基板处理用通电装置的制作方法

技术特征：
1.一种基板处理用通电装置，其特征在于，包括：腔室部，进行接地；转轴部，安装于所述腔室部，并且与所述腔室部通电；操作台部，安装于所述转轴部并旋转，并且与所述转轴部通电；固定部，沿着所述操作台部的圆周方向安装有多个，并且与基板通电；以及驱动部，用于使所述固定部旋转，所述驱动部与所述固定部通电，并且与所述操作台部通电。2.根据权利要求1所述的基板处理用通电装置，其特征在于，所述腔室部包括：腔室壳体部，进行接地；以及腔室基座部，安装于所述腔室壳体部，并且与所述转轴部结合。3.根据权利要求1所述的基板处理用通电装置，其特征在于，所述操作台部包括：中心操作台部，与所述转轴部结合；下部操作台部，与所述中心操作台部结合；上部操作台部，与所述下部操作台部结合以覆盖所述下部操作台部的上部；以及支承操作台部，沿着所述上部操作台部的圆周方向配置有多个，供所述基板放置。4.根据权利要求1所述的基板处理用通电装置，其特征在于，所述固定部包括：固定旋转部，以能够旋转的方式安装于所述操作台部，通过所述驱动部的直线移动进行旋转；以及固定夹钳部，在所述固定旋转部的上侧突出，随着所述固定旋转部的旋转与所述基板的边缘紧贴或分离。5.根据权利要求1所述的基板处理用通电装置，其特征在于，所述驱动部包括：驱动调节部，配置于所述转轴部，能够调节所述驱动调节部的上下长度；驱动升降部，安装于所述操作台部，并且能够通过所述驱动调节部进行上下移动；驱动旋转部，以能够旋转的方式安装于所述操作台部，并且通过所述驱动升降部的上下移动进行旋转；以及驱动连杆部，所述驱动连杆部的两端部与所述驱动旋转部和所述固定部连接，随着所述驱动旋转部进行旋转，推动所述固定部而使所述固定部旋转。6.根据权利要求5所述的基板处理用通电装置，其特征在于，所述驱动调节部包括：调节气缸部，内置于所述转轴部，所述调节气缸部的长度沿着上下方向被拉长或缩短；以及调节销部，在所述调节气缸部的上侧形成为一个以上，通过插入于所述操作台部从而使所述驱动升降部进行上下移动。7.根据权利要求5所述的基板处理用通电装置，其特征在于，所述驱动升降部包括：升降下板部，内置于所述操作台部，通过插入于所述操作台部的所述驱动调节部而朝向上方移动；升降侧板部，从所述升降下板部的内侧朝向上方延伸；升降上板部，从所述升降侧板部朝向侧方延伸并以与所述升降下板部相对的方式配置；以及升降复原部，放置于所述升降下板部，贯通所述升降上板部并弹性支承所述操作台部。
8.根据权利要求5所述的基板处理用通电装置，其特征在于，所述驱动旋转部包括：旋转支承部，安装于所述操作台部；旋转轴部，形成于所述旋转支承部；以及旋转变换部，以能够旋转的方式安装于所述旋转轴部，并且通过所述驱动升降部的上下移动而旋转，所述旋转变换部引导所述驱动连杆部的左右移动。9.根据权利要求5所述的基板处理用通电装置，其特征在于，所述驱动部还包括：驱动保持部，内置于所述操作台部，对所述驱动连杆部进行限制以使所述基板处于夹持状态。

技术总结
本发明涉及基板处理用通电装置，本发明可包括：腔室部，进行接地；转轴部，安装于所述腔室部，并且与所述腔室部通电；操作台部，安装于所述转轴部并旋转，并且与所轴部通电；固定部，沿着所述操作台部的圆周方向安装有多个，并且与基板通电；以及驱动部，用于使所述固定部旋转并与所述固定部通电，所述驱动部与所述操作台部通电，在基板处理过程中，可消除在基板产生的静电来防止基板不良。生的静电来防止基板不良。生的静电来防止基板不良。


技术研发人员：白承大 金成烨
受保护的技术使用者：杰宜斯科技有限公司
技术研发日：2021.04.16
技术公布日：2021/10/23