一种合金材料的特殊水道设计的散热台的制作方法

技术特征：
1.一种合金材料的特殊水道设计的散热台，其特征在于，包括：样品放置台(1)、与所述样品放置台(1)相抵触设置的石墨烯加热结构(2)、与所述石墨烯加热结构(2)相抵触设置的散热结构(3)及用于包裹所述散热结构(3)的保护罩(4)；所述散热结构(3)包括与所述石墨烯加热结构(2)相抵触的散热台(31)及散热台(31)连通的散热管道，所述散热台(31)的中间部位开设有水管通槽，所述水管通槽内嵌合有散热管道；所述散热台(31)内部开设有多个水路环形槽(311)，所述水路环形槽(311)与所述水管通槽相相连通。2.如权利要求1所述的一种合金材料的特殊水道设计的散热台，其特征在于，所述石墨烯加热结构(2)包括第一石墨烯件、与所述第一石墨烯件相贴设置的第二石墨烯件以及设置于所述第一石墨烯件与二石墨烯件之间的薄型电热丝。3.如权利要求1所述的一种合金材料的特殊水道设计的散热台，其特征在于，所述加热台(31)的外周一圈设置有固定槽，所述固定槽内嵌合有保护罩(4)。4.如权利要求3所述的一种合金材料的特殊水道设计的散热台，其特征在于，多个所述水路环形槽(311)之间相邻设置，且水路环形槽(311)沿所述散热台(31)的端面呈环形排列。5.如权利要求2所述的一种合金材料的特殊水道设计的散热台，其特征在于，所述第一石墨烯件与第二石墨烯件的中间部位分别开设有第一通孔，所述第一石墨烯件与第二石墨烯件的第一通孔相对应设置。6.如权利要求1所述的一种合金材料的特殊水道设计的散热台，其特征在于，所述加热台(31)的中间部位开设有一第二通孔，所述第二通孔与第一通孔相对应设置形成一通道。7.如权利要求1所述的一种合金材料的特殊水道设计的散热台，其特征在于，所述散热台(31)的材质均为铜锡合金材料，所述样品放置台(1)的材料为mt合金。

技术总结
本发明公开了一种合金材料的特殊水道设计的散热台，包括：样品放置台、与所述样品放置台相抵触设置的石墨烯加热结构、与所述石墨烯加热结构相抵触设置的散热结构及用于包裹所述散热结构的保护罩；所述散热结构包括与所述石墨烯加热结构相抵触的散热台及散热台连通的散热管道，所述散热台的中间部位开设有水管通槽，所述水管通槽内嵌合有散热管道；所述散热台内部开设有多个水路环形槽，所述水路环形槽与所述水管通槽相相连通。根据本发明，能够满足金刚石在大功率情况下散热的需求，而且成本不高。本不高。本不高。


技术研发人员：胡常青 赵建海
受保护的技术使用者：上海铂世光半导体科技有限公司
技术研发日：2021.07.14
技术公布日：2021/10/19