一种微焦点X射线源封装结构的制作方法

一种微焦点x射线源封装结构
技术领域
1.本发明涉及微焦点x射线管技术领域，具体领域为一种微焦点x射线源封装结构。


背景技术：

2.微焦点x射线源具有体积小便于使用和安装的特点，因此微焦点x射线源被广泛运用于电子半导体技术。射线源的核心部件是射线管，射线管的封装是射线源制造加工的难点，根据x射线生成的原理其中最主要的问题是射线管的散热和绝缘性能。
3.现有的微焦点x射线源封装后x射线管的散热性能不佳，绝缘性能也较差，严重影响微焦点x射线源的使用寿命。


技术实现要素：

4.本发明的目的在于提供一种微焦点x射线源封装结构，以解决现有技术中微焦点x射线源封装后x射线管散热性能不佳，绝缘性能也较差的问题。
5.为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种微焦点x射线源封装结构，包括环氧模块、金属封板和胀缩气囊，所述环氧模块的一端开设有第一腔体和第二腔体，所述金属封板上开设有与第一腔体口和第二腔体口相适配的孔，所述金属封板密封压装在环氧模块的端部，x射线管穿过金属封板进入第一腔体内并与金属封板密封连接，胀缩气囊穿过金属封板进入第二腔体内并与金属封板密封连接，所述金属封板朝向环氧模块的一侧设有凹槽，第一腔体和第二腔体通过所述凹槽连通，所述第一腔体和第二腔体内满灌绝缘油。
6.优选的，所述金属封板的两端设有灌油通孔，绝缘油通过灌油通孔灌满第一腔体和第二腔体，两个腔体灌油后灌油通孔密封。
7.优选的，所述金属封板与x射线管之间设有密封圈。
8.优选的，所述金属封板与环氧模块通过耐油胶实现密封。
9.优选的，所述第一腔体和第二腔体由环氧树脂灌封成型。
10.与现有技术相比，本发明的有益效果是：x射线管充分浸没在绝缘油里，绝缘油和环氧树脂可以提供良好的绝缘环境，保证微焦点x射线管良好的绝缘性能；x射线管工作时，短时间内产生的热量将绝缘油膨胀，通过胀缩气囊缓冲掉，再通过环氧树脂将热量导出，维持x射线管长期稳定工作。
附图说明
11.图1为本发明的结构示意图。
12.图中：1.环氧模块、11.第一腔体、12.第二腔体，2.金属封板、21.灌油通孔、22.凹槽，3.胀缩气囊，4.x射线管，5.密封圈。
具体实施方式
13.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完
整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
14.请参阅图1，本发明提供一种技术方案：一种微焦点x射线源封装结构，包括环氧模块1、金属封板2和胀缩气囊3，环氧模块1的一端开设有第一腔体11和第二腔体12，金属封板2上开设有与第一腔体11口和第二腔体12口相适配的孔，金属封板2压装在环氧模块1的端部并通过耐油胶密封，x射线管4穿过金属封板2进入第一腔体11内并与金属封板2密封连接，胀缩气囊3穿过金属封板2进入第二腔体12内并与金属封板2密封连接，金属封板2朝向环氧模块1的一侧设有凹槽22，使第一腔体11和第二腔体12通过凹槽22连通，第一腔体11和第二腔体12内满灌绝缘油，从而在x射线管4完全浸没在绝缘油里，保证其良好的绝缘性能，x射线管4工作时，第一腔体11内短时间产生的热量可以通过第二腔体12内的胀缩气囊3缓冲掉，保证其良好的散热性能。
15.优选的，环氧模块1是通过环氧树脂制成，第一腔体11和第二腔体12由环氧树脂灌封成型，环氧树脂其本身就具有良好的绝缘性和导热性，进一步保证x射线管4的具有良好的绝缘性和散热性。
16.具体的，金属封板2的两端设有灌油通孔21，绝缘油通过灌油通孔21灌满第一腔体11和第二腔体12，需要注意的是，在注入绝缘油的过程中，要将胀缩气囊3压住防止回弹，注油完毕后将金属封板2两端的灌油通孔21密封，保证绝缘油不外漏。
17.优选的，金属封板2与x射线管4之间设有密封圈5，保证其良好的密封性能。
18.采用本申请提供的微焦点x射线管4封装结构将x射线管4封装完成后，绝缘油充满第一腔体11和第二腔体12，x射线管4充分浸没在绝缘油里，当x射线管4工作时，绝缘油和环氧树脂的绝缘性提供了良好的绝缘环境，短时间产生的热量将绝缘油膨胀，通过胀缩气囊3缓冲掉，再通过环氧树脂将热量导出，从而维持x射线管4的长期稳定工作。
19.尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。


技术特征：
1.一种微焦点x射线源封装结构，其特征在于：包括环氧模块(1)、金属封板(2)和胀缩气囊(3)，所述环氧模块(1)的一端开设有第一腔体(11)和第二腔体(12)，所述金属封板(2)上开设有与第一腔体(11)口和第二腔体(12)口相适配的孔，所述金属封板(2)密封压装在环氧模块(1)的端部，x射线管(4)穿过金属封板(2)进入第一腔体(11)内并与金属封板(2)密封连接，胀缩气囊(3)穿过金属封板(2)进入第二腔体(12)内并与金属封板(2)密封连接，所述金属封板(2)朝向环氧模块(1)的一侧设有凹槽(22)，第一腔体(11)和第二腔体(12)通过所述凹槽(22)连通，所述第一腔体(11)和第二腔体(12)内满灌绝缘油。2.根据权利要求1所述的一种微焦点x射线源封装结构，其特征在于：所述金属封板(2)的两端设有灌油通孔(21)，绝缘油通过灌油通孔(21)灌满第一腔体(11)和第二腔体(12)，两个腔体灌油后灌油通孔(21)密封。3.根据权利要求1所述的一种微焦点x射线源封装结构，其特征在于：所述金属封板(2)与x射线管(4)之间设有密封圈(5)。4.根据权利要求1所述的一种微焦点x射线源封装结构，其特征在于：所述金属封板(2)与环氧模块(1)通过耐油胶实现密封。5.根据权利要求1所述的一种微焦点x射线源封装结构，其特征在于：所述第一腔体(11)和第二腔体(12)由环氧树脂灌封成型。

技术总结
本发明涉及X射线管技术领域，尤其是一种微焦点X射线源封装结构，包括环氧模块、金属封板和胀缩气囊，环氧模块的一端开设有第一腔体和第二腔体，金属封板上开设有与第一腔体口和第二腔体口相适配的孔，金属封板密封压装在环氧模块的端部，X射线管穿过金属封板进入第一腔体内并与金属封板密封连接，胀缩气囊穿过金属封板进入第二腔体内并与金属封板密封连接，金属封板朝向环氧模块的一侧设有凹槽，第一腔体和第二腔体通过凹槽连通，第一腔体和第二腔体内满灌绝缘油，本发明可以解决现有技术中微焦点X射线源封装后X射线管散热性能不佳，绝缘性能也较差的问题。性能也较差的问题。性能也较差的问题。


技术研发人员：张伟 刘骏 王刘成 仇小军
受保护的技术使用者：无锡日联科技股份有限公司
技术研发日：2021.06.25
技术公布日：2021/10/23