泵和冷却装置的制作方法

技术特征：
1.一种冷却装置，用于容纳一冷却液并冷却一泵，该泵包括一泵上机、一泵下机和一抽气管，该泵上机借由该抽气管连接该泵下机，其特征在于，该冷却装置包括：一主体，位于该泵上机和该泵下机之间；一连接孔，位于该主体，且该抽气管于该连接孔内；以及一冷却液通道，位于该主体并容纳该冷却液，该冷却液通道内的该冷却液冷却该泵上机和该泵下机，该冷却液通道环绕该连接孔。2.如权利要求1所述的冷却装置，其特征在于，其中该冷却液通道更包括一入口和一出口，该冷却液从该入口流入该冷却液通道，并从该出口流出。3.如权利要求2所述的冷却装置，其特征在于，其中该冷却液通道更包括一弧形通道、二个直线通道、一冷却液进口段和一冷却液出口段；该弧形通道连通该二个直线通道；该冷却液进口段连通其中一直线通道和该入口；该冷却液出口段连通另一直线通道和该出口。4.如权利要求3所述的冷却装置，其特征在于，其中该冷却液进口段和该冷却液出口段的孔径大于该弧形通道和该二个直线通道的孔径。5.如权利要求4所述的冷却装置，其特征在于，其中该弧形通道和该二个直线通道的孔径相同。6.如权利要求5所述的冷却装置，其特征在于，其中该主体更包括一侧面，该入口和该出口位于该侧面。7.如权利要求6所述的冷却装置，其特征在于，其中该冷却装置更包括多个定位螺孔，该多个定位螺孔分散设置于该主体。8.如权利要求7所述的冷却装置，其特征在于，其中该多个定位螺孔环绕该连接孔。9.如权利要求8所述的冷却装置，其特征在于，其中任二个相邻的定位螺孔之间的距离大于1厘米。10.如权利要求9所述的冷却装置，其特征在于，其中该冷却装置更包括一盖子，该盖子设于该主体并覆盖该冷却液通道。11.如权利要求10所述的冷却装置，其特征在于，其中该盖子环绕该连接孔。12.如权利要求11所述的冷却装置，其特征在于，其中该连接孔呈现为圆柱形的孔洞。13.如权利要求12所述的冷却装置，其特征在于，其中该主体呈现为平板。14.一种泵，包括一泵上机、一泵下机和一抽气管，该泵上机借由该抽气管连接该泵下机，其特征在于，该泵包括如权利要求1至13任一项所述的一冷却装置。

技术总结
本发明公开一种冷却装置，用于容纳一冷却液并冷却一泵，泵包括一泵上机、一泵下机和一抽气管，泵上机借由抽气管连接泵下机。冷却装置包括一主体、一连接孔和一冷却液通道。主体位于泵上机和泵下机之间。连接孔位于主体，且抽气管位于连接孔内。冷却液通道位于主体并容纳冷却液，冷却液通道内的冷却液冷却泵上机和泵下机，冷却液通道环绕连接孔。冷却液通道环绕连接孔。冷却液通道环绕连接孔。


技术研发人员：顾崇诚
受保护的技术使用者：信强(宁波)半导体设备制造有限公司
技术研发日：2020.03.27
技术公布日：2021/9/27