轨道结构和芯片检测设备的制作方法

1.本实用新型涉及芯片检测领域，尤其公开了一种轨道结构和芯片检测设备。


背景技术：

2.在对芯片进行检测的过程中，一般需要将芯片移动一段距离后，通过探针对其进行检测，在相关技术中，大部分的芯片承载板可以通过xy轴直线电机相对底座进行移动，但是由于x轴的轨道给予y轴滑板的力不足，所以y轴滑板的平整度不足，这使得沿着y轴上的轨道容易产生凹陷或凸起，使沿着y轴移动的芯片承载板的移动不够平稳，从而使得芯片在移动过程中容易发生移位，影响后续芯片的检测精度。


技术实现要素：

3.本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出一种轨道结构和芯片检测设备，能够降低在移动过程中芯片发生移位的概率。
4.本实用新型的实施例提供了一种轨道结构，包括：
5.底座，所述底座设有至少三条第一轨道，所有所述第一轨道均平行；
6.第一滑块，所述第一滑块与所有所述第一轨道连接，且所述第一滑块沿着所述第一轨道移动，至少一条所述第一轨道位于两条所述第一轨道之间，所述第一滑块相对所述第一轨道的另一侧设有第二轨道；
7.所述第二滑块，所述第二滑块沿着所述第二轨道移动。
8.根据本实用新型实施例的轨道结构，至少具有如下有益效果：由于底座上设有至少三条第一轨道，且第一轨道沿着至少三条第一轨道移动，所以通过第一轨道，底座对第一滑块的支撑力更加平均，这使得第一滑块的变形程度较低，所以第一滑块上的第二轨道更加的平稳，当第二滑块沿着第二轨道移动的过程中，第二滑块的移动能够更加平稳，从而降低位于第二滑块上的芯片在移动过程中发生移位的概率。
9.根据本实用新型的一些实施例，所述底座上包括四条所述第一轨道，所述第一轨道在所述底座的顶面上均匀分布。
10.根据本实用新型的一些实施例，所述第一轨道和所述第二轨道相互垂直。
11.根据本实用新型的一些实施例，还包括移动平台，所述移动平台与所述第二滑块相连接，所述移动平台相对所述底座的另一侧用于承载物料。
12.根据本实用新型的一些实施例，还包括保护罩，所述第一轨道上设有第一移动区域，所述第一滑块上设有第一连接部，所述第一滑块通过所述第一连接部与所述第一轨道连接，所述第一连接部能够在所述第一移动区域移动，所述第一轨道上排除所述第一移动区域的其他位置上设有保护罩。
13.根据本实用新型的一些实施例，所述第二轨道上设有第二移动区域，所述第二滑块上设有第二连接部，所述第二滑块通过所述第二连接部与所述第二轨道连接，所述第二连接部能够在所述第一移动区域移动，所述第二轨道上排除所述第二移动区域的其他位置
上设有保护罩。
14.根据本实用新型的一些实施例，所述保护罩为风琴罩。
15.本实用新型还提出一种具有上述轨道结构的芯片检测设备。
16.根据本实用新型的一些实施例，还包括探针，所述探针与所述底座相连接，所述第二滑块相对所述底座的另一侧用于承载芯片，所述探针位于所述底座的上方。
17.根据本实用新型的一些实施例，还包括承载板，所述承载板与所述底座相连接，所述承载板用于承载探针。
附图说明
18.下面结合附图和实施例对本实用新型做进一步的说明，其中：
19.图1为本实用新型实施例中轨道结构的立体图；
20.图2为本实用新型另一个实施例中轨道结构的立体图；
21.图3是图2的正视图；
22.图4是本实用新型实施例中芯片检测设备的立体图。
23.附图标记：底座101、第一轨道102、第一滑块103、第二轨道104、第二滑块105、保护罩201、第一移动区域202、第二移动区域203、第一连接部204、第二连接部205、间隙301、移动平台401、探针402、探针承载板403。
具体实施方式
24.下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。
25.在本实用新型的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
26.在本实用新型的描述中，若干的含义是一个以上，多个的含义是两个以上，大于、小于、超过等理解为不包括本数，以上、以下、以内等理解为包括本数。如果有描述到第一、第二只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。
27.本实用新型的描述中，除非另有明确的限定，设置、安装、连接等词语应做广义理解，所属技术领域技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本实用新型中的具体含义。
28.本实用新型的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
29.在芯片的检测过程中，一般需要将芯片移动一段距离，在相关技术中，大多需要通过xy轴电机对芯片进行移动，但是在上述相关技术中，大多数的x轴的轨道均设有1至2条轨道，这使得x轴轨道给y轴滑板的支撑力不足，这使得y轴滑板由于其重力容易产生形变，这使得沿着y轴滑板上移动的芯片承载板的移动产生波动，并使得位于芯片承载板上的芯片在移动的过程中产生移位，从而影响后续的检测精度。
30.针对上述问题，本实用新型的实施例提出了一种轨道结构，轨道结构包括底座101、第一滑块103和第二滑块105，底座101上设有顶面，底座101的顶面上设有凸起的若干条相互平行的第一轨道102，底座101上的第一轨道102至少包括三条，且其中一条第一轨道102位于两条第一轨道102之间。第一滑块103与所有第一轨道102连接，且第一滑块103能够相对第一轨道102移动。第二滑块105相对第一轨道102的另一侧设有第二轨道104，第二滑块105沿着第二轨道104移动，且第一轨道102和第二轨道104的方向不同，这使得通过第一轨道102和第二轨道104，第二滑块105能够做两个方向的移动。在上述的结构中，由于底座101上设有至少三条第一轨道102，且一条第一轨道102位于两条第一轨道102之间，这使得底座101通过第一轨道102给予第一滑块103的力更加平均，第一滑块103由于重力产生的形变量减少，从而使得第二轨道104在如图1所示的上下方向上，水平度和平整度更高，所以第二滑块105沿着第二轨道104的移动过程中，移动更加的平稳，这使得通过第二滑块105进行移动的芯片在移动过程中产生移位的概率降低，使得后续对芯片检测的过程中，检测精度更高，检测结果更准确。
31.具体的，如图1至图3所示，底座101上设有四条第一轨道102，且第一轨道102在底座101的顶面上均匀分布，相较于第一轨道102在底座101上不均匀设置的相关结构，本结构使得，第一滑块103在两个相邻的第一轨道102之间的距离均相等，避免两条相邻第一轨道102之间距离拖长的情况(若两条第一轨道102之间距离过长，则二者之间的第一滑块103容易产生形变)，从而使得位于第一滑块103上的第二轨道104的形变量较小，增强第二滑块105的移动精度。
32.如图1至图3所示，第一轨道102和第二轨道104相互垂直，从而形成xy轴电机的结构，该结构能够驱动第二滑块105移动，从而实现对定位在第二滑块105上芯片的驱动。本实施例中描述的垂直是大致垂直状态，而非一定垂直的具体结构。
33.具体的，如图1至图4所示，轨道结构还包括移动平台401，移动平台401连接在第二滑块105相对于第一轨道102的另一侧，移动平台401相对于底座101的另一侧用于承载芯片，移动平台401上可以设有若干个芯片，由于第二滑块105的移动精度精度较高，所以使得位于移动平台401上的芯片的移动精度可以得到保证(降低移动过程中相对移动平台401产生的移位)。
34.具体的，如图1至图4所示，第一轨道102上设有第一移动区域202，第一滑块103上设有第一连接部204，第一滑块103通过第一连接部204与第一轨道102连接。如图3所示，第一轨道102和第一连接部204之间的间隙301较小，所以当掉落物(探针402、探针402夹持结构等)落入其中时，工作人员很难对掉落物进行清理，且当掉落物落入到间隙301中后，第一连接部204在相对第一轨道102的移动过程中，掉落物会被挤压，从而使掉落物破碎产生飞溅或卡住第一移动部，给加工造成影响，针对该问题，在本实施例中，当第一滑块103在第一轨道102上移动时，第一连接部204会在第一移动区域202内移动，第一轨道102上非第一移
动的区域上设有保护罩201，保护罩201可以罩住第一轨道102的非第一移动区域，这使得当一些物料掉落到底座101上时，降低掉落物落入第一轨道102的间隙301的概率，上述结构在保证了第一滑块103移动的同时，还能够降低掉落物落入缝隙的可能性。
35.具体的，如图2至图4所示，第二轨道104上设有第二移动区域203，第二滑块105上设有第二连接部205，第二滑块105通过第二连接部205在第二移动区域203内移动，第二轨道104上的非第二移动区域也覆盖有保护罩201，防止掉落物掉入第二轨道104的缝隙。与此同时，当第二滑块105沿着第二轨道104移动的过程中，掉落的掉落物也容易从第二轨道104的间隙301掉入第一轨道102的间隙301中，从而造成第一滑块103的移动异常，所以第二轨道104上的保护罩201可以进一步防止掉落物掉入间隙301中。
36.具体的，保护罩201为风琴罩，风琴罩上设有若干个缝隙，这使得掉落物碰触到保护罩201的同时，有一定的概率使掉落物掉落入保护罩201的缝隙中，从而降低了物料飞溅的可能性。
37.本实用新型的实施例还公开了一种芯片检测设备，芯片检测设备包括上述轨道结构，由于上述轨道结果的移动稳定性，这使得检测设备对芯片的检测结果更加准确。
38.作为另一个实施例，如图4所示，检测设备还包括探针402和探针承载板403，探针承载板403与底座101相连接，探针402定位在探针承载板403，探针402位于移动平台401的上方，当探针402移动到检测位置时，探针402可以对位于移动平台401上的芯片进行检测。
39.上面结合附图对本实用新型实施例作了详细说明，但是本实用新型不限于上述实施例，在所属技术领域普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本实用新型宗旨的前提下作出各种变化。此外，在不冲突的情况下，本实用新型的实施例及实施例中的特征可以相互组合。