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一种残膜回收机防缠绕挑膜装置的制作
一种秧草收获机用电力驱动行走机构的
刻蚀
一种沟槽形貌监控方法、结构器件与流程
本发明属于器件沟槽刻蚀工艺技术领域,尤其是涉及一种用于监控沟槽侧壁和拐角形貌的监控方法以及易于沟槽形貌监控的结构器件。
标签:
沟槽
形貌
监控
器件
刻蚀
2021-11-15
一种低温刻蚀的方法及装置与流程
本发明涉及等离子体处理方法,特别涉及一种低温刻蚀介质的方法及装置。
标签:
刻蚀
方法
等离子体
低温
介质
2021-11-15
一种硅片的刻蚀装置的制作方法
本实用新型涉及硅片加工领域,特别涉及一种硅片的刻蚀装置。
标签:
硅片
刻蚀
装置
特别
加工
2021-11-10
一种高度可调节聚焦环及等离子体刻蚀设备的制作方法
本实用新型涉及半导体加工设备技术领域,具体涉及一种高度可调节聚焦环及等离子体刻蚀设备。
标签:
刻蚀
等离子体
半导体
加工设备
可调节
2021-11-10
等离子体刻蚀装置的制作方法
本实用新型涉及一种半导体集成电路的加工装置,特别涉及一种等离子体刻蚀装置。
标签:
刻蚀
装置
等离子体
集成电路
半导体
2021-11-10
一种用于超硬材料加工的激光刻蚀装置的制作方法
本实用新型涉及先进制造工艺与装备技术领域,特别是涉及一种用于超硬材料加工的激光刻蚀装置。
标签:
刻蚀
制造工艺
激光
装置
用于
2021-11-10
一种基于金属辅助化学刻蚀的毫米波芯片腔体器件的制备方法与流程
本发明属于纳米器件技术领域,涉及半导体制造工艺,具体涉及一种基于金属辅助化学刻蚀的毫米波腔体无源器件的制备方法。
标签:
无源
器件
刻蚀
毫米波
半导体
2021-11-09
金刚石膜刻蚀方法、图形化金刚石膜及其应用与流程
本技术涉及一种金刚石膜刻蚀方法、图形化金刚石膜及应用,属于金刚石材料领域。
标签:
金刚石
刻蚀
图形化
材料
方法
2021-11-09
一种可增加等离子密度的ICP等离子体刻蚀设备的制作方法
一种可增加等离子密度的icp等离子体刻蚀设备技术领域本发明涉及半导体制造技术领域,具体为一种可增加等离子密度的icp等离子体刻蚀设备。
标签:
刻蚀
等离子体
等离子
密度
可增加
2021-11-05
一种刻蚀方法与流程
一种刻蚀方法技术领域2.本发明涉及半导体器件制造领域,特别是指一种在刻蚀工艺中能有效去除tri‑layer刻蚀中产生的氧化物残留的刻蚀方法。3.
标签:
刻蚀
方法
氧化物
去除
中能
2021-11-05
一种提升PERC电池背面反射率的刻蚀方法与流程
一种提升perc电池背面反射率的刻蚀方法技术领域本发明涉及太阳能单晶perc技术领域,尤其涉及一种提升perc电池背面反射率的刻蚀方法。
标签:
刻蚀
反射率
背面
电池
提升
2021-11-05
一种透光发电玻璃的激光刻划方法与流程
本发明涉及太阳能电池刻蚀技术领域,具体为一种透光发电玻璃的激光刻划方法。
标签:
刻蚀
太阳能电池
刻划
透光
发电
2021-11-03
一种改善湿法刻蚀均一性的方法与流程
本发明属于微纳加工制造技术领域,涉及化学刻蚀,具体涉及一种改善湿法 刻蚀均一性的方法。
标签:
刻蚀
湿法
改善
化学
加工
2021-11-03
三维模型表面路径规划方法、系统、设备、终端及应用与流程
本发明属于激光刻蚀加工技术领域,尤其涉及一种三维模型表面路径规划方法、系统、设备、终端及应用。
标签:
刻蚀
终端
路径
激光
模型
2021-11-03
零部件、其形成涂层的方法及装置和等离子体反应装置与流程
本发明涉及等离子体刻蚀技术领域,尤其涉及一种用于等离子体反应装置的零部件、形成耐等离子体涂层的方法、形成耐等离子体涂层的装置和等离子体反应装置。
标签:
等离子体
装置
涂层
刻蚀
零部件
2021-11-03
一种液晶玻璃基板减薄加工用刻蚀液喷淋装置的制作方法
本实用新型涉及玻璃基板加工技术领域,具体涉及一种液晶玻璃基板减薄加工用刻蚀液喷淋装置。
标签:
工用
刻蚀
基板
玻璃
装置
2021-10-30
一种TFT行业用硫酸系ITO刻蚀液的制作方法
一种tft行业用硫酸系ito刻蚀液技术领域本发明属于液晶显示器薄膜晶体管(tft)行业电子化学品技术领域,具体涉及一种tft行业用硫酸系ito刻蚀液。
标签:
刻蚀
硫酸
行业
液晶显示器
化学品
2021-10-30
一种等离子刻蚀机及其使用方法与流程
本发明属于机械加工设备技术领域,尤其涉及一种等离子刻蚀机及其使用方法。
标签:
刻蚀
等离子
使用方法
加工设备
机及
2021-10-29
半导体工艺设备及刻蚀方法与流程
本发明涉及半导体制造领域,具体地,涉及一种半导体工艺设备及刻蚀方法。
标签:
半导体
刻蚀
方法
工艺设备
制造
2021-10-27
一种激光刻蚀装置、方法及系统与流程
本技术涉及激光加工技术领域,具体涉及一种激光刻蚀装置、方法及系统。
标签:
刻蚀
激光
装置
加工
方法
2021-10-27
一种激光刻蚀装置、方法及系统与流程
本技术涉及激光加工技术领域,具体涉及一种激光刻蚀装置、方法及系统。
标签:
刻蚀
激光
装置
加工
方法
2021-10-27
一种湿法刻蚀设备及其管理方法与流程
本发明涉及湿法刻蚀设备管理技术,尤其涉及一种湿法刻蚀设备及其管理方法。
标签:
刻蚀
湿法
设备管理
方法
设备
2021-10-27
一种平面化圆片级熔融石英MEMS陀螺仪的制作方法与流程
一种平面化圆片级熔融石英mems陀螺仪的制作方法技术领域本发明涉及一种平面化圆片级熔融石英mems陀螺仪的制作方法,具体涉及一种基于飞秒激光改性辅助湿法刻蚀工艺的平面化圆片级熔融石英mems陀螺仪的制作方法。
标签:
平面化
陀螺仪
熔融
制作方法
刻蚀
2021-10-27
一种刻蚀GaN基高电子迁移率晶体管异质结的方法与流程
一种刻蚀gan基高电子迁移率晶体管异质结的方法技术领域本发明属于半导体加工技术领域,具体涉及一种刻蚀gan基高电子迁移率晶体管异质结的方法。2.
标签:
刻蚀
晶体管
迁移
异质
方法
2021-10-27
一种基于干法刻蚀的微器件的制作方法
本实用新型属于微纳加工技术领域,具体是涉及一种基于干法刻蚀的微器件。
标签:
刻蚀
器件
干法
加工
是基于
2021-10-26
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