阶梯型结构窄带FBAR滤波器的制作方法

技术特征：
1.一种阶梯型结构窄带fbar滤波器，其特征在于，包括：输入端、输出端、接地端、多个串臂谐振器和多个并臂谐振器；所述多个串臂谐振器包括：依次串联连接在所述输入端和所述输出端之间的第一谐振器、第二谐振器、第三谐振器、第四谐振器、第五谐振器及第六谐振器；所述多个并臂谐振器包括：第七谐振器、第八谐振器、第九谐振器、第十谐振器、第十一谐振器及第十二谐振器；所述第七谐振器，第一端与所述第一谐振器和所述第二谐振器的连接点连接，第二端通过所述第十谐振器与所述接地端连接；所述第八谐振器，第一端与所述第三谐振器和所述第四谐振器的连接点连接，第二端通过所述第十一谐振器与所述接地端连接；所述第九谐振器，第一端与所述第五谐振器和所述第六谐振器的连接点连接，第二端通过所述第十二谐振器与所述接地端连接；其中，所述多个串臂谐振器及所述多个并臂谐振器的面积的取值范围均为4000μm2‑
80000μm2。2.如权利要求1所述的阶梯型结构窄带fbar滤波器，其特征在于，所述多个串臂谐振器的串联谐振频率和并联谐振频率相同。3.如权利要求2所述的阶梯型结构窄带fbar滤波器，其特征在于，所述第七谐振器、所述第八谐振器及所述第九谐振器的串联谐振频率和并联谐振频率相同，所述第十谐振器、所述第十一谐振器及所述第十二谐振器的串联谐振频率和并联谐振频率相同，且所述第七谐振器与所述第十谐振器的串联谐振频率和并联谐振频率均不同。4.如权利要求3所述的阶梯型结构窄带fbar滤波器，其特征在于，所述第七谐振器、所述第八谐振器及所述第九谐振器的串联谐振频率和并联谐振频率，与所述多个串臂谐振器的串联谐振频率和并联谐振频率相同；所述第十谐振器的并联谐振频率与所述第一谐振器的串联谐振频率相同。5.如权利要求1所述的阶梯型结构窄带fbar滤波器，其特征在于，所述第一谐振器和所述第三谐振器的面积为17950μm2‑
18050μm2，所述第二谐振器的面积为14950μm2‑
15050μm2，所述第四谐振器、所述第五谐振器和所述第六谐振器的面积为15950μm2‑
16050μm2，所述第七谐振器和所述第八谐振器的面积为12950μm2‑
13050μm2，所述第九谐振器的面积为13950μm2‑
14050μm2，所述第十谐振器、所述第十一谐振器及所述第十二谐振器的面积为34950μm2‑
35050μm2。6.如权利要求1所述的阶梯型结构窄带fbar滤波器，其特征在于，所述阶梯型结构窄带fbar滤波器的版图自下而上依次包括：牺牲层、下电极层、上电极层、差频层及孔层；所述差频层与第一类谐振器对应，第二类谐振器不具有所述差频层；所述差频层用于产生所述第一类谐振器与所述第二类谐振器之间的频率差；其中，所述第一类谐振器为所述多个串臂谐振器及所述多个并臂谐振器中的至少一个，所述第二类谐振器也为所述多个串臂谐振器及所述多个并臂谐振器中的至少一个；所述孔层中开设有多个释放孔，每个谐振器均设有多个释放通道，每个所述释放通道至少对应一个释放孔。7.如权利要求6所述的阶梯型结构窄带fbar滤波器，其特征在于，所述第一类谐振器包
括：所述第十谐振器、所述第十一谐振器及所述第十二谐振器；所述第二类谐振器包括：所述多个串臂谐振器、所述第七谐振器、所述第八谐振器及所述第九谐振器。8.如权利要求6所述的阶梯型结构窄带fbar滤波器，其特征在于，所述上电极层的厚度为所述下电极层的厚度为所述差频层的厚度为所述释放孔的直径为15μm
‑
25μm；所述滤波器的压电层的厚度为9.如权利要求6所述的阶梯型结构窄带fbar滤波器，其特征在于，所述第一谐振器、所述第三谐振器和所述第五谐振器的中心位于第一直线上，所述第二谐振器、所述第四谐振器和所述第六谐振器的中心位于第二直线上，且所述第一直线和所述第二直线平行；所述第一谐振器至所述第六谐振器中相邻的任意三个谐振器的中心连线均构成v字型，相邻两个v字型的开口朝向相反，且各个v字型的开口角度小于90
°
。

技术总结
本发明涉及滤波器技术领域，提供了一种阶梯型结构窄带FBAR滤波器，上述滤波器包括：输入端、输出端、接地端、多个串臂谐振器和多个并臂谐振器；多个串臂谐振器包括：依次串联连接在输入端和输出端之间的第一谐振器至第六谐振器；多个并臂谐振器包括：第七谐振器至第十二谐振器；第七谐振器，第一端与第一谐振器和第二谐振器的连接点连接，第二端通过第十谐振器与接地端连接；第八谐振器，第一端与第三谐振器和第四谐振器的连接点连接，第二端通过第十一谐振器与接地端连接；第九谐振器，第一端与第五谐振器和第六谐振器的连接点连接，第二端通过第十二谐振器与接地端连接。本发明提供的滤波器可允许特定频率的信号通过。的滤波器可允许特定频率的信号通过。的滤波器可允许特定频率的信号通过。


技术研发人员：王胜福 李丽 李宏军 张仕强 王磊 于江涛 张韶华 李亮 梁东升 王飞 韩易 张璇 卞丽哲 贾文霞
受保护的技术使用者：中国电子科技集团公司第十三研究所
技术研发日：2021.06.30
技术公布日：2021/10/8