镀层的耐蚀性和耐酸碱特性，并且镀层的摩擦系数大幅降低，从而大幅改善金属材料的性能，使得零部件减少腐蚀、磨损，不易损坏。
10.作为本发明一种优选的技术方案，所述的支撑件的数量为2～4个，例如可以是2个、3个、4个，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
11.作为本发明一种优选的技术方案，所述的支撑件材质为铝合金。
12.作为本发明一种优选的技术方案，所述的支撑件包括竖向垫和横向垫，所述的竖向垫和横向垫呈十字相嵌结构。
13.优选地，所述竖向垫的厚度为12～15mm，例如可以是12mm、12.2mm、12.4mm、12.6mm、12.8mm、13mm、13.2mm、13.4mm、13.6mm、13.8mm、14mm、14.2mm、14.4mm、14.6mm、14.8mm、15mm，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
14.优选地，所述竖向垫的宽度为17～20mm，例如可以是17mm、17.2mm、17.4mm、17.6mm、17.8mm、18mm、18.2mm、18.4mm、18.6mm、18.8mm、19mm、19.2mm、19.4mm、19.6mm、19.8mm、20mm，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
15.优选地，所述横向垫的厚度为12～15mm，例如可以是12mm、12.2mm、12.4mm、12.6mm、12.8mm、13mm、13.2mm、13.4mm、13.6mm、13.8mm、14mm、14.2mm、14.4mm、14.6mm、14.8mm、15mm，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
16.优选地，所述横向垫的宽度为17～20mm，例如可以是17mm、17.2mm、17.4mm、17.6mm、17.8mm、18mm、18.2mm、18.4mm、18.6mm、18.8mm、19mm、19.2mm、19.4mm、19.6mm、19.8mm、20mm，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
17.作为本发明一种优选的技术方案，所述的支撑件十字相嵌结构每一端中部均设置有阶梯螺纹孔，所述阶梯螺纹孔配合螺母使用，用于将支撑件固定在蒸镀机上。
18.优选地，所述每一个阶梯螺纹孔均包括由下至上依次堆叠设置的大孔和小孔。
19.优选地，所述大孔的直径为9～12mm，例如可以是9mm、9.2mm、9.4mm、9.6mm、9.8mm、10mm、10.2mm、10.4mm、10.6mm、10.8mm、11mm、11.2mm、11.4mm、11.6mm、11.8mm、12mm，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
20.优选地，所述大孔的高度为7～9mm，例如可以是7mm、7.2mm、7.4mm、7.6mm、7.8mm、8mm、8.2mm、8.4mm、8.6mm、8.8mm、9mm，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
21.优选地，所述小孔的直径为5～7mm，例如可以是5mm、5.2mm、5.4mm、5.6mm、5.8mm、6mm、6.2mm、6.4mm、6.6mm、6.8mm、7mm，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列
举的数值同样适用。
22.优选地，所述小孔的高度为5～7mm，例如可以是5mm、5.2mm、5.4mm、5.6mm、5.8mm、6mm、6.2mm、6.4mm、6.6mm、6.8mm、7mm，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
23.作为本发明一种优选的技术方案，所述的竖向垫和横向垫的交叉处为圆弧形。
24.优选地，所述竖向垫和横向垫边缘的倒角均为45
°
。
25.优选地，所述的阶梯螺纹孔的圆心位于同一圆周上，所述圆周直径为34～38mm，例如可以是34mm、34.2mm、34.4mm、34.6mm、34.8mm、35mm、35.2mm、36.4mm、36.6mm、36.8mm、37mm、37.2mm、37.4mm、37.6mm、37.8mm、38mm，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
26.作为本发明一种优选的技术方案，所述的竖向垫和横向垫相嵌处沿厚度方向开设有螺杆套。
27.优选地，所述的螺杆套中部设置有螺纹柱，所述的无尾钢套旋合安装于螺杆套和螺纹柱之间。
28.优选地，所述螺杆套的外直径为18～20mm，例如可以是18mm、18.2mm、18.4mm、18.6mm、18.8mm、19mm、19.2mm、19.4mm、19.6mm、19.8mm、20mm，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
29.优选地，所述螺杆套的高度为17～19mm，例如可以是17mm、17.2mm、17.4mm、17.6mm、17.8mm、18mm、18.2mm、18.4mm、18.6mm、18.8mm、19mm，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
30.作为本发明一种优选的技术方案，所述的竖向垫或横向垫的内部沿长度方向开设有贯穿的通槽。
31.优选地，所述通槽的直径为3～5mm，例如可以是3mm、3.2mm、3.4mm、3.6mm、3.8mm、4mm、4.2mm、4.4mm、4.6mm、4.8mm、5mm，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
32.作为本发明一种优选的技术方案，所述支撑装置的质量为43～58g，例如可以是43g、44g、45g、46g、47g、48g、49g、50g、51g、52g、53g、54g、55g、56g、57g、58g，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
33.优选地，所述支撑装置的表面粗糙度不高于ra1.6，例如可以是ra1.6、ra1.5、ra1.4、ra1.3、ra1.2、ra1.1、ra1.0、ra0.9、ra0.8，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
34.第二方面，本发明提供了一种蒸镀机电极的支撑装置的用途，用于第一方面所述的支撑装置，所述的用途包括：所述的支撑装置用于将电极固定并支撑于蒸镀机上。
35.与现有技术相比，本发明的有益效果为：
36.在本发明中，在支撑装置表面镀镍铁氟龙层，使铁氟龙微粒进入镍磷合金镀层，极大的改善镍磷镀层的化学性能，增加化学镍镀层的耐蚀性和耐酸碱特性，并且镀层的摩擦系数大幅降低，从而大幅改善金属材料的性能，使得零部件减少腐蚀、磨损，不易损坏。
附图说明
37.图1为本发明一个具体实施方式提供的蒸镀机电极的支撑装置的结构示意图；
38.图2为本发明一个具体实施方式提供的蒸镀机电极的支撑装置的侧视图；
39.其中，1
‑
支撑件；2
‑
阶梯螺纹孔；3
‑
螺杆套；4
‑
螺纹柱；5
‑
通槽。
具体实施方式
40.需要理解的是，在本发明的描述中，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
41.需要说明的是，在本发明的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
42.本领域技术人员理应了解的是，本发明中必然包括用于实现工艺完整的必要管线、常规阀门和通用泵设备，但以上内容不属于本发明的主要发明点，本领域技术人员可以基于工艺流程和设备结构选型可以自行增设布局，本发明对此不做特殊要求和具体限定。
43.下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。
44.在一个具体实施方式中，本发明提供了一种蒸镀机电极的支撑装置，所述的支撑装置如图1和图2所示，包括至少一个支撑件1，蒸镀机内壁周向设置有支撑件1，用于将电极固定并支撑于蒸镀机上，支撑件1的表面涂覆有镍铁氟龙层。
45.在本发明中，在支撑装置表面镀镍铁氟龙层，使铁氟龙微粒进入镍磷合金镀层，极大的改善镍磷镀层的化学性能，增加化学镍镀层的耐蚀性和耐酸碱特性，并且镀层的摩擦系数大幅降低，从而大幅改善金属材料的性能，使得零部件减少腐蚀、磨损，不易损坏。
46.支撑件1的数量为2～4个，例如可以是2个、3个、4个，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
47.支撑件1材质为铝合金，进一步地，支撑件1包括竖向垫和横向垫，具体地，竖向垫和横向垫呈十字相嵌结构。
48.竖向垫的厚度为12～15mm，例如可以是12mm、12.2mm、12.4mm、12.6mm、12.8mm、13mm、13.2mm、13.4mm、13.6mm、13.8mm、14mm、14.2mm、14.4mm、14.6mm、14.8mm、15mm，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
49.竖向垫的宽度为17～20mm，例如可以是17mm、17.2mm、17.4mm、17.6mm、17.8mm、18mm、18.2mm、18.4mm、18.6mm、18.8mm、19mm、19.2mm、19.4mm、19.6mm、19.8mm、20mm，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
50.横向垫的厚度为12～15mm，例如可以是12mm、12.2mm、12.4mm、12.6mm、12.8mm、13mm、13.2mm、13.4mm、13.6mm、13.8mm、14mm、14.2mm、14.4mm、14.6mm、14.8mm、15mm，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
51.横向垫的宽度为17～20mm，例如可以是17mm、17.2mm、17.4mm、17.6mm、17.8mm、18mm、18.2mm、18.4mm、18.6mm、18.8mm、19mm、19.2mm、19.4mm、19.6mm、19.8mm、20mm，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
52.支撑件1十字相嵌结构每一端中部均设置有阶梯螺纹孔2，具体地，阶梯螺纹孔2配合螺母使用，用于将支撑件1固定在蒸镀机上。每一个阶梯螺纹孔2均包括由下至上依次堆叠设置的大孔和小孔。
53.大孔的直径为9～12mm，例如可以是9mm、9.2mm、9.4mm、9.6mm、9.8mm、10mm、10.2mm、10.4mm、10.6mm、10.8mm、11mm、11.2mm、11.4mm、11.6mm、11.8mm、12mm，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
54.大孔的高度为7～9mm，例如可以是7mm、7.2mm、7.4mm、7.6mm、7.8mm、8mm、8.2mm、8.4mm、8.6mm、8.8mm、9mm，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
55.小孔的直径为5～7mm，例如可以是5mm、5.2mm、5.4mm、5.6mm、5.8mm、6mm、6.2mm、6.4mm、6.6mm、6.8mm、7mm，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
56.小孔的高度为5～7mm，例如可以是5mm、5.2mm、5.4mm、5.6mm、5.8mm、6mm、6.2mm、6.4mm、6.6mm、6.8mm、7mm，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
57.竖向垫和横向垫的交叉处为圆弧形，进一步地，竖向垫和横向垫边缘的倒角均为45
°
。阶梯螺纹孔2的圆心位于同一圆周上，圆周直径为34～38mm，例如可以是34mm、34.2mm、34.4mm、34.6mm、34.8mm、35mm、35.2mm、36.4mm、36.6mm、36.8mm、37mm、37.2mm、37.4mm、37.6mm、37.8mm、38mm，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
58.竖向垫和横向垫相嵌处沿厚度方向开设有螺杆套3，螺杆套3中部设置有螺纹柱4，具体地，无尾钢套旋合安装于螺杆套3和螺纹柱4之间。
59.螺杆套3的外直径为18～20mm，例如可以是18mm、18.2mm、18.4mm、18.6mm、18.8mm、19mm、19.2mm、19.4mm、19.6mm、19.8mm、20mm，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
60.螺杆套3的高度为17～19mm，例如可以是17mm、17.2mm、17.4mm、17.6mm、17.8mm、18mm、18.2mm、18.4mm、18.6mm、18.8mm、19mm，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
61.竖向垫或横向垫的内部沿长度方向开设有贯穿的通槽5，具体地，通槽5的直径为3～5mm，例如可以是3mm、3.2mm、3.4mm、3.6mm、3.8mm、4mm、4.2mm、4.4mm、4.6mm、4.8mm、5mm，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
62.支撑装置的质量为43～58g，例如可以是43g、44g、45g、46g、47g、48g、49g、50g、51g、52g、53g、54g、55g、56g、57g、58g，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列
举的数值同样适用。
63.支撑装置的表面粗糙度不高于ra1.6，例如可以是ra1.6、ra1.5、ra1.4、ra1.3、ra1.2、ra1.1、ra1.0、ra0.9、ra0.8，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
64.在另一个具体实施方式中，本发明提供了一种蒸镀机电极的支撑装置的用途，用于一个具体实施方式中所述的支撑装置，用途包括：支撑装置用于将电极固定并支撑于蒸镀机上。
65.申请人声明，以上所述仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，所属技术领域的技术人员应该明了，任何属于本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，均落在本发明的保护范围和公开范围之内。