一种FFU系统气密性安装结构的制作方法

一种ffu系统气密性安装结构
技术领域
1.本实用新型涉及ffu系统安装技术领域，更具体的说是涉及一种ffu系统气密性安装结构。


背景技术：

2.半导体设备包括外壳，外壳内包括气流空间、机器手臂区域、工艺槽体区域和抽气区域，工艺槽体区域位于机器手臂区域和抽气区域之间，抽气区域外侧设置有抽气设备，气流空间位于机械手臂区域和工艺槽体区域上方，外壳顶面上设置有ffu系统，ffu系统包括ffu壳体，工艺槽体区域中会进行化学反应，化学反应会产生酸气，使用抽气设备将酸气从工艺槽体区域抽出至设备外部，同时通过ffu系统向外壳内部注入新鲜的气流。
3.ffu壳体通常直接摆放在外壳上方，当ffu系统向壳体内注入气流时，ffu 壳体会在外壳上方抖动，抖动时会导致ffu系统的气流直接通过ffu系统与外壳顶面之间的间隙向外壳外部流通，使得装置的气密性变差。


技术实现要素：

4.针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种ffu系统气密性安装结构，用于使ffu壳体在外壳上方保持稳定。
5.为实现上述目的，本实用新型提供了如下技术方案：一种ffu系统气密性安装结构，包括外壳，所述外壳内设置有分隔部和导流部，所述分隔部包括分隔板，所述分隔板将气流空间分隔成第一空间和第二空间，所述导流部包括第一导流板和第二导流板，所述第一导流板和所述第二导流板的一端均与外壳顶壁固定连接，所述第一导流板和所述第二导流板均倾斜设置，且所述第一导流板和所述第二导流板靠近外壳顶面的一端之间的距离大于所述第一导流板和所述第二导流板远离所述外壳顶面的一端之间的距离；
6.所述外壳顶面设置有隐蔽组件，所述隐蔽组件包括走线壳体，所述走线壳体上开设有走线槽，所述走线槽用以收纳ffu壳体的电线，所述走线壳体侧面开设有第一通孔，所述第一通孔与所述走线槽相互贯通；
7.ffu壳体与所述走线壳体之间设置有嵌合组件，所述嵌合组件包括连接件，所述连接件与所述走线壳体之间设置有嵌合部，所述嵌合部包括弹压键，所述弹压键与所述第一通孔相适配，以使所述弹压键的一部分位于所述走线槽内，电线穿过所述连接件和所述弹压键进入所述走线槽内；
8.所述外壳上设置有定位组件，所述定位组件包括两个定位部，两个所述定位部之间形成有容纳空间，所述容纳空间与ffu壳体相适配，所述定位部包括第一定位板和两个第二定位板，两个所述第二定位板通过所述第一定位板一体形成，其中一个所述第一定位板位于ffu壳体与所述走线壳体之间，且开设有连通孔。
9.作为本实用新型的进一步改进，所述第一导流板和所述第二导流板的厚度均大于所述分隔板的厚度。
10.作为本实用新型的进一步改进，所述分隔板靠近所述第一空间的一侧设置有第一导向部，所述分隔板靠近所述第二空间的一侧设置有第二导向部，所述第一导向部和所述第二导向部均用以引导气流远离所述分隔板。
11.作为本实用新型的进一步改进，所述第一导向部包括若干第一导向板，所述第二导向部包括若干第二导向板，所述第一导向板和所述第二导向板均倾斜设置。
12.作为本实用新型的进一步改进，外壳上设置有气氛部，气氛部包括第一气氛导流孔和第二气氛导流孔，所述第一气氛导流孔和所述第二气氛导流孔均开设于外壳顶面，所述第一气氛导流孔与所述第一空间相互贯通，所述第二气氛导流孔与所述第二空间相互贯通，所述第一气氛导流孔和所述第二气氛导流孔之间形成有连接段，所述分隔板与所述连接段固定连接，ffu系统通过所述第一气氛导流孔和所述第二气氛导流孔向所述外壳内部注入气流，使得气流可以进入第一空间和第二空间。
13.作为本实用新型的进一步改进，所述外壳顶面上开设有两个第一固定孔，所述外壳上设置有固定板，所述固定板上开设有两个第二固定孔，所述第二固定孔与所述第一固定孔一一对应，且所述第二固定孔位于所述第一固定孔上方，所述走线壳体的两端均形成有折边，所述折边上开设有第三固定孔，所述第三固定孔与所述第二固定孔一一对应，且所述第三固定孔位于所述第二固定孔上方，通过所述第一固定孔、所述第二固定孔和所述第三固定孔将所述固定板、所述走线壳体和所述外壳相互固定。
14.作为本实用新型的进一步改进，所述第一定位板和所述第二定位板均与所述外壳顶面固定连接，同一组定位部内的两个所述第二定位板相互平行，且所述第一定位板与两个所述第二定位板均相互垂直，所述第一定位板和所述第二定位板均用以定位ffu壳体，防止ffu壳体抖动。
15.作为本实用新型的进一步改进，所述弹压键包括第一弹压块和第二弹压块，所述第一弹压块和所述第二弹压块一体形成，所述第一弹压块位于所述第二弹压块和所述连接件之间，所述第一弹压块的横截面形状为矩形，所述第二弹压块的横截面形状为梯形，且所述第二弹压块沿远离第一弹压块至靠近第一弹压块的横截面积逐渐增大，所述弹压键用以与所述第一通孔相互卡合。
16.作为本实用新型的进一步改进，所述第一通孔与所述第一弹压块相适配，当所述第一通孔与所述第一弹压块相互贴合时，所述第二弹压块与所述走线槽内壁相互卡合。
17.作为本实用新型的进一步改进，所述弹压键内开设有第二通孔，所述连接件内开设有第三通孔，所述第一通孔和所述第三通孔通过所述第二通孔相互贯通，所述第三通孔内设置有连接板，所述连接板侧面与所述第三通孔内壁固定连接，所述连接板上开设有若干连接孔，所述连接孔用以通过电线。
18.本实用新型的有益效果：本实用新型通过在外壳上设置定位组件，通过定位组件使得ffu壳体在外壳上方保持稳定，防止ffu系统的气流直接通过ffu系统与外壳顶面之间的间隙向外壳外部流通，保证装置的气密性，通过分隔部将气流空间分隔成第一空间和第二空间，通过导流部加快气体流速，通过在外壳上设置隐蔽组件，以收纳ffu壳体的电线，通过在ffu壳体与走线壳体之间设置嵌合部，使得ffu壳体与走线壳体相互贯通。
附图说明
19.图1是本实用新型的主视剖视结构示意图；
20.图2是本实用新型图1中a处的放大结构示意图；
21.图3是本实用新型的俯视结构示意图。
22.附图标记：1、分隔部；11、分隔板；2、导流部；21、第一导流板；22、第二导流板；3、隐蔽组件；31、走线壳体；4、嵌合组件；41、连接件；42、嵌合部；421、弹压键；5、定位组件；51、定位部；52、第一定位板；53、第二定位板；6、气氛部；61、连接段；7、固定板。
具体实施方式
23.下面结合附图和实施例，对本实用新型进一步详细说明。其中相同的零部件用相同的附图标记表示。需要说明的是，下面描述中使用的词语“前”、“后”、“左”、“右”、“上”和“下”指的是附图中的方向，词语“底面”和“顶面”、“内”和“外”分别指的是朝向或远离特定部件几何中心的方向。
24.参照图1至图3所示，本实施例的一种ffu系统气密性安装结构，包括外壳，外壳内设置有分隔部1和导流部2，分隔部1包括分隔板11，分隔板11将气流空间分隔成第一空间和第二空间，气流空间位于机械手臂区域和工艺槽体区域上方，第一空间位于机器手臂区域上方，第二空间位于工艺槽体区域上方，工艺槽体区域中会进行化学反应，化学反应会产生酸气，酸气一般会往上挥发，工艺槽体一侧设置有抽气区域，可以将部分酸气抽至外壳外部进行排放处理，但仍有少部分酸气会继续往上挥发，进入第二空间，这部分向上挥发的酸气难以回到工艺槽体区域进行抽除，通过分隔部1和导流部2使得这部分酸气回到工艺槽体区域，然后通过抽气设备进行抽除，外壳上设置有气氛部6，外壳顶面设置有ffu 系统，ffu系统包括ffu壳体，ffu系统通过第一气氛导流孔和第二气氛导流孔向外壳内部注入新鲜的气流，在新鲜气体的流动作用下将酸气带回至工艺槽体区域，通过抽气设备进行排出，气氛部6包括第一气氛导流孔和第二气氛导流孔，第一气氛导流孔和第二气氛导流孔均开设于外壳顶面，第一气氛导流孔与第一空间相互贯通，第二气氛导流孔与第二空间相互贯通，ffu系统位于外壳上方， ffu系统通过第一气氛导流孔和第二气氛导流孔与外壳内部相互贯通，ffu系统通过第一气氛导流孔向第一空间内通气，通过第二气氛导流孔向第二空间内通气，以使酸气无法在第一空间和第二空间停留，保护器械不受损伤，第一气氛导流孔和第二气氛导流孔之间形成有连接段61，分隔板11与连接段61固定连接。通过设置分隔板11，使得第一空间和第二空间内的气体难以相互流通，阻挡了酸气通过第二空间进入第一空间，防止酸气对机器手臂区域的器械造成腐蚀，分隔板11靠近第一空间的一侧设置有第一导向部，分隔板11靠近第二空间的一侧设置有第二导向部，第一导向部和第二导向部均用以引导气流远离分隔板11，分隔板11靠近第一空间的一侧和分隔板11靠近第二空间的一侧长期受到气流的挤压，可能会受到磨损，通过设置倾斜的第一导向板和第二导向板，以减少分隔板11的受力，减缓分隔板11的损坏程度，第一导向部包括若干第一导向板，第二导向部包括若干第二导向板，第一导向板和第二导向板均倾斜设置。导流部2包括第一导流板21和第二导流板22，通过设置导流部2，可以加快ffu系统向第一空间和第二空间内注入的气流的流速，使得第二空间内的酸气在流速较快的气体的作用下，流回工艺槽体区域上方，进而通过抽气区域进行抽离，第一导流板21和第二导流板22的一端均与外壳顶壁固定连接，第一导
流板21和第二导流板22均倾斜设置，且第一导流板21和第二导流板22靠近外壳顶面的一端之间的距离大于第一导流板21和第二导流板22远离外壳顶面的一端之间的距离，第一导流板21位于第一空间内，第一导流板21倾斜设置，第一导流板21与分隔板11之间的距离沿外壳顶部至外壳底部越来越小，当ffu系统的气体从上往下经过第一导流板21时，气流流通的空间越来越小，因此气流的流速会变快，第一空间处的气体流速快，而第一空间与第二空间之间的间隙处的酸气的流速缓慢，因此酸气无法通过第一空间与第二空间之间的间隙进入第一空间，无法腐蚀机器手臂区域内的器械，第二导流板22位于第二空间内，由于第二导流板22倾斜设置，第二导流板22与分隔板11之间的距离沿外壳顶部至外壳底部越来越小，当ffu系统的气体从上往下经过第二导流板22时，气流流通的空间越来越小，因此气流的流速会变快，第二空间处的气体流速较快，而第二空间内的酸气的流速较为缓慢，因此第二空间内的酸气可以在第二空间的气体的流动下一起远离第二空间，并进行抽除，第一导流板21和第二导流板22的厚度均大于分隔板11 的厚度，第一导流板21、第二导流板22和分隔板11均有一定的厚度，以抵抗流动的气流的挤压，防止损坏。
25.外壳顶面设置有隐蔽组件3，隐蔽组件3包括走线壳体31，ffu系统需要布线，电线长时间裸露在空气中会使得电线上堆积大量的灰尘，从而加快电线老化的速度，增加安全隐患，通过设置走线壳体31使得ffu系统的电线可以被收纳在走线槽内，以防止电线老化，走线壳体31上开设有走线槽，走线槽用以收纳ffu壳体的电线，防止电线沾灰，走线壳体31侧面开设有第一通孔，第一通孔与走线槽相互贯通，第一通孔用以连接弹压键421，弹压键421与第一通孔相互卡合，使得通过弹压键421进入第一通孔的电线不会因为弹压键421与第一通孔相互脱离而遭到损坏，外壳顶面上开设有两个第一固定孔，固定板7位于外壳上方，走线壳体31位于外壳上方，通过第一固定孔、第二固定孔和第三固定孔将外壳、固定板7和走线壳体31相互固定，防止走线壳体31移动损坏电线，外壳上设置有固定板7，固定板7上开设有两个第二固定孔，第二固定孔与第一固定孔一一对应，且第二固定孔位于第一固定孔上方，走线壳体31的两端均形成有折边，折边上开设有第三固定孔，第三固定孔与第二固定孔一一对应，且第三固定孔位于第二固定孔上方，当需要将外壳、固定板7和走线壳体31相互固定时，操作人员使用螺栓依次穿过相对应的第一固定孔、第二固定孔和第三固定孔，使得外壳、固定板7和走线壳体31相互固定，防止走线壳体31移动损坏电线。
26.ffu壳体与走线壳体31之间设置有嵌合组件4，通过设置嵌合组件4，使得ffu 壳体与走线壳体31之间的电线可以相互贯通，使得电线可以被收纳，嵌合组件4 包括连接件41，连接件41与走线壳体31之间设置有嵌合部42，嵌合部42使得连接件41与走线壳体31相互连接，不会脱离，防止通过连接件41进入走线壳体31 的电线因为连接件41与走线壳体31相互脱离而遭到损坏，嵌合部42包括弹压键 421，弹压键421与第一通孔相适配，以使弹压键421的一部分位于走线槽内，电线穿过连接件41和弹压键421进入走线槽内，弹压键421包括第一弹压块和第二弹压块，第一弹压块和第二弹压块一体形成，第一弹压块位于第二弹压块和连接件41之间，第一弹压块的横截面形状为矩形，第二弹压块的横截面形状为梯形，且第二弹压块沿远离第一弹压块至靠近第一弹压块的横截面积逐渐增大。当需要将弹压键421和第一通孔连接时，操作人员将弹压键421塞入第一通孔内，第二弹压块为弹性件，当第二弹压块进入第一通孔时，第二弹压块受到挤压而形变，继续将弹压键421往第一通孔内塞入，直到第二弹压块与第一通孔相互脱离，第二弹压块恢复形变，此时第一弹压块与第一通
孔相互贴合，第二弹压块与走线槽内壁相互卡合，使得弹压键421无法从第一通孔脱离，防止因为弹压键 421与第一通孔相互脱离造成电线损坏，第一通孔与第一弹压块相适配，当第一通孔与第一弹压块相互贴合时，第二弹压块与走线槽内壁相互卡合。弹压键421 内开设有第二通孔，连接件41内开设有第三通孔，第一通孔和第三通孔通过第二通孔相互贯通，连接件41与走线壳体31通过弹压键421相互连接，使得ffu系统的电线可以依次进入连接件41内的第三通孔、弹压键421上的第二通孔和走线壳体31上的第一通孔，最终进入走线槽内，防止电线沾灰，第三通孔内设置有连接板，连接板侧面与第三通孔内壁固定连接，连接板上开设有若干连接孔，连接孔用以通过电线，直接将电线全部塞入第三通孔可能会导致之后还需要塞入电线时无法顺利将电线塞入，将电线通过连通孔有序塞入第三通孔，使得第三通孔内的电线更整洁，下次需要塞入电线时依然能顺利塞入。
27.外壳上设置有定位组件5，定位组件5包括两个定位部51，通过设置两组定位部51使得ffu壳体能有效安装，使得ffu壳体在外壳上方保持稳定，防止ffu系统的气流直接通过ffu系统与外壳顶面之间的间隙向外壳外部流通，保证装置的气密性，两个定位部51之间形成有容纳空间，容纳空间与ffu壳体相适配，容纳空间用以放置ffu壳体，定位部51包括第一定位板52和两个第二定位板53，两个第二定位板53通过第一定位板52一体形成，其中一个第一定位板52位于ffu壳体与走线壳体31之间，且开设有连通孔，连通孔用以穿过连接件41，以使连接件 41的一端可以与ffu壳体连接，使得ffu系统的电线可以通过连接件41进入走线壳体31内进行收纳，第一定位板52和第二定位板53均与外壳顶面固定连接，两个第二定位板53通过第一定位板52一体形成，同一组定位部51内的两个第二定位板53相互平行，且第一定位板52与两个第二定位板53均相互垂直，两组第一定位部51围城一个矩形以放置ffu壳体，ffu壳体放置在容纳空间内，当ffu系统工作时，由于定位部51的第一定位板52和第二定位板53限制了ffu壳体的位置，因此ffu壳体的抖动会减小，使得ffu系统的气流无法直接通过ffu系统与外壳顶面之间的间隙向外壳外部流通，保证了装置的气密性。
28.工作原理：ffu壳体放置在容纳空间内，当ffu系统工作时，由于定位部51 的第一定位板52和第二定位板53限制了ffu壳体的位置，因此ffu壳体的抖动会减小，使得ffu系统的气流无法直接通过ffu系统与外壳顶面之间的间隙向外壳外部流通，保证了装置的气密性。
29.ffu系统通过第一气氛导流孔向第一空间内通气，通过第二气氛导流孔向第二空间内通气，第一空间内的气流通过第一空间后向机器手臂区域流通，第二空间内的气流通过第二空间后向工艺槽体区域流通，工艺槽体区域内进行化学反应之后，酸气向上挥发至第二空间，通过分隔板11使得酸气难以进入第一空间，使得机器手臂区域的器械不受腐蚀，第一导流板21倾斜设置，气流从上往下流经第一导流板21后，气流的速度变快，从而防止第二空间中的酸气进入第一空间，腐蚀机器手臂区域内的器械，第二导流板22倾斜设置，气流从上往下流经第二导流板22后，气流的速度变快，第二空间处的气体流速较快，而第二空间内的酸气的流速较为缓慢，因此第二空间内的酸气可以在第二空间的气体的带动下一起远离第二空间，并进行抽除。
30.通过设置走线壳体31使得ffu系统的电线可以被收纳在走线槽内，以防止电线老化，当需要将外壳、固定板7和走线壳体31相互固定时，操作人员使用螺栓依次穿过相对应的第一固定孔、第二固定孔和第三固定孔，使得外壳、固定板7 和走线壳体31相互固定，防
止走线壳体31移动损坏电线。
31.当需要将ffu壳体与走线壳体31连接时，操作人员将弹压键421塞入第一通孔内，第二弹压块为弹性件，当第二弹压块进入第一通孔时，第二弹压块受到挤压而形变，继续将弹压键421往第一通孔内塞入，直到第二弹压块与第一通孔相互脱离，第二弹压块恢复形变，此时第一弹压块与第一通孔相互贴合，第二弹压块与走线槽内壁相互卡合，使得弹压键421无法从第一通孔脱离，防止因为弹压键421与第一通孔相互脱离造成电线损坏。
32.以上仅是本实用新型的优选实施方式，本实用新型的保护范围并不仅局限于上述实施例，凡属于本实用新型思路下的技术方案均属于本实用新型的保护范围。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理前提下的若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。