电涡流传感器以及具有该电涡流传感器的磁悬浮分子泵的制作方法

1.本发明涉及传感器技术领域，具体涉及一种电涡流传感器以及具有该电涡流传感器的磁悬浮分子泵。


背景技术：

2.电涡流式传感器由传感器激励导线和被测金属体组成。根据法拉第电磁感应定律，当传感器激励导线中通过以正弦交变电流时，导线周围将产生正弦交变磁场，使位于该磁场中的金属导体产生感应电流，该感应电流又产生新的交变磁场。新的交变磁场阻碍原磁场的变化，使得传感器导线的等效阻抗发生变化。
3.现有技术中，如中国专利文献cn208383054u公开了一种电涡流传感器，包括电感机构，所述电感机构上缠绕电感导线，通过电感机构用于监测转轴的径向位移信号，从而监测转轴的运转。
4.然而，上述方案中，电感机构的线圈缠绕在头部后暴露在壳体外边，因此对线圈的防护性较差。


技术实现要素：

5.因此，本发明要解决的技术问题在于克服现有技术中的电涡流传感器的线圈的防护较差的缺陷，从而提供一种电涡流传感器以及具有该电涡流传感器的磁悬浮分子泵。
6.为了解决上述技术问题，本发明提供一种电涡流传感器，包括：外壳和设置在外壳内的绕线杆，所述绕线杆上用于缠绕线圈，所述绕线杆与所述外壳之间具有用于容纳所述线圈的容纳空间；
7.所述绕线杆与所述外壳能够进行轴向的相对移动，所述绕线杆的头部具有与所述外壳的顶端开口相配合的环形凸缘，所述环形凸缘与所述外壳配合能够将所述线圈封闭在所述外壳内。
8.可选地，所述绕线杆的头部具有用于缠绕线圈的环形凹槽。
9.可选地，所述绕线杆的中段具有限位凸缘，所述限位凸缘用于定位所述绕线杆缩回所述外壳内的位置。
10.可选地，所述绕线杆的尾部与所述外壳之间，形成有用于所述线圈的导线进行通过的通道。
11.可选地，所述外壳的至少用于包裹所述线圈的部分为金属材料。
12.可选地，所述外壳包括：头部段和尾部段，所述头部段为金属件，所述尾部段与所述头部段固定连接，所述尾部段用于进行传感器的安装。
13.可选地，所述尾部段为中空的圆柱体，所述尾部段的外壁上设有用于进行传感器安装的外螺纹。
14.可选地，所述头部段和所述尾部段之间采用卡接和/或粘接连接。
15.可选地，所述头部段采用不锈钢材料，所述尾部段采用非金属材料。
16.本发明还提供一种磁悬浮分子泵，包括：上述方案中任一项所述的电涡流传感器。
17.本发明技术方案，具有如下优点：
18.1.本发明提供的电涡流传感器，将导线缠绕在绕线杆的头部以形成线圈，绕线杆的头部能够缩回外壳内，使线圈容纳在外壳内，从而对线圈形成防护，提高对线圈的防护效果。
19.2.本发明提供的电涡流传感器，外壳的部分采用金属材质，可对线圈起到电磁屏蔽的作用，防止电磁干扰；另外，线圈的导线从外壳的内部朝向后方穿出，使导线完全不用伸出外壳，从而进一步的提高对导线的屏蔽效率。
20.3.本发明提供的电涡流传感器，在外壳的尾部段为圆柱形，其外壁设有螺纹，安装时传感器时，通过该螺纹可调整轴向位移，从而调整与待监测转轴之间的距离，提高监测精度。
附图说明
21.为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
22.图1为本发明的实施例中提供的电涡流传感器的一种实施方式的主视剖视示意图。
23.图2为图1中绕线杆伸出时的状态图。
24.图3为本发明的实施例中提供的电涡流传感器的立体图。
25.附图标记说明：
26.1、外壳；2、绕线杆；3、环形凸缘；4、环形凹槽；5、头部段；6、尾部段；7、台阶。
具体实施方式
27.下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
28.在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
29.在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
30.此外，下面所描述的本发明不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构
成冲突就可以相互结合。
31.本实施例提供的电涡流传感器，用于根据法拉第电磁感应定律，对物体的位移进行监测，具体的，常用于对转动机械的转轴的径向位移进行监测。
32.如图1
‑
3所示，为本实施例提供的电涡流传感器的一种具体实施方式，包括：外壳1和设置在外壳1内的绕线杆2，所述绕线杆2的头部用于缠绕线圈。所述绕线杆2与所述外壳1之间形成有用于容纳所述线圈的容纳空间，具体的，所述绕线杆2的头部具有用于缠绕线圈的环形凹槽4，当将线圈缠绕在该环形凹槽4内后，可使线圈不径向突出所述绕线杆2，从而将绕线杆2缩回外壳1后，可使外壳1对线圈形成防护。另外，作为一种可替换实施方式，所述绕线杆2的头部的环形凹槽4也可以省略，用于容纳所述线圈的容纳空间，可以形成在外壳1的内壁结构上，也即是说，所述外壳1的内部上形成有薄壁结构用于包裹所述线圈。
33.如图1、图2所示，所述绕线杆2与所述外壳1能够进行轴向的相对移动，所述绕线杆2的头部具有与所述外壳1的顶端开口相配合的环形凸缘3，所述环形凸缘3与所述外壳1配合能够将所述线圈封闭在所述外壳1内。具体的，所述外壳1的内部具有用于容纳绕线杆2的轨道孔，所述绕线杆2的尾部滑动设置在该轨道孔内，从而使绕线杆2能够沿轴向进行滑动，当所述绕线杆2朝向外壳1内部滑动时，绕线杆2的顶端环形凸缘3能够卡在外壳1的开口的端部，从而将外壳1的开口封闭，使线圈被封闭在外壳1内形成防护。
34.如图1、图2所示，所述绕线杆2的中段具有限位凸缘，所述外壳1内具有用于承接上述限位凸缘的台阶7，所述限位凸缘用于与所述台阶7配合，对所述绕线杆2缩回所述外壳1内的位置进行定位。
35.如图1、图2所示，所述绕线杆2的尾部与所述外壳1之间，形成有用于所述线圈的导线进行通过的通道。缠绕线圈时，首先将绕线杆2拉出所述外壳1，然后将导线的一端从传感器的头部沿外壳1内的通道朝向尾部穿出，然后将导线剩余部分缠绕在绕线杆2的环形凹槽4上，然后将剩余的端部也从传感器的头部沿外壳1内的通道朝向尾部穿出，最后将绕线杆2向内推进至外壳1，使缠绕的线圈被包裹在外壳1内形成保护。另外，作为一种可替换实施方式，用于所述导线通过的通道，还可以设置在所述绕线杆2的内部。
36.如图3所示，所述外壳1包括：头部段5和尾部段6，所述头部段5为金属件，所述尾部段6与所述头部段5固定连接，所述尾部段6用于进行传感器的安装。具体的，所述尾部段6为中空的圆柱体，所述尾部段6的外壁上设有用于进行传感器安装的外螺纹，安装传感器时，通过尾部段6的外螺纹与安装座连接，并通过旋拧传感器可调整传感器与待监测转轴之间的距离，从而提高监测精度。具体的，所述头部段5和所述尾部段6之间可采用卡接、粘接或者卡接加粘接的方式进行连接；另外，作为一种可替换实施方式，所述头部段5和所述尾部段6还可以采用螺纹连接、焊接的形式连接。
37.如图1
‑
3所示，作为一种优选实施方式，所述头部段5可采用不锈钢材料，所述尾部段6可采用非金属材料，例如高分子材料，由于外壳1的头部段5采用金属材质，可对线圈起到电磁屏蔽的作用，防止电磁干扰。另外，作为一种可替换实施方式，所述外壳1还可以是一体结构，并将其用于包裹线圈的部分制作为金属材料，以对线圈提供屏蔽效果。
38.另外，本实施例还提供一种磁悬浮分子泵，包括：上述方案中任一项所述的电涡流传感器，通过该电涡流传感器用于监测磁悬浮分子泵的转轴的径向跳动。
39.显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对
于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引申出的显而易见的变化或变动仍处于本发明的保护范围之中。