调节机构、镜头模组及检测设备的制作方法

1.本技术涉及检测技术领域，更具体而言，涉及一种调节机构、镜头模组及检测设备。


背景技术：

2.目前，在精密检测的仪器中，需要调整镜头(或相机等)的位置，使得镜头的光轴垂直经过图像传感器的中心。在调整时，通常先松开拧紧的螺丝，调整镜头的位置后，再拧紧螺丝以使镜头固定在调整好的位置上。而在调整好镜头的位置并拧紧螺丝时，螺丝又会对镜头施加偏转的转矩，导致调整好的镜头的位置再次发生偏转，无法满足镜头的光轴垂直经过图像传感器的中心的要求，从而影响检测精度。因此，如何防止调整好的镜头再次发生偏转成为本领域技术人员亟需解决的问题。


技术实现要素：

3.本技术实施方式提供一种调节机构、镜头模组及检测设备。
4.本技术实施方式的调节机构用于固定被调节件，所述调节机构包括安装件、固定件及缓冲件。所述安装件设有收容腔，所述收容腔用于收容所述被调节件；所述固定件能够活动地安装于所述安装件的侧壁；所述缓冲件收容在所述安装件的侧壁内，所述缓冲件的两端分别与所述固定件和所述被调节件抵持。
5.在某些实施方式中，所述安装件的侧壁设有通孔，所述固定件和所述缓冲件均至少部分收容在所述通孔内。
6.在某些实施方式中，所述固定件的数量为多个，多个所述固定件环绕所述收容腔的中心均匀分布，所述缓冲件的数量为至少一个，每个所述缓冲件分别与所述固定件和所述被调节件抵持。
7.在某些实施方式中，所述固定件与所述缓冲件为点接触。
8.在某些实施方式中，所述缓冲件包括相背的第一面与第二面，所述第一面与所述被调节件呈线接触或面接触，所述第二面与所述固定件的一端呈点接触。
9.在某些实施方式中，所述安装件的侧壁的通孔的截面呈圆形，所述缓冲件的截面呈圆形，所述固定件的头部为尖头或圆头。
10.在某些实施方式中，所述安装件的侧壁的通孔包括连通的第一孔及第二孔，所述第一孔用于收容至少部分所述缓冲件，所述第二孔用于收容至少部分所述固定件，其中：所述第二孔的截面呈圆形；所述缓冲件的截面呈圆形，所述第一孔的截面呈圆形，所述固定件的头部为尖头或圆头。
11.在某些实施方式中，所述安装件的侧壁的通孔包括连通的第一孔及第二孔，所述第一孔用于收容至少部分所述缓冲件，所述第二孔用于收容至少部分所述固定件，其中：所述第二孔的截面呈圆形；所述缓冲件的截面呈圆形，所述第一孔的截面呈圆形，所述固定件包括主体部及过渡部，所述过渡部位于所述主体部与所述缓冲件之间，并与所述缓冲件点
接触。
12.在某些实施方式中，所述安装件的侧壁的通孔包括连通的第一孔及第二孔，所述第一孔用于收容至少部分所述缓冲件，所述第二孔用于收容至少部分所述固定件，其中：所述第二孔的截面呈圆形；所述缓冲件的截面呈多边形，所述第一孔的截面呈多边形，所述固定件的头部为尖头、圆头或平头。
13.在某些实施方式中，所述第一孔与所述第二孔相接处的开口尺寸大于或小于所述第二孔的直径。
14.在某些实施方式中，所述第二孔设有内螺纹，所述固定件包括机米螺丝。
15.本技术还提供一种镜头模组。所述镜头模组包括上述任一实施方式的调节机构及镜头，所述调节机构用于固定所述镜头。
16.本技术还提供一种镜头模组。所述镜头模组包括上述任一实施方式的调节机构及光电组件，所述调节机构固定所述光电组件。
17.本技术还提供一种检测设备，所述检测设备包括镜头模组及支架，所述镜头模组安装于所述支架。
18.本技术的调节机构、镜头模组及检测设备中，固定件能够活动地安装于安装件的侧壁，在固定件调节至远离被调节件的位置并调整好被调节件的位置后，固定件被拧紧并推动缓冲件与被调节件抵持，可避免固定件直接与被调节件接触而对被调节件施加偏转的转矩，防止调整好位置的被调节件再次发生偏转，从而保证检测设备的检测精度。
19.本技术的实施方式的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实施方式的实践了解到。
附图说明
20.本技术的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施方式的描述中将变得明显和容易理解，其中：
21.图1是本技术某些实施方式的调节机构中固定件与缓冲件的部分立体剖面示意图；
22.图2是本技术某些实施方式的检测设备的立体示意图；
23.图3是本技术某些实施方式的调节机构中固定件与缓冲件配合的部分立体剖面示意图；
24.图4是本技术某些实施方式的调节机构中固定件与缓冲件配合的部分立体剖面示意图；
25.图5是本技术某些实施方式的调节机构中固定件与缓冲件配合的部分立体剖面示意图；
26.图6是本技术某些实施方式的检测设备的剖面示意图。
具体实施方式
27.以下结合附图对本技术的实施方式作进一步说明。附图中相同或类似的标号自始至终表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。
28.另外，下面结合附图描述的本技术的实施方式是示例性的，仅用于解释本技术的
实施方式，而不能理解为对本技术的限制。
29.在本技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
30.请参阅图1及图2，本技术提供一种调节机构100，调节机构100用于固定被调节件400，调节机构100包括安装件10、固定件30及缓冲件50。安装件10设有收容腔 11，收容腔11用于收容被调节件400；固定件30能够活动地安装于安装件10的侧壁 13；缓冲件50安装在安装件10的侧壁13内，缓冲件50的两端分别与固定件30和被调节件400抵持。
31.被调节件400包括镜头200(例如成像镜头、打光镜头等)及光电组件300等，其中光电组件300包括图像传感器，被调节件400应用于检测设备1000中，以用于对半导体工件进行检测。
32.通常，在精密检测的仪器中，需要调整镜头(或相机等)的位置，使得镜头的光轴垂直经过图像传感器的中心。在调整时，通常先松开拧紧的螺丝，调整镜头的位置后，再拧紧螺丝以使镜头固定在调整好的位置上。而在调整好镜头的位置并在拧紧螺丝时，螺丝又会对镜头施加偏转的转矩，导致调整好的镜头的位置再次发生偏转，无法满足镜头的光轴垂直经过图像传感器的中心的要求，从而影响检测精度。本技术的调节机构100中，固定件30 能够活动地安装于安装件10的侧壁13，在固定件30被拧松并调整好被调节件400的位置后，固定件30被拧紧并推动缓冲件50与被调节件400抵持，可避免固定件30直接与被调节件400接触而对被调节件400施加偏转的转矩，使得被调节件400只受到固定件30的轴线方向的力，只会沿着固定件30的轴向移动，不会发生转动，防止调整好位置的被调节件400再次发生偏转，从而保证检测设备1000的检测精度。
33.下面结合附图作进一步说明。
34.请继续参阅图1及图2，在某些实施方式中，安装件10的侧壁13设有通孔15，固定件30和缓冲件50均至少部分收容在通孔15内。通孔15提供安装固定件30和缓冲件50的收容空间及固定被调节件400的调节空间。具体地，通孔15的尺寸与固定件30 及缓冲件50的尺寸配合，以便固定件30能够通过通孔15固定被调节件400。
35.请结合图3，具体地，通孔15可包括连通的第一孔151和第二孔152，其中，第一孔151与缓冲件50对应，第二孔152与固定件30对应，第一孔151用于收容至少部分缓冲件50，第二孔152用于收容至少部分固定件30。在一个实施例中，通孔15的一整段的截面均为圆形，且该一整段孔为等直径的孔，此时，第一孔151与第二孔152相接处的开口尺寸大小相同。在另一个实施例中，第一孔151与第二孔152相接处的开口尺寸大于第二孔152的直径，方便缓冲件50从收容腔11内部向安装件10的侧壁13以外安装。在再一个实施例中，第一孔151与第二孔152相接处的开口尺寸小于第二孔152 的直径，则可方便缓冲件50从安装件10的侧壁13以外向收容腔11内部安装。
36.在一个实施例中，固定件30完全收容在通孔15内，缓冲件50也完全收容在通孔 15内，缓冲件50的一端与被调节件400抵持，另一端与固定件30抵持，如此，固定件 30与缓冲件50均被隐藏在侧壁13内部，能够避免影响其他零件的安装。
37.在另一个实施例中，固定件30完全收容在通孔15内，缓冲件50靠近被调节件400 的一端从通孔15内伸出以与被调节件400抵持，另一端与固定件30抵持。如此，固定件30被隐藏在侧壁13内部，能够避免影响其他零件的安装，另外，缓冲件50从通孔 15内伸出，方便与被调节件400抵持，调节更为方便。
38.在再一个实施例中，固定件30远离被调节件400的一端从通孔15内露出，缓冲件 50完全收容在通孔15内，缓冲件50的一端与被调节件400抵持，另一端与固定件30 抵持。如此，固定件30从通孔15内露出，方便拧紧或拧松固定件30，另外，缓冲件 50被隐藏在侧壁13的内部，能够避免影响其他零件的安装。
39.在又一个实施例中，固定件30远离被调节件400的一端从通孔15内露出，缓冲件 50靠近被调节件400的一端从通孔15内伸出以与被调节件400抵持，另一端与固定件 30抵持。如此，固定件30从通孔15内露出，方便拧紧或拧松固定件30，另外，缓冲件50从通孔15内伸出，方便与被调节件400抵持，调节更为方便。
40.缓冲件50设置在固定件30和被调节件400之间，固定件30能够活动地安装于安装件10的侧壁13，在固定件30被拧松并调整好被调节件400的位置后，固定件30被拧紧并推动缓冲件50与被调节件400抵持，可避免固定件30直接与被调节件400接触而对被调节件400施加转矩，使得被调节件400只受到固定件30轴线方向的力，只会沿着固定件30的轴向移动，不会发生转动，防止调整好位置的被调节件400再次发生偏转，从而保证检测设备1000(图2所示)的检测精度。
41.请参阅图1及图2，安装件10的数量可为一个或多个，例如，安装件10的数量为一个、两个、三个或三个以上，具体的安装件10的数量可根据被调节件400的数量及调节需求来设置，在此对安装件10的数量不作限制。在本技术的实施例中，安装件10 的数量为两个。对应地，每个安装件10的侧壁13均设置有通孔15，以便固定件30和缓冲件50通过通孔15固定安装在收容腔11内的被调节件400。
42.对于每一个安装件10而言，在一个实施例中，固定件30的数量可为一个，通孔15 和缓冲件50的数量也为一个，缓冲件50的两端分别抵持固定件30和被调节件400，此时，固定件30被拧松并调整好被调节件400的位置后，固定件30被拧紧并推动缓冲件 50与被调节件400抵持，可避免固定件30直接与被调节件400接触而对被调节件400 施加偏转的转矩，使得被调节件400只受到固定件30的轴线方向的力，只会沿着固定件30的轴向移动，不会发生转动，防止被调整好位置的被调结件400再次发生偏转，从而保证检测设备1000(图2所示)的检测精度。固定被调节件400的过程中，仅需要调节一个固定件30即可，操作简单，同时减少通孔15的开设，节约成本。
43.在另一个实施例中，固定件30的数量可为多个，通孔15的数量与固定件30的数量一致，多个固定件30环绕收容腔11的中心均匀分布，缓冲件50的数量为至少一个，每个缓冲件50分别与固定件30和被调节件400抵持，多个固定件30被拧松并调整被调节件400的位置后，其中一个固定件30被拧紧并推动缓冲件50与被调节件400抵持，可避免固定件30直接与被调节件400接触而对被调节件400施加偏转的转矩，使得被调节件400只受到固定件30的轴线方向的力，只会沿着固定件30的轴向移动，不会发生转动，防止被调整好位置的被调节件400再次发生偏转。其中，当该固定件30在固定被调节件400过程中若存在调节过度或调节不足的情况，可通过调节其他的固定件30 调整被调节件400的位置，实现对被调节件400
的多方位调节，从而保证检测设备1000 (图2所示)的检测精度。例如，固定件30的数量为两个，缓冲件50的数量可为一个或两个，相应的，通孔15的数量为两个，其中，一个通孔15内收容有固定件30和缓冲件50，另一个通孔15内仅收容固定件30，此时，若要调节被调节件400的位置，则可通过与缓冲件50配合的固定件30来实现，具体地，固定件30被拧松并调整好被调节件400的位置后，固定件30被拧紧并推动缓冲件50与被调节件400抵持，可避免固定件30直接与被调节件400接触而对被调节件400施加偏转的转矩，使得被调节件400 只受到固定件30的轴线方向的力，只会沿着固定件30的轴向移动，不会发生转动，防止被调整好位置的被调结件400再次发生偏转，从而保证检测设备1000(图2所示)的检测精度。又例如，固定件30的数量为六个，缓冲件50的数量为三个，每个缓冲件50 均与固定件30和被调节件400抵持。具体地，由于固定件30环绕收容腔11的中心均匀分布，缓冲件50可环绕收容腔11的中心均匀间隔分布，即，有固定件30与缓冲件 50抵持的通孔15的相邻两个通孔15仅收容有固定件30；或者，缓冲件50可环绕收容腔11的中心非均匀间隔分布，即，一个通孔15和该通孔15的一个或两个相邻通孔15 均收容有固定件30和缓冲件50。缓冲件50的数量小于或等于固定件30的数量，此时。若要调节被调节件400的位置，则可通过与缓冲件50配合的固定件30来实现，具体地，多个固定件30被拧松并调整被调节件400的位置后，其中一个固定件30被拧紧并推动缓冲件50与被调节件400抵持，可避免固定件30直接与被调节件400接触而对被调节件400施加偏转的转矩，使得被调节件400只受到固定件30的轴线方向的力，只会沿着固定件30的轴向移动，不会发生转动，防止被调整好位置的被调节件400再次发生偏转。其中，当该固定件30在固定被调节件400过程中若存在调节过度或调节不足的情况，可通过调节其他的固定件30调整被调节件400的位置，实现对被调节件400的多方位调节，且缓冲件50环绕通孔15的中心均匀分布，使得被调节件400的周面受力均匀，使得被调整好位置的被调节件400更加稳定地保持在该位置上，从而保证检测设备1000(图2所示)的检测精度。
44.再例如，固定件30和缓冲件50的数量均为三个，保证缓冲件50的数量与固定件 30的数量一致，同样的，固定件30和缓冲件50的调节过程如同上述调节原理，在此不再赘述，都能够实现在调节过程中，被调节件400只受到固定件30轴向的力，不会发生偏转，保证检测设备1000(图2所示)的检测精度。其中，固定件30和缓冲件50 的数量均为三个，实现对被调节件400的多方位的调节并保证被调节件400的周面受力均匀，使得被调整好位置的被调节件400更加稳定地保持在该位置上，同时，可减少通孔15的开设，节约成本。
45.请参阅图3，缓冲件50包括相背的第一面51和第二面53，第一面51与被调节件 400呈线接触或面接触，第二面53与固定件30的头部31呈点接触。
46.请结合图2，具体地，缓冲件50由金属材料制成，若为软质材料的缓冲件50，则无法通过固定件30施加的轴向的力来推动缓冲件50，缓冲件50推动被调节件400，从而无法实现对被调节件400的微调节。当拧紧固定件30并与缓冲件50接触时，由于缓冲件50为硬质的金属材料制成的，继续拧紧固定件30的过程中，固定件30可推动缓冲件50与被调节件400抵持，由于固定件30与缓冲件50为点接触，缓冲件50不会发生转动，从而使得与缓冲件50抵持的被调节件400只受到沿固定件30的轴线方向的力，只会沿着固定件30的轴向移动，不会发生转动，防止被调整好位置的被调节件400再次发生偏转，从而保证检测设备1000的检测精度。
47.缓冲件50的第一面51与被调节件400线接触或面接触，缓冲件50的第二面53与固
定件30的头部31点接触，使得固定件30施加的轴向的力可推动缓冲件50，缓冲件 50推动被调节件400，以调节被调节件400。同时，在调节过程中，由于缓冲件50与被调节件400为线接触或面接触，可防止尖头固定件30对被调节件400造成伤害。
48.请参阅图1及图3，在一个实施例中，缓冲件50的截面呈圆形，即，缓冲件50为圆柱体缓冲块。第一孔151和第二孔152的截面呈圆形，此时，通孔15可为等直径的圆形通孔或阶梯型的通孔。其中，第二孔152内设有内螺纹，固定件30包括机米螺丝，机米螺丝可在第二孔152内转动，固定件30的头部31为尖头或圆头，即，固定件30 可为尖头机米螺丝或圆头机米螺丝，以保证固定件30的头部31与缓冲件50的第二面 53呈点接触。请结合图2，调整好被调节件400的位置后，固定件30被拧紧并推动缓冲件50与被调节件400抵持，可避免被固定件30与被调节件400直接接触而对被调节件400施加偏转的转矩，由于固定件30与缓冲件50为点接触，缓冲件50不会随着固定件30转动，使得被调节件400只受到沿固定件30的轴线方向的力，并只会沿着固定件30的轴向移动，不会随着固定件30的转动而转动，从而防止调整好位置的被调节件 400再次发生偏转，保证检测设备1000的检测精度。
49.请参阅图4，在另一个实施例中，缓冲件50的截面呈圆形，即，缓冲件50为圆柱体缓冲块，第一孔151和第二孔152的截面呈圆形，此时，通孔15可为等直径的圆形通孔或阶梯型的通孔。固定件30包括主体部32及过渡部33，过渡部33位于主体部32 与缓冲件50之间，并与缓冲件50点接触。请结合图2，具体地，第二孔152内设有内螺纹，主体部32为平头机米螺丝，机米螺丝可在第二孔152内转动，过渡部33为圆球形钢珠，以保证固定件30与缓冲件50的第二面53呈点接触，调整好被调节件400的位置后，固定件30被拧紧并推动缓冲件50与被调节件400抵持，可避免被固定件30 与被调节件400直接接触而对被调节件400施加偏转的转矩，由于固定件30与缓冲件 50为点接触，缓冲件50不会随着固定件30转动，使得被调节件400只受到沿固定件 30的轴线方向的力，只会沿着固定件30的轴向移动，不会随着固定件30的转动而转动，从而防止调整好位置的被调节件400再次发生偏转，保证检测设备1000的检测精度。
50.请参阅图5，在再一个实施例中，缓冲件50的截面呈多边形，第一孔151的截面呈多边形，第二孔152的截面呈圆形，固定件30的头部31为尖头、圆头或平头，即，第一孔151的截面形状与缓冲件50的截面形状对应，第二孔152为圆形通孔。例如，缓冲件50为三棱柱状缓冲块，对应的，第一孔151的截面为三角形；缓冲件50可为四边形、五边形或六边形等多边形缓冲块，对应的，第二孔152的截面为对应的多边形形状，在本技术的实施例中，缓冲件50为四边形缓冲块，第二孔152的截面为四边形状。请结合图2，同样地，在调节过程中，缓冲件50两端分别与固定件50及被调节件400抵持，在固定件30(例如尖头机米螺丝、圆头机米螺丝或平头机米螺丝等)转动时，由于截面呈多边形的缓冲件50与截面呈多边形的第一孔151的配合，可防止缓冲件50随着固定件30的转动而转动，从而使得被调节件400只受到沿固定件30的轴线方向的力，只会沿着固定件30的轴向移动，不会随着固定件30的转动而转动，从而防止调整好位置的被调节件400再次发生偏转，保证检测设备1000的检测精度。
51.请参阅图1及图2，本技术还提供一种镜头模组500。在一个实施例中，镜头模组500可包括上述任一实施方式的调节机构100及镜头200，调节机构100用于固定镜头 200，并能避免镜头200受到固定件30施加偏转的转矩，保证调整好角度的镜头200不会再次发生偏转，从而提高检测设备1000的检测精度。在另一个实施例中，镜头模组 500可包括上述任一
实施方式的调节机构100及光电组件300，调节机构100用于固定光电组件300。请结合图6，其中，光电组件300包括装载件301及图像传感器303，装载件301能够收容在收容腔11内，装载件301设有开口，缓冲件50能够与固定件30 和装载件301抵持。图像传感器303安装于装载件301内，镜头200通过开口与图像传感器303对应，以使镜头200的轴与图像传感器303的中心轴一致，实现图像采集。具体地，装载件301为装载图像传感器303的外壳体，固定件30抵持缓冲件50，缓冲件 50抵持装载件301，并通过固定件30推动缓冲件50，缓冲件50推动装载件301，实现对整个光电组件300的调节，以使镜头200的光轴与图像传感器的中心轴一致，保证检测设备1000的检测精度。
52.请参阅图2，本技术还提供一种检测设备1000，检测设备1000包括上述镜头模组 500及支架600，其中，镜头模组500安装于支架600上，以方便镜头模组500对半导体工件的检测。
53.本技术的调节机构100、镜头模组500及检测设备1000中，固定件30能够活动地安装于安装件10的侧壁13，在固定件30被拧松并调整好被调节件400(例如镜头模组 500)的位置后，固定件30被拧紧并推动缓冲件50与被调节件400(例如镜头模组500) 抵持，可避免被调节件400(例如镜头模组500)直接与被调节件400接触而对被调节件400施加偏转的转矩，防止调整好位置的被调节件400(例如镜头模组500)再次发生偏转，从而保证检测设备1000的检测精度。
54.在本说明书的描述中，参考术语“某些实施方式”、“一个实施方式”、“一些实施方式”、“示意性实施方式”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”的描述意指结合所述实施方式或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本技术的至少一个实施方式或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施方式或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施方式或示例中以合适的方式结合。
55.此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个所述特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个，除非另有明确具体的限定。
56.尽管上面已经示出和描述了本技术的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本技术的限制，本领域的普通技术人员在本技术的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型，本技术的范围由权利要求及其等同物限定。