新型化合物、聚合物及其制备方法、光敏性树脂组合物、图案形成方法、固化膜、电子部件与流程

技术特征：
1.一种化合物，其特征在于，其由下述通式(1)表示，式中，z表示任选被杂原子取代或任选插入有杂原子的碳原子数为2～30的直链状、支链状或环状的2价烃基；x1～x3表示
‑
co2‑
、
‑
conr
x1
‑
、
‑
o
‑
、
‑
nr
x1
‑
、
‑
s
‑
、
‑
so2‑
、
‑
so3‑
、
‑
so2nr
x1
‑
中的任意一种，其任选彼此相同或不同；其中，r
x1
为氢原子、或者任选被杂原子取代或任选插入有杂原子的碳原子数为1～30的1价烃基；ar表示任选被杂原子取代或任选插入有杂原子的碳原子数为2～30的2价芳香族基团；l1～l2独立地表示任选被杂原子取代或任选插入有杂原子的碳原子数为1～30的2价烃基；x、y各自独立地为0或1。2.根据权利要求1所述的化合物，其特征在于，所述通式(1)中的x3为
‑
co2‑
、
‑
nr
x1
‑
、
‑
o
‑
中的任意一种。3.根据权利要求1所述的化合物，其特征在于，所述通式(1)中的x及y为0。4.一种树脂，其特征在于，其含有下述通式(2)及(3)表示的结构单元，式中，z表示任选被杂原子取代或任选插入有杂原子的碳原子数为2～30的直链状、支链状或环状的2价烃基；x1～x3表示
‑
co2‑
、
‑
conr
x1
‑
、
‑
o
‑
、
‑
nr
x1
‑
、
‑
s
‑
、
‑
so2‑
、
‑
so3‑
、
‑
so2nr
x1
‑
中的任意一种，其任选彼此相同或不同；其中，r
x1
为氢原子、或者任选被杂原子取代或任选插入有杂原子的碳原子数为1～30的1价烃基；ar表示任选被杂原子取代或任选插入有杂原子的碳原子数为2～30的2价芳香族基团；l1～l2独立地表示任选被杂原子取代或任选插入有杂原子的碳原子数为1～30的2价烃基；x、y各自独立地为0或1；y1表示任选被杂原子取代或任选插入有杂原子的碳原子数为1～100的4价烃基。5.根据权利要求4所述的树脂，其特征在于，除了含有所述结构单元(2)及(3)以外，进一步含有下述通式(4)表示的结构单元，式中，l3为单键或2价连接基团，r1～r2各自独立地表示任意的1价取代基；w、z为0～3，当w、z为2以上时，多个r1及r2所示的取代基任选相同或不同。6.根据权利要求5所述的树脂，其特征在于，所述通式(4)中的l3为
‑
cr
f1
r
f2
‑
或
‑
so2‑
，其中，r
f1
～r
f2
各自独立地为氟原子或碳原子数为1～10的氟烷基。7.一种树脂的制造方法，其特征在于，使(i)权利要求1～3中任一项所述的化合物或由其衍生的酰卤化物或酸酐、(ii)下述通式(5)及(iii)下述通式(6)～(7)表示的化合物中的
至少一种反应，h2n
‑
y2
‑
nh2(6)式中，y1表示任选被杂原子取代或任选插入有杂原子的碳原子数为1～100的4价烃基；y2表示任选被杂原子取代或任选插入有杂原子的碳原子数为1～100的2价烃基；x4表示羟基、氟原子、氯原子、溴原子、碘原子、
‑
oco2r
x4
、
‑
oso2r
x4
、
‑
oso3r
x4
中的任意一种；其中，r
x4
为任选被杂原子取代或任选插入有杂原子的碳原子数为1～10的1价烃基。8.一种正型光敏性树脂组合物，其特征在于，其包含：(a)权利要求4～6中任一项所述的树脂；(b)具有醌二叠氮结构的化合物，其为因光而产生酸从而增加对碱性水溶液的溶解速度的光敏剂；及(d)溶剂。9.根据权利要求8所述的正型光敏性树脂组合物，其特征在于，其进一步含有(c)交联剂，其为选自利用甲醛或甲醛
‑
醇进行了改性的氨基缩合物、1分子中平均具有2个以上的羟甲基或烷氧基羟甲基的酚类化合物、多元酚的羟基的氢原子被缩水甘油基或具有缩水甘油基的基团取代的化合物、多元酚的羟基的氢原子被下述式(c
‑
1)表示的取代基取代的化合物、及含有2个以上下述式(c
‑
2)或(c
‑2’
)表示的基团的化合物中的1种或2种以上，式中，虚线表示键，r
c
表示碳原子数为1～6的直链状、支链状或环状的烷基，s为1或2。10.一种负型光敏性树脂组合物，其特征在于，其包含：(a’)权利要求4～6中任一项所述的树脂；(b’)光酸产生剂；(c’)交联剂，其为选自利用甲醛或甲醛
‑
醇进行了改性的氨基缩合物、1分子中平均具有2个以上的羟甲基或烷氧基羟甲基的酚类化合物、多元酚的羟基的氢原子被缩水甘油基或具有缩水甘油基的基团取代的化合物、多元酚的羟基的氢原子被下述式(c
‑
1)表示的取代基取代的化合物、及含有2个以上下述式(c
‑
2)或(c
‑2’
)表示的基团的化合物中的1种或2种以上；及(d)溶剂，式中，虚线表示键，r
c
表示碳原子数为1～6的直链状、支链状或环状的烷基，s为1或2。11.一种图案形成方法，其特征在于，其包含下述工序：(1)将权利要求8所述的正型光敏性树脂组合物涂布在基板上，形成感光材料皮膜的工
序；(2)加热所述感光材料皮膜的工序；(3)利用波长为190～500nm的高能量射线或电子束，隔着光掩模对所述感光材料皮膜进行曝光的工序；及(4)使用碱性水溶液的显影液来进行显影的工序。12.一种图案形成方法，其特征在于，其包含下述工序：(i)将权利要求10所述的负型光敏性树脂组合物涂布在基板上，形成感光材料皮膜的工序；(ii)加热所述感光材料皮膜的工序；(iii)利用波长为190～500nm的高能量射线或电子束，隔着光掩模对所述感光材料皮膜进行曝光的工序；及(iv)使用碱性水溶液的显影液来进行显影的工序。13.根据权利要求12所述的图案形成方法，其特征在于，在所述工序(iii)与所述工序(iv)之间，包含曝光后加热工序。14.一种固化覆膜形成方法，其特征在于，其包含：在100～300℃的温度下，对通过权利要求11所述的图案形成方法得到的已形成图案的覆膜进行加热、后固化的工序。15.一种固化覆膜形成方法，其特征在于，其包含：在100～300℃的温度下，对通过权利要求12所述的图案形成方法得到的已形成图案的覆膜进行加热、后固化的工序。16.一种层间绝缘膜，其特征在于，其由权利要求8所述的正型光敏性树脂组合物固化而成的固化覆膜构成。17.一种层间绝缘膜，其特征在于，其由权利要求10所述的负型光敏性树脂组合物固化而成的固化覆膜构成。18.一种表面保护膜，其特征在于，其由权利要求8所述的正型光敏性树脂组合物固化而成的固化覆膜构成。19.一种表面保护膜，其特征在于，其由权利要求10所述的负型光敏性树脂组合物固化而成的固化覆膜构成。20.一种电子部件，其特征在于，其具有权利要求16所述的层间绝缘膜。21.一种电子部件，其特征在于，其具有权利要求17所述的层间绝缘膜。22.一种电子部件，其特征在于，其具有权利要求18所述的表面保护膜。23.一种电子部件，其特征在于，其具有权利要求19所述的表面保护膜。

技术总结
本发明的技术问题在于提供一种化合物、使用该化合物得到的聚酰亚胺树脂及其制造方法，所述化合物能够衍生出聚酰亚胺，该聚酰亚胺能够用作不损害机械强度、溶解性等优异的特征，可形成微细的图案且能够获得高分辨率的光敏性树脂组合物的基础树脂。所述化合物的特征在于，由下述通式(1)表示。由下述通式(1)表示。由下述通式(1)表示。


技术研发人员：德米特里
受保护的技术使用者：国际商业机器公司
技术研发日：2020.12.16
技术公布日：2021/10/21