一种硅片夹持工具的制作方法

1.本实用新型涉及半导体技术领域，具体为一种硅片夹持工具。


背景技术：

2.硅片制成的芯片是有名的“神算子”，有着惊人的运算能力。无论多么复杂的数学问题、物理问题和工程问题，也无论计算的工作量有多大，工作人员只要通过计算机键盘把问题告诉它，并下达解题的思路和指令，计算机就能在极短的时间内把答案告诉你。这样，那些人工计算需要花费数年、数十年时间的问题，计算机可能只需要几分钟就可以解决。甚至有些人力无法计算出结果的问题，计算机也能很快告诉你答案，硅片在生活中越发重要，硅片在进行加工完毕后，往往是将硅片一片或者几片拿起放置在下一步加工地点，使得转移硅片过于费时。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的是提供一种硅片夹持工具，解决了硅片在进行加工完毕后，往往是将硅片一片或者几片拿起放置在下一步加工地点，使得转移硅片过于费时的问题。
4.技术方案
5.为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种硅片夹持工具，包括连接杆，所述连接杆的下表面固定连接有固定板，所述连接杆的下表面开设有伸缩槽，所述伸缩槽的左右两侧内壁之间固定连接有横杆，所述横杆的表面套接有第一弹簧和滑动环，所述第一弹簧的左端与伸缩槽的左侧内壁固定连接，所述第一弹簧的右端与滑动环的左侧固定连接，所述滑动环的下表面固定连接有移动板，所述固定板和移动板相对的一侧均开设有卡槽，所述固定板的左侧开设有升降槽，所述升降槽的内顶壁固定连接有第二弹簧，所述第二弹簧的底端固定连接有滑块，所述滑块的表面与升降槽的内部滑动连接，所述滑块的左侧固定连接有镂空板，所述镂空板的内部活动连接有延伸板。
6.进一步的，所述卡槽的内壁固定连接有软垫。
7.进一步的，所述连接杆的上表面固定连接有把手。
8.进一步的，所述移动板的右侧固定连接有拉把。
9.进一步的，所述延伸板的上表面开设有与下表面相连通的固定孔，所述固定孔的内部插接有挡杆，所述镂空板的上表面开设有与镂空板内部相连通的插孔，所述挡杆远离固定孔的一端与插孔的内部插接。
10.进一步的，所述延伸板的左侧开设有弹簧槽，所述弹簧槽的右侧内壁固定连接有第三弹簧，所述第三弹簧的左端与镂空板的左侧内壁固定连接。
11.本实用新型提供了一种硅片夹持工具。具备以下有益效果：
12.1、该硅片夹持工具，通过连接杆、固定板、移动板、滑动环、横杆和第一弹簧的相互配合，达到可以一次性将较多硅片进行夹持，远远超越用手去拿的效率，通过镂空板和延伸板的配合，达到经过延伸板向外延伸，使得延伸板对于夹持后的硅片底部进行阻挡，避免硅
片从固定板和移动板之间掉落而损坏，解决了硅片在进行加工完毕后，往往是将硅片一片或者几片拿起放置在下一步加工地点，使得转移硅片过于费时的问题。
13.2、该硅片夹持工具，通过第二弹簧和滑块的配合，达到在利用固定板和移动板对于硅片夹持时镂空板可以向上移动，避免镂空板阻挡固定板和移动板夹持硅片，同时第二弹簧还可以增加延伸板上表面与固定板和移动板底部的贴合度，通过第三弹簧和挡杆的配合，达到控制延伸板从镂空板内部向外延伸。
附图说明
14.图1为本实用新型结构示意图；
15.图2为本实用新型图1中a处局部结构放大图；
16.图3为本实用新型图1中b处局部结构放大图。
17.其中，1连接杆、2固定板、3把手、4卡槽、5软垫、6镂空板、7延伸板、8伸缩槽、9滑动环、10横杆、11移动板、12拉把、13第一弹簧、14升降槽、15第二弹簧、16滑块、17挡杆、18插孔、19固定孔、20弹簧槽、21 第三弹簧。
具体实施方式
18.如图1
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3所示，本实用新型实施例提供一种硅片夹持工具，包括连接杆1，连接杆1的上表面固定连接有把手3，连接杆1的下表面固定连接有固定板2，连接杆1的下表面开设有伸缩槽8，伸缩槽8的左右两侧内壁之间固定连接有横杆10，横杆10的表面套接有第一弹簧13和滑动环9，第一弹簧13的左端与伸缩槽8的左侧内壁固定连接，第一弹簧13的右端与滑动环9的左侧固定连接，滑动环9的下表面固定连接有移动板11，移动板11的右侧固定连接有拉把12，固定板2和移动板11相对的一侧均开设有卡槽4，卡槽4的内壁固定连接有软垫5，固定板2的左侧开设有升降槽14，升降槽14的内顶壁固定连接有第二弹簧15，第二弹簧15的底端固定连接有滑块16，滑块16的表面与升降槽14的内部滑动连接。
19.滑块16的左侧固定连接有镂空板6，镂空板6的内部活动连接有延伸板 7，延伸板7的上表面开设有与下表面相连通的固定孔19，固定孔19的内部插接有挡杆17，镂空板6的上表面开设有与镂空板6内部相连通的插孔18，挡杆17远离固定孔19的一端与插孔18的内部插接，延伸板7的左侧开设有弹簧槽20，弹簧槽20的右侧内壁固定连接有第三弹簧21，第三弹簧21的左端与镂空板6的左侧内壁固定连接。
20.工作原理：一只手抓住把手3，另一只手抓住拉把12向右拉动，然后将此工具向下放置，首先镂空板6会与地面接触，继续向下按压把手3，使得镂空板6向上移动带动滑块16对于第二弹簧15进行挤压，然后固定板2和移动板11会下移与地面接触，由此使得硅片位于固定板2和移动板11之间，放开拉把12，第一弹簧13进行收缩带动滑动环9向左移动，滑动环9向左移动会带动移动板11向左移动，由此固定板2和移动板11可以对于硅片夹住，将把手3向上适当提起，此时第二弹簧15会释放弹力推动滑块16向下移动，滑块16向下移动会带动镂空板6向下移动，然后将挡杆17从固定孔19的内部拔出，第三弹簧21会释放弹力推动延伸板7向右移动，延伸板7会与固定板2和移动板11的底部接触，在延伸板7与固定板2和移动板11底部接触的过程中，第二弹簧15会一直呈现收缩状态，此收缩力会增加延伸板7与固定板2和移动板11底部的紧密性。


技术特征：
1.一种硅片夹持工具，包括连接杆(1)，其特征在于：所述连接杆(1)的下表面固定连接有固定板(2)，所述连接杆(1)的下表面开设有伸缩槽(8)，所述伸缩槽(8)的左右两侧内壁之间固定连接有横杆(10)，所述横杆(10)的表面套接有第一弹簧(13)和滑动环(9)，所述第一弹簧(13)的左端与伸缩槽(8)的左侧内壁固定连接，所述第一弹簧(13)的右端与滑动环(9)的左侧固定连接，所述滑动环(9)的下表面固定连接有移动板(11)，所述固定板(2)和移动板(11)相对的一侧均开设有卡槽(4)，所述固定板(2)的左侧开设有升降槽(14)，所述升降槽(14)的内顶壁固定连接有第二弹簧(15)，所述第二弹簧(15)的底端固定连接有滑块(16)，所述滑块(16)的表面与升降槽(14)的内部滑动连接，所述滑块(16)的左侧固定连接有镂空板(6)，所述镂空板(6)的内部活动连接有延伸板(7)。2.根据权利要求1所述的一种硅片夹持工具，其特征在于：所述卡槽(4)的内壁固定连接有软垫(5)。3.根据权利要求1所述的一种硅片夹持工具，其特征在于：所述连接杆(1)的上表面固定连接有把手(3)。4.根据权利要求1所述的一种硅片夹持工具，其特征在于：所述移动板(11)的右侧固定连接有拉把(12)。5.根据权利要求1所述的一种硅片夹持工具，其特征在于：所述延伸板(7)的上表面开设有与下表面相连通的固定孔(19)，所述固定孔(19)的内部插接有挡杆(17)，所述镂空板(6)的上表面开设有与镂空板(6)内部相连通的插孔(18)，所述挡杆(17)远离固定孔(19)的一端与插孔(18)的内部插接。6.根据权利要求1所述的一种硅片夹持工具，其特征在于：所述延伸板(7)的左侧开设有弹簧槽(20)，所述弹簧槽(20)的右侧内壁固定连接有第三弹簧(21)，所述第三弹簧(21)的左端与镂空板(6)的左侧内壁固定连接。

技术总结
本实用新型提供一种硅片夹持工具，涉及半导体领域。该硅片夹持工具，包括连接杆，所述连接杆的下表面固定连接有固定板，所述连接杆的下表面开设有伸缩槽，所述伸缩槽的左右两侧内壁之间固定连接有横杆，所述横杆的表面套接有第一弹簧和滑动环。该硅片夹持工具，通过连接杆、固定板、移动板、滑动环、横杆和第一弹簧的相互配合，达到可以一次性将较多硅片进行夹持，远远超越用手去拿的效率，通过镂空板和延伸板的配合，达到经过延伸板向外延伸，使得延伸板对于夹持后的硅片底部进行阻挡，避免硅片从固定板和移动板之间掉落而损坏，解决了硅片在进行加工完毕后，往往是将硅片一片或者几片拿起放置在下一步加工地点，使得转移硅片过于费时的问题。费时的问题。费时的问题。


技术研发人员：方小明 赵纪平 方萌 刘小祥
受保护的技术使用者：浙江旭盛电子有限公司
技术研发日：2020.11.18
技术公布日：2021/10/8