一种气体分流模块化装置的制作方法

本实用新型属于气体装置技术领域，更具体地说，本实用新型涉及一种气体分流模块化装置。

背景技术：

气体分流盘vmp应用于半导体和电子工业、医疗、基因技术、生物制药和科研等领域，主要用于大宗、普通等惰性气体的终端控制，气体分流盘vmp是将气体分成若干支路并供应到各个用气点的设备，当多台工艺设备均使用某一种大宗气体时，行业内使用气体分流盘vmp将集中供气气源通过多条支路上的阀门等装置分流到各个工艺设备供其使用大宗气体，一般安装在工艺设备附近，是一个开放式盘面，可以直观的看到阀门管件的状态，使用vmp系统，hook-up管路将会变短，可减少气柜的数量，因此可大大减少投资和维护成本。

现有的气体分流盘vmp几个支路为主管连接的各支路间为焊接式，生产过程中，盘面的支路数量不同，造成生产的效率较低。现有的气体分流盘vmp存在以下不足：1.盘面主管支路固定，现场其他支路数量有变更时，支路不能快速变动；2.难于模块化生产，影响生产效率。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种气体分流模块化装置，以解决现有技术中存在的支路数量有变更时不能快速变动的技术问题。

为实现上述技术目的，本实用新型采用的技术方案如下：

一种气体分流模块化装置，其特征在于，包括主管进气系统、多个支路出气系统和vcr接头，所述主管进气系统通过vcr接头与所述支路出气系统相连接，相邻两个支路出气系统通过vcr接头相连接。

优选地，所述主管进气系统包括主管波纹管阀和第一压力表，气体通过所述主管波纹管阀进入主管进气系统。

优选地，所述主管进气系统包括主管进气阀门，所述主管进气阀门与第一压力表相连接。

优选地，所述支路出气系统包括支路进气阀门，气体通过所述支路进气阀门进入支路出气系统。

优选地，所述主管进气系统包括调压阀和第二压力表，所述调压阀一端连接所述主管进气阀门，另一端连接所述第二压力表。

优选地，所述支路出气系统包括调压阀和第二压力表，所述调压阀一端连接所述支路进气阀门，另一端连接所述第二压力表。

优选地，所述主管进气系统包括过滤器，所述过滤器与第二压力表相连接。

优选地，所述支路出气系统包括过滤器，所述过滤器与第二压力表相连接。

优选地，所述vcr接头包括金属垫片。

优选地，所述金属垫片为无爪型。

本实用新型提供的有益效果在于：

1、通过vcr接头来实现各系统的灵活连接，在原有设备使用后，支路数量需要变更时，可以在原有基础上快速变动扩充，缩短了所需要的时间，减少了扩充的费用。

2、解决了使用气体分流盘vmp现场改造洁净控制的问题。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例采用的一种气体分流模块化装置示意图。

主要元件符号说明如下：

1-主管进气系统，2-支路出气系统，3-vcr接头，4-主管波纹管阀，5-第一压力表，6-主管进气阀门，7-支路进气阀门，8-调压阀，9-第二压力表，10-过滤器。

具体实施方式

以下结合附图，对本实用新型上述的和另外的技术特征和优点进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型的部分实施例，而不是全部实施例。

为了使本领域的技术人员可以更好地理解本实用新型，下面结合附图和实施例对本实用新型技术方案进一步说明。

如图1所示，在本实施例中，一种气体分流模块化装置，包括主管进气系统1、多个支路出气系统2和vcr接头3，主管进气系统1通过vcr接头3与支路出气系统2相连接，相邻两个支路出气系统2通过vcr接头3相连接。

主管进气系统1包括主管波纹管阀4和第一压力表5，气体通过主管波纹管阀4进入主管进气系统1。主管波纹管阀4为手动阀，主管波纹管阀4的上阀盖采用波管纹密封结构，可彻底消除气体从阀杆运动间隙向外泄漏的可能性。波纹管元件本身变形性和抗老化性克服了填料密封阀通常存在的填料老化和温差敏感等弱点。其次，波纹管阀4采用双重密封结构，安全可靠性更好，调节阀配用多弹簧式薄膜执行机构，阀体结构紧凑，流体通道呈s流线型，压降损失小，流量大。压力表用来测量气体压力，可以显示压力容器内的压力，使操作人员能够正确操作，使容器内的压力控制在规定的范围内，防止设备超压，发生事故。

主管进气系统1包括主管进气阀门6，主管进气阀门6与第一压力表5通过管道相连接。主管进气系统1还包括调压阀8、第二压力表9和过滤器10，调压阀8一端连接主管进气阀门6，另一端连接第二压力表9，第二压力表9一端连接调压阀8，另一端连接过滤器10。调压阀8用于调整系统的供应压力，过滤器10用于有效过滤气体中的颗粒。主管进气系统1还包括主管出口阀门，主管出口阀门与过滤器10相连接，气体通过主管出口阀门离开主管进气系统1。

支路出气系统2包括支路进气阀门7，气体通过支路进气阀门7进入支路出气系统2，支路出气系统2包括调压阀8、第二压力表9和过滤器10，调压阀8一端连接支路进气阀门7，另一端连接第二压力表9，第二压力表9一端连接调压阀8，另一端连接过滤器10。调压阀8用于调整系统的供应压力，过滤器10用于有效过滤气体中的颗粒。支路出气系统2还包括支路出口阀门，支路出口阀门与过滤器10相连接，气体通过支路出口阀门离开支路出气系统2。

主管进气系统1的主管进气阀门6和第一压力表5，与支路出气系统的支路进气阀门7通过管道相连接，若干支路出气系统之间的支路进气阀门通过管道相连接，形成主管进气系统1和若干支路出气系统的气体分流体系，通过vcr接头来实现各系统的灵活连接，在原有设备使用后，支路数量需要变更时，可以在原有基础上快速变动扩充，缩短了所需要的时间，减少了扩充的费用，改善了现场改造导致的洁净问题。

vcr接头3包括金属垫片，金属垫片为无爪型。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。

技术特征：

1.一种气体分流模块化装置，其特征在于，包括主管进气系统、多个支路出气系统和vcr接头，所述主管进气系统通过vcr接头与所述支路出气系统相连接，相邻两个支路出气系统通过vcr接头相连接。

2.如权利要求1所述的一种气体分流模块化装置，其特征在于，所述主管进气系统包括主管波纹管阀和第一压力表，气体通过所述主管波纹管阀进入主管进气系统。

3.如权利要求2所述的一种气体分流模块化装置，其特征在于，所述主管进气系统包括主管进气阀门，所述主管进气阀门与第一压力表相连接。

4.如权利要求1所述的一种气体分流模块化装置，其特征在于，所述支路出气系统包括支路进气阀门，气体通过所述支路进气阀门进入支路出气系统。

5.如权利要求3所述的一种气体分流模块化装置，其特征在于，所述主管进气系统包括调压阀和第二压力表，所述调压阀一端连接所述主管进气阀门，另一端连接所述第二压力表。

6.如权利要求4所述的一种气体分流模块化装置，其特征在于，所述支路出气系统包括调压阀和第二压力表，所述调压阀一端连接所述支路进气阀门，另一端连接所述第二压力表。

7.如权利要求5所述的一种气体分流模块化装置，其特征在于，所述主管进气系统包括过滤器，所述过滤器与第二压力表相连接。

8.如权利要求6所述的一种气体分流模块化装置，其特征在于，所述支路出气系统包括过滤器，所述过滤器与第二压力表相连接。

9.如权利要求1所述的一种气体分流模块化装置，其特征在于，所述vcr接头包括金属垫片。

10.如权利要求9所述的一种气体分流模块化装置，其特征在于，所述金属垫片为无爪型。

技术总结
本实用新型公开了一种气体分流模块化装置，其特征在于，包括主管进气系统、多个支路出气系统和VCR接头，所述主管进气系统通过VCR接头与所述支路出气系统相连接，相邻两个支路出气系统通过VCR接头相连接。本实用新型提供的有益效果在于原有设备使用后，支路数量需要变更时，可以在原有基础上快速变动扩充，缩短了所需要的时间，减少了扩充的费用，解决了使用气体分流盘VMP现场改造洁净控制的问题。

技术研发人员：陈志强
受保护的技术使用者：浙江东开半导体科技有限公司
技术研发日：2020.11.16
技术公布日：2021.08.03