一种蒸镀机的公转伞架结构的制作方法

1.本实用新型涉及蒸镀机技术领域，较为具体的，涉及到一种蒸镀机的公转伞架结构。


背景技术：

2.真空蒸镀机为在真空条件下，通过电流加热、电子束轰击加热和离子源轰击等方式，蒸发镀膜材料(或称膜料)并使之气化，再使气化后的粒子飞至基片表面而凝结，最后形成薄膜。真空蒸镀具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能独特等优点，因此得到广泛的应用。
3.在真空蒸镀的加工工艺中，一般包括蒸镀源以及设置在蒸镀源上方用来承载被镀膜工件的伞状治具，伞状治具固定被镀膜工件，并且在蒸镀的过程中，为了镀膜的均匀性，一般伞状治具会转动，即伞状治具会以真空蒸镀机为伞架13治具提供驱动力的部件连接，镀膜完成后伞状治具取出。但是，在现有技术中，要么为了伞状治具旋转时的牢固性，采用复杂的连接结构将伞架13治具与提供驱动力的部件连接，那么伞状治具取出时不易取出；要么为了方便伞状治具取出，那么伞状治具旋转时存在安全隐患。
4.有鉴于此，本实用新型提供一种蒸镀机的公转伞架结构，结构简单、方便取出，并且实现双保险连接、安全性高。


技术实现要素：

5.有鉴于此，为了解决伞状治具取出时不易取出的问题，本实用新型提出一种蒸镀机的公转伞架结构，通过键使得驱动机构带动第一法兰转动从而带动第二法兰转动，最终带动伞架转动，伞架的转轴与第二法兰的连接件为卡接，无需螺丝或者螺母固定，拆装方便，转轴的远离连接件的一端设有延伸部，延伸部端设有两个相对称的把手，方便拆装时的手握，该公转伞架结构简单、方便取出，安全性高。
6.一种蒸镀机的公转伞架结构，包括驱动机构1、第一法兰11、第二法兰12和伞架13，其特征在于驱动机构1的驱动机构1轴处设有第一凹槽2，第一法兰11为空心结构，第一法兰11的内壁设有第二凹槽3，第一凹槽2与第二凹槽3通过键4卡接，第一法兰11的下部连接第二法兰12，第二法兰12的下部设有连接件5，连接件5包括第一开口槽6和第二开口槽7，第一开口槽6与第二开口槽7相对于连接件5中心线对称，伞架13的上端设有转轴8，转轴8的外壁一端设有与第一开口槽6匹配的第一卡件9，转轴8的外壁的另一端设有与第二开口槽7匹配的第二卡件10，第一卡件9与第二卡件10相对于转轴8中心线对称，当转轴8与连接件5连接时，第一卡件9与第一开口槽6匹配连接，第二卡件10与第二开口槽7匹配连接。
7.进一步的，驱动机构1为电机或者磁流体与电机配合的结构。
8.进一步的,第一法兰11为凸型结构，凸块的内壁设有第一凹槽2，远离凸块端的中部设有通孔15，驱动机构1轴穿过通孔15与第二法兰12连接。
9.进一步的,第一法兰11与第二法兰12通过螺丝可拆卸连接。
10.进一步的,第一开口槽6和第二开口槽7均为倒j型结构或者倒u型结构，第一开口槽6和第二开口槽7的靠近伞架13的一端为开口处，第一开口槽6和第二开口槽7的远离伞架13的一端为闭合处。
11.进一步的，第一卡件9和第二卡件10为圆柱形。
12.进一步的，第一卡件9的宽度小于第一开口槽6的宽度，第二卡件10的宽度小于第二开口槽7的宽度。
13.进一步的，驱动机构1轴远离驱动机构1端与第一法兰11的中心处通过螺丝连接。
14.进一步的，伞架13顶部中心围绕伞架13中心设有多根加强筋14，加强筋14与伞架13一体成型，所述转轴8与加强筋14一体成型。
15.进一步的，所述伞架13上设有矩阵形排列的多个通孔15，通孔15处设有台阶，台阶处放置待镀膜的基片。
16.进一步的，转轴8的远离连接件5的一端设有延伸部16，所述延伸部16端设有两个相对称的把手17，把手17为圆柱形或者块状，把手17与延伸部16一体成型，方便拆装时的手握。
17.本实用新型的工作原理：本实用新型提出一种蒸镀机的公转伞架结构，通过键4使得驱动机构1带动第一法兰11转动从而带动第二法兰12转动，最终带动伞架13转动，伞架13的转轴8与第二法兰12的连接件5为卡接，无需螺丝或者螺母固定，拆装方便，转轴8的远离连接件5的一端设有延伸部16，延伸部16端设有两个相对称的把手17，方便拆装时的手握，该公转伞架13结构简单、方便取出，安全性高。
附图说明
18.图1为本实用新型的蒸镀机的公转伞架结构的结构图。
19.图2为本实用新型的蒸镀机的公转伞架结构的局部结构图。
20.图3为本实用新型的蒸镀机的公转伞架结构的局部结构图。
21.图4为本实用新型的蒸镀机的公转伞架结构的局部透视结构图。
22.主要元件符号说明
23.驱动机构1第一凹槽2第二凹槽3键4连接件5第一开口槽6第二开口槽7转轴8第一卡件9第二卡件10第一法兰11第二法兰12伞架13
加强筋14通孔15延伸部16把手17
24.如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本实用新型。
具体实施方式
25.描述以下实施例以辅助对本技术的理解，实施例不是也不应当以任何方式解释为限制本技术的保护范围。
26.在以下描述中，本领域的技术人员将认识到，在本论述的全文中，组件可描述为单独的功能单元(可包括子单元)，但是本领域的技术人员将认识到，各种组件或其部分可划分成单独组件，或者可整合在一起(包括整合在单个的系统或组件内)。
27.同时，附图内的组件或系统之间的连接并不旨在限于直接连接。相反，在这些组件之间的数据可由中间组件修改、重格式化、或以其它方式改变。另外，可使用另外或更少的连接。还应注意，术语“联接”、“连接”、或“输入”“固定”应理解为包括直接连接、通过一个或多个中间媒介来进行的间接的连接或固定。
28.在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“侧面”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该申请产品使用时或惯常认知的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。此外，术语“水平”、“竖直”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。
29.实施1：
30.如图1所示，为本实用新型的蒸镀机的公转伞架结构的结构图；如图2所示，为本实用新型的蒸镀机的公转伞架结构的局部结构图；如图3所示，为本实用新型的蒸镀机的公转伞架结构的局部结构图；如图4所示，为本实用新型的蒸镀机的公转伞架结构的局部透视结构图。
31.一种蒸镀机的公转伞架结构，包括驱动机构1、第一法兰11、第二法兰12和伞架13，其特征在于驱动机构1的驱动机构1轴处设有第一凹槽2，第一法兰11为空心结构，第一法兰11的内壁设有第二凹槽3，第一凹槽2与第二凹槽3通过键4卡接，第一法兰11的下部连接第二法兰12，第二法兰12的下部设有连接件5，连接件5包括第一开口槽6和第二开口槽7，第一开口槽6与第二开口槽7相对于连接件5中心线对称，伞架13的上端设有转轴8，转轴8的外壁一端设有与第一开口槽6匹配的第一卡件9，转轴8的外壁的另一端设有与第二开口槽7匹配的第二卡件10，第一卡件9与第二卡件10相对于转轴8中心线对称，当转轴8与连接件5连接时，第一卡件9与第一开口槽6匹配连接，第二卡件10与第二开口槽7匹配连接，驱动机构1为电机。
32.所述第一法兰11为凸型结构，凸块的内壁设有第一凹槽2，远离凸块端的中部设有
通孔15，驱动机构1轴穿过通孔15与第二法兰12连接。
33.所述第一法兰11与第二法兰12通过螺丝可拆卸连接。
34.所述第一开口槽6和第二开口槽7均为倒j型结构，第一开口槽6和第二开口槽7的靠近伞架13的一端为开口处，第一开口槽6和第二开口槽7的远离伞架13的一端为闭合处。
35.所述第一卡件9和第二卡件10为圆柱形。
36.所述第一卡件9的宽度小于第一开口槽6的宽度，第二卡件10的宽度小于第二开口槽7的宽度。
37.所述驱动机构1轴远离驱动机构1端与第一法兰11的中心处通过螺丝连接。
38.所述伞架13顶部中心围绕伞架13中心设有多根加强筋14，加强筋14与伞架13一体成型，所述转轴8与加强筋14一体成型。
39.所述所述伞架13上设有矩阵形排列的多个通孔15，通孔15处设有台阶，台阶处放置待镀膜的基片。
40.所述转轴8的远离连接件5的一端设有延伸部16，所述延伸部16端设有两个相对称的把手17，把手17为圆柱形或者块状，把手17与延伸部16一体成型，方便拆装时的手握。
41.本实用新型的工作原理：本实用新型提出一种蒸镀机的公转伞架结构，通过键4使得驱动机构1带动第一法兰11转动从而带动第二法兰12转动，最终带动伞架13转动，伞架13的转轴8与第二法兰12的连接件5为卡接，无需螺丝或者螺母固定，拆装方便，转轴8的远离连接件5的一端设有延伸部16，延伸部16端设有两个相对称的把手17，方便拆装时的手握，该公转伞架13结构简单、方便取出，安全性高。
42.实施2：
43.如图1所示，为本实用新型的蒸镀机的公转伞架结构的结构图；如图2所示，为本实用新型的蒸镀机的公转伞架结构的局部结构图；如图3所示，为本实用新型的蒸镀机的公转伞架结构的局部结构图；如图4所示，为本实用新型的蒸镀机的公转伞架结构的局部透视结构图。
44.一种蒸镀机的公转伞架结构，包括驱动机构1、第一法兰11、第二法兰12和伞架13，其特征在于驱动机构1的驱动机构1轴处设有第一凹槽2，第一法兰11为空心结构，第一法兰11的内壁设有第二凹槽3，第一凹槽2与第二凹槽3通过键4卡接，第一法兰11的下部连接第二法兰12，第二法兰12的下部设有连接件5，连接件5包括第一开口槽6和第二开口槽7，第一开口槽6与第二开口槽7相对于连接件5中心线对称，伞架13的上端设有转轴8，转轴8的外壁一端设有与第一开口槽6匹配的第一卡件9，转轴8的外壁的另一端设有与第二开口槽7匹配的第二卡件10，第一卡件9与第二卡件10相对于转轴8中心线对称，当转轴8与连接件5连接时，第一卡件9与第一开口槽6匹配连接，第二卡件10与第二开口槽7匹配连接，驱动机构1为磁流体与电机配合的结构。
45.所述第一法兰11为凸型结构，凸块的内壁设有第一凹槽2，远离凸块端的中部设有通孔15，驱动机构1轴穿过通孔15与第二法兰12连接。
46.所述第一法兰11与第二法兰12通过螺丝可拆卸连接。
47.所述第一开口槽6和第二开口槽7均为倒u型结构，第一开口槽6和第二开口槽7的靠近伞架13的一端为开口处，第一开口槽6和第二开口槽7的远离伞架13的一端为闭合处。
48.所述第一卡件9和第二卡件10为圆柱形。
49.所述第一卡件9的宽度小于第一开口槽6的宽度，第二卡件10的宽度小于第二开口槽7的宽度。
50.所述驱动机构1轴远离驱动机构1端与第一法兰11的中心处通过螺丝连接。
51.所述伞架13顶部中心围绕伞架13中心设有多根加强筋14，加强筋14与伞架13一体成型，所述转轴8与加强筋14一体成型。
52.所述所述伞架13上设有矩阵形排列的多个通孔15，通孔15处设有台阶，台阶处放置待镀膜的基片。
53.所述转轴8的远离连接件5的一端设有延伸部16，所述延伸部16端设有两个相对称的把手17，把手17为圆柱形或者块状，把手17与延伸部16一体成型，方便拆装时的手握。
54.本实用新型的工作原理：本实用新型提出一种蒸镀机的公转伞架结构，通过键4使得驱动机构1带动第一法兰11转动从而带动第二法兰12转动，最终带动伞架13转动，伞架13的转轴8与第二法兰12的连接件5为卡接，无需螺丝或者螺母固定，拆装方便，转轴8的远离连接件5的一端设有延伸部16，延伸部16端设有两个相对称的把手17，方便拆装时的手握，该公转伞架13结构简单、方便取出，安全性高。
55.以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。