一种等离子刻蚀机及其使用方法与流程

技术特征：
1.一种等离子刻蚀机，包括一刻蚀腔体和一加热板；所述刻蚀腔体的敞开端固定一陶瓷介质窗；所述陶瓷介质窗的上方固定一产生等离子体的等离子体耦合线圈；所述加热板固定在一屏蔽罩内；所述屏蔽罩的下端敞开；所述屏蔽罩位于所述刻蚀腔体的上方且固定在所述刻蚀腔体上；其特征在于：所述加热板固定在所述陶瓷介质窗朝向所述等离子体耦合线圈的表面；所述加热板上开设用于供所述等离子体穿过的预留间隙；所述加热板通过一供电电路连接一加热电源。2.根据权利要求1所述的等离子刻蚀机，其特征在于，所述陶瓷介质窗的上段固定在所述屏蔽罩内。3.根据权利要求1所述的等离子刻蚀机，其特征在于，所述加热板为圆形；所述加热板包括多条沿圆周分布的加热丝；相邻所述加热丝之间围成所述预留间隙。4.根据权利要求1所述的等离子刻蚀机，其特征在于，进一步包括一用于调节加热温度的温度控制单元；所述温度控制单元包括：一温度控制器，所述温度控制器的输入端电连接一测温传感器；所述测温传感器固定在所述加热板上；所述温度控制器的输出端电连接一加热电源；所述温度控制器和加热电源之间设置一固态继电器；所述固态继电器设置在所述供电电路上。5.根据权利要求4所述的等离子刻蚀机，其特征在于，进一步包括一用于监测加热温度的辅助测温传感器和一警示器；所述警示器的输入端电连接所述辅助测温传感器；所述辅助测温传感器固定在所述加热板上。6.一种等离子刻蚀机的使用方法，基于权利要求 5所述的等离子刻蚀机，其特征在于，包括以下步骤：（1）所述测温传感器感应所述陶瓷介质窗的温度并传送数据至所述温度控制器；当所述陶瓷介质窗的温度达到所述温度控制器设定的温度后，所述温度控制器控制固态继电器断开；所述辅助测温传感器实时监测所述加热板的温度，并将数据传输至所述警示器；所述警示器实时显示所述加热板的温度；（2）当所述陶瓷介质窗的温度下降至设所述温度控制器设定的温度时，所述温度控制器控制固态继电器闭合，所述供电电路连通所述加热电源和所述加热板，所述加热板对所述陶瓷介质窗进行加热；所述辅助测温传感器实时监测所述加热板的温度，并将数据传输至所述警示器；所述警示器实时显示所述加热板的温度；由此，实现对陶瓷介质窗的温度控制；（3）当所述温度控制器和/或所述测温传感器损坏时，所述警示器显示温度并发出警报以实现手动关闭电源。

技术总结
本发明提出了一种等离子刻蚀机及其使用方法，该等离子刻蚀机包括一刻蚀腔体和一加热板；刻蚀腔体的敞开端固定一陶瓷介质窗；陶瓷介质窗的上方固定一产生等离子体的等离子体耦合线圈；加热板固定在一屏蔽罩内；屏蔽罩的下端敞开；屏蔽罩位于刻蚀腔体的上方且固定在刻蚀腔体上；加热板固定在陶瓷介质窗朝向等离子体耦合线圈的表面；加热板上开设用于供等离子体穿过的预留间隙；加热板通过一供电电路连接一加热电源。本发明将加热板直接贴合在陶瓷介质窗上，通过对加热板通电以对陶瓷介质窗直接进行加热。因此加热板的加热效率高，热量散失少，避免屏蔽罩的过热现象，无需在屏蔽罩外增设保护罩。增设保护罩。增设保护罩。


技术研发人员：郭颂 刘海洋 王铖熠 李娜 刘小波 张军 胡冬冬 许开东
受保护的技术使用者：北京鲁汶半导体科技有限公司
技术研发日：2020.04.29
技术公布日：2021/10/28