一种用于精密陶瓷薄板平面度加工的装置的制作方法

1.本实用新型涉及陶瓷加工领域，尤其涉及一种用于精密陶瓷薄板平面度加工的装置。


背景技术：

2.氧化铝陶瓷具有高强度、高耐磨、高绝缘、耐腐蚀的性能特点，广泛应用于半导体、led、医疗、新能源及航空航天等领域。在氧化铝陶瓷的制造过程中，根据产品使用需求，需要对精密氧化铝陶瓷薄板平面度进行加工处理。对于规则平面类产品的平面度，选用平面磨床加工效率较快，而且精度较高，平磨常规的装夹是通过挡块约束、黏蜡加工等方法，用上述方法装夹，加工过程中产品与平台之间受力不均匀，容易导致产品变形，尤其是对直径较大、厚度较小的氧化铝薄板，其平面度难以达到要求。
3.例如一种在中国专利文献上公开的“一种用于精密陶瓷产品加工的装置”，其公开号cn207788646u，用于精密陶瓷产品的外径、外径段差和圆饼类中间凹部台级的磨削，装置包括机架、置于机架上的回转台、驱动回转台旋转的电机和设于回转台表面的治具，机架固置于平面磨床工作平台上，治具通过若干压板固置于回转台表面且与回转台同心，精密陶瓷产品固置于治具表面且与治具同心。其不足之处是，使用该装置磨削产品时，产品放置在治具中央并通过粘蜡粘结在治具表面，对于直径较大，厚度较小的氧化铝薄板，这种固定方式使得产品与治具之间受力不均，易导致产品变形，降低产品性能。


技术实现要素：

4.本实用新型是为了克服现有技术在固定直径较大，厚度较小的待磨削的氧化铝薄板时容易导致产品变形问题，提供一种用于精密陶瓷薄板平面度加工的装置，氧化铝产品受力均匀，保证产品高平面度。
5.为了实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：
6.一种用于精密陶瓷薄板平面度加工的装置，包括基台，所述基台设有真空吸盘、气管和气泵，所述真空吸盘内设有气槽，所述真空吸盘上设有连通气槽的微孔陶瓷部，所述微孔陶瓷部上表面与真空吸盘上表面平齐，所述气管两端分别连接气槽和气泵。
7.本实用新型的特点在于设置了具有微孔陶瓷部的真空吸盘，将产品放置在真空吸盘上并覆盖微孔陶瓷部的上表面，如此在产品下方的微孔陶瓷部中的气孔和气槽中形成密闭的空腔，通过气泵以及气管从该空腔中抽真空将产品吸附在微孔陶瓷部上，由于微孔陶瓷部的微孔分布均匀，产品底部受力均匀，产品不易变形移位；微孔陶瓷部上表面与真空吸盘上表面平齐一方面保证产品放置后的密封性，确保吸附力，另一方面保证产品的平稳的放置，方便后续对产品进行平磨。
8.作为优选，所述真空吸盘包括分体设置的吸盘基座和微孔陶瓷部，所述吸盘基座上方嵌入微孔陶瓷部，所述吸盘基座与微孔陶瓷部粘接，所述吸盘基座和微孔陶瓷部之间形成气槽，所述吸盘基座和微孔陶瓷部的上表面平齐。
9.为了保证抽真空效果，作为基座的吸盘基座应由致密材料制成，因此吸盘基座和微孔陶瓷部二者材料不同，优选为分别加工后再进行粘接组合，微孔陶瓷部形状和尺寸可根据待加工的氧化铝陶瓷形状尺寸确定。
10.作为优选，所述微孔陶瓷部包括中间的微孔陶瓷饼和同心设置在微孔陶瓷饼外侧的微孔陶瓷环，所述微孔陶瓷饼和微孔陶瓷环间隔设置且均嵌入粘接在吸盘基座上，所述微孔陶瓷饼和微孔陶瓷环分别与吸盘基座之间形成独立的气槽，每个气槽均通过气管与气泵连接。
11.微孔陶瓷部可设置成多个同心设置的饼和环，每个微孔陶瓷饼或环底部对应设置一个气槽，每个气槽对应连通一个气管，用于适配不同尺寸的氧化铝产品。例如尺寸较小的产品可以放置并覆盖在最中心的微孔陶瓷饼上，并对最中心的气槽进行抽气；尺寸较大产品可以放置并覆盖微孔陶瓷饼和外围的微孔陶瓷环上，并对饼和环对应的气槽均进行抽气，微孔陶瓷环可根据情况设置多个，以扩大适用范围。
12.作为优选，所述吸盘基座上设有卡槽，所述卡槽槽底设有下凹的气槽，所述气槽宽度小于卡槽宽度，所述微孔陶瓷部嵌入在卡槽内，所述微孔陶瓷部底面与气槽合围形成连通气管的腔体。
13.卡槽底部设置台阶面，方便微孔陶瓷部的放置，并通过台阶面与微孔陶瓷部粘接，并在微孔陶瓷部下方形成气槽，气管出口可设置在气槽侧壁或槽底。
14.作为优选，所述基台为磁吸件，所述吸盘基座为不锈钢构件。
15.吸盘基座通过电磁吸力直接吸合并紧固在基台上，连接稳固紧密，吸盘基座强度高。
16.作为优选，所述气管中设有吸气单向阀。
17.气管上装有单向阀，可控制气管的吸气开关，可对不需要用到的气槽内吸气关闭，使气槽内不会漏气。
18.作为优选，所述微孔陶瓷部的孔径为50μm，气孔率为40%。
19.保证吸附力足够且均匀。
20.因此，本实用新型具有如下有益效果：（1）通过设置微孔陶瓷部和气槽对产品均匀吸附固定，保证产品的平稳固定及平面度；（2）微孔陶瓷部包括多个饼和环，扩大适用产品范围；（3）结构简单、方便实用；（4）产品制作过程操作简单，便捷高效。
附图说明
21.图1是本实用新型的一种结构示意图。
22.图2是本实用新型真空吸盘的一种结构示意图。
23.图中：1、基台，2、吸盘基座，21、第一卡槽，211、第一气管出口，212、第一气管入口，22、第二卡槽，221、第二气管出口，222、第二气管入口，23、第三卡槽，231、第三气管出口，232、第三气管入口，24、第一台阶，25、第二台阶，3、微孔陶瓷部，31、微孔陶瓷饼，32、第一微孔陶瓷环，33、第二微孔陶瓷环，4、气管，41、第一气管，42、第二气管，43、第三气管，5、气泵。
具体实施方式
24.下面结合附图与具体实施方式对本实用新型做进一步的描述。
25.如图1所示的实施例中，一种用于精密陶瓷薄板平面度加工的装置，包括基台1、不锈钢制成的吸盘基座2、微孔陶瓷部3、气管4和气泵5。基台1用来支撑和组装各个部件，可以被机床带动在x方向来回运动，从而装夹在上面的产品被砂轮磨削，带有吸磁功能。吸盘基座2可通过平磨机床基台1的吸磁功能固定在平台上，吸盘基座2设有同心的三个卡槽，由内而外分别为圆形的第一卡槽21，环形的第二卡槽22和第三卡槽23，第一卡槽21侧壁底部设有第一台阶24，第一卡槽21中设有第二台阶25，第一台阶24和第二台阶25的高度一致，第一卡槽21底部设有通往吸盘基座2外的气路，气路的两个出口第一气管出口211和第一气管入口212分别设置在第一卡槽21底面和吸盘基座2外侧壁；第二卡槽22和第三卡槽23侧壁底部均设有环形的第一台阶24，第二卡槽和第三卡槽底部均设有通往吸盘基座2外的气路，第二气管出口221和第二气管入口222分别设置在第二卡槽22底面和吸盘基座2外侧壁，第三气管出口231和第三气管入口232分别设置在第三卡槽23底面和吸盘基座2外侧壁。
26.微孔陶瓷部3包括圆形的微孔陶瓷饼31、第一微孔陶瓷环32和第二微孔陶瓷环33.第一卡槽21中嵌入尺寸适配的微孔陶瓷饼31，微孔陶瓷饼31底部与第一台阶24和第二台阶25上表面粘合，微孔陶瓷饼31底部与第一卡槽21之间形成气槽；第二卡槽22中嵌入尺寸适配的第一微孔陶瓷环32，第一微孔陶瓷环32底部与第一台阶24上表面粘合，第一微孔陶瓷环32底部与第二卡槽22之间形成气槽；同理第二微孔陶瓷环33粘合在第三卡槽23中并形成气槽。微孔陶瓷部中气孔孔径为50um，气孔率为40%，微孔陶瓷部3上表面与吸盘基座2上表面平齐。
27.第一气管入口212、第二气管入口222和第三气管入口232依次与第一气管41、第二气管42和第三气管43，每个气管内均设有单向阀，三个气管分别连接一个总的气管4，气管4一端与气泵5连接，气泵5磁吸在基台1上。
28.将待平磨的陶瓷薄板根据尺寸放置在微孔陶瓷部3上并覆盖微孔陶瓷饼或环的上表面，打开气泵5可配合微孔陶瓷部对产品进行吸附，吸力可达
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70kpa，如待加工陶瓷薄板尺寸较小，可只打开第一气管41单向阀，对第一卡槽上方的产品进行吸附；如产品尺寸较大，可打开第二气管甚至第三气管单向阀，对第二卡槽和第三卡槽上方的产品进行吸附。实现对各种规格的环类、饼类产品进行装夹，且受力均匀，平面度能达到0.005的要求。