一种裸片拾取用夹持装置的制作方法

1.本实用新型涉及裸片加工技术领域，具体为一种裸片拾取用夹持装置。


背景技术：

2.裸片既是在生产出来的芯片，即是晶圆经过切割测试后没有经过封装的芯片，这种裸片上只有用于封装的压焊点，是不能直接应用于实际电路当中的。然而裸片极易受外部环境的温度、杂质和物理作用力的影响，很容易遭到破坏，所以必须封入一个密闭空间内，引出相应的引脚，才能作为一个基本的元器件使用。
3.在裸片拾取、切割过程中，需要对原裸片进行夹持固定，目前对多人工手动的利用治具进行夹持，影响了裸片加工的工作效率。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种裸片拾取用夹持装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种裸片拾取用夹持装置，包括底座和夹板，所述夹板包括第一夹板和第二夹板，所述底座的顶部安装有十字滑台，所述十字滑台的滑台顶部安装有晶圆托盘，所述晶圆托盘的顶部设有可调节的第一夹板和固定有缸体；
6.所述缸体的内部活动插接有活动杆，所述活动杆的外部固定有限位板，所述限位板的一侧设有压缩弹簧，所述压缩弹簧套接于活动杆的外部，所述活动杆的两端分别设有第二夹板和铁片，所述铁片的一侧磁性连接有电磁铁；
7.所述第一夹板和第二夹板的一侧均设有可更换的夹片。
8.优选的，所述晶圆托盘的内部开设有条形孔，所述条形孔的内部活动连接有调节螺栓，所述第一夹板的底部开设有与调节螺栓相匹配的螺纹孔。
9.优选的，所述夹片的一侧开设有夹槽，所述夹槽的内侧粘接有橡胶垫。
10.优选的，所述夹片与夹板之间通过滑槽和滑块相互连接。
11.优选的，所述滑槽开设于夹板的一侧，所述滑块固定于夹片的边部。
12.优选的，所述滑槽开设于夹片的一侧，所述滑块固定于夹板的边部。
13.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
14.本实用新型通过在晶圆托盘上设置缸体和电磁铁，通过对电磁铁的通断电，可以吸附活动杆带动第二夹板移动，缸体中的压缩弹簧可以挤压第二夹板、配合第一夹板将裸片晶圆盘夹持住，方便了对裸片晶圆盘的夹持，便于裸片的拾取，提高裸片的加工效率。
附图说明
15.图1为本实用新型的结构示意图；
16.图2为本实用新型缸体的分解结构示意图；
17.图3为本实用新型晶圆托盘的分解结构示意图；
18.图4为本实用新型实施例2中夹片与夹板的分解结构示意图。
19.图中：1、底座；2、十字滑台；3、晶圆托盘；4、第一夹板；5、缸体；6、活动杆；7、限位板；8、压缩弹簧；9、第二夹板；10、铁片；11、电磁铁；12、夹片；13、夹槽；14、橡胶垫；15、滑槽；16、滑块；17、条形孔；18、调节螺栓。
具体实施方式
20.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
21.实施例1
22.请参阅图1～3，本实用新型提供一种技术方案：一种裸片拾取用夹持装置，包括底座1和夹板，夹板包括第一夹板4和第二夹板9、十字滑台2、缸体5、电磁铁11、夹片12等部件。
23.底座1用于承载部件，其安装在拾取设备的工作台上，并在其顶部通过十字滑台2安装晶圆托盘3，十字滑台2可以移动、改变晶圆托盘3的位置，从而调节裸片晶圆盘的位置。
24.第一夹板4和第二夹板9，第一夹板4设为可调节的，在晶圆托盘3的内部开设有条形孔17，条形孔17的内部活动连接有调节螺栓18，第一夹板4的底部开设有与调节螺栓18相匹配的螺纹孔，通过移动调节螺栓18在条形孔17中的位置，并通过调节螺栓18进行锁定，便于适应不同大小的裸片晶圆盘夹持工作；
25.第一夹板4和第二夹板9的一侧均设有可更换的夹片12，夹片12设置为可更换结构，并通过滑槽15和滑块16与夹板相互连接，滑槽15开设于夹板的一侧，滑块16固定于夹片12的边部，可以根据裸片晶圆盘形状进行更换，并在夹片12的一侧开设有夹槽13，夹槽13的内侧粘接有橡胶垫14，夹槽13可以根据裸片晶圆盘形状进行设计，如裸片晶圆盘形状为矩形，夹槽13为平口结构；如裸片晶圆盘形状为圆形，夹槽13为弧形口结构。
26.电磁铁11安装在晶圆托盘3的顶部，其工作端与活动杆6一端的铁片10相对应。
27.下面将对本实施例中各部件之间的连接关系、位置关系进行描述；
28.底座1的顶部安装有十字滑台2，十字滑台2的滑台顶部安装有晶圆托盘3，晶圆托盘3的顶部设有可调节的第一夹板4和固定有缸体5；
29.缸体5的内部活动插接有活动杆6，活动杆6的外部固定有限位板7，限位板7的一侧设有压缩弹簧8，压缩弹簧8套接于活动杆6的外部，活动杆6的两端分别设有第二夹板9和铁片10，铁片10的一侧磁性连接有电磁铁11。
30.实施例2。
31.请参阅图1～4，本实用新型提供一种技术方案：一种裸片拾取用夹持装置，包括底座1和夹板，夹板包括第一夹板4和第二夹板9、十字滑台2、缸体5、电磁铁11、夹片12等部件。
32.底座1用于承载部件，其安装在拾取设备的工作台上，并在其顶部通过十字滑台2安装晶圆托盘3，十字滑台2可以移动、改变晶圆托盘3的位置，从而调节裸片晶圆盘的位置。
33.第一夹板4和第二夹板9，第一夹板4设为可调节的，在晶圆托盘3的内部开设有条形孔17，条形孔17的内部活动连接有调节螺栓18，第一夹板4的底部开设有与调节螺栓18相
匹配的螺纹孔，通过移动调节螺栓18在条形孔17中的位置，并通过调节螺栓18进行锁定，便于适应不同大小的裸片晶圆盘夹持工作；
34.第一夹板4和第二夹板9的一侧均设有可更换的夹片12，夹片12设置为可更换结构，并通过滑槽15和滑块16与夹板相互连接，滑槽15开设于夹片12的一侧，滑块16固定于夹板的边部，可以根据裸片晶圆盘形状进行更换，并在夹片12的一侧开设有夹槽13，夹槽13的内侧粘接有橡胶垫14，夹槽13可以根据裸片晶圆盘形状进行设计，如裸片晶圆盘形状为矩形，夹槽13为平口结构；如裸片晶圆盘形状为圆形，夹槽13为弧形口结构。
35.电磁铁11安装在晶圆托盘3的顶部，其工作端与活动杆6一端的铁片10相对应。
36.下面将对本实施例中各部件之间的连接关系、位置关系进行描述；
37.底座1的顶部安装有十字滑台2，十字滑台2的滑台顶部安装有晶圆托盘3，晶圆托盘3的顶部设有可调节的第一夹板4和固定有缸体5；
38.缸体5的内部活动插接有活动杆6，活动杆6的外部固定有限位板7，限位板7的一侧设有压缩弹簧8，压缩弹簧8套接于活动杆6的外部，活动杆6的两端分别设有第二夹板9和铁片10，铁片10的一侧磁性连接有电磁铁11。
39.工作原理：使用时，根据裸片晶圆盘形状进行更换夹片12，如裸片晶圆盘形状为矩形，则更换夹槽13为平口结构的夹片12；如裸片晶圆盘形状为圆形，夹槽13为弧形口结构的夹片12；
40.然后根据裸片晶圆盘大小进行调节第一夹板4的位置，并通过调节螺栓18进行定位，将裸片晶圆盘放置在第一夹板4和第二夹板9之间，并断开电磁铁11的开关，缸体5中的压缩弹簧8可以挤压第二夹板9、配合第一夹板4将裸片晶圆盘夹持住，方便了对裸片晶圆盘的夹持，便于裸片的拾取，提高裸片的加工效率。
41.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。