一种接入装置以及排气系统的制作方法

本实用新型涉及接入装置，具体涉及一种用于扩充供气设备的接入装置以及排气系统。

背景技术：

在众多微电子行业会使用到一些易燃易爆的特殊气体，如硅烷，特殊气体一般存储在钢瓶容器中，通过安装在安全有效的供气设备中供应至生产设备，在气体用完或是供气设备出现问题时需要对其中的特殊气体进行吹扫，将容器内或管道内残留的特殊气体吹扫至尾气处理器。由于微电子行业近年来扩大产能、设备更新频繁，如需增加供气设备，则需要对原有系统进行大改造，且尾气处理器价格高、系统配置工程造价大，现有的生产设备不利于增加和扩充供气设备。

技术实现要素：

本实用新型针对现有技术不方便扩充供气设备的缺点，提供了一种接入装置。

为了解决上述技术问题，本实用新型通过下述技术方案得以解决：

一种接入装置，用于连接工艺设备尾气泵、供气设备以及尾气处理器，其特征在于，包括第一接头、第二接头以及连接管；所述连接管一端连接所述第一接头，另一端连接所述第二接头，用于连接扩充的供气设备；所述第一接头与所述尾气处理器连接；所述第二接头与所述工艺设备尾气泵、供气设备分别连接。

进一步地，所述第一接头与第二接头的连接管上设有支路管道，所述支路管道上设有第一阀门，所述支路管道末端上设有第三接头，用于连接增加的供气设备。

进一步地，所述第二传感器上部设有挡板结构，所述第一接头和第二接头为真空接头。

进一步地，所述第三接头为真空接头。

一种排气系统，包括工艺设备尾气泵、供气设备以及尾气处理器，还包括上述任一项的一种接入装置，所述第一接头与所述尾气处理器间设有第二阀门。

进一步地，所述第二接头连接有一个或多个供气设备，每个供气设备与所述第二接头间均设有第三阀门。

进一步地，所述第三阀门为活接球阀。

进一步地，所述尾气处理器设有一个或多个接口。

进一步地，所述尾气处理器的接口上设有柔性软管。

本实用新型由于采用了以上技术方案，具有以下益处：

在尾气处理器与供气设备之间增加用于扩充供气设备的接入装置，利用第一接头和第二接头使排气管道方便拆装，可以方便地安装新增的供气设备，满足日益增长的生产需求。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是包括接入装置的排气系统示意图；

图2是另一种包括接入装置的排气系统示意图。

如附图所示，第一接头1、第二接头2、连接管3、接入装置123、支路管道4、第一阀门5、第三接头6、第二阀门7、第三阀门8、工艺设备尾气泵10、供气设备20、尾气处理器30、接口301、柔性软管302。

具体实施方式

下面结合实施例对本实用新型做进一步的详细说明，以下实施例是对本实用新型的解释而本实用新型并不局限于以下实施例。

实施例1：

一种接入装置，如图1所示，用于连接工艺设备尾气泵10、供气设备20以及尾气处理器30，包括第一接头1、第二接头2以及连接管3，第一接头1、第二接头2以及连接管3一起组成接入设备123，用于连接扩充的供气设备。

连接管3一端连接第一接头1，另一端连接第二接头2；第一接头1与尾气处理器连接；第二接头2与工艺设备尾气泵10、供气设备20分别连接。

本实施例中的第一接头、第二接头在其他实施例中可以是真空接口。

实施例2：

如图1，本实施例中，包括具有实施例1中的接入装置的一种排气系统，包括工艺设备尾气泵10、两个供气设备20以及尾气处理器30，第一接头1与尾气处理间设有第二阀门7。

第二接头2连接有两个供气设备。

尾气处理器上设有一个接口301，接口上设有柔性软管302，用于连接其他管道。

本实施例中的供气设备可以是1个或者是任意个数。

本实施例中的尾气处理器上可以有多个接口，每个接口上均设有柔性软管。

当要增加供气设备时，把第二阀门7关闭，通过第一接头和第二接头将接入设备123拆卸下来，就能将需要增加的供气设备增加至排气系统中。

实施例2：

一种接入装置，如图1所示，用于连接工艺设备尾气泵10、供气设备20以及尾气处理器30，包括第一接头1、第二接头2以及连接管3，第一接头1、第二接头2以及连接管3一起组成接入设备123，用于连接扩充的供气设备。

连接管3一端连接第一接头1，另一端连接第二接头2；第一接头1与尾气处理器连接；第二接头2与工艺设备尾气泵10、供气设备20分别连接。

第一接头1与第二接头2的连接管3上设有支路管道4，支路管道4上设有第一阀门5，支路管道4末端上设有第三接头6，用于连接增加的供气设备。

本实施例中的第一接头、第二接头在其他实施例中可以是真空接口。

实施例4：

本实施例中包括具有实施例1或实施例3中的接入装置的一种排气系统，包括工艺设备尾气泵10、两个供气设备20以及尾气处理器30，第一接头1与尾气处理间设有第二阀门7。

第二接头2连接有两个供气设备20，每个供气设备与第二接头2间均设有第三阀门8。

尾气处理器上设有多个接口301，每个接口上设有柔性软管302，可用于连接其他管道。

本实施例中的第一阀门、第二阀门以及第三阀门在其他实施例中可以是活接球阀。

当要增加供气设备时，把第二阀门7关闭，不需拆卸第一接头1和第二接头2，只需将第一阀门关闭，需要增加的供气设备接入到第三接口6上就能使供气设备增加至排气系统中，在增加完毕后将第一阀门5打开。

对于装置实施例而言，由于其基本对应于方法实施例，所以相关之处参见方法实施例的部分说明即可。以上所描述的系统实施例仅仅是示意性的，其中所述作为分离部件说明的单元可以是或者也可以不是物理上分开的，作为单元显示的部件可以是或者也可以不是物理单元，即可以位于一个地方，或者也可以分布到多个网络单元上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部模块来实现本实施例方案的目的。本领域普通技术人员在不付出创造性劳动的情况下，即可以理解并实施。

以上所述仅是

本技术：
的具体实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本申请的保护范围。

技术特征：

1.一种接入装置，用于连接工艺设备尾气泵、供气设备以及尾气处理器，其特征在于，包括第一接头、第二接头以及连接管，用于连接扩充的供气设备；

所述连接管一端连接所述第一接头，另一端连接所述第二接头；

所述第一接头与所述尾气处理器连接；

所述第二接头与所述工艺设备尾气泵、供气设备分别连接。

2.根据权利要求1所述的一种接入装置，其特征在于，所述第一接头与第二接头的连接管上设有支路管道，所述支路管道上设有第一阀门，所述支路管道末端上设有第三接头，用于连接增加的供气设备。

3.根据权利要求1所述的一种接入装置，其特征在于，所述第一接头和第二接头为真空接头。

4.根据权利要求2所述的一种接入装置，其特征在于，所述第三接头为真空接头。

5.一种排气系统，包括工艺设备尾气泵、供气设备以及尾气处理器，其特征在于，还包括权利要求1-4中任一项的接入装置，所述第一接头与所述尾气处理器间设有第二阀门。

6.根据权利要求5所述的排气系统，其特征在于，所述第二接头连接有一个或多个供气设备，每个供气设备与所述第二接头间均设有第三阀门。

7.根据权利要求6所述的排气系统，其特征在于，所述第三阀门为活接球阀。

8.根据权利要求5所述的排气系统，其特征在于，所述尾气处理器设有一个或多个接口。

9.根据权利要求8所述的排气系统，其特征在于，所述尾气处理器的接口上设有柔性软管。

技术总结
本实用新型公开了一种接入装置以及排气系统，用于连接工艺设备尾气泵、供气设备以及尾气处理器，其特征在于，包括第一接头、第二接头以及连接管；所述连接管一端连接所述第一接头，另一端连接所述第二接头；所述第一接头与所述尾气处理器连接；所述第二接头与所述工艺设备尾气泵、供气设备分别连接。还公开了包括上述接入装置的一种排气系统，包括工艺设备尾气泵、供气设备以及尾气处理器，所述第一接头与所述尾气处理器间设有第二阀门。尾气处理器上设有接口，接口上设有柔性软管。在尾气处理器与供气设备之间增加用于扩充供气设备的接入装置，利用第一接头和第二接头使排气管道方便拆装，可以方便地安装新增的供气设备，满足日益增长的生产需求。

技术研发人员：孙兆冉
受保护的技术使用者：浙江东开半导体科技有限公司
技术研发日：2020.10.26
技术公布日：2021.08.03