弹性波装置的制作方法

1.本发明涉及弹性波装置。


背景技术：

2.以往，弹性波装置广泛用于便携电话机的滤波器等。在下述的专利文献1中公开了利用活塞模式的弹性波装置的一例。在该弹性波装置中，在压电基板上设置有idt电极(inter digital transducer，叉指换能器)及反射器。从idt电极的电极指的延伸方向上的内侧朝向外侧依次配置有中央区域、低声速区域及高声速区域。idt电极的汇流条具有内侧汇流条、外侧汇流条以及连接内侧汇流条与外侧汇流条的多个连接电极。另外，idt电极的汇流条具有被内侧汇流条、外侧汇流条及多个连接电极包围的多个开口部。
3.记载有如下内容：在形成汇流条时，通过剥离法形成内侧汇流条及连接电极，在将抗蚀剂剥离之后，将外侧汇流条形成为覆盖多个连接电极各自的一部分。
4.在先技术文献
5.专利文献
6.专利文献1：国际公开第2018/199071号


技术实现要素：

7.发明要解决的课题
8.如果利用专利文献1所记载的结构、即活塞模式，则能够抑制弹性波装置的阻抗特性等的劣化。但是，在制造专利文献1所记载的弹性波装置时，当通过剥离法形成反射器时，抗蚀剂的剥离液与抗蚀剂难以接触，由此有时产生抗蚀剂的残渣。在产生了抗蚀剂的残渣的情况下，可能发生纹波等不良。
9.本发明的目的在于，提供一种能够在不伴随阻抗特性等的劣化的情况下难以产生反射器的抗蚀剂的残渣的弹性波装置。
10.用于解决课题的手段
11.本发明的弹性波装置具备：压电体层；idt电极，其设置在所述压电体层上；以及一对反射器，在将弹性波传播方向设为第一方向、将与所述第一方向正交的方向设为第二方向时，该一对反射器在所述压电体层上设置于所述idt电极的所述第一方向两侧，所述idt电极具有：相对置的分别沿着所述第一方向设置有多个开口部的第一汇流条及第二汇流条；一端部与所述第一汇流条连接的多个第一电极指；以及一端部与所述第二汇流条连接并且与所述多个第一电极指相互交替插入的多个第二电极指，所述第一电极指与所述第二电极指在所述第一方向上重叠的部分是交叉区域，所述交叉区域具有位于所述第二方向上的中央侧的中央区域、配置在所述中央区域的所述第一汇流条侧的第一边缘区域以及配置在所述中央区域的所述第二汇流条侧的第二边缘区域，所述idt电极具有位于所述第一边缘区域与所述第一汇流条之间的第一间隙区域以及位于所述第二边缘区域与所述第二汇流条之间的第二间隙区域，在所述第一边缘区域及所述第二边缘区域，分别构成声速比所
述中央区域低的低声速区域，在所述第一汇流条及所述第二汇流条中的设置有所述多个开口部的区域，分别构成声速比所述中央区域高的高声速区域，所述反射器具有：第一反射器汇流条，其位于所述idt电极的所述第一汇流条侧；第二反射器汇流条，其与所述第一反射器汇流条对置，位于所述第二汇流条侧；以及第一反射电极指，其一端部与所述第一反射器汇流条连接，并且另一端部隔着间隙而与所述第二反射器汇流条对置，在从所述第一方向观察时，所述第一反射电极指与所述idt电极的所述第二间隙区域的全部重叠。
12.发明效果
13.根据本发明的弹性波装置，能够在不伴随阻抗特性等的劣化的情况下难以产生反射器的抗蚀剂的残渣。
附图说明
14.图1是本发明的第一实施方式的弹性波装置的俯视图。
15.图2是沿着图1中的i
‑
i线的剖视图。
16.图3是图1的放大图。
17.图4是图1的放大图。
18.图5是用于说明本发明的第一实施方式的弹性波装置的制造方法的一例的放大俯视图。
19.图6是用于说明本发明的第一实施方式的弹性波装置的制造方法的一例的放大俯视图。
20.图7是第一比较例的弹性波装置的放大俯视图。
21.图8是第二比较例的弹性波装置的放大俯视图。
22.图9是示出本发明的第一实施方式、第一比较例及第二比较例的弹性波装置的阻抗频率特性的图。
23.图10是本发明的第一实施方式的第一变形例的弹性波装置的放大俯视图。
24.图11是本发明的第一实施方式的第二变形例的弹性波装置的放大俯视图。
25.图12是本发明的第一实施方式的第三变形例的弹性波装置的放大俯视图。
26.图13是示出本发明的第一实施方式、第一变形例～第三变形例、第一比较例及第二比较例的弹性波装置的阻抗频率特性的图。
27.图14是示出第一实施方式的第四变形例的两个弹性波装置被用于滤波器装置的例子的简图的俯视图。
具体实施方式
28.以下，通过参照附图对本发明的具体实施方式进行说明，使本发明变得清楚。
29.需要说明的是，本说明书所记载的各实施方式是例示性的实施方式，预先指出在不同的实施方式之间能够进行结构的部分置换或组合。
30.图1是本发明的第一实施方式的弹性波装置的俯视图。
31.如图1所示，弹性波装置1具有压电性基板2。本实施方式的压电性基板2是仅包括压电体层的压电基板。更具体而言，弹性波装置1的压电性基板2是铌酸锂基板。需要说明的是，压电性基板2的材料不限于上述，例如，也可以是钽酸锂等压电单晶、适当的压电陶瓷。
需要说明的是，压电性基板2也可以是包括压电体层的层叠体。
32.在压电性基板2上设置有idt电极3。通过向idt电极3施加交流电压而激励弹性波。在将弹性波传播方向设为第一方向x、将与第一方向x正交的方向设为第二方向y时，在压电性基板2上的idt电极3的第一方向x两侧设置有一对反射器13a及反射器13b。本实施方式的弹性波装置1是弹性波谐振器。不过，本发明的弹性波装置1不限于弹性波谐振器，也可以是具有多个弹性波谐振器的滤波器装置等。
33.图2是沿着图1中的i
‑
i线的剖视图。
34.弹性波装置1具有电介质膜8，该电介质膜8设置为在压电性基板2上覆盖idt电极3、反射器13a及反射器13b。电介质膜8在本实施方式中为氧化硅膜。氧化硅由sio
a
表示。a是任意的正数。更具体而言，在本实施方式中，氧化硅膜是sio2膜。需要说明的是，电介质膜8的材料不限于氧化硅。也可以不必设置电介质膜8。
35.图3是图1的放大图。图4是图1的放大图。
36.如图1、图3及图4所示，idt电极3具有相对置的第一汇流条4及第二汇流条6。如图1及图3所示，在第一汇流条4沿着第一方向x设置有多个第一开口部4d。如图1及图4所示，在第二汇流条6也沿着第一方向x设置有多个第二开口部6d。idt电极3具有一端部分别与第一汇流条4连接的多个第一电极指5。第一电极指5的另一端部隔着间隙而与第二汇流条6对置。第一电极指5与第二汇流条6未连接。idt电极3具有一端部分别与第二汇流条6连接的多个第二电极指7。第二电极指7的另一端部隔着间隙而与第一汇流条4对置。第二电极指7与第一汇流条4未连接。多个第一电极指5与多个第二电极指7相互交替插入。
37.反射器13a具有相对置的第一反射器汇流条14a及第二反射器汇流条16a。第一反射器汇流条14a位于idt电极3的第一汇流条4侧。第二反射器汇流条16a位于第二汇流条6侧。反射器13b具有相对置的第一反射器汇流条14b及第二反射器汇流条16b。第一反射器汇流条14b位于idt电极3的第一汇流条4侧。第二反射器汇流条16b位于第二汇流条6侧。
38.如图3及图4所示，反射器13a具有与第一反射器汇流条14a连接的多个第一反射电极指15a。多个第一反射电极指15a分别具有作为一端部的第一端部和作为另一端部的第二端部15a。多个第一反射电极指15a的第一端部与第一反射器汇流条14a分别连接。如图4所示，第一反射电极指15a的第二端部15a与第二反射器汇流条16a对置。第一反射电极指15a与第二反射器汇流条16a未连接。即，在第一反射电极指15a的第二端部15a与第二反射器汇流条16a之间设置有间隙。
39.反射器13a具有与第二反射器汇流条16a连接的多个第二反射电极指17a。多个第二反射电极指17a分别具有作为一端部的第三端部和作为另一端部的第四端部17a。多个第二反射电极指17a的第三端部与第二反射器汇流条16a分别连接。如图3所示，第二反射电极指17a的第四端部17a位于第一反射器汇流条14a。第二反射电极指17a与第一反射器汇流条14a未连接。即，在第二反射电极指17a的第四端部17a与第一反射器汇流条14a之间设置有间隙。多个第一反射电极指15a与多个第二反射电极指17a相互交替插入。
40.如图1所示，反射器13a具有与第一反射器汇流条14a及第二反射器汇流条16a的双方连接的两根第三反射电极指18a。即，在第三反射电极指18a的一端部与第一反射器汇流条14a之间以及在第三反射电极指18a的另一端部与第二反射器汇流条16a之间不存在间隙。一方的第三反射电极指18a是反射器13a的多个反射电极指中的最接近idt电极3的反射
电极指。另一方的第三反射电极指18a是反射器13a的多个反射电极指中的最接近idt电极3的反射电极指。需要说明的是，第三反射电极指18a的根数及位置不限于上述。反射器13b也与反射器13a同样地，具有第一反射器汇流条14b、第二反射器汇流条16b、第一反射电极指15b、第二反射电极指17b及第三反射电极指18b。
41.需要说明的是，反射器13a具有第一反射电极指15a、第二反射电极指17a及第三反射电极指18a中的至少第一反射电极指15a即可。不过，反射器13a优选具有第二反射电极指17a。由此，能够提高反射器13a的对称性，难以产生滤波器特性的劣化。反射器13a优选具有第三反射电极指18a。由此，能够使反射器13a整体成为相同电位，更进一步难以产生滤波器特性的劣化。在反射器13b中也是同样的。
42.idt电极3、反射器13a及反射器13b可以包括层叠有多个金属层的层叠金属膜，也可以包括单层的金属膜。
43.以下，说明本实施方式的idt电极3的更加详细的结构。
44.在idt电极3中，第一电极指5与第二电极指7在第一方向x上重叠的部分是交叉区域a。交叉区域a具有位于第二方向y上的中央侧的中央区域b。
45.交叉区域a具有配置于中央区域b的第一汇流条4侧的第一边缘区域ca和配置于中央区域b的第二汇流条6侧的第二边缘区域cb。idt电极3具有位于所述第一边缘区域ca与所述第一汇流条4之间的第一间隙区域da、以及位于所述第二边缘区域cb与所述第二汇流条6之间的第二间隙区域db。
46.如图3所示，idt电极3的第一汇流条4具有位于交叉区域a侧的第一内侧汇流条区域ea和位于第一内侧汇流条区域ea的第二方向y上的外侧的第一外侧汇流条区域ga。第一汇流条4中的位于第一内侧汇流条区域ea的部分是第一内侧汇流条部4a，位于第一外侧汇流条区域ga的部分是第一外侧汇流条部4c。第一汇流条4具有位于第一内侧汇流条区域ea与第一外侧汇流条区域ga之间且设置有上述多个第一开口部4d的第一开口部形成区域fa。需要说明的是，第一汇流条4具有将第一内侧汇流条部4a与第一外侧汇流条部4c连接的多个第一连接电极4b。多个第一开口部4d是由第一内侧汇流条部4a、第一外侧汇流条部4c及多个第一连接电极4b包围的开口部。
47.多个第一连接电极4b位于多个第一电极指5的延长线上而延伸。这里，将电极指的沿着第一方向x的尺寸设为宽度。将连接电极的沿着第一方向x的尺寸设为宽度。第一连接电极4b的宽度与第一电极指5的宽度相同。需要说明的是，多个第一连接电极4b的配置不限于上述，例如，也可以位于多个第二电极指7的延长线上而延伸。第一连接电极4b的宽度与第一电极指5的宽度也可以不同。
48.同样地，如图4所示，idt电极3的第二汇流条6具有第二内侧汇流条区域eb、第二外侧汇流条区域gb、以及形成有上述多个第二开口部6d的第二开口部形成区域fb。位于第二内侧汇流条区域eb的部分是第二内侧汇流条部6a，位于第二外侧汇流条区域gb的部分是第二外侧汇流条部6c。第二汇流条6具有将第二内侧汇流条部6a与第二外侧汇流条部6c连接的多个第二连接电极6b。多个第二开口部6d是由第二内侧汇流条部6a、第二外侧汇流条部6c及多个第二连接电极6b包围的开口部。
49.如图3所示，在本实施方式中，反射器13a的第二反射电极指17a的第四端部17a在从第一方向x观察时与第一内侧汇流条区域ea重叠。这样，在从第一方向x观察时，第四端部
17a与比第一间隙区域da靠第二方向y上的外侧的部分重叠，第二反射电极指17a与第一间隙区域da的全部重叠。这里，在本说明书中，区域彼此的边界不包含在由边界分开的任何区域内。例如，第一内侧汇流条区域ea不包括第一内侧汇流条区域ea及第一间隙区域da的边界、以及第一内侧汇流条区域ea及第一开口部形成区域fa的边界。在从第一方向x观察时，第二反射电极指17a的第四端部17a重叠于第一内侧汇流条区域ea及第一间隙区域da的边界与第一内侧汇流条区域ea及第一开口部形成区域fa的边界之间。需要说明的是，以下，有时将从第一方向x观察时重叠仅记载为重叠。
50.如图4所示，在从第一方向x观察时，反射器13a的第一反射电极指15a的第二端部15a与第二内侧汇流条区域eb重叠。这样，在从第一方向x观察时，第二端部15a与比第二间隙区域db靠第二方向y上的外侧的部分重叠，第一反射电极指15a与第二间隙区域db的全部重叠。更具体而言，在从第一方向x观察时，第一反射电极指15a的第二端部15a重叠于第二内侧汇流条区域eb及第二间隙区域db的边界与第二内侧汇流条区域eb及第二开口部形成区域fb的边界之间。
51.同样地，如图1所示，在从第一方向x观察时，反射器13b的第一反射电极指15b的第二端部15b与第二内侧汇流条区域eb重叠，第一反射电极指15b与第二间隙区域db的全部重叠。更具体而言，在从第一方向x观察时，第一反射电极指15b的第二端部15b重叠于第二内侧汇流条区域eb及第二间隙区域db的边界与第二内侧汇流条区域eb及第二开口部形成区域fb的边界之间。
52.在从第一方向x观察时，反射器13b的第二反射电极指17b的第四端部17b与第一内侧汇流条区域ea重叠，第二反射电极指17b与第一间隙区域da的全部重叠。更具体而言，在从第一方向x观察时，第二反射电极指17b的第四端部17b重叠于第一内侧汇流条区域ea及第一间隙区域da的边界与第一内侧汇流条区域ea及第一开口部形成区域fa的边界之间。
53.需要说明的是，本说明书中的对象物“与区域(或者边界与边界之间)重叠”是指，对象物与区域(或者边界与边界之间的区域)的至少一部分重叠。另外，本说明书中的对象物“与区域的全部重叠”是指，对象物与区域整体重叠。
54.如图3所示，idt电极3的第一电极指5在位于第一边缘区域ca的部分具有宽度比位于中央区域b的部分宽的第一宽幅部5a。同样地，第二电极指7在位于第一边缘区域ca的部分具有第一宽幅部7a。由此，第一边缘区域ca中的声速比中央区域b中的声速低。这样，从第一边缘区域ca朝向第一内侧汇流条区域ea的平均声速比中央区域b中的声速低，构成第一低声速区域la。需要说明的是，在本说明书中，声速是指弹性波在第一方向x上的传播速度。
55.如图4所示，第一电极指5在位于第二边缘区域cb的部分具有宽度比位于中央区域b的部分宽的第二宽幅部5b。同样地，第二电极指7在位于第二边缘区域cb的部分具有第二宽幅部7b。这样，从第二边缘区域cb朝向第二内侧汇流条区域eb的平均声速比中央区域b中的声速低，构成第二低声速区域lb。
56.需要说明的是，图1所示的第一电极指5及第二电极指7中的至少一方具有第一宽幅部5a或第一宽幅部7a即可。第一电极指5及第二电极指7中的至少一方具有第二宽幅部5b或第二宽幅部7b即可。或者，也可以通过在第一电极指5及第二电极指7中的至少一方的位于第一边缘区域ca的部分设置质量附加膜来设置第一低声速区域la。在第二边缘区域cb中也是同样的。也可以通过设置第一宽幅部5a、第一宽幅部7a、第二宽幅部5b、第二宽幅部7b
及质量附加膜而构成第一低声速区域la及第二低声速区域lb。
57.这里，在将中央区域b中的声速设为v1、将第一低声速区域la及第二低声速区域lb中的声速设为v2时，v2＜v1。
58.第一开口部形成区域fa中的多个第一连接电极4b位于多个第一电极指5的延长线上，不位于多个第二电极指7的延长线上。由此，第一开口部形成区域fa中的声速比中央区域b中的声速高。这样，在第一开口部形成区域fa构成第一高声速区域ha。同样地，第二开口部形成区域fb中的声速比中央区域b中的声速高，构成第二高声速区域hb。这里，在将第一高声速区域ha及第二高声速区域hb中的声速设为v3时，v1＜v3。
59.各区域中的声速的关系成为v2＜v1＜v3。图1示出上述的各声速的关系。需要说明的是，在图1中的表示声速的关系的部分，如箭头v所示，示出表示各声速的高度的线越位于左侧，声速越高。
60.在第二方向y上，依次配置有中央区域b、第一低声速区域la及第一高声速区域ha。同样地，在第二方向y上，依次配置有中央区域b、第二低声速区域lb及第二高声速区域hb。这样，弹性波装置1利用活塞模式。由此，封闭弹性波的能量，并且抑制由高阶横模引起的杂散。由此，抑制弹性波装置1的阻抗特性的劣化。
61.本实施方式的特征在于，反射器13a具有未与第二反射器汇流条16a连接的第一反射电极指15a，在从第一方向x观察时，第一反射电极指15a与idt电极3的第二间隙区域db的全部重叠。此外，本实施方式的特征在于，反射器13b具有未与第二反射器汇流条16b连接的第一反射电极指15b，在从第一方向x观察时，第一反射电极指15b与idt电极3的第二间隙区域db的全部重叠。由此，能够在不伴随阻抗特性等的劣化的情况下难以产生反射器13a及反射器13b的抗蚀剂的残渣。以下，与弹性波装置1的制造方法的一例一起对此进行说明。
62.图5是用于说明第一实施方式的弹性波装置的制造方法的一例的放大俯视图。图6是用于说明第一实施方式的弹性波装置的制造方法的一例的放大俯视图。
63.如图5所示，准备压电性基板2。接着，在压电性基板2上形成抗蚀剂层。抗蚀剂层例如能够通过印刷法、旋涂法等形成。接着，通过将抗蚀剂层曝光之后进行显影而形成抗蚀剂图案22。此时，在俯视下，在抗蚀剂图案22中的形成反射器13a的第一反射电极指15a的第二端部15a的部分附近相连有抗蚀剂层。在抗蚀剂图案22中的形成反射器13a的第二反射电极指17a的第四端部17a的部分附近也相连有抗蚀剂层。在抗蚀剂图案22中的相当于反射器13b的部分也是同样的。由此，除了能够设置相当于各反射电极指间的区域之外，还能够设置相当于各反射器汇流条与各反射电极指之间的区域。因此，能够设置被各反射器汇流条及各反射电极指包围的连续的宽广区域。
64.接着，如图6所示，在压电性基板2上，使用于形成idt电极3、反射器13a及反射器13b的金属膜23成膜，使得覆盖抗蚀剂图案22。金属膜23通过真空蒸镀法或溅射法形成。
65.接着，将抗蚀剂图案22剥离。此时，如上所述，在抗蚀剂图案22中的相当于反射器13a及反射器13b的部分，具有抗蚀剂层相连的部分。由此，能够设置被各反射器汇流条及各反射电极指包围的连续的宽广区域，抗蚀剂的剥离液容易与抗蚀剂接触。由此，能够容易且更进一步可靠地将抗蚀剂图案22剥离。因此，在本实施方式中，难以产生抗蚀剂的残渣。
66.以下，通过比较本实施方式与第一比较例及第二比较例而示出在弹性波装置1中阻抗特性难以劣化。
67.在第一比较例及第二比较例中，在从第一方向观察时，第二反射电极指与第一间隙区域未重叠，第一反射电极指与第二间隙区域未重叠。更具体而言，如图7所示，在第一比较例中，在从第一方向x观察时，第二反射电极指107a的第四端部107a与idt电极3的交叉区域a重叠，这一点与第一实施方式不同。此外，在第一比较例中，第一反射电极指105a的第二端部与交叉区域a重叠，这一点与第一实施方式不同。如图8所示，在第二比较例中，在从第一方向x观察时，第二反射电极指117a的第四端部117a重叠于第一边缘区域ca与第一间隙区域da的边界，这一点与第一实施方式不同。此外，在第二比较例中，第一反射电极指115a的第二端部重叠于第二边缘区域cb与第二间隙区域db的边界，这一点与第一实施方式不同。
68.准备具有第一实施方式的结构的弹性波装置以及第一比较例及第二比较例的弹性波装置，测定出阻抗频率特性。这里，具有第一实施方式的结构的弹性波装置以及第一比较例及第二比较例的弹性波装置的条件如下所述。需要说明的是，将由idt电极的电极指间距规定的波长设为λ。将交叉区域a中的沿着第二方向y的长度设为交叉宽度。以下，在将厚度设为h时，有时将厚度h被波长λ标准化而得到的厚度表示为h/λ
×
100(％)。
69.idt电极的波长：4μm
70.idt电极的交叉区域a中的占空比：0.5
71.idt电极的电极指的对数：30对
72.idt电极的交叉宽度：15λ
73.idt电极的材料及厚度：材料
…
铂金(pt)，厚度
…
8％
74.反射器的反射电极指的对数：5对
75.电介质膜的材料及厚度：材料
…
氧化硅(sio2)，厚度
…
35％
76.压电性基板的材料：铌酸锂(linbo3)
77.压电性基板的欧拉角欧拉角(0
°
，30
°
，0
°
)
78.不过，上述各条件是一例，本发明的弹性波装置的条件不限于上述。
79.图9是示出第一实施方式、第一比较例及第二比较例的弹性波装置的阻抗频率特性的图。在图9中，实线表示第一实施方式的结果，虚线表示第一比较例的结果，单点划线表示第二比较例的结果。
80.如图9所示，在第一实施方式中，能够使谐振频率中的阻抗比第一比较例低。需要说明的是，在第一实施方式及第二比较例中，谐振频率中的阻抗为相同程度。另一方面，在反谐振频率中，在第一实施方式中与第一比较例及第二比较例相比，能够大幅提高阻抗。这样，在第一实施方式中，在与第一比较例及第二比较例同样的测定条件下，与第一比较例及第二比较例相比，阻抗特性难以劣化。
81.在第一比较例及第二比较例中，在从第一方向观察时，反射器的第一反射电极指未与idt电极的第二间隙区域重叠，第二反射电极指未与idt电极的第一间隙区域重叠。因此，在第一间隙区域附近及第二间隙区域附近，难以通过反射器充分地反射在idt电极中被激励的主模式。因此，主模式容易泄漏。因此，如图9所示，阻抗特性也容易劣化。
82.与此相对，在图1所示的第一实施方式中，在从第一方向x观察时，反射器13a的第一反射电极指15a及反射器13b的第一反射电极指15b与idt电极3的第二间隙区域db的全部重叠。反射器13a的第二反射电极指17a及反射器13b的第二反射电极指17b与第一间隙区域
da的全部重叠。由此，在第一间隙区域da、交叉区域a及第二间隙区域db的整个区域，能够通过反射器13a及反射器13b充分地反射在idt电极3中被激励的主模式。需要说明的是，在第一高声速区域ha及第二高声速区域hb，几乎不存在弹性波的能量。因此，无需使用反射器13a及反射器13b反射主模式。即，第一高声速区域ha及第二高声速区域hb与反射器13a及反射器13b的反射电极指的前端在从第一方向x观察时无需重叠。此外，在第一实施方式中，如上所述，在形成反射器13a及反射器13b时，能够容易且更进一步可靠地将抗蚀剂剥离。因此，在第一实施方式中，能够在不伴随阻抗特性等的劣化的情况下难以产生抗蚀剂的残渣。
83.此外，在本实施方式中，在从第一方向x观察时，第一反射电极指15a的第二端部15a与第二内侧汇流条区域eb中的比第二内侧汇流条区域eb及第二间隙区域db的边界靠第二方向y上的外侧的部分重叠。具体而言，第一反射电极指15a的第二端部15a重叠于第二内侧汇流条区域eb及第二间隙区域db的边界与第二内侧汇流条区域eb及第二开口部形成区域fb的边界之间。由此，在形成反射器13a时，即便第一反射电极指15a的长度产生了偏差，在从第一方向x观察时，也能够通过第一反射电极指15a更进一步可靠地覆盖第二间隙区域db的全部。同样地，也能够通过第二反射电极指17a更进一步可靠地覆盖第一间隙区域da的全部。在反射器13b侧也是同样的。因此，阻抗特性等的劣化更进一步难以产生。除此之外，在将第一实施方式的弹性波装置1用于带通型滤波器等滤波器装置的情况下，插入损耗等滤波器特性的劣化难以产生。
84.这里，以下示出各反射电极指的前端部的位置与第一实施方式不同的第一实施方式的第一变形例～第三变形例。在第一变形例～第三变形例中，也与第一实施方式同样地，能够在不伴随阻抗特性等的劣化的情况下难以产生反射器的抗蚀剂的残渣。
85.如图10所示，在第一变形例中，在从第一方向x观察时，反射器33a的第二反射电极指37a的第四端部37a与第一汇流条4的第一内侧汇流条区域ea及第一间隙区域da的边界重叠。在从第一方向x观察时，反射器33a的第一反射电极指35a的第二端部与第二汇流条6的第二内侧汇流条区域eb及第二间隙区域db的边界重叠。在配置为与反射器33a一起夹着idt电极3的反射器中也是同样的。
86.如图11所示，在第二变形例中，在从第一方向x观察时，反射器43a的第二反射电极指47a的第四端部47a与第一汇流条4的第一内侧汇流条区域ea及第一开口部形成区域fa的边界重叠。在从第一方向x观察时，反射器43a的第一反射电极指45a的第二端部与第二汇流条6的第二内侧汇流条区域eb及第二开口部形成区域fb的边界重叠。在配置为与反射器43a一起夹着idt电极3的反射器中也是同样的。需要说明的是，在第二变形例中，在从第一方向x观察时，第一反射电极指45a的第二端部也与比第二内侧汇流条区域eb及第二间隙区域db的边界靠第二方向y上的外侧的部分重叠。因此，即便第一反射电极指45a的长度产生了偏差，也能够更进一步可靠地覆盖第二间隙区域db的全部。
87.如图12所示，在第三变形例中，在从第一方向x观察时，反射器53a的第二反射电极指57a的第四端部57a与第一开口部形成区域fa重叠。在从第一方向x观察时，反射器53a的第一反射电极指55a的第二端部与第二开口部形成区域fb重叠。在配置为与反射器53a一起夹着idt电极3的反射器中也是同样的。需要说明的是，在第三变形例中，在从第一方向x观察时，第一反射电极指55a的第二端部也与比第二内侧汇流条区域eb及第二间隙区域db的边界靠第二方向y上的外侧的部分重叠。因此，即便第一反射电极指55a的长度产生了偏差，
也能够更进一步可靠地覆盖第二间隙区域db的全部。
88.图13是示出第一实施方式、第一变形例～第三变形例、第一比较例及第二比较例的弹性波装置的阻抗频率特性的图。与图9同样地，实线表示第一实施方式的结果，虚线表示第一比较例的结果，单点划线表示第二比较例的结果。此外，宽度较宽的虚线表示第一变形例的结果，宽度较宽的单点划线表示第二变形例的结果，双点划线表示第三变形例的结果。
89.如图13所示，可知在第一变形例～第三变形例中，在谐振频率及反谐振频率中是与第一实施方式同等的阻抗。这样，可知在第一变形例～第三变形例中，也与第一实施方式同样地，阻抗特性难以劣化。除此之外，与第一实施方式同样地，在形成反射器时，能够容易且更进一步可靠地将抗蚀剂剥离。因此，在第一变形例～第三变形例中，也能够在不伴随阻抗特性等的劣化的情况下难以产生反射器的抗蚀剂的残渣。
90.本发明的弹性波装置也可以用作滤波器装置的弹性波谐振器。以下，示出第一实施方式的第四变形例的两个弹性波装置被用于梯型滤波器的例子。
91.图14是示出第一实施方式的第四变形例的两个弹性波装置被用于滤波器装置的例子的简图的俯视图。需要说明的是，在图14中，通过在矩形上添加两根对角线的简图来示出idt电极3。
92.在第四变形例的弹性波装置51a中，第三反射电极指18a仅是多个反射电极指中的最远离idt电极3的反射电极指。在弹性波装置51b中也是同样的。弹性波装置51a及弹性波装置51b均用作并联臂谐振器。弹性波装置51a及弹性波装置51b相互串联地连接。弹性波装置51b中的idt电极3的第一汇流条4与接地电位连接。需要说明的是，在图14中，使用用于电路图的记号，示意性示出与接地电位连接。弹性波装置51a中的idt电极3的第二汇流条6与梯型滤波器的其他元件电连接。不过，不限于此，本发明的弹性波装置例如也可以用作串联臂谐振器。或者，本发明的弹性波装置也可以用作与纵耦合谐振器型弹性波滤波器电连接的弹性波谐振器。
93.如图14所示，弹性波装置51a的反射器53a及弹性波装置51b的反射器53a被电连接。更具体而言，弹性波装置51a的第三反射电极指18a及弹性波装置51b的第三反射电极指18a成为将各个反射器53a彼此连接的布线的一部分。此外，连接第三反射电极指18a彼此而形成的布线也与弹性波装置51a及弹性波装置51b各自的第一反射器汇流条14a及第二反射器汇流条16a连接。这样，也可以将第三反射电极指18a设为连接反射器53a彼此的引绕布线。
94.需要说明的是，在图14中，示出了多个并联臂谐振器的反射器53a彼此被连接的例子，但不限于此。例如，多个串联臂谐振器的反射器53a彼此也可以通过包括第三反射电极指18a的引绕布线而连接。在该情况下，各反射器53a也可以不与接地电位连接。或者，例如反射器53a与外部连接电极也可以通过包括第三反射电极指18a的引绕布线而连接。即，通过包括反射电极指18a的引绕布线而连接的对象不限于谐振器彼此，也可以是谐振器和与该谐振器连接的电极等。
95.附图标记说明
[0096]1…
弹性波装置；
[0097]2…
压电性基板；
[0098]3…
idt电极；
[0099]4…
第一汇流条；
[0100]
4a
…
第一内侧汇流条部；
[0101]
4b
…
第一连接电极；
[0102]
4c
…
第一外侧汇流条部；
[0103]
4d
…
第一开口部；
[0104]5…
第一电极指；
[0105]
5a
…
第一宽幅部；
[0106]
5b
…
第二宽幅部；
[0107]6…
第二汇流条；
[0108]
6a
…
第二内侧汇流条部；
[0109]
6b
…
第二连接电极；
[0110]
6c
…
第二外侧汇流条部；
[0111]
6d
…
第二开口部；
[0112]7…
第二电极指；
[0113]
7a
…
第一宽幅部；
[0114]
7b
…
第二宽幅部；
[0115]8…
电介质膜；
[0116]
13a、13b
…
反射器；
[0117]
14a、14b
…
第一反射器汇流条；
[0118]
15a、15b
…
第一反射电极指；
[0119]
15a、15b
…
第二端部；
[0120]
16a、16b
…
第二反射器汇流条；
[0121]
17a、17b
…
第二反射电极指；
[0122]
17a、17b
…
第四端部；
[0123]
18a、18b
…
第三反射电极指；
[0124]
22
…
抗蚀剂图案；
[0125]
23
…
金属膜；
[0126]
33a
…
反射器；
[0127]
35a
…
第一反射电极指；
[0128]
37a
…
第二反射电极指；
[0129]
37a
…
第四端部；
[0130]
43a
…
反射器；
[0131]
45a
…
第一反射电极指；
[0132]
47a
…
第二反射电极指；
[0133]
47a
…
第四端部；
[0134]
51a、51b
…
弹性波装置；
[0135]
53a
…
反射器；
[0136]
103a
…
反射器；
[0137]
105a
…
第一反射电极指；
[0138]
107a
…
第二反射电极指；
[0139]
107a
…
第四端部；
[0140]
113a
…
反射器；
[0141]
115a
…
第一反射电极指；
[0142]
117a
…
第二反射电极指；
[0143]
117a
…
第四端部；
[0144]
a
…
交叉区域；
[0145]
b
…
中央区域；
[0146]
ca、cb
…
第一边缘区域、第二边缘区域；
[0147]
da、db
…
第一间隙区域、第二间隙区域；
[0148]
ea、eb
…
第一内侧汇流条区域、第二内侧汇流条区域；
[0149]
fa、fb
…
第一开口部形成区域、第二开口部形成区域；
[0150]
ga、gb
…
第一外侧汇流条区域、第二外侧汇流条区域；
[0151]
la、lb
…
第一低声速区域、第二低声速区域；
[0152]
ha、hb
…
第一高声速区域、第二高声速区域。