热处理炉的制作方法

1.本说明书中公开的技术涉及对被处理物实施热处理的热处理炉。


背景技术：

2.国际公开2014/163175号中公开的热处理炉中，将被处理物从输入口经过处理室而架设至输出口。将被处理物从输入口向处理室内输入，在处理室内进行输送期间，进行热处理，从输出口输出。该热处理炉中，通过配置于处理室内的多个导向辊而对被处理物进行引导，将被处理物在处理室内的预先确定的输送路径上进行输送。


技术实现要素：

3.上述的热处理炉中，将被处理物经过由多个导向辊规定的输送路径而从输入口输送至输出口。因此，为了对被处理物有效地进行热处理，需要在输送路径上的各位置对被处理物进行适当的加热。本说明书公开如下技术，即，能够对在由多个导向辊规定的输送路径上进行输送的被处理物有效地进行热处理。
4.本说明书中公开的热处理炉具备：炉体、输送装置、多个导向辊、以及加热装置。炉体具备：输入口、输出口、以及配置在输入口与输出口之间的处理室。输送装置将从输入口架设至输出口的被处理物从输入口经过处理室而向输出口输送。多个导向辊配置于处理室内，对通过输送装置而被输送的被处理物进行引导。被处理物经过由多个导向辊规定的输送路径而从输入口被输送至输出口。加热装置具备第一加热器和第二加热器，该第一加热器针对多个导向辊而分别配置于该导向辊的内部和/或该导向辊的附近，用于对被处理物进行加热，该第二加热器配置在输送路径上、且是配置于在被处理物的输送方向上相邻的导向辊的中间位置的附近，用于对被处理物进行加热。第二加热器为：放射出红外区域的电磁波的加热器。
5.在上述的热处理炉中，加热装置具备第一加热器和第二加热器，该第一加热器配置于导向辊的内部和/或导向辊的附近，该第二加热器配置在输送路径上、且是配置于相邻的导向辊的中间位置的附近。另外，第二加热器使用了放射出红外区域的电磁波的加热器。因此，能够适当地控制从第一加热器及第二加热器向被处理物供给的热，从而能够对被处理物有效地进行热处理。此外，第二加热器可以为：放射出预先设定的波长区域(红外区域)的电磁波的波长不可控的加热器，或者，可以为：能够对所放射的电磁波的波长区域进行控制的加热器。
附图说明
6.图1是实施例1所涉及的热处理炉的纵向截面图。
7.图2是图1的ii－ii线截面图。
8.图3是实施例1所涉及的加热器的截面图。
9.图4是实施例1所涉及的供气管的截面图。
具体实施方式
10.在本说明书所公开的热处理炉中，第一加热器可以配置在被处理物的输送路径上、且是配置于导向辊所配置的位置的附近，是放射出与第二加热器同一类型的红外区域的电磁波的加热器。另外，被处理物可以位于第一加热器与导向辊之间。根据像这样的构成，在导向辊所配置的位置对被处理物进行加热的第一加热器由于是与第二加热器同一类型的加热器，因此，能够使加热炉的构成变得简单。
11.在本说明书所公开的热处理炉中，第一加热器可以具备：设置于导向辊的内部、并供用于加热导向辊的热媒流通的流路。根据这样的构成，还能够借助导向辊来加热被处理物。
12.本说明书所公开的热处理炉可以进一步具备：向处理室内供给气体的供气装置。供气装置可以具备多个供气管，它们配置于处理室内，并配置于与第一加热器所配置的位置不同的、且与第二加热器所配置的位置不同的位置，朝向被处理物喷出气体。另外，第二加热器和供气管可以沿着输送路径交替地配置。根据这样的构成，在与第一加热器及第二加热器所配置的位置不同的位置来配置供气管，因此，配置供气管的位置的自由度得以提高，能够将供气管配置于最佳的位置。另外，从供气管朝向被处理物喷射气体，因此，所喷出的气体碰撞被处理物的表面，容易使被处理物表面的温度均匀化。特别是，第二加热器和供气管沿着输送路径交替地配置，因此，被处理物表面的温度进一步均匀化。据此，能够提高被处理物的热处理效率。
13.在本说明书所公开的热处理炉中，从多个供气管喷出的气体的喷出方向可以与被处理物的表面正交。根据这样的构成，能够将来自供气管的气体向被处理物的表面强势地喷出。
14.在本说明书中公开的热处理炉中，多个导向辊可以具备：第一导向辊，其将从输入口输入的被处理物的输送方向变更于第一方向；第二导向辊，其将沿着第一方向输送的被处理物的输送方向变更于与第一方向不同的第二方向；以及第三导向辊，其将沿着第二方向输送的被处理物的输送方向朝向输出口变更。炉体可以具备：从处理室的中心观察时位于第一方向侧的第一壁、以及从处理室的中心观察时位于第二方向侧的第二壁。第一壁可以具备：将处理室内的气氛气体排出的第一排气口，第二壁可以具备：将处理室内的气氛气体排出的第二排气口。如果被处理物从输入口被架设至输出口，则通过被处理物而将处理室区分为第一壁侧的空间和第二壁侧的空间。从第一壁和第二壁这两侧将处理室内的气氛气体予以排出，因此，能够使处理室内的空气的流动变得通畅。
15.在本说明书所公开的热处理炉中，多个供气管可以具备：第一供气管，其配置于由被处理物和第一壁夹着的空间内；以及第二供气管，其配置于由被处理物和第二壁夹着的空间内。根据这样的构成，在由被处理物区分开的2个空间分别配置有供气管，从而能够使处理室内的空气的流动变得通畅。
16.在本说明书所公开的热处理炉中，处理室的内表面的反射红外区域的电磁波的反射率可以为50％以上。根据这样的构成，从加热器放射出的电磁波对被处理物有效地进行照射，从而能够对被处理物有效地进行加热。
17.在本说明书所公开的热处理炉中，输送装置可以进一步具备：输入口辊，其配置于炉体的外侧且配置于输入口的附近，并卷绕有被处理物；以及输出口辊，其配置于炉体的外
侧且配置于输出口的附近，并对在处理室内输送来的被处理物进行卷绕。可以通过输入口辊及输出口辊进行旋转而将卷绕于输入口辊的被处理物从输入口辊送出、并在处理室内进行输送。根据这样的构成，能够对卷绕于输入口辊的被处理物连续地实施热处理。
18.在本说明书所公开的热处理炉中，被处理物可以具备：薄膜、以及涂布在薄膜的表面及背面中的至少一方上的糊料。加热装置可以将糊料中包含的水分除去。这样的被处理物的热容量较小，由导向辊带来的影响较大。因此，通过具备第一加热器，使得抑制被处理物的热处理效率(即、水分除去率)降低的效果显著。
19.在本说明书所公开的热处理炉中，第二加热器可以根据被处理物的特性，来调整所放射的电磁波的波长。根据这样的构成，能够根据被处理物的特性而对被处理物进行很好的加热。
20.在本说明书所公开的热处理炉中，多个第二加热器可以从输入口朝向输出口而沿着输送路径进行配置。从第二加热器放射出的电磁波的波长可以根据配置有该第二加热器的输送路径上的位置，来进行调整。与被处理物在处理室内沿着输送路径进行输送相对应地对该被处理物进行热处理。因此，根据热处理的进行来调整电磁波的波长，所以，能够很好地实施针对被处理物的热处理。
21.在本说明书所公开的热处理炉中，加热装置可以将被处理物中包含的水分除去。从第二加热器放射出的电磁波的波长可以按照从输入口朝向输出口而逐渐变长的方式进行调整。被处理物中包含的水分从输入口朝向输出口而逐渐降低。通过使从第二加热器放射的电磁波的波长从输入口朝向输出口而逐渐变长，能够将被处理物中包含的水分有效地除去。
22.在本说明书所公开的热处理炉中，处理室内的气氛可以为露点在0℃以下的不活泼性气体气氛。根据这样的构成，能够抑制气氛气体中包含的水分凝结。
23.【实施例1】
24.以下，对实施例1所涉及的热处理炉10进行说明。本实施例的热处理炉10为将工件w(被处理物的一例)中包含的水分除去的干燥炉(脱水装置)。工件w为在长度方向上连续延伸的片体，例如，在液晶显示器、有机el、电池等中使用的薄膜属于该工件w。对于这样的薄膜(片体)，有时薄膜本身包含水分，或者，在薄膜被覆有被覆层的情况下，有时该被覆层中包含水分。因此，首先，将薄膜中包含的水分除去，然后，将水分被除去后的薄膜切成所期望的大小，从而制造出最终产品。本实施例的热处理炉10可以用于从上述片体中除去水分。
25.以下，参照附图，对热处理炉10的构成进行说明。如图1、2所示，热处理炉10具备：长方体形状的炉体12、进行工件w相对于炉体12的输入及输出的输送装置20、对工件w进行加热的加热装置(26、28)、以及向工件w的表面供给冷却气体的供气装置(38等)。
26.炉体12具备：下壁13、与下壁13对置的上壁14、一端与下壁13连接且另一端与上壁14连接的侧壁17、18(参照图2)、以及将由上述壁13、14、17、18包围的处理室(19a、19b)的端部进行封闭的输入侧壁15及输出侧壁16。
27.下壁13为俯视呈矩形的板材，配置于处理室(19a、19b)的下方。如图1所示，在下壁13，以沿x方向空开大致恒定的间隔的方式设置有多个排气口13a。多个排气口13a中的配置于中央的5个排气口13a配置于：与后述的导向辊24对置的位置。多个排气口13a中的配置于x方向上的一端的排气口13a配置于：靠近输入侧壁15的位置。多个排气口13a中的配置于x
方向上的另一端的排气口13a配置于：靠近输出侧壁15的位置。多个排气口13a分别与排气风扇13b连接。当排气风扇13b运转时，处理室(19a、19b)内的气氛气体就会向处理室(19a、19b)外排出。
28.上壁14为与下壁13相同形状的板材，配置于处理室(19a、19b)的上方。与下壁13同样地，在上壁14，也以沿x方向空开大致恒定的间隔的方式设置有多个排气口14a。多个排气口14a分别配置于：与多个排气口13a分别对置的位置。多个排气口14a分别与排气风扇14b连接。当排气风扇14b运转时，处理室(19a、19b)内的气氛气体就会向处理室(19a、19b)外排出。
29.在输入侧壁15设置有输入口15a，在输出侧壁16形成有输出口15b。输入口15a和输出口15b在高度方向上的位置为相同的位置，输入口15a和输出口15b彼此对置。由图1可知：处理室(19a、19b)配置于输入口15a与输出口15b之间。
30.此外，对构成炉体12的各壁13、14、15、16、17、18的内表面(即、处理室(19a、19b)侧的面)实施了镜面加工。其结果，上述面的红外区域的电磁波(详细而言，后述的加热器26、28放射的电磁波)的反射率为50％以上。据此，能够将加热器26、28放射的电磁波向工件w有效地照射。
31.输送装置20具备：输入口辊21，其配置在炉体12的外侧且配置于输入口15a的附近；输出口辊25，其配置在炉体12的外侧且配置于输出口16a的附近；以及多个导向辊(22a、22b、22c、24)，它们配置在处理室(19a、19b)内。
32.在输入口辊21卷绕有工件w。卷绕于输入口辊21的工件w从输入口15a经过处理室(19a、19b)而被架设至输出口16a。具体而言，将工件w从输入口辊21经由输入口15a而架设至导向辊(22a、22b、22c、24)，进而，从导向辊(22a、22b、22c、24)经由输出口16a而架设至输出口辊25。
33.输出口辊25为：对从处理室(19a、19b)输出的工件w进行卷绕的辊。在输出口辊25连接有未图示的驱动装置，利用驱动装置而对输出口辊25进行旋转驱动。当输出口辊25旋转时，将卷绕于输入口辊21的工件w向处理室(19a、19b)送出。从输入口辊21送出的工件w被导向辊(22a、22b、22c、24)引导而在处理室(19a、19b)内的规定的输送路径上进行移动，从输出口16a向处理室(19a、19b)外送出，从而卷绕于输出口辊25。即，导向辊(22a、22b、22c、24)规定出处理室(19a、19b)内的工件w的输送路径。
34.导向辊(22a、22b、22c、24)具备：配置于上壁14的附近的多个上部导向辊(22a、22b、22c)、以及配置于下壁13的附近的多个下部导向辊24。此外，本实施例中，导向辊(22a、22b、22c、24)使用与工件w接触的接触式辊，不过，也可以使用以非接触引导工件w的非接触式辊。
35.上部导向辊(22a、22b、22c)以沿x方向空开恒定的间隔的方式配置。具体而言，上部导向辊22a(权利要求中所称的第一输送辊的一例)与输入口15a相邻地配置，上部导向辊22c(权利要求中所称的第三输送辊的一例)与输出口16a相邻地配置。多个导向辊22b以等间隔配置于上部导向辊22a与上部导向辊22c之间。上部导向辊(22a、22b、22c)各自在高度方向上的位置相同。
36.多个下部导向辊24(权利要求中所称的第二输送辊的一例)与上部导向辊(22a、22b、22c)同样地，分别以沿x方向空开恒定的间隔的方式配置。相邻的下部导向辊24在x方
向上的间隔、与上部导向辊(22a、22b、22c)在x方向上的间隔相同。多个下部导向辊24在x方向上的位置处于相邻的上部引导(22a、22b、22c)的中央位置。多个下部导向辊24在高度方向上的位置相同。
37.如上所述，由于配置有上部导向辊(22a、22b、22c)和下部导向辊24，所以，从输入口15a沿x方向输送的工件w通过上部导向辊22a而被向下方输送，接下来，通过下部导向辊24而被向上方输送，之后通过上部输送辊22b和下部输送辊24而在上下方向上反复输送。并且，从最靠近输出口16a侧配置的下部输送辊24向上方输送的工件w通过上部导向辊22c而被向输出口16a输送。这样，通过在处理室(19a、19b)内沿上下方向反复输送，能够有效地利用处理室(19a、19b)内的空间，确保用于使工件w干燥的处理时间。此外，由图1可知：通过架设于导向辊(22a、22b、22c、24)的工件w而将处理室(19a、19b)区分为设置于上壁14侧的上部处理室19a、和设置于下壁13侧的下部处理室19b。
38.加热装置配置于处理室(19a、19b)内，对通过输送装置20而被输送的工件w进行加热。加热装置具备：第一加热器(26a、26b)，其配置于导向辊(22a、22b、22c、24)的附近；以及第二加热器28，其配置于上部导向辊(22a、22b、22c)与下部导向辊24之间的高度。如图2所示，第一加热器(26a、26b)和第二加热器28在导向辊(22a、22b、22c、24)的轴线方向上延伸，能够对工件w的整个宽度方向(y方向)进行加热。
39.如图1所示，第一加热器(26a、26b)具备：多个第一上部加热器26a，它们配置于上部导向辊(22a、22b、22c)的上方；以及多个第一下部加热器26b，它们配置于下部导向辊24的下方。第一上部加热器26a配置成：分别与所对应的上部导向辊(22a、22b、22c)对置，第一下部加热器26b配置成：分别与所对应的下部导向辊24对置。因此，工件w位于第一上部加热器26a与上部导向辊(22a、22b、22c)之间，工件w通过第一上部加热器26a而被直接加热。同样地，工件w位于第一下部加热器26b与下部导向辊24之间，工件w通过第一下部加热器26b而被直接加热。
40.第二加热器28在上部导向辊(22a、22b、22c)各自的下方以沿z方向空开间隔的方式配置有2个。另外，第二加热器28在下部导向辊24各自的上方以沿z方向空开间隔的方式配置有2个。因此，配置成：11个第二加热器28沿x方向空开间隔地排列，并且，2个第二加热器28沿y方向空开间隔地排列。由图可知：第二加热器28配置于与架设于上部导向辊(22a、22b、22c)和下部导向辊24的工件w对置的位置(即、在工件w的输送方向上相邻的导向辊间的中间位置的附近)。由于第二加热器28在导向辊(22a、22b、22c、24)的轴线方向上延伸，所以，架设于上部导向辊(22a、22b、22c)和下部导向辊24的工件w的整个宽度方向通过第二加热器28而被加热。
41.第一加热器(26a、26b)为：放射出红外区域的电磁波的公知的波长可控的加热器，第一加热器(26a、26b)和第二加热器28具有相同的结构。因此，此处对第二加热器28的结构简单地进行说明。
42.如图3所示，第二加热器28具备：灯丝30、用于收纳灯丝30的内管32、以及用于收纳内管32的外管34。灯丝30为例如钨制的发热体，由未图示的外部电源供电。当向灯丝30供电而达到规定温度(例如1200～1700℃)时，从灯丝30放射出包括红外线在内的电磁波。内管32由红外线透过材料形成，其中，在从灯丝30放射出的电磁波中仅仅是特定的波长区域(本实施例为红外区域)的电磁波才能透过该红外线透过材料。通过适当选择：用于形成内管32
的红外线透过材料，能够将从灯丝30向内管32的外部放射出的电磁波的波长调整为所期望的波长。外管34也由与内管32相同的红外线透过材料形成。因此，从内管32透过的电磁波从外管34透过而向外部放射。内管32与外管34之间的空间36为：供冷媒(例如空气)流通的冷媒流路。通过向空间36(即、冷媒流路)供给冷媒，可防止外管34的温度变得过高。据此，可防止工件w过热。此外，放射红外区域的电磁波的波长可控的加热器已在例如日本特许4790092号中进行了详细的公开。
43.供气装置具备：多个供气管38，它们在处理室(19a、19b)内沿y方向延伸；以及供气风扇(省略图示)，其配置于处理室(19a、19b)外，向多个供气管38供给冷却气体。如图4所示，在供气管38的周向上的2处形成有喷出孔39a、39b。因此，从供气风扇供给至供气管38的冷却气体从喷出孔39a、39b向处理室(19a、19b)内喷射。本实施例中，调整设置供气管38的朝向，以使得从喷出孔39a、39b喷射的冷却气体的喷出方向与工件w的表面正交。如图4所示，喷出孔39a、39b配置于：夹着供气管38的轴线而对置的位置。因此，在工件w位于供气管38的输入口15a侧和输出口16a侧的情况下，从该供气管38的喷出孔39a喷射的冷却气体向一方的工件w喷射，从该供气管38的喷出孔39b喷射的冷却气体向另一方的工件w喷射。另外，如图2所示，供气管38的喷出孔39a、39b沿y方向空开间隔地形成有多个。因此，从喷出孔39a、39b喷射的冷却气体向工件w的整个宽度方向(y方向)喷射。
44.如图1所示，供气管38在上部导向辊(22a、22b、22c)各自的下方以沿z方向空开间隔的方式配置有2个。另外，供气管38在下部导向辊24各自的上方以沿z方向空开间隔的方式配置有2个。由图1可知：供气管38配置于与第一加热器(26a、26b)及第二加热器28的配置位置不同的位置。具体而言，第二加热器28和供气管38沿z方向(输送方向)空开相等的间隔交替地配置。另外，如上所述，通过架设于导向辊(22a、22b、22c、24)的工件w而将处理室(19a、19b)区分为上部处理室19a、和下部处理室19b，在上部处理室19a和下部处理室19b分别配置有供气管38。
45.作为向供气管38供给的冷却气体，可以使用例如不活泼性气体、氮、ar气体等。处理室(19a、19b)内的气氛气体通过从供气管38向处理室(19a、19b)内喷射的气体而进行调整。本实施例中，由于除去工件w中包含的水分，所以，处理室(19a、19b)内的气氛气体调整为：露点在0℃以下的气体。此外，作为冷却气体，可以采用露点在0℃以下的大气。
46.控制器44由具备cpu、rom、ram的处理器构成，对输送装置20、加热装置(26、28)以及供气装置进行控制。具体而言，控制器44通过控制输送装置20来控制工件w的输送速度及张力，通过控制加热装置(26、28)来控制工件w的加热量，通过控制供气装置，来控制从供气管38向工件w喷射的冷却气体的流量及流速。
47.此外，在热处理炉10设置有：用于将卷绕于输入口辊21的工件w安装于输出口辊25的贯穿装置。如图1所示，贯穿装置具备：在处理室(19a、19b)内和处理室(19a、19b)外通过并且进行循环的链条42、以及用于驱动链条42的驱动装置(省略图示)。链条42与被架设于导向辊(22a、22b、22c、24)的工件w同样地，从输入口15a开始，沿上下方向改变朝向，同时延伸至输出口16a，从输出口16a开始，在处理室(19a、19b)的外侧通过而返回输入口15a。如图1所示，架设链条42的路径在多处与架设工件w的路径(即、工件w的输送路径)交叉。此外，链条42所配置的位置为：工件w的宽度方向(y方向)上的外侧的位置，因此，链条42和工件w不会相互干扰(参照图2)。为了利用串接装置而将工件w安装于输出口辊25，首先，利用设置于
链条42的未图示的夹具，夹紧卷绕于输入口辊21的工件w。接下来，利用驱动装置而使链条42循环，将工件w从输入口辊21送出。据此，保持于链条42的夹具上的工件w在处理室(19a、19b)内会与链条42一同移动，并移动至输出口16a。当工件w移动至输出口16a时，对夹具进行操作，从链条42将工件w放开，并将工件w安装于输出口辊25。最后，使输出口辊25旋转而对工件w施加张力，由此，工件w从输入口15a借助导向辊(22a、22b、22c、24)而被架设至输出口16a。
48.接下来，对采用上述的热处理炉10而从工件w中除去水分的处理进行说明。首先，从供气管38向处理室(19a、19b)内供给冷却气体，将处理室(19a、19b)内调整为规定的气氛。接下来，控制器44对输送装置20进行驱动，由此将工件w从输入口15a经过处理室(19a、19b)而输送至输出口16a。此时，控制器44对加热装置(26、28)进行控制，从而对工件w照射红外线区域的电磁波，并且，从供气管38向工件w的表面喷出冷却气体。当从加热装置(26、28)照射出红外线区域的电磁波时，工件w中包含的水分吸收所照射的电磁波，使得水分蒸发。从工件w中蒸发出的水分又通过从供气管38喷射的冷却气体而从工件w的表面被除去。包含有从工件w的表面除去的水分的气氛气体会从下壁13的排气口13a和上壁14的排气口14a分别向处理室(19a、19b)外排出。工件w在从输入口15a输送至输出口16a的期间被除去水分。被除去水分的工件w卷绕于输出口辊25。
49.根据上述的热处理炉10，在导向辊(22a、22b、22c、24)的附近具备：与导向辊(22a、22b、22c、24)对置的第一加热器(26a、26b)。另外，在上部导向辊(22a、22b、22c)与下部导向辊24之间，具备第二加热器28。利用上述加热器26a、26b、28，能够控制与导向辊(22a、22b、22c、24)接触的状态下的工件w的热收支，另外，还能够控制未与导向辊(22a、22b、22c、24)接触的状态下的工件w的热收支。因此，能够很好地控制工件w的热收支，从而能够明显地提高从工件w中除去水分的处理的效率。例如，因工件w与导向辊(22a、22b、22c、24)接触而使热从工件w流向导向辊(22a、22b、22c、24)从而导致工件w过于冷却的情况下，增加从第一加热器(26a、26b)向工件w供给的热量，使得工件w不会过于冷却。据此，能够防止从工件w中除去水分的效率降低。
50.另外，上述的热处理炉10中，供气管38和第二加热器38在输送方向上交替地配置，另外，来自供气管38的冷却气体从与工件w的表面正交的方向喷射。据此，从工件w的内部蒸发出的水分从工件w的表面被快速地除去，促进来自工件w的水分的除去。据此，还能够提高工件w的水分的除去效率。
51.此外，通过架设于导向辊(22a、22b、22c、24)的工件w而将处理室(19a、19b)区分为上部处理室19a和下部处理室19b，不过，在上部处理室19a和下部处理室19b均配置有供气管38和排气口14a、13a。因此，供给至上部处理室19a的冷却气体及供给至下部冷却室19b的冷却气体与被除去的水分一同快速地向处理室(19a、19b)外排出。据此，还能够优化处理室(19a、19b)内的气体流动，提高工件w的水分除去效率。
52.此外，加热器(26a、26b、28)选择：用于形成内管及外管的红外线透过材料，由此，能够调整放射的红外线的波长区域。因此，通过根据工件w的特性而调整放射的电磁波的波长，能够提高工件w的热处理效率。例如，作为工件w，考虑对由固体成分(苯酚
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环氧树脂、10～90wt％)、以及使该固体成分成为浆料状或糊料状的溶剂(水或溶剂(例如、ipa(异丙醇、nmp(n－甲基－2－吡咯烷酮)等)构成的物质进行干燥的情形。对这样的工件w进行干燥
的情况下，可以在热处理炉10的前半部分，利用选择了近红外线波长的加热器(26a、26b、28)来进行水或溶剂的干燥，在热处理炉10的后半部分，利用选择了远红外线波长的加热器(26a、26b、28)来进行退火。
53.另外，上述的实施例中，加热器(26a、26b、28)放射了全部相同的波长区域的电磁波，但不局限于上述例子。例如，从加热器(26a、26b、28)放射的电磁波的波长可以根据输送路径上的位置进行调整。例如，利用热处理炉10从工件w中除去水分的情况下，工件w中包含的水分量从输入口15a朝向输出口16a而逐渐降低。因此，通过使从加热器(26a、26b、28)放射的电磁波的波长从输入口15a朝向输出口16a而逐渐变长，能够将与水分量相对应的电磁波向工件w照射。
54.另外，上述的实施例中，在导向辊(22a、22b、22c、24)的附近配置第一加热器(26a、26b)，利用第一加热器(26a、26b)对工件w进行加热，但不局限于上述例子。例如，可以在导向辊的内部设置供热媒流通的流路。利用导向辊对工件w进行加热。通过这样的构成，也能够控制与导向辊接触的状态下的工件w的热收支，提高工件w的热处理效率。
55.本说明书或附图中说明的技术要素单独发挥出技术有用性，或者通过各种组合而发挥出技术有用性，并不限定于申请时权利要求中记载的组合。另外，本说明书或附图中例示的技术同时实现多个目的，实现其中一个目的的技术本身具有技术有用性。