一种用于半导体生产的特气集装式钢瓶组装置的制作方法

本实用新型涉及半导体生产技术领域，具体为一种用于半导体生产的特气集装式钢瓶组装置。

背景技术：

半导体工业用的气体统称电子气体。在半导体的生产过程中，从芯片生长到最后器件的封装，几乎每一步、每一个环节都离不开电子气体。电子气体成本占ic材料总成本的5%~6%。电子气体的纯度对芯片质量有很大的影响。但是现有的用于半导体生产的特气集装式钢瓶组装置不便于钢瓶的限位，不便于其稳定使用，因此设计一种用于半导体生产的特气集装式钢瓶组装置是十分有必要的。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种用于半导体生产的特气集装式钢瓶组装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

本实用新型的目的可以通过以下技术方案实现：

一种用于半导体生产的特气集装式钢瓶组装置，包括底板、侧架、连接杆、固定杆、限位组件、上限位转板、下限位转板和钢瓶，所述底板的顶部窄边两侧均竖直焊接固定有侧架，且两个侧架之间上下水平设置有两根固定杆，每根所述固定杆的两端分别与两个上下设置在两个侧架上的连接杆，且上下两根固定杆两侧分别等距离设置有若干限位组件，并通过限位组件分别固接有上限位转板和下限位转板，所述底板的顶部设置有若干钢瓶，且钢瓶交错设置在相邻的限位组件之间；

所述限位组件包括限位杆，所述限位杆的一端垂直固定在固定杆的侧面，且另一端开设有活动槽，所述活动槽的内壁上下两侧均设置有滑道，且滑道分别与两个插块滑动配合连接，两个所述插块分别通过开设于插板上下两端的插槽与其连接，且插槽内部还设置有第一弹簧，所述插板固接在插杆的一端，且另一端与上限位转板或下限位转板侧面中心固接，所述插板与活动槽的底部之间设置有第二弹簧，且第二弹簧的最大行程处与滑道之间的活动槽开设有限位槽。

作为本实用新型进一步的方案：所述底板的底部两侧等距离并列设置有若干支脚，且两侧底部等距离并列设置有若干斜坡台，所述斜坡台的竖直中心线位于下限位转板的中部。

作为本实用新型进一步的方案：两个所述连接杆水平设置，且水平高度分别位于钢瓶的3/5高度处和1/5高度处。

作为本实用新型进一步的方案：所述上限位转板的长度为下限位转板的2倍，且每个上限位转板的正下方均设置有两个下限位转板。

作为本实用新型进一步的方案：所述钢瓶的顶部出气端均通过连接气管与顶管连通，且顶管设置在侧架的顶部。

作为本实用新型进一步的方案：所述第二弹簧具有三个，且竖直等距离分布在活动槽底壁上。

作为本实用新型进一步的方案：所述限位槽与活动槽交叉设置，且二者的轴线相互垂直。

与现有技术相比，本实用新型所达到的有益效果是：该用于半导体生产的特气集装式钢瓶组装置，通过限位组件能够对钢瓶进行有效的限位，保证了钢瓶使用过程的稳定，且限位便捷，便于装卸，还能在有限空间内对其进行限位使用，便捷稳定。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1为本实用新型整体正视图；

图2为本实用新型局部结构立体图；

图3和图4均为本实用新型限位组件结构示意图；

图5为本实用新型限位槽结构位置示意图；

图中：1、底板；2、侧架；3、连接杆；4、固定杆；5、限位组件；51、限位杆；52、活动槽；53、滑道；54、插杆；55、插板；56、插槽；57、插块；58、第一弹簧；59、第二弹簧；510、限位槽；6、上限位转板；7、下限位转板；8、钢瓶；9、连接气管；10、顶管；11、支脚；12、斜坡台。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-5，本实用新型提供一种技术方案：一种用于半导体生产的特气集装式钢瓶组装置，包括底板1、侧架2、连接杆3、固定杆4、限位组件5、上限位转板6、下限位转板7和钢瓶8，底板1的顶部窄边两侧均竖直焊接固定有侧架2，且两个侧架2之间上下水平设置有两根固定杆4，每根固定杆4的两端分别与两个上下设置在两个侧架2上的连接杆3，且上下两根固定杆4两侧分别等距离设置有若干限位组件5，并通过限位组件5分别固接有上限位转板6和下限位转板7，底板1的顶部设置有若干钢瓶8，且钢瓶8交错设置在相邻的限位组件5之间；

限位组件5包括限位杆51，限位杆51的一端垂直固定在固定杆4的侧面，且另一端开设有活动槽52，活动槽52的内壁上下两侧均设置有滑道53，且滑道53分别与两个插块57滑动配合连接，两个插块57分别通过开设于插板55上下两端的插槽56与其连接，且插槽56内部还设置有第一弹簧58，插板55固接在插杆54的一端，且另一端与上限位转板6或下限位转板7侧面中心固接，插板55与活动槽52的底部之间设置有第二弹簧59，且第二弹簧59的最大行程处与滑道53之间的活动槽52开设有限位槽510。

作为本实用新型的一种实施方式，底板1的底部两侧等距离并列设置有若干支脚11，且两侧底部等距离并列设置有若干斜坡台12，斜坡台12的竖直中心线位于下限位转板7的中部。

作为本实用新型的一种实施方式，两个连接杆3水平设置，且水平高度分别位于钢瓶8的3/5高度处和1/5高度处，便于对钢瓶8进行限位。

作为本实用新型的一种实施方式，上限位转板6的长度为下限位转板7的2倍，且每个上限位转板6的正下方均设置有两个下限位转板7，便于对钢瓶8进行限位。

作为本实用新型的一种实施方式，钢瓶8的顶部出气端均通过连接气管9与顶管10连通，且顶管10设置在侧架2的顶部，便于钢瓶8气体输送。

作为本实用新型的一种实施方式，第二弹簧59具有三个，且竖直等距离分布在活动槽52底壁上，使得插板55移动的更加平稳。

作为本实用新型的一种实施方式，限位槽510与活动槽52交叉设置，且二者的轴线相互垂直，便于插板55的限位。

本实用新型的工作原理：钢瓶8通过斜坡台12移动至底板1上，将旋转上限位转板6和下限位转板7的插杆54沿着滑道53插入活动槽52内，直至插杆54上的插板55脱离滑道53，同时旋转旋转上限位转板6和下限位转板7，使其水平设置，并带动插板55旋转，当插板55旋转至插块57在第一弹簧58的弹性作用力下弹出时，插块57与限位槽510卡接固定，此时上限位转板6和下限位转板7均水平设置，用于对钢瓶8进行限位；且固定杆4的两侧均可设置钢瓶8，有效利用了空间，并且使用便捷稳定，便于使用。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。