一种用于精密陶瓷薄板平面度加工的装置的制作方法

技术特征：
1.一种用于精密陶瓷薄板平面度加工的装置，包括基台（1），其特征是，所述基台（1）设有真空吸盘、气管（4）和气泵（5），所述真空吸盘内设有气槽，所述真空吸盘上设有连通气槽的微孔陶瓷部（3），所述微孔陶瓷部上表面与真空吸盘上表面平齐，所述气管（4）两端分别连接气槽和气泵（5）。2.根据权利要求1所述的一种用于精密陶瓷薄板平面度加工的装置，其特征是，所述真空吸盘包括分体设置的吸盘基座（2）和微孔陶瓷部（3），所述吸盘基座（2）上方嵌入微孔陶瓷部（3），所述吸盘基座（2）与微孔陶瓷部（3）粘接，所述吸盘基座（2）和微孔陶瓷部（3）之间形成气槽，所述吸盘基座（2）和微孔陶瓷部（3）的上表面平齐。3.根据权利要求2所述的一种用于精密陶瓷薄板平面度加工的装置，其特征是，所述微孔陶瓷部包括中间的微孔陶瓷饼（31）和同心设置在微孔陶瓷饼（31）外侧的微孔陶瓷环，所述微孔陶瓷饼（31）和微孔陶瓷环间隔设置且均嵌入粘接在吸盘基座（2）上，所述微孔陶瓷饼（31）和微孔陶瓷环分别与吸盘基座（2）之间形成独立的气槽，每个气槽均通过气管（4）与气泵（5）连接。4.根据权利要求2所述的一种用于精密陶瓷薄板平面度加工的装置，其特征是，所述吸盘基座（2）上设有卡槽，所述卡槽槽底设有下凹的气槽，所述气槽宽度小于卡槽宽度，所述微孔陶瓷部（3）嵌入在卡槽内，所述微孔陶瓷部（3）底面与气槽合围形成连通气管（4）的腔体。5.根据权利要求2或3或4所述的一种用于精密陶瓷薄板平面度加工的装置，其特征是，所述基台（1）为磁吸件，所述吸盘基座（2）为不锈钢构件。6.根据权利要求1或2或3或4所述的一种用于精密陶瓷薄板平面度加工的装置，其特征是，所述气管（4）中设有吸气单向阀。7.根据权利要求1或2或3或4所述的一种用于精密陶瓷薄板平面度加工的装置，其特征是，所述微孔陶瓷部（3）的孔径为50μm，气孔率为40%。

技术总结
一种用于精密陶瓷薄板平面度加工的装置，包括基台，所述基台设有真空吸盘、气管和气泵，所述真空吸盘内设有气槽，所述真空吸盘上设有连通气槽的微孔陶瓷部，所述微孔陶瓷部上表面与真空吸盘上表面平齐，所述气管两端分别连接气槽和气泵。本实用新型具有如下有益效果：（1）通过设置微孔陶瓷部和气槽对产品均匀吸附固定，保证产品的平稳固定及平面度；（2）微孔陶瓷部包括多个饼和环，扩大适用产品范围；（3）结构简单、方便实用；（4）产品制作过程操作简单，便捷高效。捷高效。捷高效。


技术研发人员：王轶军 姚相民 马玉琦 李奇 蔡德奇 周斌
受保护的技术使用者：杭州大和江东新材料科技有限公司
技术研发日：2020.11.27
技术公布日：2021/10/29