一种循环吹气式烘干槽的制作方法

技术特征：
1.一种循环吹气式烘干槽，其特征在于：包括外槽体和内槽体，所述外槽体和内槽体均开口朝上且所述内槽体设置在所述外槽体的内部，所述外槽体的开口端与内槽体外壁之间采用密封连接并形成第一腔体，所述内槽体的开口端设置有槽盖形成第二腔体，所述内槽体和/或槽盖连接有鼓风泵，所述槽盖上设置有排湿口，所述内槽体的侧壁上设置有若干第一进气孔，所述内槽体底部设置有抽气口，所述外槽体的底部设置有离心涡轮风机，所述离心涡轮风机的叶轮位于所述第一腔体内所述抽气口的下方。2.根据权利要求1所述的一种循环吹气式烘干槽，其特征在于：所述槽盖下端面设置有若干第一进气管，所述第一进气管的下端面设置有若干第二进气孔，所述第一进气管与所述鼓风泵连接。3.根据权利要求1所述的一种循环吹气式烘干槽，其特征在于：所述内槽体的底部设置有若干第二进气管，所述第二进气管的上端面设置有若干第三进气孔，所述第二进气管与所述鼓风泵连接。4.根据权利要求3所述的一种循环吹气式烘干槽，其特征在于：所述第二进气管的端部与所述内槽体旋转定位连接。5.根据权利要求1所述的一种循环吹气式烘干槽，其特征在于：所述鼓风泵的出气路径上设置有外置式加热装置。6.根据权利要求1所述的一种循环吹气式烘干槽，其特征在于：所述第一腔体内设置有内置式加热装置。7.根据权利要求1所述的一种循环吹气式烘干槽，其特征在于：所述鼓风泵的进气路径上设置有第一过滤器，所述鼓风泵的出气路径上设置有第二过滤器。8.根据权利要求1所述的一种循环吹气式烘干槽，其特征在于：所述第一腔体内在所述第一进气孔处设置有第三过滤器。9.根据权利要求1所述的一种循环吹气式烘干槽，其特征在于：所述外槽体、内槽体、槽盖、叶轮、第一过滤器、第二过滤器、第三过滤器和各连接管路均为塑料材质。10.根据权利要求1所述的一种循环吹气式烘干槽，其特征在于：所述抽气口处设置有匀流板。

技术总结
本实用新型提供了一种循环吹气式烘干槽，包括外槽体和内槽体，外槽体和内槽体均开口朝上且内槽体设置在外槽体的内部，外槽体的开口端与内槽体外壁之间采用密封连接并形成第一腔体，内槽体的开口端设置有槽盖形成第二腔体，内槽体和/或槽盖连接有鼓风泵，槽盖上设置有排湿口，内槽体的侧壁上设置有若干第一进气孔，内槽体底部设置有抽气口，外槽体的底部设置有离心涡轮风机，离心涡轮风机的叶轮位于第一腔体内抽气口的下方。本实用新型提供的循环吹气式烘干槽，采用吹气加吸气的组合，使槽体内形成气流循环，并对气体进行加热，提高烘干效果，缩短烘干时间，同时增加多重过滤，保证槽内的洁净度，防止硅片受到污染。防止硅片受到污染。防止硅片受到污染。


技术研发人员：陶俊 翟连方 张三洋
受保护的技术使用者：无锡琨圣智能装备股份有限公司
技术研发日：2021.03.29
技术公布日：2021/10/18