一种提高烧结钕铁硼耐腐蚀性能的方法与流程

技术特征：
1.一种提高烧结钕铁硼耐腐蚀性能的方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）钕铁硼基底预处理：打磨钕铁硼基底；（2）靶材预处理：将中间层靶材和防腐层靶材预溅射一段时间；（3）磁控溅射参数设置：设置调节氩气流量、工作压力、中间层靶材的溅射功率、防腐层靶材的溅射功率、镀中间层靶材时间及镀防腐层靶材时间；（4）磁控溅射镀膜：钕铁硼基底放入磁控溅射腔室后，将腔室抽真空，先镀中间层膜后镀防腐层膜。2.根据权利要求1所述的一种提高烧结钕铁硼耐腐蚀性能的方法，其特征是，所述中间层靶材为铝、铜或锌。3.根据权利要求1所述的一种提高烧结钕铁硼耐腐蚀性能的方法，其特征是，所述防腐层靶材为铬。4.根据权利要求1所述的一种提高烧结钕铁硼耐腐蚀性能的方法，其特征是，所述步骤（1）中，钕铁硼基底先用600~2000 grits的砂纸采取磨金相的方式打磨，后采用金相抛光机打磨。5.根据权利要求1所述的一种提高烧结钕铁硼耐腐蚀性能的方法，其特征是，所述步骤（2）中，预溅射时中间层靶材的溅射功率为40~80 w，溅射时间为5~15 min，防腐层靶材的溅射功率为20~100 w，溅射时间为5~15 min。6.根据权利要求1所述的一种提高烧结钕铁硼耐腐蚀性能的方法，其特征是，所述步骤（3）中，氩气流量为40~50 sccm，工作压力：1.0~2.0 pa。7.根据权利要求1或2或4所述的一种提高烧结钕铁硼耐腐蚀性能的方法，其特征是，所述步骤（3）中，中间层靶材的溅射功率为40~80 w，镀中间层靶材时间为5~25 min。8.根据权利要求1或2或4所述的一种提高烧结钕铁硼耐腐蚀性能的方法，其特征是，所述步骤（3）中，防腐层的溅射功率为20~100 w，镀防腐层时间为35~65 min。9.根据权利要求1所述的一种提高烧结钕铁硼耐腐蚀性能的方法，其特征是，所述步骤（4）中，将舱室真空抽至3.0
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10
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4 ~8.0
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10
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4 pa。

技术总结
本发明涉及钕铁硼永磁体的表面腐蚀防护领域，为解决现有技术下镀防腐蚀层的方法步骤复杂，镀层影响磁性能，镀的单层膜的腐蚀通道相对较短，耐蚀性能较差的问题，公开了一种提高烧结钕铁硼耐腐蚀性能的方法，包括以下步骤：（1）钕铁硼基底预处理；（2）靶材预处理；（3）磁控溅射参数设置；（4）磁控溅射镀膜。本发明中分层溅射更能发挥每层薄膜的优点，中间层薄膜可加强膜基结合力，防腐层薄膜硬度高，抗磨损性能、防腐性能与抗氧化性能好；双层膜较单层膜而言，腐蚀通道更长，防腐蚀效果更好；该表面防护方法对钕铁硼的磁性能影响较小；使用磁控溅射镀膜技术，无污染，薄膜纯度高，致密性、均匀性好。匀性好。匀性好。


技术研发人员：张雪峰 张泽君 石振 曾航 赵利忠
受保护的技术使用者：杭州电子科技大学
技术研发日：2021.06.22
技术公布日：2021/10/28