一种体声波滤波器、版图布局方法以及通信器件与流程

1.本发明实施例涉及半导体技术领域，尤其涉及一种体声波滤波器、版图布局方法以及通信器件。


背景技术：

2.随着无线通讯技术的不断发展，高性能、小尺寸的通信器件的应用越来越广泛。
3.体声波(bulk acoustic wave)滤波器具有尺寸小、工作频率高、功耗低、品质因数高、与cmos工艺兼容等特点，广泛应用于射频前端模块的滤波器设计中。体声波滤波器中包括级联的串联支路和并联支路的体声波梯形滤波器的应用范围最广。但是现有的体声波梯形滤波器存在有传输零点退化，带外抑制性能不佳的问题。


技术实现要素：

4.有鉴于此，本发明实施例提供了一种体声波滤波器、版图布局方法以及通信器件，以解决体声波滤波器的传输零点退化问题，增强带外抑制性能。
5.本发明实施例提供了一种体声波滤波器的版图布局方法，所述体声波滤波器包括多条串联支路和并联支路，所述串联支路包括串联连接的串联谐振单元，所述并联支路包括并联谐振单元，包括：
6.控制第n条所述并联支路和第n i条所述并联支路之间的布图距离，以使第n条所述并联支路和第n i条所述并联支路之间的耦合电容小于预设电容值，其中，第n条所述并联支路和第n i条所述并联支路与所述串联支路连接，所述n的取值包括大于或等于1的整数，所述i的取值包括大于或等于1的整数。
7.可选的，控制第n条所述并联支路和第n i条所述并联支路之间的布图距离，以使第n条所述并联支路和第n i条所述并联支路之间的耦合电容小于预设电容值包括：
8.控制首级并联支路与末级并联支路的布图距离，以使第n条所述并联支路和第n i条所述并联支路之间的耦合电容小于预设电容值，其中，第n条所述并联支路为首级并联支路，第n i条所述并联支路为末级并联支路，所述首级并联支路与所述串联支路的连接点为首级连接点，所述末级并联支路与所述串联支路的连接点为末级连接点；所述首级连接点和所述串联支路的输入端间隔的所述串联谐振单元的数量小于所述末级连接点和所述串联支路的输入端间隔的所述串联谐振单元的数量。
9.可选的，控制第n条所述并联支路和第n i条所述并联支路之间的布图距离，以使第n条所述并联支路和第n i条所述并联支路之间的耦合电容小于预设电容值包括：
10.所述并联支路的数量大于或等于3，所述并联支路还包括至少一条中间并联支路，控制所述首级并联支路和所述中间并联支路中的任一一条之间的布图距离，以使第n条所述并联支路和第n i条所述并联支路之间的耦合电容小于预设电容值，其中，第n条所述并联支路为所述首级并联支路，第n i条所述并联支路为所述中间并联支路中的任一一条；
11.和/或，控制所述末级并联支路和所述中间并联支路中的任一一条之间的布图距
离，以使第n条所述并联支路和第n i条所述并联支路之间的耦合电容小于预设电容值，其中，第n条所述并联支路为所述中间并联支路中的任一一条，第n i条所述并联支路为所述末级并联支路。
12.可选的，控制第n条所述并联支路和第n i条所述并联支路之间的布图距离，以使第n条所述并联支路和第n i条所述并联支路之间的耦合电容小于预设电容值包括：
13.所述并联支路的数量大于或等于4，所述并联支路还包括至少两条中间并联支路，控制至少两条所述中间并联支路之间的布图距离，以使第n条所述并联支路和第n i条所述并联支路之间的耦合电容小于预设电容值，其中，第n条所述并联支路和第n i条所述并联支路为所述中间并联支路中的任意两条。
14.可选的，控制第n条所述并联支路和第n i条所述并联支路之间的布图距离，以使第n条所述并联支路和第n i条所述并联支路之间的耦合电容小于预设电容值包括：
15.控制第n条并联支路和第n i条并联支路的并联谐振单元的边缘之间的最短直线距离大于或等于预设距离，以使第n条所述并联支路和第n i条所述并联支路之间的耦合电容小于预设电容值。
16.本发明实施例还提供了一种体声波滤波器，所述体声波滤波器包括多条串联支路和并联支路；所述串联支路包括串联连接的串联谐振单元，所述并联支路包括并联谐振单元，包括：
17.第n条所述并联支路和第n i条所述并联支路与所述串联支路连接，第n条所述并联支路和第n i条所述并联支路之间的布图距离使得第n条所述并联支路和第n i条所述并联支路之间的耦合电容小于预设电容值，其中，所述n的取值包括大于或等于1的整数，所述i的取值包括大于或等于1的整数。
18.可选的，所述串联支路包括串联连接的串联谐振单元，所述并联支路包括并联谐振单元；
19.第n条所述并联支路为首级并联支路，第n i条所述并联支路为末级并联支路，其中，所述首级并联支路与所述串联支路的连接点为首级连接点，所述末级并联支路与所述串联支路的连接点为末级连接点；所述首级连接点和所述串联支路的输入端间隔的所述串联谐振单元的数量小于所述末级连接点和所述串联支路的输入端间隔的所述串联谐振单元的数量。
20.可选的，所述并联支路的数量大于或等于3，所述并联支路还包括至少一条中间并联支路；
21.第n条所述并联支路为所述首级并联支路，第n i条所述并联支路为所述中间并联支路中的任一一条；
22.和/或，第n条所述并联支路为所述中间并联支路中的任一一条，第n i条所述并联支路为所述末级并联支路。
23.可选的，所述并联支路的数量大于或等于4，所述并联支路还包括至少两条中间并联支路；第n条所述并联支路和第n i条所述并联支路所述中间并联支路中的任意两条。
24.可选的，所述预设电容值小于或等于0.001pf。
25.可选的，第n条所述并联支路和第n i条所述并联支路的并联谐振单元的边缘之间的最短直线距离大于或等于预设距离。
26.可选的，所述预设距离大于或等于200微米。
27.本发明实施例还提供了一种通信器件，包括上述技术方案中任意所述的体声波滤波器；
28.所述通信器件包括双工器或者多工器中。
29.本发明实施例提供的技术方案，控制第n条并联支路和第n i条并联支路之间的布图距离，以使第n条并联支路和第n i条并联支路之间的耦合电容小于预设电容值，减小了并联支路之间的耦合作用，使得体声波滤波器的传输零点的凹陷程度大幅度加深，进而解决了体声波滤波器的传输零点退化的问题，增强了带外抑制性能。
附图说明
30.图1为现有技术中的一种体声波滤波器的拓扑结构示意图；
31.图2为图1示出的体声波滤波器的传输响应曲线；
32.图3为本发明实施例提供的一种体声波滤波器的版图布局方法的流程示意图；
33.图4为本发明实施例提供的一种体声波滤波器的拓扑结构示意图；
34.图5为本发明实施例提供的另一种体声波滤波器的结构示意图；
35.图6为本发明实施例提供的又一种体声波滤波器的结构示意图；
36.图7为图4
‑
图6示出的体声波滤波器的传输响应曲线；
37.图8为图7示出的体声波滤波器的传输响应曲线和现有技术中的体声波滤波器的传输响应曲线的对比图；
38.图9为本发明实施例提供的另一种体声波滤波器的版图布局方法的流程示意图；
39.图10为图4示出的体声滤波器的版图布局示意图；
40.图11为现有技术中的体声波滤波器的版图布局示意图。
具体实施方式
41.下面结合附图和实施例对本发明作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本发明，而非对本发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本发明相关的部分而非全部结构。
42.发明人经过长期研究发现，现有的应用范围最广的体声波梯形滤波器存在有传输零点退化，带外抑制性能不佳的问题。图1为现有技术中的一种体声波滤波器的拓扑结构示意图。图2为图1示出的体声波滤波器的传输响应曲线。参见图1和图2，现有技术中的一种体声波滤波器包括串联谐振单元se1、串联谐振单元se2、串联谐振单元se3和串联谐振单元se4组成的串联支路和3条并联支路，串联支路包括输入端101和输出端102，并联谐振单元sh1、并联谐振单元sh2和并联谐振单元sh3构成了3条并联支路。参见图2，现有的体声波滤波器在频率为fa时出现第一传输零点a0，在频率为fb时出现了第二传输零点b0。3条并联支路中任意两条之间必然会存在耦合电容，现有技术中，并联支路之间的布图距离过小，导致并联支路之间的耦合电容太大，进而导致现有的体声波滤波器中的第一传输零点a0退化，出现带外抑制性能不佳的问题。需要说明的是，图1示例性的示出了并联谐振单元sh1和并联谐振单元sh3之间的耦合电容c0。
43.针对上述技术问题，本发明实施例提供了如下技术方案：
44.图3为本发明实施例提供的一种体声波滤波器的版图布局方法的流程示意图。图4为本发明实施例提供的一种体声波滤波器的拓扑结构示意图。图5为本发明实施例提供的另一种体声波滤波器的结构示意图。图6为本发明实施例提供的又一种体声波滤波器的结构示意图。图7为图4
‑
图6示出的体声波滤波器的传输响应曲线。图8为图7示出的体声波滤波器的传输响应曲线和现有技术中的体声波滤波器的传输响应曲线的对比图。参见图4
‑
图6，该声波滤波器的版图布局方法适用于包括多条串联支路和并联支路的体声波滤波器，其中，串联支路包括串联连接的串联谐振单元，并联支路包括并联谐振单元。示例性的，图4中串联支路包括串联连接的串联谐振单元se1、串联谐振单元se2、串联谐振单元se3和串联谐振单元se4。图5和图6中串联支路包括串联连接的串联谐振单元se1、串联谐振单元se2和串联谐振单元se3。图4和图5包括并联谐振单元sh1、并联谐振单元sh2和并联谐振单元sh3构成的3条并联支路，图6包括并联谐振单元sh1、并联谐振单元sh2、并联谐振单元sh3和并联谐振单元sh4构成的4条并联支路。图4
‑
图6中串联支路包括输入端101和输出端102。具体的，梯形体声波滤波器包括l型、t型和π型。图4示出了t型体声波滤波器的拓扑结构示意图。图5示出了l型体声波滤波器型体声波滤波器的拓扑结构示意图。图6示出了π型体声波滤波器型体声波滤波器的拓扑结构示意图。
45.参见图3，该体声波滤波器的版图布局方法包括如下步骤：
46.步骤110、控制第n条并联支路和第n i条并联支路之间的布图距离，以使第n条并联支路和第n i条并联支路之间的耦合电容小于预设电容值，其中，第n条并联支路和第n i条并联支路与串联支路连接，n的取值包括大于或等于1的整数，i的取值包括大于或等于1的整数。
47.具体的，参见图4
‑
图6，串联支路包括输入端101和输出端102，并联支路包括首级并联支路和末级并联支路，其中，首级并联支路与串联支路的连接点为首级连接点p1，末级并联支路与串联支路的连接点为末级连接点p2；首级连接点p1和串联支路的输入端101间隔的串联谐振单元的数量小于末级连接点p2和串联支路的输入端101间隔的串联谐振单元的数量。首级并联支路和末级并联支路之间的为中间并联支路，中间并联支路与串联支路的连接点为中间连接点p3。示例性的，在图4
‑
图6中设定第n条并联支路为首级并联支路，第n i条并联支路为末级并联支路，图4
‑
图6中n的取值为1，图4和图5中，i的取值为2，图6中i的取值为3。
48.在体声波谐振滤波器中，多条并联支路中任意两条之间必然会存在耦合电容，并联支路之间的布图距离会影响并联支路之间的耦合电容。两条并联支路之间的布图距离越大，两条并联支路之间的耦合电容越小，两条并联支路之间的布图距离越小，两条并联支路之间的耦合电容越大。
49.本发明实施例提供的技术方案中，在图4
‑
图6中，控制首级并联支路和末级并联支路之间的布图距离，以使控制首级并联支路和末级并联支路之间的耦合电容c1小于预设电容值，进而可以减小首级并联支路和末级并联支路之间的耦合作用。当第n条并联支路不限定于首级并联支路，第n i条并联支路不限定于末级并联支路，n的取值包括大于或等于1的整数，i的取值包括大于或等于1的整数时，通过控制第n条并联支路和第n i条并联支路之间的布图距离，可以使得第n条并联支路和第n i条并联支路之间的耦合电容小于预设电容值，减小了第n条并联支路和第n i条并联支路之间的耦合作用。
50.具体的，参见图7，体声波滤波器在频率为fa时，并联支路的的阻抗为极小值，信号几乎全部被短路到地，因此在频率为fa时，出现了第三传输零点a1。体声波滤波器在频率为fb时，串联支路阻抗极大，串联支路相当于断路，出现了第四传输零点b1。
51.首级并联支路和末级并联支路为例进行说明。参见图8，虚线为现有技术中的体声波滤波器的传输响应曲线，其中，现有技术的体声波滤波器中，并联谐振单元sh1构成的首级并联支路和并联谐振单元sh3构成的末级并联支路之间的耦合电容c0太大，以至于大于预设电容值。实线为本发明实施例图4
‑
图6示出的体声波滤波器的传输响应曲线。其中，以图4为例说明，首级并联支路的并联谐振单元sh1和末级并联支路的并联谐振单元sh3的耦合电容c1小于预设电容值。从图8明显可以看出，本发明实施例示出的体声波滤波器在频率为fa时，并联谐振单元sh1构成的首级并联支路和并联谐振单元sh3构成的末级并联支路之间的耦合电容c1小于预设电容值小于预设电容值，第三传输零点a1的凹陷程度大幅度加深。推广到当第n条并联支路不限定于首级并联支路，第n i条并联支路不限定于末级并联支路，n的取值包括大于或等于1的整数，i的取值包括大于或等于1的整数时，通过控制第n条并联支路和第n i条并联支路之间的布图距离，可以使得第n条并联支路和第n i条并联支路之间的耦合电容小于预设电容值，多条串联支路和并联支路构成的体声波谐振滤波器，在频率为fa时，第三传输零点a1的凹陷程度大幅度加深。
52.本发明实施例提供的技术方案，控制第n条并联支路和第n i条并联支路之间的布图距离，以使第n条并联支路和第n i条并联支路之间的耦合电容小于预设电容值，减小了并联支路之间的耦合作用，使得体声波滤波器在频率为fa时，第三传输零点a1的凹陷程度大幅度加深，进而解决了体声波滤波器的传输零点退化的问题，增强了带外抑制性能。
53.图9为本发明实施例提供的另一种体声波滤波器的版图布局方法的流程示意图。可选的，在上述技术方案的基础上，参见图9，步骤110控制第n条并联支路和第n i条并联支路之间的布图距离，以使第n条并联支路和第n i条并联支路之间的耦合电容小于预设电容值包括：
54.步骤1101、控制首级并联支路与末级并联支路的布图距离，以使第n条并联支路和第n i条并联支路之间的耦合电容小于预设电容值，其中，第n条并联支路为首级并联支路，第n i条并联支路为末级并联支路，首级并联支路与串联支路的连接点为首级连接点，末级并联支路与串联支路的连接点为末级连接点；首级连接点和串联支路的输入端间隔的串联谐振单元的数量小于末级连接点和串联支路的输入端间隔的串联谐振单元的数量。
55.具体的，参见图4
‑
图6，首级并联支路的并联谐振单元和末级并联支路的并联谐振单元的耦合电容c1小于预设电容值，减小了首级并联支路的并联谐振单元和末级并联支路的并联谐振单元之间的耦合作用。参见图7和图8，上述技术方案使得体声波滤波器在频率为fa时，第三传输零点a1的凹陷程度大幅度加深，进而解决了体声波滤波器的传输零点退化的问题，增强了带外抑制性能。
56.可选的，在上述技术方案的基础上，参见图9，步骤110控制第n条并联支路和第n i条并联支路之间的布图距离，以使第n条并联支路和第n i条并联支路之间的耦合电容小于预设电容值包括：
57.步骤1102、并联支路的数量大于或等于3，并联支路还包括至少一条中间并联支路，控制首级并联支路和中间并联支路中的任一一条之间的布图距离，以使第n条并联支路
和第n i条并联支路之间的耦合电容小于预设电容值，其中，第n条并联支路为首级并联支路，第n i条并联支路为中间并联支路中的任一一条。
58.和/或，步骤1103、控制末级并联支路和中间并联支路中的任一一条之间的布图距离，以使第n条并联支路和第n i条并联支路之间的耦合电容小于预设电容值，其中，第n条并联支路为中间并联支路中的任一一条，第n i条并联支路为末级并联支路。
59.需要指出的是，在体声波滤波器中，串联支路中包括的串联谐振单元以及中间并联支路的数量越多，体声波滤波器越不容易出现传输零点退化的问题，带外抑制性能越好。具体的，参见图4
‑
图6，中间并联支路与串联支路的连接点为中间连接点p3。图4和图5示例性的仅仅示出了1个中间并联支路以及1个中间连接点p3的技术方案。图6示例性的示出了2个中间并联支路以及2个中间连接点p3的技术方案。
60.在上述技术方案的基础上，以图6为例进行说明，在本发明实施例的技术方案可以保证首级并联支路的并联谐振单元sh1和末级并联支路的并联谐振单元sh4的耦合电容、首级并联支路的并联谐振单元sh1以及末级并联支路的并联谐振单元sh4和中间并联支路中的任一一条的并联谐振单元sh2和并联谐振单元sh3的耦合电容小于预设电容值，进而减小了首级并联支路的并联谐振单元sh1、末级并联支路的并联谐振单元sh4之间的耦合作用，以及首级并联支路的并联谐振单元sh1以及末级并联支路的并联谐振单元sh4和中间并联支路中的任一一条的并联谐振单元sh2和并联谐振单元sh3的耦合作用。推广到当第n条并联支路不限定于首级并联支路，第n i条并联支路不限定于末级并联支路，n的取值包括大于或等于1的整数，i的取值包括大于或等于1的整数时，控制首级并联支路和中间并联支路中的任一一条之间的布图距离，以使第n条并联支路和第n i条并联支路之间的耦合电容小于预设电容值，和/或，控制末级并联支路和中间并联支路中的任一一条之间的布图距离，以使第n条并联支路和第n i条并联支路之间的耦合电容小于预设电容值，进一步加深了体声波滤波器在频率fa时第三传输零点a1的凹陷程度，进而解决了体声波滤波器的传输零点退化的问题，增强了带外抑制性能。
61.可选的，在上述技术方案的基础上，参见图9，步骤110控制第n条并联支路和第n i条并联支路之间的布图距离，以使第n条并联支路和第n i条并联支路之间的耦合电容小于预设电容值包括：
62.步骤1104、并联支路的数量大于或等于4，并联支路还包括至少两条中间并联支路，控制至少两条中间并联支路之间的布图距离，以使第n条并联支路和第n i条并联支路之间的耦合电容小于预设电容值，其中，第n条并联支路和第n i条并联支路为中间并联支路中的任意两条。
63.具体的，图6示例性的仅仅示出了2个中间并联支路以及2个中间连接点p3的技术方案。当体声波滤波器包括至少2个中间并联支路以及至少2个中间连接点p3时，在上述技术方案的基础上，中间并联支路中的任意两条对应的并联谐振单元的耦合电容小于预设电容值，可以保证体声波滤波器任意两条并联支路对应的并联谐振单元的耦合电容小于预设电容值，进而减少了任意两条并联支路对应的并联谐振单元的耦合作用，进一步加深了体声波滤波器在频率fa时第三传输零点a1的凹陷程度，进而解决了体声波滤波器的传输零点退化的问题，增强了带外抑制性能。需要说明的是，中间并联支路中的任意两条对应的并联谐振单元的耦合电容并未在拓扑结构示意图中示出。
64.需要说明的是，本发明实施例对于步骤1101、步骤1102、步骤1103和步骤1104的先后顺序可以不作限定。
65.图10为图4示出的体声滤波器的版图布局示意图。图11为现有技术中的体声波滤波器的版图布局示意图。其中，接地端的附图标记为103。
66.可选的，在上述技术方案的基础上，步骤110控制第n条并联支路和第n i条并联支路之间的布图距离，以使第n条并联支路和第n i条并联支路之间的耦合电容小于预设电容值包括：
67.控制第n条并联支路和第n i条并联支路的并联谐振单元的边缘之间的最短直线距离大于或等于预设距离，以使第n条并联支路和第n i条并联支路之间的耦合电容小于预设电容值。
68.示例性的，在图10和图11中示出的是在x方向和y方向所在平面内比较的首级并联支路(与串联支路的连接点为首级连接点p1)的并联谐振单元sh1和末级并联支路(与串联支路的连接点为末级连接点p2)的并联谐振单元sh3的边缘之间的最短直线距离，本发明实施例对于耦合电容小于预设电容值的两条并联支路的并联谐振单元的边缘之间的最短直线距离大于或等于预设距离并不局限于x方向和y方向所在平面内。图10和图11中串联谐振单元se4包括串联连接的第一子谐振单元se4
‑
1和第二子谐振单元se4
‑
2。并联谐振单元sh3包括第三子谐振单元sh3
‑
1和第四子谐振单元sh3
‑
2。
69.示例性的，在x方向和y方向所在平面内，图10中首级并联支路的并联谐振单元sh1和末级并联支路的并联谐振单元sh3之间间隔有串联谐振单元se4的第二子谐振单元se4
‑
2。在x方向和y方向所在平面内，图11中首级并联支路的并联谐振单元sh1和末级并联支路的并联谐振单元sh3相邻设置。图10中首级并联支路的并联谐振单元sh1和末级并联支路的并联谐振单元sh3的边缘之间的最短直线距离l1大于图11中首级并联支路的并联谐振单元sh1和末级并联支路的并联谐振单元sh3的边缘之间的最短直线距离l0。其中，图10中，首级并联支路的并联谐振单元sh1和末级并联支路的并联谐振单元sh3的边缘之间的最短直线距离l1大于或等于预设距离。图11中，首级并联支路的并联谐振单元sh1和末级并联支路的并联谐振单元sh3的边缘之间的最短直线距离l0小于预设距离。
70.具体的，在体声波滤波器的版图布局中，首级并联支路的并联谐振单元sh1和末级并联支路的并联谐振单元sh3的边缘之间的最短直线距离大于或等于预设距离，以保证首级并联支路的并联谐振单元sh1和末级并联支路的并联谐振单元sh3的耦合电容c1小于预设电容值，可以减小首级并联支路的并联谐振单元sh1和末级并联支路的并联谐振单元sh3之间的耦合作用，使得体声波滤波器在频率为fa时，第三传输零点a1的凹陷程度大幅度加深，进而解决了体声波滤波器的传输零点退化的问题，增强了带外抑制性能。当第n条并联支路不限定于首级并联支路，第n i条并联支路不限定于末级并联支路，n的取值包括大于或等于1的整数，i的取值包括大于或等于1的整数时，通过控制第n条并联支路和第n i条并联支路的并联谐振单元的边缘之间的最短直线距离大于或等于预设距离，以使第n条并联支路和第n i条并联支路之间的耦合电容小于预设电容值，减小了第n条并联支路和第n i条并联支路之间的耦合作用，进一步加深了体声波滤波器在频率fa时第三传输零点a1的凹陷程度，进而解决了体声波滤波器的传输零点退化的问题，增强了带外抑制性能。需要说明的是，中间并联支路中的任意两条对应的并联谐振单元的耦合电容并未在拓扑结构示意图
中示出。
71.本发明实施例还提供了一种体声波滤波器。参见图4
‑
图6，体声波滤波器包括多条串联支路和并联支路；串联支路包括串联连接的串联谐振单元，并联支路包括并联谐振单元，其特征在于，包括：第n条并联支路和第n i条并联支路与串联支路连接，第n条并联支路和第n i条并联支路之间的布图距离使得第n条并联支路和第n i条并联支路之间的耦合电容小于预设电容值，其中，n的取值包括大于或等于1的整数，i的取值包括大于或等于1的整数。
72.本发明实施例提供的技术方案，控制第n条并联支路和第n i条并联支路之间的布图距离，以使第n条并联支路和第n i条并联支路之间的耦合电容小于预设电容值，减小了并联支路之间的耦合作用，使得体声波滤波器在频率为fa时，第三传输零点a1的凹陷程度大幅度加深，进而解决了体声波滤波器的传输零点退化的问题，增强了带外抑制性能。
73.可选的，在上述技术方案的基础上，串联支路包括串联连接的串联谐振单元，并联支路包括并联谐振单元；第n条并联支路为首级并联支路，第n i条并联支路为末级并联支路，其中，首级并联支路与串联支路的连接点为首级连接点，末级并联支路与串联支路的连接点为末级连接点；首级连接点和串联支路的输入端间隔的串联谐振单元的数量小于末级连接点和串联支路的输入端间隔的串联谐振单元的数量。
74.具体的，参见图4
‑
图6，首级并联支路的并联谐振单元和末级并联支路的并联谐振单元的耦合电容c1小于预设电容值，减小了首级并联支路的并联谐振单元和末级并联支路的并联谐振单元之间的耦合作用。参见图7和图8，上述技术方案使得体声波滤波器在频率为fa时，第三传输零点a1的凹陷程度大幅度加深，进而解决了体声波滤波器的传输零点退化的问题，增强了带外抑制性能。
75.可选的，在上述技术方案的基础上，并联支路的数量大于或等于3，并联支路还包括至少一条中间并联支路；第n条并联支路为首级并联支路，第n i条并联支路为中间并联支路中的任一一条；和/或，第n条并联支路为中间并联支路中的任一一条，第n i条并联支路为末级并联支路。
76.需要指出的是，在体声波滤波器中，串联支路中包括的串联谐振单元以及中间并联支路的数量越多，体声波滤波器越不容易出现传输零点退化的问题，带外抑制性能越好。具体的，参见图4
‑
图6，中间并联支路与串联支路的连接点为中间连接点p3。图4和图5示例性的仅仅示出了1个中间并联支路以及1个中间连接点p3的技术方案。图6示例性的示出了2个中间并联支路以及2个中间连接点p3的技术方案。
77.在上述技术方案的基础上，以图6为例进行说明，在本发明实施例的技术方案可以保证首级并联支路的并联谐振单元sh1和末级并联支路的并联谐振单元sh4的耦合电容、首级并联支路的并联谐振单元sh1以及末级并联支路的并联谐振单元sh4和中间并联支路中的任一一条的并联谐振单元sh2和并联谐振单元sh3的耦合电容小于预设电容值，进而减小了首级并联支路的并联谐振单元sh1、末级并联支路的并联谐振单元sh4之间的耦合作用，以及首级并联支路的并联谐振单元sh1以及末级并联支路的并联谐振单元sh4和中间并联支路中的任一一条的并联谐振单元sh2和并联谐振单元sh3的耦合作用，进一步加深了体声波滤波器在频率fa时第三传输零点a1的凹陷程度，进而解决了体声波滤波器的传输零点退化的问题，增强了带外抑制性能。推广到当第n条并联支路不限定于首级并联支路，第n i条
并联支路不限定于末级并联支路，n的取值包括大于或等于1的整数，i的取值包括大于或等于1的整数时，控制首级并联支路和中间并联支路中的任一一条之间的布图距离，以使第n条并联支路和第n i条并联支路之间的耦合电容小于预设电容值，和/或，控制末级并联支路和中间并联支路中的任一一条之间的布图距离，以使第n条并联支路和第n i条并联支路之间的耦合电容小于预设电容值，进一步加深了体声波滤波器在频率fa时第三传输零点a1的凹陷程度，进而解决了体声波滤波器的传输零点退化的问题，增强了带外抑制性能。需要说明的是，在图4
‑
图6中仅仅示出了首级并联支路的并联谐振单元和末级并联支路的并联谐振单元的耦合电容c1，首级并联支路的并联谐振单元以及末级并联支路的并联谐振单元和中间并联支路中的任一一条的并联谐振单元的耦合电容并未在拓扑结构图中示出。
78.可选的，在上述技术方案的基础上，并联支路的数量大于或等于4，并联支路还包括至少两条中间并联支路；第n条并联支路和第n i条并联支路中间并联支路中的任意两条。
79.具体的，图6示例性的仅仅示出了2个中间并联支路以及2个中间连接点p3的技术方案。当体声波滤波器包括至少2个中间并联支路以及至少2个中间连接点p3时，在上述技术方案的基础上，中间并联支路中的任意两条对应的并联谐振单元的耦合电容小于预设电容值，可以保证体声波滤波器任意两条并联支路对应的并联谐振单元的耦合电容小于预设电容值，进而减少了任意两条并联支路对应的并联谐振单元的耦合作用，进一步加深了体声波滤波器在频率fa时第三传输零点a1的凹陷程度，进而解决了体声波滤波器的传输零点退化的问题，增强了带外抑制性能。
80.可选的，在上述技术方案的基础上，预设电容值小于或等于0.001pf。
81.具体的，预设电容值大于0.001pf时，体声波滤波器中并联支路中的并联谐振单元的耦合作用太大，当频率为fa时，体声波滤波器对应的传输零点的凹陷程度比较小，导致体声波率滤波器出现传输零点退化，带外抑制性能不佳的问题。因此，本发明实施例中，控制第n条并联支路和第n i条并联支路之间的布图距离，以使第n条并联支路和第n i条并联支路之间的耦合电容小于预设电容值，其中，预设电容值小于或等于0.001pf，可以减小第n条并联支路和第n i条并联支路之间的耦合作用，使得体声波滤波器在频率为fa时，第三传输零点a1的凹陷程度大幅度加深，进而解决了体声波滤波器的传输零点退化的问题，增强了带外抑制性能。
82.可选的，在上述技术方案的基础上，第n条并联支路和第n i条并联支路的并联谐振单元的边缘之间的最短直线距离大于或等于预设距离。
83.具体的，参见图10，在体声波滤波器的版图布局中，首级并联支路的并联谐振单元sh1和末级并联支路的并联谐振单元sh3的边缘之间的最短直线距离大于或等于预设距离，以保证首级并联支路的并联谐振单元sh1和末级并联支路的并联谐振单元sh3的耦合电容c1小于预设电容值，可以减小首级并联支路的并联谐振单元sh1和末级并联支路的并联谐振单元sh3之间的耦合作用，使得体声波滤波器在频率为fa时，第三传输零点a1的凹陷程度大幅度加深，进而解决了体声波滤波器的传输零点退化的问题，增强了带外抑制性能。当第n条并联支路不限定于首级并联支路，第n i条并联支路不限定于末级并联支路，n的取值包括大于或等于1的整数，i的取值包括大于或等于1的整数时，通过控制第n条并联支路和第n i条并联支路的并联谐振单元的边缘之间的最短直线距离大于或等于预设距离，以使第n
条并联支路和第n i条并联支路之间的耦合电容小于预设电容值，减小了第n条并联支路和第n i条并联支路之间的耦合作用，进一步加深了体声波滤波器在频率fa时第三传输零点a1的凹陷程度，进而解决了体声波滤波器的传输零点退化的问题，增强了带外抑制性能。需要说明的是，中间并联支路中的任意两条对应的并联谐振单元的耦合电容并未在拓扑结构示意图中示出。
84.可选的，在上述技术方案的基础上，预设距离大于或等于200微米。
85.具体的，预设距离小于200微米时，体声波滤波器中并联支路中的并联谐振单元的耦合作用太大，不能保证两条并联支路的并联谐振单元的耦合电容小于预设电容值，进而当频率为fa时，体声波滤波器对应的传输零点的凹陷程度比较小，导致体声波率滤波器出现传输零点退化，带外抑制性能不佳的问题。因此，以图10为例，本发明实施例中，首级并联支路的并联谐振单元sh1和末级并联支路的并联谐振单元sh3的边缘之间的最短直线距离大于或等于200微米时，对应的并联谐振单元之间的耦合作用很小，提高了体声波滤波器在频率fa时第三传输零点a1的凹陷程度，进而解决了体声波滤波器的传输零点退化的问题，增强了带外抑制性能。当第n条并联支路不限定于首级并联支路，第n i条并联支路不限定于末级并联支路，n的取值包括大于或等于1的整数，i的取值包括大于或等于1的整数时，通过控制第n条并联支路和第n i条并联支路的并联谐振单元的边缘之间的最短直线距离大于或等于预设距离，预设距离大于或等于200微米，以使第n条并联支路和第n i条并联支路之间的耦合电容小于预设电容值，减小了第n条并联支路和第n i条并联支路之间的耦合作用，进一步加深了体声波滤波器在频率fa时第三传输零点a1的凹陷程度，进而解决了体声波滤波器的传输零点退化的问题，增强了带外抑制性能。
86.可选的，还可以设定耦合电容小于预设电容值的两条并联支路的并联谐振单元之间的介质层的介电常数设定在预设范围之内，以实现不同并联支路的并联谐振单元之间的耦合电容c1小于预设电容值，可以加深体声波滤波器在频率fa时第三传输零点a1的凹陷程度，进而解决了体声波滤波器的传输零点退化的问题，增强了带外抑制性能。
87.可选的，在上述技术方案的基础上，参见图4和图6，还可以在并联支路还可以包括电感，其中，图4和图5包括并联谐振单元sh1和电感l1、并联谐振单元sh2和电感l2、以及并联谐振单元sh3和电感l3构成的3条并联支路。图6包括并联谐振单元sh1和电感l1、并联谐振单元sh2和电感l2、并联谐振单元sh3和电感l3以及并联谐振单元sh4和电感l4构成的4条并联支路。具体的，并联支路中设施电感，可以进一步提高体声波滤波器在频率为fa时，第三传输零点a1的凹陷程度，进而进一步缓解体声波滤波器的传输零点退化的问题，并且增强带外抑制性能。
88.本发明实施例还提供了一种通信器件。该通信器件包括上述技术方案中任意所述的体声波滤波器；通信器件包括双工器或者多工器中。
89.具体的，双工器可以简单的理解为两个体声波滤波器的工作，一个是接收体声波滤波器来接收信号，一个是发射体声波滤波器来发射信号。多工器可以简单的理解为至少两个双工器构成的通信器件。
90.本发明实施例提供的通信器件包括如上述技术方案中任意所述的体声波滤波器，因此具有上述体声波滤波器所具有的有益效果，在此不再赘述。
91.注意，上述仅为本发明的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，
本发明不限于这里所述的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本发明的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本发明进行了较为详细的说明，但是本发明不仅仅限于以上实施例，在不脱离本发明构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本发明的范围由所附的权利要求范围决定。