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一种体声波滤波器、版图布局方法以及通信器件与流程

2021-10-16 04:30:00 来源:中国专利 TAG:声波 滤波器 版图 半导体 器件

技术特征:
1.一种体声波滤波器的版图布局方法,所述体声波滤波器包括多条串联支路和并联支路,所述串联支路包括串联连接的串联谐振单元,所述并联支路包括并联谐振单元,其特征在于,包括:控制第n条所述并联支路和第n i条所述并联支路之间的布图距离,以使第n条所述并联支路和第n i条所述并联支路之间的耦合电容小于预设电容值,其中,第n条所述并联支路和第n i条所述并联支路与所述串联支路连接,所述n的取值包括大于或等于1的整数,所述i的取值包括大于或等于1的整数。2.根据权利要求1所述的体声波滤波器的版图布局方法,其特征在于,控制第n条所述并联支路和第n i条所述并联支路之间的布图距离,以使第n条所述并联支路和第n i条所述并联支路之间的耦合电容小于预设电容值包括:控制首级并联支路与末级并联支路的布图距离,以使第n条所述并联支路和第n i条所述并联支路之间的耦合电容小于预设电容值,其中,第n条所述并联支路为首级并联支路,第n i条所述并联支路为末级并联支路,所述首级并联支路与所述串联支路的连接点为首级连接点,所述末级并联支路与所述串联支路的连接点为末级连接点;所述首级连接点和所述串联支路的输入端间隔的所述串联谐振单元的数量小于所述末级连接点和所述串联支路的输入端间隔的所述串联谐振单元的数量。3.根据权利要求2所述的体声波滤波器的版图布局方法,其特征在于,控制第n条所述并联支路和第n i条所述并联支路之间的布图距离,以使第n条所述并联支路和第n i条所述并联支路之间的耦合电容小于预设电容值包括:所述并联支路的数量大于或等于3,所述并联支路还包括至少一条中间并联支路,控制所述首级并联支路和所述中间并联支路中的任一一条之间的布图距离,以使第n条所述并联支路和第n i条所述并联支路之间的耦合电容小于预设电容值,其中,第n条所述并联支路为所述首级并联支路,第n i条所述并联支路为所述中间并联支路中的任一一条;和/或,控制所述末级并联支路和所述中间并联支路中的任一一条之间的布图距离,以使第n条所述并联支路和第n i条所述并联支路之间的耦合电容小于预设电容值,其中,第n条所述并联支路为所述中间并联支路中的任一一条,第n i条所述并联支路为所述末级并联支路。4.根据权利要求2所述的体声波滤波器的版图布局方法,其特征在于,控制第n条所述并联支路和第n i条所述并联支路之间的布图距离,以使第n条所述并联支路和第n i条所述并联支路之间的耦合电容小于预设电容值包括:所述并联支路的数量大于或等于4,所述并联支路还包括至少两条中间并联支路,控制至少两条所述中间并联支路之间的布图距离,以使第n条所述并联支路和第n i条所述并联支路之间的耦合电容小于预设电容值,其中,第n条所述并联支路和第n i条所述并联支路为所述中间并联支路中的任意两条。5.根据权利要求1

4任一所述的体声波滤波器的版图布局方法,其特征在于,控制第n条所述并联支路和第n i条所述并联支路之间的布图距离,以使第n条所述并联支路和第n i条所述并联支路之间的耦合电容小于预设电容值包括:控制第n条并联支路和第n i条并联支路的并联谐振单元的边缘之间的最短直线距离大于或等于预设距离,以使第n条所述并联支路和第n i条所述并联支路之间的耦合电容小
于预设电容值。6.一种体声波滤波器,所述体声波滤波器包括多条串联支路和并联支路;所述串联支路包括串联连接的串联谐振单元,所述并联支路包括并联谐振单元,其特征在于,包括:第n条所述并联支路和第n i条所述并联支路与所述串联支路连接,第n条所述并联支路和第n i条所述并联支路之间的布图距离使得第n条所述并联支路和第n i条所述并联支路之间的耦合电容小于预设电容值,其中,所述n的取值包括大于或等于1的整数,所述i的取值包括大于或等于1的整数。7.根据权利要求6所述的体声波滤波器,其特征在于,所述串联支路包括串联连接的串联谐振单元,所述并联支路包括并联谐振单元;第n条所述并联支路为首级并联支路,第n i条所述并联支路为末级并联支路,其中,所述首级并联支路与所述串联支路的连接点为首级连接点,所述末级并联支路与所述串联支路的连接点为末级连接点;所述首级连接点和所述串联支路的输入端间隔的所述串联谐振单元的数量小于所述末级连接点和所述串联支路的输入端间隔的所述串联谐振单元的数量。8.根据权利要求7所述的体声波滤波器,其特征在于,所述并联支路的数量大于或等于3,所述并联支路还包括至少一条中间并联支路;第n条所述并联支路为所述首级并联支路,第n i条所述并联支路为所述中间并联支路中的任一一条;和/或,第n条所述并联支路为所述中间并联支路中的任一一条,第n i条所述并联支路为所述末级并联支路。9.根据权利要求7所述的体声波滤波器,其特征在于,所述并联支路的数量大于或等于4,所述并联支路还包括至少两条中间并联支路;第n条所述并联支路和第n i条所述并联支路所述中间并联支路中的任意两条。10.根据权利要求6

9任一所述的体声波滤波器,其特征在于,所述预设电容值小于或等于0.001pf。11.根据权利要求6

9任一所述的体声波滤波器,其特征在于,第n条所述并联支路和第n i条所述并联支路的并联谐振单元的边缘之间的最短直线距离大于或等于预设距离。12.根据权利要求11所述的体声波滤波器,其特征在于,所述预设距离大于或等于200微米。13.一种通信器件,其特征在于,包括权利要求6

12任一所述的体声波滤波器;所述通信器件包括双工器或者多工器中。

技术总结
本发明实施例公开了一种体声波滤波器、版图布局方法以及通信器件。该体声波滤波器的版图布局方法包括:体声波滤波器包括多条串联支路和并联支路,串联支路包括串联连接的串联谐振单元,并联支路包括并联谐振单元,其特征在于,包括:控制第n条并联支路和第n i条并联支路之间的布图距离,以使第n条并联支路和第n i条并联支路之间的耦合电容小于预设电容值,其中,第n条并联支路和第n i条并联支路与串联支路连接,n的取值包括大于或等于1的整数,i的取值包括大于或等于1的整数。本发明实施例提供的技术方案提高了体声波滤波器的传输零点的凹陷程度,增强了带外抑制性能。增强了带外抑制性能。增强了带外抑制性能。


技术研发人员:蔡洵 丁焱昆 杨清华 唐兆云 赖志国
受保护的技术使用者:绍兴汉天下微电子有限公司
技术研发日:2021.07.15
技术公布日:2021/10/15
再多了解一些

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