切削装置、托盘以及搬送系统的制作方法

1.本发明涉及在对板状的被加工物进行加工时使用的切削装置、在该切削装置中使用的托盘、以及在对该切削装置搬送被加工物时使用的搬送系统。


背景技术：

2.在将以半导体晶片为代表的板状的被加工物分割成多个芯片时，例如使用安装有环状的切削刀具的切削装置。一边使高速旋转的切削刀具切入被加工物，一边使切削刀具和被加工物相对地移动，从而能够沿着该移动的路径对被加工物进行切削。
3.但是，在刚刚将切削刀具安装于作为旋转轴的主轴之后，切削刀具很有可能相对于该主轴偏心，或者切削刀具的锋利度不够。因此，在对被加工物进行切削之前，进行使该切削刀具旋转并切入调整用的板(修整板)的被称为修整的作业，调整切削刀具的状态。
4.近年来，与对被加工物进行保持的卡盘工作台分开地具有对上述那样的板进行保持的子卡盘工作台的切削装置被实用化(例如，参照专利文献1)。根据该切削装置，即使在由卡盘工作台保持着被加工物的状态下，也能够执行切削刀具的修整。
5.专利文献1：日本特开2011
‑
16175号公报
6.在上述切削装置中，虽然提高了进行修整的时机的自由度，但板相对于子卡盘工作台的装卸依然通过操作者的手动作业来进行。因此，在相对于子卡盘工作台装卸板时，很有可能浪费时间。


技术实现要素：

7.本发明是鉴于上述问题而完成的，其目的在于，提供高效地进行板相对于子卡盘工作台的装卸的切削装置、在该切削装置中使用的托盘、以及在对该切削装置搬送被加工物时使用的搬送系统。
8.根据本发明的一个方面，提供一种切削装置，该切削装置包含：切削单元，其具有安装有切削刀具的主轴；卡盘工作台，其具有对被加工物单元或托盘进行保持的保持面，该被加工物单元借助带将板状的被加工物支承于环状的框架，该托盘的形状与该框架对应；加工进给单元，其具有驱动源，并且该加工进给单元使该卡盘工作台沿着加工进给方向移动；分度进给单元，其具有驱动源，并且该分度进给单元使该切削单元沿着与该加工进给方向垂直的分度进给方向移动；载置区域，其载置有收纳该被加工物单元或该托盘的容器；搬送单元，其具有对该被加工物单元或该托盘进行保持的第1保持垫，并且该搬送单元在该载置区域与该卡盘工作台之间搬送该被加工物单元或该托盘；子卡盘工作台，其设置于该卡盘工作台的侧方，具有对用于该切削单元的调整的板进行保持的保持面；以及板搬送单元，其在该卡盘工作台所保持的该托盘与该子卡盘工作台之间搬送该板，该板搬送单元具有：第2保持垫，其对该板进行保持；以及致动器，其与该切削单元一起被支承于该分度进给单元，并且该致动器使该第2保持垫沿着与该加工进给方向和该分度进给方向垂直的方向移动。
9.根据本发明的另一方面，提供一种托盘，该托盘被使用在上述切削装置中，其中，该托盘包含：板状的主体部，其具有与该框架相同形状的外缘；第1板配置区域，其设置于该主体部的一个面，配置有搬入到该子卡盘工作台之前的该板；以及第2板配置区域，其设置于该主体部的该一个面，配置有从该子卡盘工作台搬出后的该板。
10.根据本发明的又一方面，提供一种搬送系统，该搬送系统对包括上述切削装置在内的多个装置分别搬送该被加工物单元或该板，其中，该搬送系统包含：搬送路，其设置于该装置的上方；搬送车，其在该搬送路上行驶，并且具有车辆框架、驱动源、容器、升降单元、控制部以及接收机，该车辆框架安装有行驶用的车轮，该驱动源对该车轮进行驱动，该容器收纳该被加工物单元或该托盘，该升降单元设置于该车辆框架，悬吊该容器而使该容器升降，该控制部对该驱动源和该升降单元进行控制，该接收机接收控制信号；装载机/卸载机，其具有第1载置区域、第2载置区域以及接收机，该第1载置区域载置有收纳该被加工物单元或该托盘的盒，该第2载置区域载置有从该搬送车下降的该容器，该接收机接收控制信号，该装载机/卸载机在载置于该第1载置区域的该盒与载置于该第2载置区域的该容器之间搬送该被加工物单元或该托盘；以及控制单元，其具有发送机和信号生成部，该发送机向该装置、该搬送车以及该装载机/卸载机发送控制信号，该信号生成部生成从该发送机发送的控制信号，根据来自该控制单元的信号，该搬送车将从该装载机/卸载机交接的该被加工物单元或该托盘搬送到该装置。
11.通过使用本发明的切削装置、托盘以及搬送系统，能够高效地进行修整板相对于子卡盘工作台的装卸。
附图说明
12.图1是示出加工装置(切削装置)的内部的构造的立体图。
13.图2是示意性地示出卡盘工作台及其周边的构造的俯视图。
14.图3是示出加工装置(切削装置)的外观等的立体图。
15.图4是示出对被加工物进行加工的情形的侧视图。
16.图5的(a)、图5的(b)以及图5的(c)是更换子卡盘工作台的板的情形的侧视图。
17.图6的(a)和图6的(b)是示出更换子卡盘工作台的板的情形的侧视图。
18.图7是示出搬送系统的结构例的俯视图。
19.图8是示出搬送系统的连接关系的例子的功能框图。
20.图9是示意性示出装载机/卸载机的结构例的侧视图。
21.图10的(a)是示出外门关闭、内门打开的状态的局部剖视侧视图，图10的(b)是示出外门打开、内门关闭的状态的局部剖视侧视图。
22.图11的(a)是示出盒载置台等的局部剖视侧视图，图11的(b)是示出盒载置台的底面图。
23.图12的(a)是示出将盒载置台从内部收纳区域向外侧拉出的情况的局部剖视侧视图，图12的(b)是示出辊从支承台脱落的情况的局部剖视侧视图，图12的(c)是示出使盒载置台向内部收纳区域返回的情况的局部剖视侧视图。
24.图13的(a)是示出在两条上层导轨上暂放被加工物单元的情况的局部剖视侧视图，图13的(b)是示出在两条下层导轨上暂放被加工物单元的情况的局部剖视侧视图。
25.图14的(a)是示出两条上层导轨等的俯视图，图14的(b)是示出使两条上层导轨之间的间隔变窄的情况的俯视图。
26.图15的(a)是示出搬送车的上表面侧的立体图，图15的(b)是示出搬送车10的底面侧的立体图。
27.图16是示出搬送车的前端部的放大立体图。
28.图17的(a)是示出容器的立体图，图17的(b)是示出容器的主视图。
29.图18是示出容器载置于载置区域的状态的搬送车的立体图。
30.图19是示出容器借助弹性部件(伸缩部件)而与悬吊部件连接的搬送车的立体图。
31.图20的(a)是示出升降单元的结构例的俯视图，图20的(b)是示出升降单元的结构例的侧视图。
32.图21的(a)是示出升降单元的其他结构例的俯视图，图21的(b)是示出升降单元的其他结构例的侧视图。
33.图22的(a)是示出卷盘的俯视图，图22的(b)是示出卷盘的侧视图。
34.图23是示出罩的放大立体图。
35.图24的(a)是示出储存区域中未储存容器的状态的罩的侧视图，图24的(b)是示出在储存区域中储存有容器的状态的罩的侧视图。
36.图25的(a)是示出将储存于储存区域的容器载置于载置区域时的搬送车的侧视图，图25的(b)是示出容器下降时的电动机的电流值的曲线图。
37.图26的(a)是示出将载置于载置区域的容器储存于储存区域时的搬送车的侧视图，图26的(b)是示出容器上升时的电动机的电流值的曲线图。
38.图27是示出设置于加工装置(切削装置)的搬送路的一部分的立体图。
39.图28的(a)和图28的(b)是示出构成下层框架的下层框架单元的立体图。
40.图29是示出构成下层框架的下层框架单元的配置的俯视图。
41.图30的(a)和图30的(b)是示出构成上层框架的上层框架单元的立体图。
42.图31是示出构成上层框架的上层框架单元的配置的俯视图。
43.图32是示出将多个路面面板并列而构成的搬送路的俯视图。
44.图33是示出搬送车的控制部的功能框图。
45.图34是用于对搬送系统的控制方法的例子进行说明的图。
46.图35是示出第2实施方式的加工装置(切削装置)的内部的构造的立体图。
47.标号说明
48.2：搬送系统；4：加工装置(切削装置)；4a：加工装置(切削装置)；4b：加工装置(切削装置)；6：搬送路；6a：开口；8：装载机/卸载机(搬送装置)；10：搬送车；10a：搬送车；10b：搬送车；12：控制单元；21：配管；22：壳体；22a：顶棚；22b：开口；24：盒收纳机构；24a：第1盒收纳机构；24b：第2盒收纳机构；26：支承台；26a：上表面；26b：外侧面；28：盒载置台；28a：下表面；28b：上表面；28c：贯通孔；30：盒；30a：第1盒；30b：第2盒；32：搬入搬出口；34：外门(第2门)；36：旋转连结部件；38a：外部搬入搬出区域(外部区域)；38b：内部收纳区域(内部区域)；40：内门(第1门)；42：升降机构；42a：缸筒；42b：活塞杆；42c：连结部件；44：第1传感器；44a：磁铁；46：控制装置；48：第2传感器；48a：磁铁；50：止挡部件；50a：方棒；50b：辊；52：轴机构；52a：旋转轴；52b：轴承；54：销(按压部)；54a：环；54b：按钮；56：升降机构；56a：支承
柱；58：升降台；60：暂放单元；62：壳体；62a：上板；62b：下板；62c：侧板；62c1：第1侧板；62c2：第2侧板；62d：开口；62e1：第1开口；62e2：第2开口；64：搬送单元(搬送机构)；64a：第1搬送单元；64b：第2搬送单元；66：载置台；68：接收机；70：发送机；72a：上层导轨(第1暂放部)；72b：下层导轨(第2暂放部)；72c：间隔；74a：第1空气致动器；74b：第2空气致动器；76a：第1引导机构；76b：第2引导机构；78：间隔调整机构；82：车辆框架；84：车轴；86：车轮(前轮)；88：车轮(后轮)；90：驱动单元；92：电动机(驱动源)；92a：旋转轴(输出轴)；94：带轮；96：电池(二次电池)；98：布线(充电布线)；100：端子(受电端子)；102：容器(盒)；102a：收纳部(收纳空间)；102b：开口；102c：上壁；102d：底壁；104：储存区域；106：第1导轨；106a：保持面；106b：侧面；108：第2导轨；108a：保持面；110：升降单元(升降机构)；112：悬吊部件；114：驱动机构；116：接触部件；118：弹性部件(伸缩部件)；120：罩；122：第1传感器；124：第2传感器；126：第3传感器；128：支承台；130：控制部(控制单元)；130a：第1传感器控制部；130b：行驶指示部；130c：第2传感器控制部；130d：转向指示部；130e：进入控制部；130f：停车控制部；132：接收机；134：发送机；142：电动机；142a：旋转轴(输出轴)；144a：第1旋转轴(第1轴)；144b：第2旋转轴(第2轴)；146：带轮；148：连结部件；150a：带轮；150b：带轮；152：连结部件；154a：卷盘；154b：卷盘；156a：辊；156b：辊；162：驱动机构；164：电动机；164a：旋转轴(输出轴)；166a：第1旋转轴(第1轴)；166b：第2旋转轴(第2轴)；166c：第3旋转轴(第3轴)；168：带轮；170：连结部件；172：卷盘；172a：槽(凹部)；172b：突起(凸部)；174：固定部件；176：引导件；182：盖部；182a：板状部件；182b：柔软部件；184：接触部；184a：固定部件；184b：辊；186：固定块；188：连结块(l字块)；188a：连结部；188b：固定部；190：连结轴；202：基台；202a：凹部；202b：凹部；202c：配管连接部；204：升降台；206：x轴移动机构(加工进给单元)；206a：工作台罩；206b：防尘防滴罩；208：卡盘工作台；208a：保持面；218b：夹具；210：子卡盘工作台；210a：保持面；210b：槽；212：导轨；214：第1支承构造；216：第1轨道；218：第1移动机构；220：第1保持单元；220a：保持垫(第1保持垫)；220b：把持机构；222：第2轨道；224：第2移动机构；226：第2保持单元；228：第2支承构造；230：y轴z轴移动机构(分度进给单元、切入进给单元)；232：加工单元(切削单元)；232a：主轴；232b：切削刀具；234：拍摄单元(相机)；236：板搬送单元；236a：致动器；236b：保持垫(第2保持垫)；238：清洗单元；240：旋转工作台；242：喷射喷嘴；244：罩；244a：顶棚；244b：门；246：控制装置；248：接收机；250：发送机；262：下层框架；264：上层框架；266：路面面板；268：螺钉；270：下层框架单元；270a：下层框架单元；270b：下层框架单元；270c：下层框架单元；270d：下层框架单元；272：上层框架单元；272a：上层框架单元；272b：上层框架单元；274a：桥接面板；274b：桥接面板；276：引导部；278：行驶区域；280：停车区域；282：开口；284：待机区域；286：标记；286a：第1标记；286b：第2标记；286c：第3标记；286d：第4标记；288：端子(供电端子)；290：端子支承部；292：布线(供电布线)；302：控制部(信号生成部)；304：接收机；306：发送机；402：加工装置(切削装置)；404：升降台；406：盒收纳机构；406a：第1盒收纳机构；406b：第2盒收纳机构；11：被加工物；13：带(划片带)；15：框架；17：被加工物单元；17a：被加工物单元；17b：被加工物单元；31：板；33：托盘；35：主体部；37：位置限定部件；39a：第1板配置区域；39b：第2板配置区域；a：载置区域；a1a：第1载置区域；a1b：第1载置区域；a2：第2载置区域；b1a：第1搬送区域；b1b：第1搬送区域；b2：第2搬送区域；c1：箭头；c2：箭头；c3：箭头；d1：箭头；d2：箭头；d3：箭头；e1：箭头；e2：箭头；f1：箭头；f2：箭头；g：箭头。
具体实施方式
49.以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。
50.(第1实施方式)
51.图1是示出用于板状的被加工物11的加工(切削)的加工装置(切削装置)4的内部的构造的立体图。另外，在以下的说明中使用的x2轴方向、y2轴方向以及z2轴方向大致相互垂直。如图1所示，加工装置4具有对各结构要素进行支承的基台202。
52.在基台202的角部形成有凹部202a，在该凹部202a中配置有通过升降机构(未图示)升降的升降台204。在升降台204的上表面的载置区域a中例如载置有能够收纳被加工物11或板31等的后述的搬送车10的容器(盒)102。另外，在升降台204的上表面设置有限定容器102的水平方向的位置的多个位置限定部件(未图示)，从在加工装置4的上方停车的搬送车10下降的容器102载置于由多个位置限定部件确定的载置区域a。
53.各位置限定部件例如具有将从搬送车10下降的容器102朝向载置区域a引导的曲面状的引导面，并固定于与载置于升降台204的容器102的侧面对应的位置。在使容器102朝向升降台204下降时，通过各位置限定部件的引导面来引导容器102。因此，即使假设容器102在水平方向上摆动，也能够将容器102载置于载置区域a。
54.被加工物11例如是由硅等半导体材料构成的圆盘状的晶片。该被加工物11的正面侧被相互交叉的多条加工预定线(间隔道)划分为多个小区域，在各小区域中形成有ic(integrated circuit：集成电路)、mems(micro electro mechanical systems：微机电系统)等器件。
55.在被加工物11的背面侧粘贴有直径比被加工物11大的带(划片带)13。带13的外周部分固定于包围被加工物11的环状的框架15。这样，将被加工物11以借助带13支承于框架15的被加工物单元17的状态搬入到本实施方式的加工装置4。
56.另外，本实施方式的被加工物11是由硅等半导体材料构成的圆盘状的晶片，但被加工物11的材质、形状、构造、大小等没有限制。例如，也可以使用由其他半导体、陶瓷、树脂、金属等材料构成的基板等作为被加工物11。同样地，器件的种类、数量、形状、构造、大小、配置等也没有限制。也可以在被加工物11上不形成器件。
57.上述框架15的大小根据被加工物11的大小(被加工物11的直径等)来设定。例如，对直径大约300mm的被加工物11进行支承的框架15的外径比对直径大约200mm的被加工物11进行支承的框架15的外径大。即，在使用较大的被加工物11的情况下，被加工物单元17的外径也变大。
58.板31例如是利用树脂或陶瓷等结合剂将白刚玉(wa)或绿色金刚砂(gc)等磨粒固定而成的平板状的修整板。通过使旋转的切削刀具232b切入这样的板31，能够调整切削刀具232b的状态。但是，该板31只要是在对包含切削刀具232b的加工单元232进行调整时使用的板即可。
59.因此，板31的材质、形状、构造等根据其用途而适当地选择。例如，在使切削刀具232b从上方切入板31而形成槽并根据该槽来调整(测量)切削刀具232b的高度的用途中，有时使用由与被加工物11相同的材质形成的基板等作为板31。
60.将板31以支承在形状与上述的框架15对应的托盘33上的状态搬入到本实施方式的加工装置4。托盘33具有板状的主体部35，该主体部35具有与框架15相同形状的外缘。在
主体部35的正面(一个面)上例如设置有俯视时形成为l字状的多个位置限定部件37。通过该位置限定部件37，限定供板31配置的第1板配置区域39a和第2板配置区域39b。第1板配置区域39a和第2板配置区域39b的详细情况在后面进行叙述。
61.在比升降台204的载置区域a靠下方的区域中例如形成有能够暂时收纳加工后的被加工物单元17的被加工物收纳区域。由加工装置4加工后的被加工物单元17在完成搬送车10对容器102的搬送的准备为止的期间收纳在该被加工物收纳区域中。
62.另外，在比升降台204的载置区域a靠下方的区域中，除了被加工物收纳区域以外，有时还配置有照射紫外线的照射单元、对被加工物11的缺口的位置进行检测的检测单元、读取附加在被加工物11等上的识别代码的读取单元等。另外，也可以在比升降台204的载置区域a靠下方的区域中配置能够收纳处于支承着板的状态的托盘的托盘收纳区域。另外，在该情况下，可以将上述被加工物收纳区域用作托盘收纳区域，也可以设置与被加工物收纳区域不同的托盘收纳区域。
63.在凹部202a的侧方形成有在x2轴方向(前后方向、加工进给方向)上较长的凹部202b。在凹部202b内配置有滚珠丝杠式的x轴移动机构(加工进给单元)206。该x轴移动机构206包含与滚珠丝杠连结的电动机(脉冲电动机)等驱动源，从而使x轴移动工作台(未图示)沿着x2轴方向移动。在x轴移动工作台的上方配置有工作台罩206a。另外，在工作台罩206a的前后安装有波纹状的防尘防滴罩206b。
64.在x轴移动工作台的上部以从工作台罩206a露出的方式配置有对被加工物单元17或托盘33进行保持的卡盘工作台208。图2是示意性地示出卡盘工作台208及其周边的构造的俯视图。卡盘工作台208与电动机等驱动源(未图示)连结，绕与z2轴方向(铅垂方向、切入进给方向)大致平行的旋转轴进行旋转。另外，卡盘工作台208通过上述x轴移动机构206沿着x2轴方向移动(加工进给)。
65.卡盘工作台208的上表面成为用于对上述被加工物单元17或托盘33进行保持的保持面208a。保持面208a经由形成于卡盘工作台208的内部的吸引路(未图示)等而与真空泵等吸引源(未图示)连接。另外，在卡盘工作台208的周围设置有用于从四周固定被加工物单元17的框架15的4个夹具208b。
66.在卡盘工作台208的斜后方(侧方)以从工作台罩206a露出的方式配置有对从托盘33搬出的板31进行保持的子卡盘工作台210。该子卡盘工作台210也通过上述x轴移动机构206而沿着x2轴方向移动。
67.子卡盘工作台210的上表面成为用于对板31进行保持的保持面210a。在保持面210a上形成有槽210b，该槽210b经由形成于子卡盘工作台210的内部的吸引路(未图示)等而与真空泵等吸引源(未图示)连接。
68.如图1所示，在凹部202b的前侧上方设置有一边维持与y2轴方向(左右方向、分度进给方向)大致平行的状态一边进行接近、远离的一对导轨212。一对导轨212分别具有从下方支承框架15的支承面和与支承面大致垂直的侧面，对从载置区域a的容器102拉出的被加工物单元17(框架15)或托盘33在x2轴方向上进行夹持而对位在规定的位置。
69.在基台202的上方按照跨越凹部202b的方式配置有门型的第1支承构造214。在第1支承构造214的前表面(导轨212侧的面)上固定有沿着y2轴方向的第1轨道216，在该第1轨道216上借助第1移动机构218等而连结有第1保持单元(搬送单元)220。
70.第1保持单元220在下部具有从上方保持被加工物单元17(框架15)或托盘33的保持垫(第1保持垫)220a，该第1保持单元220通过第1移动机构218升降，并且沿着第1轨道216在y2轴方向上移动。另外，第1保持单元220在升降台204侧具有用于从侧方把持框架15或托盘33的把持机构220b。作为该第1保持单元220的保持垫220a，例如使用与真空泵等吸引源连接的真空吸附型的保持垫、利用由高流速的空气产生的负压的伯努利型的保持垫等。
71.如果利用把持机构220b对框架15或托盘33进行把持并使第1保持单元220在y2轴方向上移动，则能够将被加工物单元17或托盘33从载置区域a的容器102拉出至一对导轨212，或着能够将一对导轨212上的被加工物单元17或托盘33插入至载置区域a的容器102。
72.同样，通过利用把持机构220b对框架15进行把持并使第1保持单元220在y2轴方向上移动，能够将被加工物单元17从配置于载置区域a的下方的被加工物收纳区域拉出至一对导轨212，或者能够将一对导轨212上的被加工物单元17插入至被加工物收纳区域。
73.在载置区域a的下方配置有托盘收纳区域的情况下，同样地，通过利用把持机构220b对托盘33进行把持并使第1保持单元220在y2轴方向上移动，也能够将托盘33从配置于载置区域a的下方的托盘收纳区域拉出至一对导轨212，或者能够将一对导轨212上的托盘33插入至托盘收纳区域。
74.另外，在利用一对导轨212使被加工物单元17或托盘33的位置进行了对位之后，利用保持垫220a对被加工物单元17或托盘33进行保持并将其搬入到卡盘工作台208。这样，第1保持单元220构成为能够在载置区域a、卡盘工作台208以及被加工物收纳区域这三者(在存在托盘收纳区域的情况下为加上托盘收纳区域的这四者)之间搬送被加工物单元17或托盘33。
75.另外，在第1支承构造214的前表面上，在第1轨道216的上方固定有沿着y2轴方向的第2轨道222。在该第2轨道222上经由第2移动机构224等而连结有第2保持单元226。第2保持单元226在下部具有从上方对被加工物单元17(框架15)或托盘33进行保持的保持垫226a，该第2保持单元226通过第2移动机构224升降，并且沿着第2轨道222在y2轴方向上移动。作为保持垫226a，使用真空吸附型的保持垫或者伯努利型的保持垫等。
76.在第1支承构造214的后方配置有门型的第2支承构造228。在第2支承构造228的前表面(第1支承构造214侧的面)上分别借助滚珠丝杠式的y轴z轴移动机构(分度进给单元、切入进给单元)230而设置有两组加工单元(切削单元)232。
77.各y轴z轴移动机构230包含与y轴驱动用的滚珠丝杠连结的电动机(脉冲电动机)等驱动源，从而使各加工单元232沿着y2轴方向移动(分度进给)。另外，各y轴z轴移动机构230包含与z轴驱动用的滚珠丝杠连结的电动机(脉冲电动机)等驱动源，从而使各加工单元232沿着z2轴方向移动(切入进给)。
78.如图2所示，各加工单元232具有与y2轴方向大致平行的作为旋转轴的主轴232a。在各主轴232a的一端侧安装有圆环状的切削刀具232b。在各主轴232a的另一端侧连结有电动机等驱动源(未图示)。
79.另外，在切削刀具232b的旁边配置有用于向被加工物11或切削刀具232b提供纯水等切削液的喷嘴。一边从喷嘴提供切削液，一边使旋转的切削刀具232b切入至卡盘工作台208所保持的被加工物11，从而能够对被加工物11进行加工(切削)。
80.在加工单元232的前方设置有能够对卡盘工作台208所保持的被加工物11等进行
拍摄的拍摄单元(照相机)234。另外，在加工单元232的前方设置有板搬送单元236，该板搬送单元236能够在卡盘工作台208所保持的托盘33与子卡盘工作台210之间搬送板31。
81.板搬送单元236例如具有空气驱动型的致动器236a(参照图5的(b)等)，该致动器236a包含气缸和插入于该气缸且能够沿z2轴方向滑动的活塞杆。在致动器236a的下端部固定有与真空泵等吸引源(未图示)连接的保持垫(第2保持垫)236b。
82.因此，通过使该致动器236a动作，能够使保持垫236b沿z2轴方向移动。另外，在通过致动器236a使保持垫236b沿z2轴方向移动而与板31接触之后，如果使吸引源的负压作用，则能够利用该保持垫236b对板31进行保持。
83.拍摄单元234和板搬送单元236与加工单元232一起被各y轴z轴移动机构230支承。即，拍摄单元234和板搬送单元236与加工单元232一起沿y2轴方向移动，并且与加工单元232一起沿z2轴方向移动。
84.在相对于凹部202b位于与升降台204相反的一侧的位置配置有清洗单元238。清洗单元238具有在筒状的清洗空间内对被加工物单元17进行保持的旋转工作台240。在旋转工作台240的下部连结有使旋转工作台240按照规定的速度旋转的驱动源(未图示)。
85.在旋转工作台240的上方配置有朝向旋转工作台240所保持的被加工物单元17喷射清洗用的流体(代表性地为将水和空气混合而成的混合流体)的喷射喷嘴242。通过使保持着被加工物单元17的旋转工作台240旋转并从喷射喷嘴242喷射清洗用的流体，能够对被加工物单元17进行清洗。
86.在利用加工单元232对被加工物单元17进行了加工之后，例如利用第2保持单元226对框架15进行保持而将被加工物单元17搬入至清洗单元238。在利用清洗单元238对被加工物单元17进行了清洗之后，例如利用第1保持单元220对框架15进行保持而将被加工物单元17载置于一对导轨212上，然后利用把持机构220b对框架15进行把持而将被加工物单元17收纳于载置区域a的容器102。
87.图3是示出加工装置4的外观等的立体图。另外，在图3中，用功能框图示出一部分结构要素。如图3所示，基台202的上表面侧被罩244覆盖，上述的各结构要素收纳于罩244的内侧。在凹部202a的正上方的区域设置有将罩244的顶棚244a上下贯通的开口(未图示)。
88.搬送车10的容器102通过该开口而从罩244的外部向内部移动，通过该开口从罩244的内部向外部移动。对于开口的形状或大小没有限制，但该开口需要构成为至少能够使容器102通过。
89.上述的加工装置4的各构成要素与控制装置246连接。控制装置246例如由计算机构成，其包含cpu(central processing unit，中央处理器)等处理装置、dram(dynamic random access memory，动态随机存取存储器)等主存储装置以及闪存等辅助存储装置。按照存储于辅助存储装置的软件使处理装置等进行动作，从而实现控制装置246的功能。
90.在控制装置246上还连接有接收机248和发送机250，该接收机248接收来自外部的信号(信息)并发送至控制装置246，该发送机250将从控制装置246接收的信号(信息)发送至外部。接收机248例如接收从后述的搬送系统2的控制单元12发送的信号(控制信号)并发送至控制装置246。
91.控制装置246例如根据从接收机248接收的信号等而对加工装置4的各构成要素的动作进行控制。另外，控制装置246例如生成通知用的信号并发送至发送机250。发送机250
例如将从控制装置246接收的信号发送至搬送系统2的控制单元12。
92.在基台202的侧壁设置有连接各种配管21的配管连接部202c。另外，在罩244的侧壁设置有在维护等时进行开闭的门244b。另外，可以在罩244的侧壁设置输入针对控制装置246的指示等的操作面板(未图示)、显示与加工装置4相关的各种信息的显示器(未图示)等。
93.图4是示出利用加工装置4对被加工物11进行加工的情形的侧视图。另外，在图4中，将一部分结构要素用其剖面来表示。在对被加工物11进行加工时，首先，以使被加工物11的正面朝向上方的方式通过第1保持单元220等将被加工物单元17载置于保持面208a，使吸引源的负压作用。同时，利用夹具208b固定被加工物单元17的框架15。由此，被加工物单元17被卡盘工作台208保持。
94.接着，在调整了卡盘工作台208的朝向以使被加工物11的任意的加工预定线与x2轴方向大致平行之后，将切削刀具232b定位于该加工预定线的延长线的上方。然后，使加工单元232下降，以使切削刀具232b的下端比被加工物11的正面(上表面)低。
95.在该状态下，使切削刀具232b进行旋转，如图4所示，一边提供切削液一边使卡盘工作台208沿x2轴方向移动，由此能够使切削刀具232b切入而对被加工物11进行加工(切削)。另外，切削刀具232b的下端的高度等条件能够根据加工的目的等而任意地调整。
96.图5的(a)、图5的(b)、图5的(c)、图6的(a)以及图6的(b)是示出更换子卡盘工作台210的板31的情形的侧视图。另外，在各图中，将一部分结构要素用其剖面来表示。在更换子卡盘工作台210的板31时，首先，如图5的(a)所示，通过第1保持单元220等将支承着板31的状态的托盘33载置于保持面208a，并使吸引源的负压作用。由此，托盘33被卡盘工作台208保持。
97.如图5的(a)等所示，在第1板配置区域39a中配置有搬入到子卡盘工作台210之前的板31。另一方面，在图5的(a)的状态下，在第2板配置区域39b中未配置板31。在该第2板配置区域39b中配置从子卡盘工作台210搬出后的板31。
98.在利用卡盘工作台208保持了托盘33之后，将子卡盘工作台210所保持的板31搬出并载置于托盘33的第2板配置区域39b。具体而言，首先，使子卡盘工作台210和板搬送单元236相对地移动，如图5的(b)所示，将板搬送单元236定位于子卡盘工作台210的上方。
99.接着，通过板搬送单元236的致动器236a等使保持垫236b下降，使保持垫236b与子卡盘工作台210上的板31接触。然后，使吸引源的负压作用于保持垫236b。由此，板31被保持垫236b保持。
100.然后，切断作用于子卡盘工作台210的保持面210a的负压，如图5的(b)所示，通过致动器236a等使保持垫236b上升。另外，使卡盘工作台208和板搬送单元236相对地移动，如图5的(c)所示，将板搬送单元236定位于卡盘工作台208所保持的托盘33的第2板配置区域39b的上方。
101.然后，通过致动器236a等使保持垫236b下降，将板31配置于托盘33的第2板配置区域39b。在该状态下，如果切断作用于保持垫236b的吸引源的负压，则能够将从子卡盘工作台210搬出的板31载置于第2板配置区域39b。另外，在将板31载置于第2板配置区域39b之后，通过致动器236a等使保持垫236b上升。
102.在将板31从子卡盘工作台210搬出并载置于托盘33的第2板配置区域39b之后，将
配置于托盘33的第1板配置区域39a的其他板31搬入到子卡盘工作台210。具体而言，首先，如图6的(a)所示，使卡盘工作台208和板搬送单元236相对地移动，将板搬送单元236定位于卡盘工作台208所保持的托盘33的第1板配置区域39a的上方。
103.然后，通过致动器236a等使保持垫236b下降，使保持垫236b与配置于托盘33的第1板配置区域39a的板31接触。然后，使吸引源的负压作用于保持垫236b。由此，板31被保持垫236b保持。
104.然后，如图6的(a)所示，通过致动器236a等使保持垫236b上升。另外，使子卡盘工作台210和板搬送单元236相对地移动，如图6的(b)所示，将板搬送单元236定位于子卡盘工作台210的上方。
105.然后，通过致动器236a等使保持垫236b下降，将板31配置于子卡盘工作台210的保持面210a。在该状态下，如果使吸引源的负压作用于保持面210a，则能够通过子卡盘工作台210对板31进行保持。另外，在利用子卡盘工作台210保持了板31之后，切断作用于保持垫236b的吸引源的负压，通过致动器236a等使保持垫236b上升。
106.如上所述，本实施方式的加工装置(切削装置)4包含板搬送单元336，该板搬送单元336在卡盘工作台208所保持的托盘33与子卡盘工作台210之间搬送板31。而且，该板搬送单元336具有：保持垫236b，其对板31进行保持；以及致动器236a，其与加工单元(切削单元)232一起被支承于y轴z轴移动机构(分度进给单元)230，并且使保持垫236b沿着与加工进给方向(x2轴方向)和分度进给方向(y2轴方向)垂直的切入进给方向(z2轴方向)移动。
107.因此，在使用该加工装置4的情况下，不需要通过操作者的手动作业来进行板31相对于子卡盘工作台210的装卸。其结果为，能够高效地进行板31相对于子卡盘工作台210的装卸。
108.接着，对构成为能够将被加工物11(被加工物单元17)或板31(托盘33)分别搬送到包括上述加工装置(切削装置)4在内的多个装置的搬送系统进行说明。另外，以下，对作为被加工物11或板31的搬送目的地的多个装置均为加工装置(切削装置)4的情况进行说明，但搬送系统只要构成为能够对任意种类的装置搬送被加工物11等即可。即，被加工物11等的搬送目的地也可以是加工装置(切削装置)4以外的装置。
109.例如，搬送系统有时构成为对在一系列的加工中所使用的多个种类的装置依次搬送被加工物11。另外，搬送系统有时还构成为能够对在被加工物11的加工中随附的任意处理中所使用的各种装置搬送被加工物11。即，被加工物11等的搬送目的地可以包含不以被加工物11的加工为目的的带粘贴装置、紫外线照射装置、清洗装置等。
110.图7是示出本实施方式的搬送系统2的结构例的俯视图，图8是示出搬送系统2的连接关系的例子的功能框图。如图7所示，本实施方式的搬送系统2包含用于对由加工装置(切削装置)4加工的被加工物11等进行搬送的搬送路6。
111.另外，上述加工装置4作为被加工物11等的搬送目的地而与搬送系统2连接，但未必是搬送系统2的构成要素。另外，在图7中，为了便于说明，仅示出一台加工装置(切削装置)4a，在图8中，示出两台加工装置(切削装置)4a、4b，但在本实施方式中，作为被加工物11等的搬送目的地，需要两台以上的加工装置4。即，与搬送系统2连接的加工装置4的数量为两台以上。
112.搬送路6按照将多个加工装置4连结的方式设置于各加工装置4的上部。通过该搬
送路6而对各加工装置4搬送被加工物11或板31。另外，搬送路6设置于加工装置4的上方，因此搬送路6不会与连接于各加工装置4的侧面的配管21等发生干涉。
113.在搬送路6的下方，除了加工装置4以外，还设置有对加工前的被加工物11或加工后的被加工物11、使用前的板31或使用后的板31等进行收纳的装载机/卸载机(搬送装置)8。收纳于装载机/卸载机8的加工前的被加工物11或使用前的板31在任意的时机被搬入至搬送车10。
114.搬送车10在搬送路6上行驶而将从装载机/卸载机8接受的加工前的被加工物11或使用前的板31搬入至各加工装置4。另外，当搬送车10从加工装置4接受加工后的被加工物11或使用后的板31时，在搬送路6上行驶而将加工后的被加工物11搬送至装载机/卸载机8。
115.不过，在多个种类的装置(加工装置4等)与搬送系统2连接的情况下，当搬送车10从某个加工装置4接受加工后的被加工物11时，有时在搬送路6上行驶而将加工后的被加工物11搬送至在下一工序中使用的装置。另外，在图7和图8中，示出了两台搬送车10a、10b，但对于搬送车10的数量没有限制。
116.如图8所示，加工装置4、装载机/卸载机8、搬送车10与对它们的动作进行控制的控制单元12以无线的方式连接。不过，控制单元12只要构成为能够对加工装置4、装载机/卸载机8、搬送车10等的动作进行控制即可，有时也以有线的方式与它们连接。
117.图9是示意性示出装载机/卸载机8的结构例的侧视图。另外，在图9中，将一部分的构成要素用功能块示出。如图9所示，装载机/卸载机8包含对各种构成要素进行收纳的壳体22。另外，在图9中，为了便于说明，仅以轮廓示出壳体22。
118.在壳体22内的沿着高度方向(z1轴方向)不同的两个高度的位置分别设置有盒收纳机构24。即，本实施方式的装载机/卸载机8包含第1盒收纳机构24a和配置于第1盒收纳机构24a的上方的第2盒收纳机构24b。不过，对于装载机/卸载机8所具有的盒收纳机构24的数量没有限制。装载机/卸载机8只要具有一个以上的盒收纳机构24即可。
119.各盒收纳机构24具有平板状的支承台26。在支承台26的上表面侧设置有引导机构(未图示)，在该引导机构上按照能够沿着壳体22的进深方向(y1轴方向)滑动的方式安装有平板状的盒载置台28。
120.在盒载置台28的上表面上载置能够对多个(例如10个以上)被加工物11等进行收纳的盒30。盒30在汇总搬送多个被加工物单元17或板31时使用。通过使用这样的盒30，操作者能够将多个被加工物单元17或板31汇总搬入至装载机/卸载机8。
121.在壳体22的与各盒收纳机构24对应的位置形成有能够使载置有盒30的盒载置台28通过的搬入搬出口32。在盒30的搬入搬出时，使载置有盒30的盒载置台28滑动，从而盒30在该搬入搬出口32通过。
122.在壳体22的与各搬入搬出口32对应的位置配置有能够将各搬入搬出口32关闭的外门(第2门)34。外门34的下部例如借助具有水平的旋转轴的铰链等旋转连结部件36而与支承台26的外侧的端部连结，外门34以旋转连结部件36的旋转轴为中心旋转而进行开闭。
123.在外门34打开的状态下，能够将盒载置台28拉出至位于比搬入搬出口32靠外侧的位置的外部搬入搬出区域(外部区域)38a(参照图12的(a)等)。另外，在壳体22的与各搬入搬出口32对应的位置设置有按照不使关闭状态的外门34打开的方式进行固定的空气驱动型的锁定机构(未图示)。
124.例如操作者将搬送来的盒30载置于被拉出至外部搬入搬出区域38a的盒载置台28上。然后，当操作者将盒载置台28向壳体22的内部推入时，盒载置台28和盒30移动至位于比搬入搬出口32靠内侧的位置的内部收纳区域(内部区域)38b(参照图12的(a)等)。
125.另外，在本说明书中，有时将该内部收纳区域38b称作载置盒30的第1载置区域。在将盒30从盒收纳机构24搬出时，在将外门34打开之后，将盒载置台28从内部收纳区域38b拉出至外部搬入搬出区域38a即可。
126.在各盒收纳机构24的相对于内部收纳区域38b位于与搬入搬出口32相反的一侧的位置上，设置有能够沿着高度方向移动的方式的内门(第1门)40。第1盒收纳机构24a的内门40在与第1盒收纳机构24a的内部收纳区域38b相邻的上方的关闭位置与下方的打开位置之间移动，第2盒收纳机构24b侧的内门40在与第2盒收纳机构24b的内部收纳区域38b相邻的上方的打开位置与下方的关闭位置之间移动。由此，两个内门40不会相互干涉。
127.图10的(a)是示出外门34关闭、内门40打开的状态的第1盒收纳机构24a的局部剖视侧视图。另外，在图10的(a)中，用功能块示出装载机/卸载机8的一部分的构成要素。除了内门40的移动的动作以外，第2盒收纳机构24b的构造和动作与第1盒收纳机构24a的构造和动作相同。
128.如图10的(a)所示，在内门40上连结有升降机构42。升降机构42例如是利用空气压而使对象移动的空气致动器(气缸)，其具有缸筒42a和能够相对于缸筒42a移动的活塞杆42b。
129.在收纳于缸筒42a的活塞杆42b的基端部连结有活塞(未图示)。另外，在从缸筒42a露出的活塞杆42b的前端部连结有固定于内门40的与内部收纳区域38b相反的一侧的面上的连结部件42c。
130.若对向缸筒42a的吸气排气进行控制而使活塞和活塞杆42b从上方向下方移动，则第1盒收纳机构24a的内门40从关闭位置移动至打开位置。另外，若使活塞和活塞杆42b从下方向上方移动，则第1盒收纳机构24a的内门40从打开位置移动至关闭位置。另外，升降机构42也可以通过无杆气缸等其他机构来实现。
131.在支承台26的与内门40面对的位置设置有用于对内门40是否打开进行检测的第1传感器44。第1传感器44例如是磁感应器，其对安装于内门40的规定的位置的磁铁44a(参照图10的(b))的磁场的强度进行检测。
132.例如如图10的(a)所示，当将内门40打开而使磁铁44a离开第1传感器44时，磁铁44a的磁场的强度在第1传感器44的位置变弱。因此，能够利用第1传感器44所检测的磁场的强度而判断内门40是否打开。
133.在第1传感器44上连接有对装载机/卸载机8的各构成要素进行控制的控制装置46，第1传感器44将与所检测的磁场的强度相关的信息发送至控制装置46。控制装置46在第1传感器44所检测的磁场的强度弱于基准时，判断为内门40打开，在第1传感器44所检测的磁场的强度强于基准时，判断为内门40关闭。另外，第1传感器44也可以以无线的方式与控制装置46连接。
134.控制装置46例如由计算机构成，其包含cpu(central processing unit，中央处理器)等处理装置、dram(dynamic random access memory，动态随机存取存储器)等主存储装置以及闪存等辅助存储装置。按照存储于辅助存储装置的软件使处理装置等进行动作，从
而实现控制装置46的功能。
135.在壳体22的与搬入搬出口32对应的位置设置有用于对外门34是否打开进行检测的第2传感器48。第2传感器48例如是磁感应器，其对安装于外门34的规定的位置的磁铁48a的磁场的强度进行检测。第2传感器48与控制装置46连接。另外，第2传感器48也可以以无线的方式与控制装置46连接。
136.图10的(b)是示出外门34打开、内门40关闭的状态的局部剖视侧视图。另外，在图10的(b)中，用功能块示出控制装置46。如图10的(b)所示，当将外门34打开而使磁铁48a离开第2传感器48时，磁铁48a的磁场的强度在第2传感器48的位置变弱。
137.因此，能够利用第2传感器48所检测的磁场的强度而判断外门34是否打开。具体而言，第2传感器48将与所检测的磁场的强度相关的信息发送至控制装置46。控制装置46在第2传感器48所检测的磁场的强度弱于基准时，判断为外门34打开，在第2传感器48所检测的磁场的强度强于基准时，判断为外门34关闭。
138.控制装置46具有作为第1安全机构的功能，该第1安全机构用于限制从装载机/卸载机8的外部向内部的访问。第1安全机构通过控制装置46适当地对按照不使关闭状态的外门34打开的方式进行固定的空气驱动型的锁定机构进行控制而实现。
139.具体而言，在判断为外门34关闭且判断为内门40打开的情况下，控制装置46按照不打开外门34的方式利用锁定机构对外门34进行固定。这样，通过控制装置46对外门34能否开闭进行控制，能够防止操作者错误地访问位于装载机/卸载机8的内部的动作中的可动部等。
140.另外，控制装置46具有作为第2安全机构的功能，该第2安全机构用于限制从装载机/卸载机8的外部向内部的访问。第2安全机构通过控制装置46适当地对装载机/卸载机8的电源进行管理而实现。具体而言，在判断为外门34打开且判断为内门40关闭的情况下，当由于某些原因而内门40打开时，控制装置46切断装载机/卸载机8的电源。
141.通过第2安全机构，在外门34和内门40同时打开的状况下，将装载机/卸载机8停止。这样通过控制装置46适当地管理装载机/卸载机8的电源，能够防止操作者错误地访问位于装载机/卸载机8的内部的动作中的可动部等。
142.图11的(a)是示出盒载置台28等的局部剖视侧视图，图11的(b)是示出盒载置台28的底面图。在盒载置台28的下表面28a侧配置有止挡部件50。止挡部件50例如具有在进深方向上较长的方棒50a。不过，该方棒50a的进深方向的长度比盒载置台28的进深方向的长度短。另外，方棒50a例如由不锈钢等金属形成。不过，对于方棒50a的材质或形状等没有特别限制。
143.在方棒50a的在进深方向上位于内侧的一个端部(即内门40侧的端部)设置有沿着与高度方向和进深方向大致垂直的宽度方向(x1轴方向)的旋转轴(未图示)，在该旋转轴上以能够旋转的方式支承有辊50b。辊50b的直径比盒载置台28的下表面28a与支承台26的上表面26a之间的距离小。
144.在方棒50a的内侧的一端与外侧的另一端之间的位置设置有以能够旋转的方式支承方棒50a的轴机构52。轴机构52具有沿着宽度方向的旋转轴52a。旋转轴52a与方棒50a的长度方向(进深方向)的比中央靠另一端侧(外侧)的位置连结。
145.旋转轴52a的宽度方向的两端部插入至固定于盒载置台28的下表面28a侧的一对
轴承52b的轴承孔中。由此，方棒50a按照能够在相对于高度方向和进深方向平行的面内(与宽度方向垂直的面内)绕旋转轴52a旋转的方式支承于轴承52b。
146.如上所述，旋转轴52a连接于方棒50a的比中央靠另一端侧的位置。由此，作用于止挡部件50的重力的绕旋转轴52a的力矩的朝向成为使方棒50a的一端向下方移动的朝向。即，只要不对方棒50a赋予充分的力，则方棒50a的一端的位置因重力的作用而比方棒50a的另一端的位置低。
147.因此，例如在将盒载置台28整体定位于内部收纳区域38b的状态下，辊50b与支承台26的上表面26a接触。另外，当使盒载置台28在支承台26的上方移动时，辊50b在支承台26的上表面26a上转动。
148.在方棒50a的另一端部连结有在高度方向上较长的销(按压部)54的下端部。在盒载置台28的与销54对应的位置形成有在高度方向上贯通盒载置台28的贯通孔28c，销54插入至该贯通孔28c。贯通孔28c形成为不阻碍所插入的销54在高度方向上移动的程度的大小。
149.销54的高度方向的长度大于盒载置台28的厚度。因此，在辊50b与支承台26的上表面26a接触的状态下，销54的上部在盒载置台28的上表面28b侧露出。在该销54的露出部分固定有圆盘状的按钮54b，该按钮54b具有比销54的直径大的外径。
150.当从上方按下固定于销54的按钮54b时，方棒50a的另一端向下方移动，方棒50a的一端向上方移动。即，辊50b向上方移动。另外，在销54的下部的附近固定有环54a，该环54a具有比贯通孔28c的直径大的外径。
151.图12的(a)是示出将盒载置台28从内部收纳区域38b向外侧拉出的情况的局部剖视侧视图。盒载置台28按照能够通过上述引导机构(未图示)相对于支承台26滑动的方式进行安装，朝向搬入搬出口32的外侧被拉出。
152.当盒载置台28向外侧滑动而使辊50b比支承台26的上表面26a的外侧的端部向外超出时，由于作用于止挡部件50的重力的绕旋转轴52a的力矩，方棒50a的一端向下方移动。即，成为辊50b从支承台26脱落的状态。
153.图12的(b)是示出辊50b从支承台26脱落的情况的局部剖视侧视图。当辊50b从支承台26脱落时，该辊50b定位于比上表面26a低的位置。其结果是，通过止挡部件50与支承台26的外侧面26b接触而限制盒载置台28向内侧的移动。另外，随着辊50b的脱落，销54上升，环54a与盒载置台28的下表面28a接触。
154.这样，在将盒载置台28拉出时，止挡部件50和轴机构52作为限制盒载置台28向内侧移动的移动限制机构发挥功能。通过设置移动限制机构，例如容易进行比较重的盒30的搬入搬出，因此能够降低收纳于盒30的被加工物11等随着搬入搬出而破损的风险。
155.即，在将盒30载置(搬入)于盒载置台28时，当盒载置台28向内侧移动时，操作者使盒30落下的风险和操作者使盒30与外门34碰撞的风险增高，但通过移动限制机构限制盒载置台28向内侧移动，从而将这些风险抑制得充分低。
156.另外，在操作者将盒30从盒载置台28搬出时，当盒载置台28向内侧移动时，预定搬出的盒30与位于搬入搬出口32的上部的壳体22的一部分等碰撞的风险增高，但通过移动限制机构限制盒载置台28向内侧移动，从而也将该风险抑制得充分低。
157.本实施方式的移动限制机构通过在与高度方向和进深方向平行的平面内的方棒
50a的旋转而实现，因此不会像例如在盒载置台28的宽度方向的外侧的部分设置移动限制机构的情况那样使盒收纳机构24在宽度方向上增大。因此，与在盒载置台28的宽度方向的外侧的部分设置移动限制机构的情况相比，容易实现在宽度方向上紧凑的盒收纳机构24。
158.另外，方棒50a的长度、轴机构52的位置等条件按照在方棒50a从支承台26脱落的状态下盒载置台28上的载置盒30的区域从壳体22完全露出的方式设定。因此，操作者能够在盒30完全从壳体22露出的状态下将盒30载置于(搬入)盒载置台28。
159.图12的(c)是示出使盒载置台28向内部收纳区域38b返回的情况的局部剖视侧视图。在使盒载置台28向内部收纳区域38b返回时，操作者按下按钮54b。操作者例如按压按钮54b直至按钮54b的下部与盒载置台28的上表面28b接触为止。由此，将销54向下方按压，辊50b向比支承台26的上表面26a靠上方的位置移动。
160.辊50b例如上升至与盒载置台28的下表面28a接触。其结果是，解除对盒载置台28向内侧移动的限制，能够使盒载置台28返回至内部收纳区域38b。操作者在按下按钮54b的状态下将盒载置台28推入至内部收纳区域38b即可。
161.另外，盒收纳机构24不限于上述例。例如也可以在盒载置台28的宽度方向上不同的两个位置分别设置止挡部件50。在该情况下，在与各个销54对应的位置形成贯通孔28c。另外，在该情况下，构成两个止挡部件50的两个方棒50a可以在任意的位置相互连结。若将两个方棒50a相互连结，则也可以省略一方的销54。
162.另外，贯通孔28c也可以形成于盒载置台28的供盒30配置的区域。在该情况下，当在盒载置台28上载置盒30时，由于盒30的自重而将销54按下。即，无需由操作者将销54按下而解除止挡部件50的限制。
163.如图9所示，装载机/卸载机8具有配置于内门40的与内部收纳区域38b相反的一侧的升降机构56。升降机构56具有在高度方向上较长的支承柱56a。在支承柱56a的内门40侧设置有沿着支承柱56a的长度方向(即高度方向)的一对导轨(未图示)。
164.板状的升降台58以能够在高度方向上滑动的方式安装于升降机构56的一对导轨上。升降台58的上表面大致平坦地形成。升降台58一边使其上表面保持为与高度方向大致垂直的状态，一边沿着一对导轨在高度方向上滑动。
165.在支承柱56a的下部设置有电动机(未图示)和与电动机的旋转轴连结的驱动带轮(未图示)。另外，在支承柱56a的上部设置有从动带轮(未图示)。在驱动带轮和从动带轮上架设有一条带齿环形带(未图示)，该带齿环形带的一部分固定于升降台58。因此，当使电动机的旋转轴向一个方向旋转时，升降台58上升，当使电动机的旋转轴向另一方向旋转时，升降台58下降。
166.在升降台58的上表面侧设置有暂放从盒收纳机构24内的盒30搬出的被加工物单元17、要搬入至盒收纳机构24内的盒30的被加工物单元17或者配置有板31的托盘33的暂放单元60。暂放单元60具有在盒收纳机构24侧形成有开口的方筒状的壳体62。在壳体62的内部配置有能够分别对被加工物单元17或托盘33进行把持而在进深方向上移动的多个搬送单元(搬送机构)64。
167.当在暂放单元60与第1盒收纳机构24a的第1盒30a之间交接被加工物单元17或托盘33时，使暂放单元60的高度与第1盒收纳机构24a的高度对齐。即，将暂放单元60配置于相对于第1盒收纳机构24a的第1载置区域a1a在进深方向上与内门40侧相邻的第1搬送区域
b1a。
168.当将暂放单元60配置于第1搬送区域b1a且将第1盒收纳机构24a的内门40打开时，搬送单元64能够访问第1载置区域a1a的第1盒30a。例如搬送单元64对收纳于第1盒30a的被加工物单元17或托盘33进行把持而将被加工物单元17或托盘33拉出至暂放单元60。
169.另外，搬送单元64对暂放于暂放单元60的被加工物单元17或托盘33进行把持而将被加工物单元17或托盘33收纳于第1盒30a。这样，搬送单元64能够在第1搬送区域b1a的暂放单元60与第1载置区域a1a的第1盒30a之间搬送被加工物11或托盘33。
170.当在暂放单元60与第2盒收纳机构24b的第2盒30b之间交接被加工物单元17或托盘33时，使暂放单元60的高度与第2盒收纳机构24b的高度对齐。即，将暂放单元60配置于相对于第2盒收纳机构24b的第1载置区域a1b在进深方向上与内门40侧相邻的第1搬送区域b1b。
171.当将暂放单元60配置于第1搬送区域b1b且将第2盒收纳机构24b的内门40打开时，搬送单元64能够访问第1载置区域a1b的第2盒30b。例如搬送单元64对收纳于第2盒30b的被加工物单元17或托盘33进行把持而将被加工物单元17或托盘33拉出至暂放单元60。
172.另外，搬送单元64对暂放于暂放单元60的被加工物单元17或托盘33进行把持而将被加工物单元17或托盘33收纳于第2盒30b。这样，搬送单元64能够在第1搬送区域b1b的暂放单元60与第1载置区域a1b的第2盒30b之间搬送被加工物11或托盘33。
173.在第2盒收纳机构24b的更上方设置有载置台66。另外，在载置台66的正上方的区域设置有上下贯通壳体22的顶棚22a的开口22b。另外，在载置台66和开口22b的正上方的区域设置有上下贯通搬送路6的开口6a。
174.当在搬送车10与暂放单元60之间搬送被加工物单元17或托盘33时，首先使具有能够收纳被加工物单元17或托盘33的容器(盒)102的搬送车10移动至开口6a的上方。并且，使容器102按照利用悬吊部件112进行悬吊的方式下降而将容器102载置于载置台66的上表面上(第2载置区域a2)。
175.另外，使暂放单元60的高度与载置于载置台66的容器102的高度对齐。即，将暂放单元60配置于相对于载置台66在进深方向上相邻的第2搬送区域b2。由此，搬送单元64能够访问载置于第2载置区域a2的容器102。例如搬送单元64对收纳于容器102的被加工物单元17或托盘33进行把持而将被加工物单元17或托盘33拉出至暂放单元60。
176.另外，搬送单元64对暂放于暂放单元60的被加工物单元17或托盘33进行把持而将被加工物单元17或托盘33收纳于容器102。这样，搬送单元64能够在第2搬送区域b2的暂放单元60与载置于载置台66的容器102之间搬送被加工物11或托盘33。另外，使暂放单元60升降的升降机构56、暂放单元60内的搬送单元64与上述控制装置46连接。升降机构56、搬送单元64的动作通过该控制装置46进行控制。
177.在控制装置46上还连接有接收机68和发送机70，该接收机68接收来自外部的信号(信息)并发送至控制装置46，该发送机70将从控制装置46接收的信号(信息)发送至外部。接收机68例如接收从搬送系统2的控制单元12发送的信号而发送至控制装置46。
178.控制装置46例如根据从接收机68接收的信号而对装载机/卸载机8的各构成要素的动作进行控制。另外，控制装置46例如生成通知用的信号而发送至发送机70。发送机70例如将从控制装置46接收的信号发送至搬送系统2的控制单元12。
179.本实施方式的装载机/卸载机8借助暂放单元60而能够在收纳多个被加工物单元17或托盘33的盒30与搬送车10的容器102之间搬送被加工物单元17或托盘33。由此，能够对各加工装置4适时地搬送被加工物11或板31，并且能够适时地回收利用各加工装置4进行了加工的被加工物11和使用后的板31。
180.图13的(a)是示出在暂放单元60的上层暂放被加工物单元17的情况的局部剖视侧视图，图13的(b)是示出在暂放单元60的上层暂放被加工物单元17的情况的局部剖视侧视图。另外，暂放托盘33的情形也与被加工物单元17的情况相同。暂放单元60的壳体62例如包含配置于上部的上板62a和配置于下部的下板62b。
181.在上板62a的宽度方向的两个端部分别连接有柱(未图示)的上端部。另外，在下板62b的宽度方向的两个端部分别连接有柱的下端部。即，上板62a和下板62b借助两组柱而相互连结。在上板62a与下板62b之间的空间内配置有在宽度方向上分开的一对侧板62c。另外，在壳体62的盒收纳机构24侧的端部形成有开口62d。
182.在一对侧板62c的内侧在相同高度的位置分别配置有沿着进深方向较长的上层导轨(第1暂放部)72a。各上层导轨72a具有从下方支承被加工物单元17(框架15)等的支承面以及对被加工物单元17(框架15)等的宽度方向的位置进行限定的侧面。
183.在一对侧板62c的内侧在比上层导轨72a靠下方的位置分别配置有沿着进深方向较长的下层导轨(第2暂放部)72b。各下层导轨72b具有从下方支承被加工物单元17(框架15)等的支承面以及对被加工物单元17(框架15)等的宽度方向的位置进行限定的侧面。
184.这样，在壳体62的内侧的不同的高度的位置具有上层导轨72a和下层导轨72b，从而暂放单元60能够同时收纳两个被加工物单元17等。因此，与暂放单元仅能够收纳一个被加工物单元17等的情况相比，能够在搬送车10的容器102或盒30与暂放单元60之间高效地搬送被加工物单元17等。
185.例如上层导轨72a用于加工前的被加工物单元17等的收纳，下层导轨72b用于加工后的被加工物单元17等的收纳。不过，对于被加工物单元17等的收纳的方式没有限制。也可以是上层导轨72a用于加工后的被加工物单元17等的收纳，下层导轨72b用于加工前的被加工物单元17等的收纳。
186.在与上层导轨72a对应的高度的位置设置有第1搬送单元64a，在与下层导轨72b对应的高度的位置设置有第2搬送单元64b。各搬送单元64具有把持部，该把持部包含上下配置的两张板部件。两张板部件按照上侧的板部件的下表面与下侧的板部件的上表面大致平行的方式配置。
187.各搬送单元64的把持部还包含对两张板部件之间的间隔进行调整的致动器(未图示)。通过该致动器使两张板部件之间的间隔变窄，从而对被加工物单元17的框架15等进行把持。另外，使两张板部件之间的间隔扩展，从而将被加工物单元17的框架15等从两张板部件放开。
188.另外，各搬送单元64具有使把持部在进深方向上移动的水平移动机构(未图示)。水平移动机构具有沿着进深方向设置的线性引导件(未图示)。在该线性引导件上以能够滑动的方式连结有搬送单元64。
189.例如在线性引导件的一端侧设置有具有与宽度方向大致平行的旋转轴的从动带轮(未图示)。另外，在线性引导件的另一端侧设置有：具有与宽度方向大致平行的旋转轴的
驱动带轮(未图示)；和旋转轴与该驱动带轮连结的电动机(未图示)。
190.在从动带轮和驱动带轮上架设有一条带齿环形带(未图示)，该带齿环形带的一部分固定于把持部。因此，当使电动机的旋转轴向一个方向旋转时，把持部向进深方向的一侧移动，当使电动机的旋转轴向另一方向旋转时，把持部向进深方向的另一侧移动。
191.在将被加工物单元17等暂放于上层导轨72a时，如图13的(a)所示，首先利用升降机构56对暂放单元60的高度进行调整，使上层导轨72a的高度与收纳有被加工物单元17等的容器102或盒30的高度对齐。
192.接着，使第1搬送单元64a的把持部移动至容器102或盒30的内部。并且，利用第1搬送单元64a的把持部对收纳于容器102或盒30的被加工物单元17的框架15等进行把持。然后，使第1搬送单元64a的把持部向离开容器102或盒30的方向移动。由此，将被加工物单元17等载置于上层导轨72a。
193.将暂放于上层导轨72a的被加工物单元17等收纳于容器102或盒30时的动作也相同。在该情况下，在利用第1搬送单元64a的把持部对暂放于上层导轨72a的被加工物单元17等进行把持之后，使该第1搬送单元64a的把持部移动至容器102或盒30的内部即可。
194.在将被加工物单元17等暂放于下层导轨72b时，如图13的(b)所示，首先利用升降机构56对暂放单元60的高度进行调整，使下层导轨72b的高度与收纳有被加工物单元17等的容器102或盒30的高度对齐。
195.接着，使第2搬送单元64b的把持部移动至容器102或盒30的内部。并且，利用第2搬送单元64b的把持部对收纳于容器102或盒30的被加工物单元17的框架15等进行把持。然后，使第2搬送单元64b的把持部向离开容器102或盒30的方向移动。由此，将被加工物单元17等载置于下层导轨72b。
196.将暂放于下层导轨72b的被加工物单元17等收纳于容器102或盒30时的动作也相同。在该情况下，在利用第2搬送单元64b的把持部对暂放于下层导轨72b的被加工物单元17等进行把持之后，使该第2搬送单元64b的把持部移动至容器102或盒30的内部即可。
197.盒30与容器102之间的被加工物单元17等的搬送所涉及的动作例如如下所述。首先，利用升降机构56对暂放单元60的高度进行调整，将收纳于盒30的加工前的被加工物单元17等拉出至上层导轨72a。接着，利用升降机构56使暂放单元60上升，将收纳于载置台66上的容器102的加工后的被加工物单元17等拉出至下层导轨72b。
198.并且，利用升降机构56对暂放单元60的高度进行调整，将暂放于上层导轨72a的加工前的被加工物单元17等收纳于载置台66上的容器102。通过该动作，高效地进行加工后的被加工物单元17等从容器102的搬出(回收)和加工前的被加工物单元17等向容器102的搬入(分配)。不过，被加工物单元17等的搬送所涉及的动作不限于此。另外，可以根据需要调换上层导轨72a与下层导轨72b的关系。
199.图14的(a)是两条上层导轨72a等的俯视图。位于宽度方向的一侧的上层导轨72a和下层导轨72b固定于第1侧板62c1。另外，位于宽度方向的另一侧的上层导轨72a和下层导轨72b固定于第2侧板62c2。
200.在下板62b的进深方向的一端侧形成有上下贯通下板62b的宽度方向的一侧的部分的第1开口62e1和上下贯通下板62b的宽度方向的另一侧的部分的第2开口62e2。在第1开口62e1中插入有第1侧板62c1的进深方向的一端侧的一部分，在第2开口62e2中插入有第2侧
板62c2的进深方向的一端侧的一部分。
201.在下板62b的下表面的与第1开口62e1和第2开口62e2相邻的区域固定有第1空气致动器74a的基部和第2空气致动器74b的基部。第1空气致动器74a的可动部(例如活塞杆)与插入至第1开口62e1的第1侧板62c1的一部分连接。第2空气致动器74b的可动部(例如活塞杆)与插入至第2开口62e2的第2侧板62c2的一部分连接。
202.在下板62b的进深方向的另一端侧设置有第1引导机构76a和第2引导机构76b。第1引导机构76a包含：导轨，其固定于下板62b的上表面上，在宽度方向上较长；以及滑动器，其固定于第1侧板62c1的下部侧，以能够在宽度方向上滑动的状态安装于导轨。另外，第2引导机构76b包含：导轨，其固定于下板62b的上表面上；以及滑动器，其固定于第2侧板62c2的下部侧，以能够在宽度方向上滑动的状态安装于导轨。
203.由此，若利用第1空气致动器74a和第2空气致动器74b对第1侧板62c1与第2侧板62c2之间的间隔进行变更，则能够一边维持相互平行的状态一边对两条上层导轨72a之间的间隔进行变更，能够一边维持相互平行的状态一边对两条下层导轨72b之间的间隔进行变更。
204.即，第1侧板62c1、第1空气致动器74a、第1引导机构76a、第2侧板62c2、第2空气致动器74b、第2引导机构76b作为对两条上层导轨72a之间的间隔以及两条下层导轨72b之间的间隔进行调整的间隔调整机构78发挥功能。
205.第1空气致动器74a和第2空气致动器74b的动作通过上述控制装置46进行控制。即，控制装置46根据被加工物单元17(被加工物11)等的大小而对第1空气致动器74a和第2空气致动器74b的动作进行控制，从而对两条上层导轨72a之间的间隔以及两条下层导轨72b之间的间隔进行调整。
206.例如在被加工物11的直径为300mm的情况下，使用具有约400mm的宽度的框架15。在该情况下，控制装置46按照两条上层导轨72a的侧面的间隔72c(两条下层导轨72b的侧面的间隔72c)比400mm略微(例如数mm)大的方式使第1空气致动器74a和第2空气致动器74b进行动作。
207.另外，例如在被加工物11的直径为200mm的情况下，使用具有约300mm的宽度的框架15。在该情况下，控制装置46按照两条上层导轨72a的侧面的间隔72c(两条下层导轨72b的侧面的间隔72c)比300mm略微(例如数mm)大的方式使第1空气致动器74a和第2空气致动器74b进行动作。
208.图14的(b)是示出使两条上层导轨72a之间的间隔变窄的情况的俯视图。另外，当使两条上层导轨72a之间的间隔变窄时，两条下层导轨72b之间的间隔也变窄。这样，通过根据被加工物11的直径而调整两条上层导轨72a之间的间隔以及两条下层导轨72b之间的间隔，能够将不同大小的被加工物11暂放于暂放单元60。即，能够利用一个暂放单元60应对多个种类的大小的被加工物单元17等的搬送。
209.图15的(a)是示出在搬送路6上行驶而对被加工物单元17或托盘33进行搬送的搬送车10的上表面侧的立体图，图15的(b)是示出搬送车10的底面侧的立体图。如图15的(a)和图15的(b)所示，搬送车10具有搭载各种构成要素的板状的车辆框架82。在车辆框架82的前方侧的两侧端部配置有一对车轴84。车轴84按照一端侧从车辆框架82的侧面突出的方式安装于车辆框架82的下表面侧。
210.在一对车轴84的一端侧分别固定有车轮(前轮)86。即，一对车轮86配置于在车辆框架82的宽度方向(车宽方向)上分开的两个位置。另外，在车辆框架82的后端部的在宽度方向上分开的两个位置配置有一对车轮(后轮)88。车轮88例如是能够绕沿着高度方向的旋转轴旋转360
°
的脚轮，安装于车辆框架82的下表面侧。车轮86和车轮88是搬送车10在搬送路6上行驶时的行驶用的车轮。
211.在车辆框架82的前端部搭载有对一对车轮86进行驱动的驱动单元90。驱动单元90具有分别借助车轴84等而与车轮86连结的一对电动机(驱动源)92。电动机92具有旋转轴(输出轴)92a，生成使车轮86旋转的动力。
212.如图15的(b)所示，在车轴84的另一端侧设置有带轮94。在电动机92的旋转轴92a和带轮94上架设有带、链条等环形的连结部件(未图示)。通过电动机92的旋转轴92a、带轮94以及连结部件而构成动力传递机构，将车轴84和电动机92连结。由此，通过电动机92而生成的动力(旋转力)传递至车轮86而使车轮86旋转。
213.驱动单元90通过一对电动机92独立地控制一对车轮86的旋转的方向。使一对车轮86向同方向旋转，从而搬送车10前进或后退。另外，使一对车轮86相互向反方向旋转，从而能够使搬送车10绕沿着高度方向的旋转轴旋转而控制搬送车10行进的方向。另外，对于车轮86和车轮88的构造没有限制。例如作为车轮86和车轮88，也可以使用将倾斜的桶状(筒状)的多个旋转体安装于与搬送路6接触的外周面上而得的所谓的麦克纳姆轮(mecanum wheel)。
214.在驱动单元90上借助供电用的布线(未图示)而连接有向电动机92等提供电力的电池(二次电池)96。电池96例如安装于车辆框架82的前端部，将用于使车轮86旋转的电力提供至电动机92。作为电池96，使用锂离子电池等。
215.图16是示出搬送车10的前端部的放大立体图。在车辆框架82的前端部的下表面侧借助充电用的布线(充电布线)98而设置有与电池96连接的一对端子(受电端子)100。一对端子100例如与设置于搬送车10的外部的供电用的端子连接，接受使用于电池96的充电的电力的提供。另外，在后文对使用端子100的电池96的充电的详细情况进行叙述。
216.如图15的(a)和图15的(b)所示，在车辆框架82的下侧设置有对收纳被加工物单元17或托盘33的容器(盒)102进行储存的储存区域104。储存区域104的周围被一对车轮86和一对车轮88围绕且位于比车轮86和车轮88的下端靠上方的位置。在该储存区域104配置有能够收纳一个或多个被加工物单元17等的容器102。
217.图17的(a)是示出容器102的立体图，图17的(b)是示出容器102的主视图。容器102例如形成为俯视六棱柱状，在其内部具有能够收纳被加工物单元17或托盘33的收纳部(收纳空间)102a。收纳部102a借助在容器102的一侧面侧开口的缝状的开口102b而与容器102的外部的空间连接。被加工物单元17或托盘33通过开口102b而搬入至收纳部102a，并且通过开口102b而从收纳部102a搬出。
218.如图17的(b)所示，容器102例如构成为能够收纳大小不同的两种被加工物单元17a等和被加工物单元17b等。在容器102的收纳部102a设置有能够对被加工物单元17a等进行保持的一对第1导轨106以及能够对被加工物单元17b等进行保持的一对第2导轨108。
219.一对第1导轨106按照规定的间隔固定于收纳部102a的上壁102c，一对第1导轨106具有：从下侧对被加工物单元17a等的下表面侧进行保持的保持面106a；以及对被加工物单
元17a等的水平方向的位置进行限定的侧面106b。另外，一对第2导轨108按照规定的间隔固定于收纳部102a的底壁102d，一对第2导轨108具有从下侧对被加工物单元17b等的下表面侧进行保持的保持面108a。另外，被加工物单元17b等的水平方向的位置通过容器102的内侧的侧面进行限定。
220.一对第1导轨106之间的间隔比一对第2导轨108之间的间隔窄。因此，一对第1导轨106能够保持比第2导轨108所保持的被加工物单元17b等小的被加工物单元17a等。例如通过一对第1导轨106对直径约为200mm(8英寸)的被加工物11进行保持，通过一对第2导轨108对直径约为300mm(12英寸)的被加工物11进行保持。
221.如上所述，容器102未按照能够收纳相同种类(相同大小)的多个被加工物单元17等的方式构成。在这点上，容器102的功能和用途与能够收纳相同种类的多个被加工物单元17等的盒30的功能和用途显著不同。
222.不过，对于容器102、收纳部102a的构造没有限制。例如收纳部102a有时构成为能够收纳一个或三个以上的被加工物单元17等。另外，收纳部102a也可以构成为能够收纳相同种类的多个被加工物单元17等。
223.在通过搬送车10搬送被加工物单元17或托盘33时，如图15的(a)所示，将容器102储存于储存区域104。此时，容器102的下表面定位于比车轮86的下端或车轮88的下端靠上方的位置。因此，在搬送车10的行驶中，容器102不会与搬送路6接触。
224.在位于储存区域104的上方的车辆框架82的上表面侧的区域设置有悬吊容器102而使其升降的升降单元(升降机构)110。升降单元110使储存于储存区域104的容器102下降而载置于规定的载置区域。另外，升降单元110使载置于规定的载置区域的容器102上升而将容器102储存于储存区域104。
225.图18是示出容器102载置于载置区域a的状态的搬送车10的立体图。升降单元110具有：悬吊部件112，其一端侧(下端侧)与容器102连接；以及驱动机构114，其进行悬吊部件112的卷绕和送出。另外，载置区域a例如是装载机/卸载机8的载置台66的上表面(第2载置区域a2、参照图9)。
226.如图18所示，升降单元110具有四条悬吊部件112。作为悬吊部件112，例如使用具有规定的宽度的带。四条悬吊部件112的前端部(下端部)分别与容器102的上表面侧的四个位置连接。
227.当在容器102储存于储存区域104的状态下通过驱动机构114将悬吊部件112送出时，容器102下降而载置于载置区域a。另外，当在容器102载置于载置区域a的状态下通过驱动机构114对悬吊部件112进行卷绕时，容器102上升而储存于储存区域104。
228.在使用带作为悬吊部件112的情况下，如图18所示，优选按照带的宽度方向沿着从收纳部102a搬出被加工物单元17等时被加工物单元17等通过开口102b的朝向的方式预先调整带相对于容器102的朝向。容器102不容易在带的宽度方向上摇动，因此在该方式中，将在容器102的升降中被加工物单元17等从开口102b飞出的可能性抑制得较低。
229.另外，带相对于容器102的朝向可以调整为带的宽度方向沿着对收纳部102a搬入被加工物单元17等时被加工物单元17等通过开口102b的朝向。在本实施方式中，按照使带的宽度方向沿着与包含容器102的开口102b的面垂直的方向而配置的方式将带和容器102连接。另外，作为悬吊部件112，也可以使用能够进行卷绕和送出的钢丝绳等除了带以外的
部件。
230.如图15的(b)所示，在车辆框架82的下表面侧设置有与容器102的上表面侧接触的多个接触部件116。多个接触部件116分别形成为大致相同的高度的柱状，按照从车辆框架82的下表面向下方突出的方式固定于车辆框架82。当容器102储存于储存区域104时，该容器102的上表面侧与多个接触部件116的下端部接触而将各接触部件116向上推。
231.接触部件116例如由被容器102推抵时发生弹性变形的弹性部件形成。即，接触部件116由如下的弹性体构成，该弹性体在被储存于储存区域104的容器102推抵时，沿着该容器102的上表面侧的形状发生变形，并产生将容器102朝向下方推的复原力。
232.当接触部件116使用弹性部件时，例如容器102与接触部件116接触时的冲击得到缓和，容器102或容器102内的被加工物单元17等不容易破损。另外，在搬送车10在搬送路6上行驶时，接触部件116也作为缓冲部件，从而车辆框架82的振动不容易传递至容器102或被加工物单元17等。
233.作为接触部件116，例如可以使用由橡胶(聚氨酯橡胶、有机硅橡胶等)、海绵等制成的柱状的部件。特别是通过使用由作用于与容器102之间的摩擦力较大的橡胶构成的接触部件116，能够抑制搬送中的容器102的位置偏移。另外，接触部件116未必需要整体由弹性部件构成，至少接触部件116的与容器102接触的区域(下端部)由弹性部件构成即可。
234.另外，优选接触部件116在三个以上的位置与容器102的上表面侧接触。在本实施方式中，如图15的(b)所示，在车辆框架82设置有三个柱状的接触部件116。在该情况下，容器102的上表面沿着包含三个接触部件116的下端的平面而配置，因此容器102不容易倾斜。不过，接触部件116的形状、数量、配置等条件可以任意地变更。例如可以在车辆框架82上设置相互大致平行地配置的一对线状(带状)的接触部件116。
235.另外，为了车辆框架82的振动不容易传递至容器102，容器102可以借助弹性部件而与悬吊部件112连接。图19是示出容器102借助弹性部件(伸缩部件)118而与悬吊部件112连接的搬送车10的立体图。另外，在该情况下，可以省略接触部件116。
236.在悬吊部件112的前端侧(下端侧)与容器102之间设置有弹性部件118。弹性部件118是在悬吊部件112产生摇动时沿着悬吊部件112的长度方向进行伸缩的部件，例如是橡胶、弹簧等能够伸缩的弹性体。另外，作为弹性部件118，也可以使用伸缩接头等能够伸缩的部件。
237.在将容器102储存于储存区域104时，按照容器102的上表面侧不与车辆框架82或接触部件116接触的方式调整悬吊部件112的卷绕量。由此，例如即使车辆框架82发生振动，该振动也不会直接地传递至容器102。另外，从车辆框架82经由升降单元110和悬吊部件112而传递的振动通过弹性部件118的伸缩而得到缓和，因此不容易传递至容器102。这样，弹性部件118作为防震部件发挥功能。
238.不过，在车辆框架82的下表面侧设置有接触部件116的情况下，可以调整悬吊部件112的卷绕量，以便将容器102在与接触部件116接触的状态下储存于储存区域104。在该情况下，通过接触部件116而缓和从车辆框架82向容器102的振动的传递，并且通过弹性部件118而缓和从悬吊部件112向容器102的振动的传递。
239.在车辆框架82的后端部的下侧设置有罩120。罩120在容器102被储存于储存区域104时将容器102的开口102b(参照图17的(a))覆盖。当通过罩120覆盖开口102b时，能够防
止在搬送车10的行驶中异物进入至容器102的收纳部102a，能够防止异物附着于被加工物单元17等。
240.另外，即使在搬送车10的行驶中容器102发生倾斜或振动，也通过罩120防止被加工物单元17等从开口102b飞出。另外，在后文对罩120的构造和动作的详细情况进行叙述(参照图23、图24的(a)、图24的(b))。
241.在车辆框架82的前端部和后端部设置有一对第1传感器122。即，一对第1传感器122设置于车辆框架82的在长度方向(车长方向)上分开的两个位置。另外，在车辆框架82的两侧端部设置有一对第2传感器124。即，一对第2传感器124配置于车辆框架82的在宽度方向(车宽方向)上分开的两个位置。
242.第1传感器122和第2传感器124分别按照与搬送车10所行驶的搬送路6对置的方式进行安装，对设置于搬送路6的标记进行检测。根据第1传感器122和第2传感器124对标记的检测结果，控制搬送车10的行驶、转向、停车等。在后文对使用了第1传感器122和第2传感器124的搬送车10的控制的详细情况进行叙述。
243.设置第1传感器122和第2传感器124的具体的位置根据搬送车10所行驶的搬送路6的规格等而进行调整。例如一对第1传感器122分别安装于车辆框架82的前端部和后端部中的车辆框架82的宽度方向的中央附近。另外，一对第2传感器124分别安装于车辆框架82的两侧端部中的车辆框架82的长度方向的中央附近。
244.另外，一对第2传感器124可以按照在通过一对车轮86的直线上并列的方式固定于车辆框架82。例如一对第2传感器124按照在车辆框架82的宽度方向上夹持一对车轮86的方式设置于一对车轮86的外侧。另外，一对第2传感器124可以按照在车辆框架82的宽度方向上被一对车轮86夹持的方式设置于一对车轮86的内侧。
245.这样，在通过一对车轮86的直线上配置一对第2传感器124，从而一对第2传感器124能够与车轮86通过作为检测的对象的标记同时地通过一对第2传感器124对该标记进行检测。因此，若在检测到该标记的时机使搬送车10转向或停车，则能够不进行任何校正而适当地控制搬送车10的行驶。
246.另一方面，在一对第2传感器124与通过一对车轮86的直线分离的情况下，除了使用检测到标记的时机以外，还可以使用一对第2传感器124与一对车轮86(一对车轴84)之间的距离、搬送车10行驶的速度等来控制搬送车10的转向及停车的时机。
247.另外，如图16所示，在车辆框架82的前端部设置有对搬送车10与障碍物碰撞进行检测的第3传感器126。例如在车辆框架82的前端部的两端侧安装有一对第3传感器126。作为第3传感器126，例如使用按钮式的开关。
248.当搬送车10的前端部与障碍物碰撞时，第3传感器126进行动作而检测到搬送车10的碰撞。并且，当通过第3传感器126检测到搬送车10的碰撞时，搬送车10停止动作。另外，只要能够检测到搬送车10的碰撞，则对于第3传感器126的构造或种类没有限制。
249.有时搬送车10通过例如能够减弱由于碰撞等所导致的冲击的柔软的外装罩覆盖。在该情况下，当覆盖搬送车10的前端侧的外装罩与障碍物碰撞时，外装罩发生变形而与第3传感器126接触，从而检测到搬送车10的碰撞。
250.如图15的(a)和图15的(b)所示，在升降单元110的上侧设置有固定于车辆框架82的板状的支承台128。在该支承台128的上表面上固定有对搬送车10的动作进行控制的控制
部(控制单元)130。控制部130与搬送车10的各构成要素(驱动单元90、升降单元110、第1传感器122、第2传感器124、第3传感器126等)连接，对各构成要素的动作进行控制。
251.控制部130例如由计算机构成，其包含cpu(central processing unit，中央处理器)等处理装置、dram(dynamic random access memory，动态随机存取存储器)等主存储装置以及闪存等辅助存储装置。按照存储于辅助存储装置的软件使处理装置等进行动作，从而实现控制部130的功能。
252.另外，在支承台128上固定有接收机132和发送机134，该接收机132接收来自外部的信号(信息)并发送至控制部130，该发送机134将从控制部130接收的信号(信息)发送至外部。接收机132和发送机134分别与控制部130连接。
253.接收机132例如接收从搬送系统2的控制单元12发送的信号而发送至控制部130。控制部130例如根据从接收机132接收的信号而对搬送车10的动作进行控制。另外，控制部130例如生成通知用的信号而发送至发送机134。发送机134例如将从控制部130接收的信号发送至搬送系统2的控制单元12(参照图8)。
254.另外，搬送车10的各构成要素(升降单元110、第1传感器122、第2传感器124、第3传感器126、控制部130、接收机132、发送机134等)借助供电用的布线而与电池96连接，通过从该电池96提供的电力而进行动作。
255.图20的(a)是示出升降单元110的结构例的俯视图，图20的(b)是示出升降单元110的结构例的侧视图。如上所述，升降单元110具有进行多个悬吊部件112的卷绕和送出的驱动机构114。驱动机构114包含具有旋转轴(输出轴)142a的电动机142。
256.电动机142使旋转轴142a旋转，从而生成用于悬吊部件112的卷绕和送出的动力。在将该电动机142夹持在之间的两个位置设置有相互大致平行地配置的第1旋转轴(第1轴)144a和第2旋转轴(第2轴)144b。
257.在第1旋转轴144a的一端侧设置有带轮146。在电动机142的旋转轴142a和带轮146上架设有带、链条等环形的连结部件148。通过电动机142的旋转轴142a、带轮146以及连结部件148而构成动力传递机构，将电动机142和第1旋转轴144a连结。另一方面，在第2旋转轴144b的一端侧未设置实现与电动机142的连结的带轮等。
258.在第1旋转轴144a的另一端侧设置有带轮150a，在第2旋转轴144b的另一端侧设置有与带轮150a相同直径的带轮150b。在带轮150a和带轮150b上架设有带、链条等环形的连结部件152。通过带轮150a、带轮150b以及连结部件152而构成动力传递机构，将第1旋转轴144a和第2旋转轴144b连结。
259.在第1旋转轴144a的两端部，分别固定有卷绕悬吊部件112的圆柱状的卷盘154a。另外，在比各卷盘154a靠外侧(与电动机142相反的一侧)且比各卷盘154a靠下方的两个位置分别以能够旋转的方式配置有对悬吊部件112进行支承的圆柱状的辊156a。各辊156a的旋转轴与第1旋转轴144a大致平行。
260.另一方面，在第2旋转轴144b的两端部，分别固定有卷绕悬吊部件112的圆柱状的卷盘154b。另外，在比各卷盘154b靠外侧(与电动机142相反的一侧)且比各卷盘154b靠下方的两个位置分别以能够旋转的方式配置有对悬吊部件112进行支承的圆柱状的辊156b。各辊156b的旋转轴与第2旋转轴144b大致平行。
261.在卷盘154a和卷盘154b上分别固定有悬吊部件112的基端侧。固定于卷盘154a的
悬吊部件112在与辊156a的外侧的部分接触的状态下向下方垂下。另外，固定于卷盘154b的悬吊部件112在与辊156b的外侧的部分接触的状态下向下方垂下。
262.另外，如图20的(b)所示，固定于卷盘154a的悬吊部件112在卷盘154a的上侧通过而支承于辊156a。另一方面，固定于卷盘154b的悬吊部件112在卷盘154b的下侧通过而支承于辊156b。
263.当使电动机142的旋转轴142a向第1方向(图20的(b)中箭头c1所示的方向)旋转时，固定于第1旋转轴144a的卷盘154a向将悬吊部件112送出的方向(图20的(b)中箭头c2所示的方向)旋转。由此，悬吊部件112从卷盘154a借助辊156a而送出。
264.另外，第1旋转轴144a的扭矩通过连结部件152而传递至第2旋转轴144b，固定于第2旋转轴144b的卷盘154b向将悬吊部件112送出的方向(图14的(b)中箭头c3所示的方向)旋转。由此，悬吊部件112从卷盘154b借助辊156b而送出。
265.另一方面，当使电动机142的旋转轴142a向与第1方向相反的方向的第2方向(图20的(b)中箭头d1所示的方向)旋转时，固定于第1旋转轴144a的卷盘154a向将悬吊部件112卷绕的方向(图20的(b)中箭头d2所示的方向)旋转。由此，悬吊部件112借助辊156a而卷绕至卷盘154a。
266.另外，第1旋转轴144a的扭矩通过连结部件152而传递至第2旋转轴144b，固定于第2旋转轴144b的卷盘154b向将悬吊部件112卷绕的方向(图20的(b)中箭头d3所示的方向)旋转。由此，悬吊部件112借助辊156b而卷绕至卷盘154b。
267.当从驱动机构114送出各悬吊部件112时，与悬吊部件112的前端侧连接的容器102下降。由此，能够将容器102载置于载置区域a(参照图18)。另外，当通过驱动机构114将各悬吊部件112卷绕时，与悬吊部件112的前端侧连接的容器102上升。由此，能够将容器102储存于搬送车10的储存区域104(参照15的(a))。
268.另外，也可以使用搭载有构造与上述驱动机构114不同的其他驱动机构的升降单元110。图21的(a)是示出升降单元110的其他结构例的俯视图，图21的(b)是示出升降单元110的其他结构例的侧视图。在图21的(a)和图21的(b)所示的升降单元110上代替上述驱动机构114而搭载有驱动机构162。
269.驱动机构162包含具有旋转轴(输出轴)164a的电动机164以及相互大致平行地配置的第1旋转轴(第1轴)166a、第2旋转轴(第2轴)166b以及第3旋转轴(第3轴)166c。第1旋转轴166a配置于第2旋转轴166b与第3旋转轴166c之间。
270.电动机164例如配置于第1旋转轴166a与第2旋转轴166b之间，使旋转轴164a旋转，从而生成用于悬吊部件112的卷绕和送出的动力。不过，电动机164也可以配置于第1旋转轴166a与第3旋转轴166c之间。
271.在第1旋转轴166a的一端侧设置有带轮168。在电动机164的旋转轴164a和带轮168上架设有带、链条等环形的连结部件170。通过电动机164的旋转轴164a、带轮168以及连结部件170而构成动力传递机构，将电动机164和第1旋转轴166a连结。
272.在第1旋转轴166a固定有卷绕悬吊部件112的多个圆柱状的卷盘172。具体而言，在第1旋转轴166a的两端部固定有一对卷盘172。在各卷盘172固定有两条悬吊部件112，向相同的朝向卷绕。
273.图22的(a)是示出卷盘172的俯视图，图22的(b)是示出卷盘172的侧视图。升降单
元110具有用于将悬吊部件112固定于卷盘172的圆柱状的固定部件174，两条悬吊部件112通过该固定部件174而汇总固定于卷盘172。
274.如图22的(b)所示，在卷盘172的外周部的一部分设置有沿着卷盘172的旋转轴(即第1旋转轴166a)的槽(凹部)172a。槽172a的内表面形成为曲面状。另外，槽172a的两端到达卷盘172的旋转轴方向的两端。两条悬吊部件112按照基端部与该槽172a重叠的方式配置成相同朝向。
275.固定部件174具有与槽172a的内表面的形状对应的曲面状的外周面。固定部件174在按照两条悬吊部件112的基端部与槽172a重叠的方式进行配置的状态下嵌入至槽172a，以便将该两条悬吊部件112的基端部朝向槽172a的内表面按压。由此，两条悬吊部件112的基端部被槽172a的内表面与固定部件174的外周面夹持而固定于卷盘172。
276.另外，如图22的(a)所示，在卷盘172的外周部按照将固定于卷盘172的两条悬吊部件112在其宽度方向上夹持的方式设置有一对突起(凸部)172b。一对突起172b作为防止悬吊部件112的宽度方向的位置的偏移的引导件发挥功能。通过使这样构成的卷盘172旋转，能够将两条悬吊部件112卷绕、或将两条悬吊部件112送出。
277.如图21的(a)和图21的(b)所示，固定于卷盘172的两条悬吊部件112中的一方在与第2旋转轴166b接触的状态下向下方垂下。另外，固定于卷盘172的两条悬吊部件112中的另一方在与第3旋转轴166c接触的状态下向下方垂下。
278.第2旋转轴166b和第3旋转轴166c分别按照能够随着从外部赋予的力而容易地旋转的状态被支承，外周面与悬吊部件112接触。在第2旋转轴166b和第3旋转轴166c的与悬吊部件112接触的区域的两侧设置有防止悬吊部件112的宽度方向的位置的偏移的一对引导件176。
279.当使电动机164的旋转轴164a向第1方向(图21的(b)中箭头e1所示的方向)旋转时，卷盘172向将悬吊部件112送出的方向(图21的(b)和图22的(b)中箭头e2所示的方向)旋转。由此，将两条悬吊部件112从卷盘172借助第2旋转轴166b和第3旋转轴166c而送出，其结果是，与悬吊部件112连接的容器102下降。
280.另一方面，当使电动机164的旋转轴164a向与第1方向相反的方向的第2方向(图21的(b)中箭头f1所示的方向)旋转时，卷盘172向将悬吊部件112卷绕的方向(图21的(b)和图22的(b)中箭头f2所示的方向)旋转。由此，两条悬吊部件112借助第2旋转轴166b和第3旋转轴166c而卷绕至卷盘172，其结果是，与悬吊部件112连接的容器102上升。
281.如上所述，图21的(a)所示的驱动机构162在第1旋转轴166a上固定有两个卷盘172，并且在两个卷盘172上分别固定有两条悬吊部件112。因此，四条悬吊部件112的送出和卷绕通过第1旋转轴166a的旋转而进行控制。由此，能够减少构成驱动机构114的部件的数量，从而实现搬送车10的轻量化、降低故障的可能性、削减成本。
282.通过使用上述那样的升降单元110，能够使收纳被加工物单元17或托盘33的容器102在储存区域104与比该储存区域104靠下方的载置区域a之间进行升降。升降单元110的细节可以在能够使容器102适当地升降的范围内进行变更。
283.另外，第2旋转轴166b和第3旋转轴166c可以按照不旋转的状态进行固定。在该情况下，悬吊部件112一边按照在第2旋转轴166b或第3旋转轴166c的外周面上滑动的方式移动，一边从卷盘172送出、或卷绕至卷盘172。
284.图23是示出罩120的放大立体图。罩120按照与储存于储存区域104的容器102的一个侧面(后部)对置的方式配置于车辆框架82的下表面侧的后端部。该罩120包含按照能够相对于车辆框架82旋转的方式与车辆框架82连结的盖部182。盖部182形成为能够覆盖容器102的开口102b(参照图24的(b))的形状和大小。另外，在盖部182的上部按照与容器102的上表面侧接触的方式固定有多个接触部184。
285.当容器102朝向储存区域104上升时，容器102的上表面侧与接触部184的下端部接触而将接触部184向上推。由此，盖部182向靠近容器102的方向移动(旋转)，通过盖部182覆盖容器102的开口102b。
286.图24的(a)是示出在储存区域104未储存容器102的状态的罩120的侧视图，图24的(b)是示出在储存区域104中储存有容器102的状态的罩120的侧视图。在车辆框架82的下表面上固定有固定块186。在固定块186上以能够旋转的方式连结有从车辆框架82的宽度方向(车宽方向)观察的形状为l字状的连结块(l字块)188。
287.连结块188包含上方(车辆框架82侧)的连结部188a和比连结部188a靠下方的固定部188b。在连结部188a上设置有沿车辆框架82的宽度方向贯通的贯通孔，在该贯通孔中插入固定于固定块186的连结轴190。由此，连结块188在能够绕连结轴190旋转的状态下与固定块186连结。
288.在固定部188b的储存区域104侧(前侧)固定有盖部182。另外，插入至贯通孔的连结轴190与车辆框架82的宽度方向大致平行，因此盖部182与连结块188一起沿着与车辆框架82的宽度方向大致垂直的面旋转。
289.盖部182具有固定于连结块188的固定部188b的板状部件182a。在板状部件182a的储存区域104侧(前侧)的面上设置有柔软部件182b。柔软部件182b形成为能够覆盖容器102的整个开口102b的形状和大小。
290.另外，在板状部件182a的储存区域104侧(前侧)配置有接触部184。接触部184例如包含：固定部件184a，其在比柔软部件182b靠上方的位置固定于板状部件182a；以及辊184b，其支承于固定部件184a的储存区域104侧(前侧)的部分。
291.辊184b例如由橡胶等弹性部件形成，按照能够绕与车辆框架82的宽度方向大致平行的旋转轴旋转的方式支承于固定部件184a。另外，辊184b的下端定位于比固定部件184a的下端靠下方的位置。因此，在容器102的上表面侧与辊184b接触的状态下，根据盖部182的旋转，该辊184b也进行旋转。
292.例如当容器102朝向储存区域104上升时，容器102的上表面侧与接触部184的辊184b接触，将该接触部184向上推。于是，罩120的下端侧以连结轴190为中心而向靠近容器102的方向(图24的(b)中箭头g所示的方向)旋转，板状部件182a的储存区域104侧(前侧)的面与车辆框架82的下表面大致平行。并且，盖部182的柔软部件182b与容器102的一个侧面(后部)接触而将开口102b封住。
293.另外，在储存于储存区域104的容器102的开口102b露出的状态的情况下，尘埃等异物有可能进入至容器102的收纳部102a。特别是在搬送车10的行驶中，由于搬送路6与车轮88的摩擦而产生的静电，例如在设置搬送路6的洁净室内极少存在的异物被搬送车10吸引而进入至收纳部102a的可能性高。
294.因此，在本实施方式中，当在储存区域104储存有容器102时，通过罩120覆盖容器
102的开口102b，从而异物不会在搬送车10的行驶中进入至容器102的收纳部102a。另外，即使在搬送车10的行驶中容器102发生倾斜或振动，被加工物单元17或托盘33也不会从容器102飞出。
295.另一方面，在通过升降单元110使容器102升降的期间，不会因搬送路6与车轮88的摩擦而产生静电，并且也不会因搬送车10的移动而将异物卷起。因此，即使在容器102的升降中未覆盖容器102的开口102b，异物进入至收纳部102a的可能性也低。
296.另外，在罩120的与开口102b对应的区域设置有柔软部件182b。柔软部件182b例如在与收纳于容器102的被加工物单元17等碰撞时发生变形，从而将作用于该被加工物单元17等的冲击缓和。即，柔软部件182b作为缓冲部件发挥功能。通过该柔软部件182b，被加工物单元17所包含的被加工物11等不容易破损。
297.对于柔软部件182b的材质或构造等没有限制。例如可以使用能够将冲击缓和至被加工物单元17的被加工物11等不破损的程度的柔软部件182b。更具体而言，作为柔软部件182b，可以使用由海绵、橡胶、棉、布等构成的部件、发泡苯乙烯、气泡缓冲材料等。
298.特别是海绵柔软且容易变形，因此当使用海绵作为柔软部件182b时，能够有效地缓和作用于被加工物单元17等的冲击。另外，当使用海绵作为柔软部件182b时，柔软部件182b沿着容器102的侧面的形状适当地变形而可靠地封住开口102b。
299.调整罩120的各部分的重量，以便在如图24的(a)所示那样使容器102从储存区域104下降时，罩120通过自重而使下端部向远离储存区域104的方向(与图24的(b)中箭头g所示的方向相反的方向)旋转。由此，在储存区域104中未储存容器102的状态下，板状部件182a的储存区域104侧(前侧)的面相对于车辆框架82的下表面倾斜。
300.另外，对于罩120的数量和配置没有限制。例如除了车辆框架82的后端部以外，还可以在车辆框架82的前端部设置与容器102的侧面接触的罩120。在该情况下，当在储存区域104中储存有容器102时，容器102的两个侧面(前部和后部)被一对罩120夹持。由此，抑制容器102的摇动(振动)。另外，在该情况下，特别容易抑制车辆框架82的长度方向(前后方向)的容器102的摇动(振动)。
301.另外，也可以在车辆框架82的前端部、后端部以及两侧端部分别设置罩120。在该情况下，储存于储存区域104的容器102的四个侧面(前部、后部、两侧部)分别与罩120接触。由此，抑制容器102的摇动(振动)。另外，在该情况下，特别容易抑制车辆框架82的长度方向(前后方向)和宽度方向的容器102的摇动(振动)。
302.在容器102的升降时，升降单元110的电动机142等的旋转通过控制部130进行控制。图25的(a)是示出将储存于储存区域104的容器102载置于载置区域a时的搬送车10的侧视图。在将容器102载置于载置区域a时，按照从驱动机构114以任意的速度送出悬吊部件112的方式控制电动机142的旋转方向和转速。例如控制部130按照维持电动机142的转速的方式控制电动机142的电流值。
303.图25的(b)是示出容器102下降时的电动机142的电流值的曲线图。当容器102下降而到达载置区域a时，容器102在载置区域a从下侧被支承。其结果是，作用于电动机142的旋转轴142a的负荷减弱，电动机142的电流值减少。
304.控制部130根据将容器102载置于载置区域a时的电动机142的电流值的变化而使电动机142的旋转停止。例如在控制部130中预先存储有规定的阈值，控制部130对该阈值和
电动机142的电流值进行比较。并且，在电动机142的电流值为阈值以下的情况下(或小于阈值的情况下)，控制部130使电动机142的旋转停止。由此，完成容器102向载置区域a的载置。
305.图26的(a)是示出将载置于载置区域a的容器102储存于储存区域104时的搬送车10的侧视图。在将容器102储存于储存区域104时，按照通过驱动机构114以任意的速度卷绕悬吊部件112的方式控制电动机142的旋转方向和转速。例如控制部130按照维持电动机142的转速的方式控制电动机142的电流值。
306.图26的(b)是示出容器102上升时的电动机142的电流值的曲线图。当容器102上升而到达储存区域104时，容器102被推抵至设置于车辆框架82的下表面侧的多个接触部件116。其结果是，作用于电动机142的旋转轴142a的负荷增强，电动机142的电流值增加。
307.控制部130根据容器102与接触部件116接触时的电动机142的电流值的变化而使电动机142的旋转停止。例如在控制部130中预先存储有规定的阈值，控制部130对该阈值与电动机142的电流值进行比较。并且，在电动机142的电流值为阈值以上的情况下(或超过阈值的情况下)，控制部130使电动机142的旋转停止。由此，完成容器102向储存区域104的储存。
308.如上所述，在根据电动机142的电流值而控制使容器102升降时的电动机142的动作的情况下，无需在储存区域104或载置区域a设置用于检测容器102的传感器。由此，搬送车10或载置区域a等的构造简略化。另外，搬送车10的重量也降低。
309.不过，对于电动机142的控制方法没有限制。例如也可以在车辆框架82的下表面侧或载置区域a的上表面侧设置有对配置有容器102的情况进行检测的传感器(按钮式的开关等)。在该情况下，当通过传感器检测到容器102时，控制部130使电动机142的旋转停止。另外，也可以合用基于传感器的检测和基于电动机142的电流值的检测。
310.另外，当仅在载置区域a侧(例如装载机/卸载机8侧)检测到在载置区域a载置有容器102的情况下，搬送系统2的控制单元12(参照图8)在从载置区域a侧被通知了容器102载置于载置区域a之后，按照使电动机142的旋转停止的方式向搬送车10发出指示。并且，搬送车10的控制部130使电动机142的旋转停止。
311.与此相对，当在搬送车10侧检测到如上述那样在载置区域a载置有容器102的情况下，搬送车10的控制部130不等待来自搬送系统2的控制单元12的指示而凭借自身的判断使电动机142的旋转停止。由此，能够减小容器102载置于载置区域a之后到使电动机142的旋转停止为止的时间间隔。
312.另外，容器102的升降速度未必恒定。例如可以在即将将容器102载置于载置区域a之前或储存于储存区域104之前使电动机142的转速降低而使容器102减速。由此，能够缓和容器102与载置区域a或接触部件116接触时的冲击。另外，在该情况下，控制部130例如根据电动机142的旋转量等而监视容器102的高度即可。
313.当将容器102载置于载置区域a时，控制部130生成用于通知已完成容器102的载置的意思的信号，并从发送机134发送至搬送系统2的控制单元12。另外，当将容器102储存于储存区域104时，控制部130生成用于通知已完成容器102的储存的意思的信号，并从发送机134发送至搬送系统2的控制单元12(参照图8)。另外，也可以将这些信号发送至加工装置4。
314.本实施方式的搬送系统2与加工装置4联动而进行动作。例如搬送车10在搬送路6上的停车区域停车，将收纳有被加工物单元17等的容器102载置于加工装置4的升降台204
的上表面(载置区域a)。当将容器102载置于升降台204时，搬送车10的控制部130生成用于通知该意思的信号并发送至发送机134。该信号从发送机134发送至搬送系统2的控制单元12。
315.控制单元12根据从搬送车10的发送机134发送的信号而生成用于对加工装置4指示从容器102搬出加工前的被加工物单元17等且将加工后的被加工物单元17等搬入至容器102的意思的信号。当加工装置4的接收机248接收到来自控制单元12的信号且控制装置246接收到基于该信号的指示时，控制装置246将加工前的被加工物单元17等从载置于升降台204的上表面(载置区域a)的容器102搬出至第1保持单元220。由此，将被加工物单元17等拉出至一对导轨212上。
316.例如当开始被加工物11的加工时，控制装置246对升降台204的高度进行调整，将加工后的被加工物单元17等从设置于载置区域a的下方的收纳区域拉出至一对导轨212上。并且，将一对导轨212上的加工后的被加工物单元17等收纳于升降台204上的容器102。
317.当将加工后的被加工物单元17等收纳于容器102时，加工装置4的控制装置246生成用于通知该意思的信号并从发送机250发送至搬送系统2的控制单元12。控制单元12根据从加工装置4的发送机250发送的信号而生成用于对搬送车10指示前往下一目的地的意思的信号。
318.当搬送车10的接收机132接收来自控制单元12的信号且控制部130接收基于该信号的指示时，控制部130使搬送车10朝向下一目的地行驶。这样通过利用搬送系统2，加工装置4能够适时地接受加工前的被加工物单元17等，并且能够适时地回收加工后的被加工物单元17等。
319.如图2及图7等所示，构成搬送系统2的搬送路6设置于各加工装置4所分别具有的罩244的顶棚244a的上表面侧、装载机/卸载机8所具有的壳体22的顶棚22a的上表面侧等。即，搬送路6按照将多个加工装置4、装载机/卸载机8等之间连接的方式配置于加工装置4、装载机/卸载机8等的正上方。
320.因此，搬送路6不会与设置于加工装置4的侧面的配管连接部202c、门244b等构造发生干涉。即，在设计搬送路6时，无需考虑加工装置4的侧面的构造。由此，能够容易地构建搬送系统2。另外，在比工厂的顶棚等低的位置配置搬送路6，因此搬送路6的设置所涉及的作业也变得容易。
321.并且，例如当在已经设置有多个加工装置4等的环境中构建搬送路6的情况下，无需像在工厂的顶棚等上设置搬送路的情况那样使加工装置4等移动而确保作业空间。另外，已经设置的加工装置4等成为搬送路6的台基，因此与新设置台基的情况等相比，作业的工时也变少。
322.图27是示出设置于加工装置4的搬送路6的一部分的立体图。另外，设置于装载机/卸载机8的上方的搬送路6的构造等与设置于加工装置4的上方的搬送路6的构造等大致相同。在多个加工装置4的顶棚244a、装载机/卸载机8的顶棚22a等上，通过螺钉、螺栓等固定有下层框架262。
323.下层框架262例如是由包含铝等金属的材料形成的棒状的框架部件的复合体，例如组装成将相邻的加工装置4、装载机/卸载机8之间连结的形状。将该下层框架262固定于各加工装置4的顶棚244a、装载机/卸载机8的顶棚22a等上，从而形成搬送路6的台基。
324.另外，在将下层框架262固定于各加工装置4、装载机/卸载机8等时，按照下层框架262的上表面大致水平并且下层框架262的上表面的高度大致相等的方式调整下层框架262相对于各加工装置4、装载机/卸载机8等的高度。
325.由此，即使在各加工装置4的顶棚244a、装载机/卸载机8的顶棚22a等的高度并不完全相等的情况下，也能够水平地且按照相同高度形成搬送路6。对于调整下层框架262相对于加工装置4、装载机/卸载机8等的高度的方法没有限制，例如可以使用在各加工装置4的顶棚244a、装载机/卸载机8的顶棚22a等与下层框架262的下表面之间配置高度调整用的部件的方法。
326.当然也可以对加工装置4、装载机/卸载机8的高度进行调整。例如在加工装置4、装载机/卸载机8的下端部(腿部)设置有高度调整用的调整机构。由此，若使用该调整机构对加工装置4、装载机/卸载机8的高度进行调整并使各加工装置4的顶棚244a、装载机/卸载机8的顶棚22a等的高度相等，则能够实现适合搬送路6的台基的下层框架262。
327.在下层框架262的上表面侧通过螺钉、螺栓等固定有上层框架264。上层框架264例如是由包含铝等金属的材料构成的棒状的框架部件的复合体，按照能够适当地固定搬送路6的方式组装成与搬送路6的配置等相符的形状。
328.在上层框架264的上方设置有搬送路6。搬送路6例如通过在水平的方向上排列平板状的多个路面面板266而形成。这样，组合多个路面面板266而形成搬送路6，从而容易实现与多个加工装置4、装载机/卸载机8的配置等对应的各种搬送路6。
329.路面面板266例如使用聚酰胺、聚碳酸酯、cfrp(carbon fiber reinforced plastic：碳纤维强化塑料)等轻量且强度高的材料而形成为俯视矩形状，路面面板266具有适合搬送车10的行驶的平坦的上表面。另外，在路面面板266的端部形成有上下贯通该路面面板266的贯通孔。
330.另一方面，在上层框架264的上表面侧，在与路面面板266的贯通孔对应的位置开口有具有与螺钉268的直径对应的直径的螺纹孔(未图示)。由此，若在将路面面板266配置于上层框架264的上表面侧之后通过该贯通孔(未图示)而将螺钉268拧入至上层框架264的螺纹孔，则能够将路面面板266固定于上层框架264。
331.下层框架262例如通过将分别包含多个棒状的框架部件的多个下层框架单元270组合而形成。同样地，上层框架264例如通过将分别包含多个棒状的框架部件的多个上层框架单元272组合而形成。
332.在这样使用多个下层框架单元270形成下层框架262且使用多个上层框架单元272形成上层框架264的情况下，对设置有加工装置4的工厂等以下层框架单元270和上层框架单元272的方式运进框架部件。
333.即，使用在稳定的环境下生产的高品质的下层框架单元270和上层框架单元272，形成高品质的下层框架262和上层框架264。另外，也不产生将棒状的框架部件在加工装置4的上方连结的情况那样繁杂的作业。由此，能够在短期间内形成高品质的搬送路6。
334.图28的(a)是示出构成下层框架262的下层框架单元270a的立体图，图28的(b)是示出构成下层框架262的下层框架单元270b的立体图。下层框架单元270a和下层框架单元270b例如根据搬送路6的样式而选择性地使用。
335.图29是示出构成下层框架262的下层框架单元270的配置的俯视图。在图29中，示
出形成能够在共计8台装置(加工装置4、装载机/卸载机8等)之间搬送被加工物单元17或托盘33的搬送路6的情况。例如在搬送路6的与除了角部以外的部分对应的区域(搬送路6的直线状的区域)使用下层框架单元270a，在搬送路6的与角部对应的区域使用下层框架单元270b。
336.另外，在图29的下层框架262中一并使用了使下层框架单元270a翻转的构造的下层框架单元270c以及使下层框架单元270b翻转的构造的下层框架单元270d。即，在图29的下层框架262中，四种下层框架单元270分别各使用两个。各下层框架单元270按照棒状的框架部件不与形成于搬送路6的开口282(参照图32、相当于图9的开口6a)重叠的方式构成。
337.在形成下层框架262时，例如可以在将下层框架单元270固定于加工装置4、装载机/卸载机8等之后，将相邻的下层框架单元270相互连结。相邻的下层框架单元270的连结例如使用接头。不过，也可以在将下层框架单元270连结之后固定于加工装置4、装载机/卸载机8等。
338.图30的(a)是示出构成上层框架264的上层框架单元272a的立体图，图30的(b)是示出构成上层框架264的上层框架单元272b的立体图。上层框架单元272a和上层框架单元272b例如根据搬送路6的样式选择性地使用。
339.图31是示出构成上层框架264的上层框架单元272的配置的俯视图。在图31中，示出使用图29的下层框架262来构成搬送路6的情况。例如在将相邻的加工装置4、装载机/卸载机8等连接的区域的一部分使用上层框架单元272a，在加工装置4、装载机/卸载机8的正上方的区域使用上层框架单元272b。
340.即，在图31的上层框架264中使用两个上层框架单元272a和八个上层框架单元272b。各上层框架单元272按照棒状的框架部件不与形成于搬送路6的开口282(参照图32)重叠的方式构成。
341.在形成上层框架264时，例如将上层框架单元272固定于下层框架262。另外，相邻的两个上层框架单元272可以不相互连结而是分开。另外，也可以根据需要而使用使上层框架单元272a翻转的构造的上层框架单元272、使上层框架单元272b翻转的构造的上层框架单元272。
342.图32是示意性示出将多个路面面板266并列而构成的搬送路6的俯视图。在图32中，示出使用图29的下层框架262和图31的上层框架264来构成搬送路6的情况。另外，在图32中，用虚线示出相邻的路面面板266的边界。
343.在形成搬送路6时，例如将路面面板266固定于上层框架264。另外，在图31的上层框架264中，例如在相邻的上层框架单元272a与上层框架单元272b之间形成有较小的间隙，在相邻的两个上层框架单元272b之间形成有较大的间隙。由此，仅利用俯视矩形状的路面面板266无法在与该间隙对应的部分形成搬送路6。即，在搬送路6上也会形成间隙。
344.因此，为了填埋这些间隙，使用平板状的桥接面板274a和平板状的桥接面板274b。在相邻的上层框架单元272a与上层框架单元272b之间的较小的间隙处配置有较小的桥接面板274a。在相邻的两个上层框架单元272b之间的较大的间隙处配置较大的桥接面板274b。
345.桥接面板274a或桥接面板274b例如固定于上层框架264，以便使形成于搬送路6的间隙或阶梯差充分小。由此，能够将对行驶中的搬送车10的冲击抑制得较小，能够防止被加
工物11等的破损。另外，在搬送路6上残留有较小的间隙的情况下，例如可以使用具有沿着搬送车10行进的方向的芯材的带等来封住该间隙。
346.另外，也可以代替桥接面板274a或桥接面板274b而使用在搬送车10行进的方向的两端部形成有斜面的桥接面板。在该情况下，例如能够在路面面板266的上方重叠地使用桥接面板，因此缓解了对于桥接面板的大小的要求。由此，桥接面板的通用性高。另外，也可以使用具有挠性的薄板状的桥接面板来将相邻的路面面板266连接。
347.当搬送车10在这样构成的搬送路6上行驶时，例如有时由于搬送车10的车轮86等与搬送路6的摩擦而产生静电，从而给收纳于搬送车10的容器102的被加工物11等带来不良影响。例如在被加工物11上形成有半导体器件的情况下，该半导体器件有可能被静电破坏。
348.因此，优选使导电性部件在作为搬送路6的路面面板266的上表面的车轮86等所接触的部分露出。作为导电性部件，例如除了铝或铜等金属以外，使用cfrp(碳纤维增强塑料)等。另外，在路面面板266由cfrp构成的情况下，cfrp也在路面面板266的上表面上露出。即，实现导电性部件在路面面板266的上表面上露出的状态。
349.这样预先使导电性部件在路面面板266的上表面上露出，从而能够抑制由于摩擦所导致的静电的产生及蓄积，从而防止给被加工物11等带来不良影响。另外，在路面面板266的上表面上露出的导电性部件可以借助导线(未图示)等而接地。在该情况下，由于车轮86等与路面面板266的接触而产生的静电通过导线而放电，因此不会蓄积在路面面板266上。由此，被加工物11等通过搬送车10更安全地搬送。
350.在本实施方式的搬送系统2中，作为原则，按照搬送车10不到达搬送路6的端部的方式控制搬送车10的动作。但是，在搬送车10或控制单元12等中产生任何故障的情况下，也存在搬送车10到达搬送路6的端部且搬送车10从该搬送路6的端部落下的可能性。
351.因此，优选如图27所示那样在搬送路6的端部设置作为用于防止搬送车10从搬送路6落下的障壁的防护部276。该防护部276例如由包含铝等金属的材料形成，固定于上层框架264或路面面板266。从路面面板266的上表面至防护部276的上端的高度例如大于搬送车10的车轮86的半径。优选大于车轮86的直径。
352.另外，该防护部276可以形成为与搬送车10的第3传感器126或外装罩接触的高度。在该情况下，当防护部276与搬送车10的第3传感器126或外装罩接触时，搬送车10检测到与障碍物的碰撞而停车。因此，能够使搬送车10更安全地行驶。
353.如图32所示，搬送路6包含：主要用于搬送车10的行驶的行驶区域278；主要用于搬送车10的停车的停车区域280；以及主要用于搬送车10的待机的待机区域284。在停在停车区域280的搬送车10与位于停车区域280的下方的加工装置4、装载机/卸载机8等之间搬送被加工物单元17或托盘33。
354.行驶区域278例如形成为环状，沿着加工装置4、装载机/卸载机8等的配置。搬送车10例如向沿着该环状的行驶区域278的一方的朝向行驶，不向另一方的朝向行驶(即一方通行)。由此，能够以简单的控制使搬送车10安全地行驶。
355.不过，对于行驶区域278的形状、搬送车10的行驶的方式等没有限制。例如行驶区域278有时构成为允许搬送车10向双向行驶。另外，行驶区域278无需形成为没有终端的环状，例如可以形成为具有终端的直线状。
356.另一方面，在停车区域280设置有上下贯通路面面板266的开口282。开口282例如
形成得比容器102的上表面和下表面略大，允许容器102向上下通过。另一方面，与搬送车10进入至停车区域280时的进入的方向垂直的方向上的开口282的宽度比搬送车10的一对车轮86之间的间隔窄。由此，在搬送车10进入至停车区域280时的进入的方向适当的情况下，车轮86不会脱落至开口282。
357.待机区域284例如配置于使搬送车10待机的可能性高的区域。通过使搬送车10在待机区域284待机，其他搬送车10能够超越待机中的搬送车10。另外，在允许搬送车10向双向行驶的情况下，通过使搬送车10在该待机区域284临时待机，能够使两台搬送车10错开。另外，搬送路6未必包含待机区域284。
358.在构成搬送路6的路面面板266、桥接面板274a、桥接面板274b等的上表面上设置有通过搬送车10所具有的传感器进行检测的多种引导用的标记286(参照图27)。搬送车10根据传感器所检测的各种标记286而进行行驶、转向、停车等控制。
359.如图27所示，标记286例如构成为具有与路面面板266等的上表面的其他区域不同的色彩的直线状。在本实施方式中，如图32所示，作为该标记286，使用第1标记286a、第2标记286b、第3标记286c以及第4标记286d。
360.不过，对于标记286的方式没有限制。标记286例如可以包含曲线，也可以由虚线构成。另外，作为标记286，也可以使用文字、数字、图案等。另外，对于标记286的色彩等也没有限制。例如可以使用色彩不同的多个标记286，并且按照根据该标记286的色彩而进行各种控制的方式构成搬送车10。
361.在行驶区域278设置有沿着搬送车10行进的方向的第1标记286a。第1标记286a例如形成于在行驶区域278中行驶的搬送车10要通过的区域。更具体而言，第1标记286a设置于在行驶区域278中行驶的搬送车10的一对第1传感器122的正下方。
362.图33是示出搬送车10的控制部130的功能框图。如图33所示，搬送车10的控制部130包含：第1传感器控制部130a，其利用一对第1传感器122分别监视行驶区域278等(搬送路6)的上表面而检测第1标记286a；以及行驶指示部130b，其确定由第1传感器122检测到的第1标记286a所示的朝向而使搬送车10沿着该朝向行驶。
363.一对第1传感器122分别按照从第1传感器控制部130a输入的控制用的信号而对第1标记286a进行检测。与第1传感器122所检测到的第1标记286a相关的信息借助第1传感器控制部130a而发送至行驶指示部130b。
364.行驶指示部130b根据从第1传感器控制部130a发送的第1标记286a的信息而确定第1标记286a所示的朝向。并且，行驶指示部130b对驱动单元90进行控制而使搬送车10沿着所确定的朝向行驶。即，搬送车10能够利用一对第1传感器122对第1标记286a进行检测并沿着该第1标记286a在搬送路6上行驶。
365.如图32所示，在行驶区域278的规定的部分，两个直线状的第1标记286a交叉。在搬送车10沿着一方的第1标记286a行进的期间，利用第2传感器124对与该一方的第1标记286a交叉的另一方的第1标记286a进行检测。当利用第2传感器124检测到另一方的第1标记286a时，搬送车10根据需要而转向。
366.即，在两个直线状的第1标记286a交叉的任意的交叉点变更搬送车10行进的方向。这样利用第2传感器124检测到的上述另一方的第1标记286a的一部分作为示出搬送车10转向的位置的第2标记286b发挥功能。另外，在搬送路6上存在与两个第1标记286a交叉的交叉
点的数量对应的数量的第2标记286b。即，在图32的搬送路6上存在多个第2标记286b。
367.如图33所示，搬送车10的控制部130包含：第2传感器控制部130c，其利用第2传感器124监视行驶区域278等(搬送路6)的上表面，对第2标记286b进行检测；以及转向指示部130d，其对第2传感器124所检测到的第2标记286b的数量进行计数，根据所计数的第2标记286b的数量而使搬送车10转向。
368.第2传感器124按照从第2传感器控制部130c输入的控制用的信号而对第2标记286b进行检测。并且，第2传感器控制部130c例如每当在第2传感器124检测到第2标记286b时，将该意思通知给控制部130的转向指示部130d。
369.转向指示部130d根据来自第2传感器控制部130c的通知，对第2传感器124所检测到的第2标记286b的数量进行计数，例如将该数量和与来自搬送系统2的控制单元12的指示对应的第2标记286b的数量(规定的数量)进行比较。并且，当第2传感器124所检测到的第2标记286b的数量达到与来自控制单元12的指示对应的第2标记286b的数量时，转向指示部130d对驱动单元90进行控制而使搬送车10转向。
370.即，转向指示部130d根据所检测到的第2标记286b的数量而变更搬送车10的朝向。这样，搬送车10能够利用第2传感器124对第2标记286b进行检测，根据需要而变更朝向。另外，第2标记286b例如设置于行驶区域278的角的部分(搬送路6的角部)、行驶区域278的与停车区域280相邻的部分、行驶区域278的与待机区域284相邻的部分等。
371.另外，当在通过一对车轮86的直线上配置有一对第2传感器124的情况下，能够在车轮86通过第2标记286b的同时，通过一对第2传感器124对该第2标记286b进行检测。因此，在检测到第2标记286b的时机使搬送车10转向，从而一对第1传感器122不会明显偏离在转向后要检测的第1标记286a。即，即使不进行任何的校正，也能够使搬送车10适当地转向。
372.如图32所示，在停车区域280设置有沿着搬送车10进入的方向的第3标记286c。即，第3标记286c示出搬送车10进入至停车区域280的朝向。该第3标记286c例如形成于在与搬送车10进入的方向垂直的方向上夹着开口282的两个位置，通过搬送车10的第2传感器124进行检测。
373.如图33所示，搬送车10的控制部130包含进入控制部130e，该进入控制部130e使搬送车10沿着由第2传感器124检测的第3标记286c所示的朝向进入至停车区域280。进入控制部130e与第2传感器控制部130c连接。
374.第2传感器控制部130c利用第2传感器124监视停车区域280等(搬送路6)的上表面而检测第3标记286c。与第2传感器124所检测的第3标记286c相关的信息借助第2传感器控制部130c而发送至进入控制部130e。
375.进入控制部130e根据从第2传感器控制部130c输入的第3标记286c的信息而确定第3标记286c所示的朝向。并且，进入控制部130e对驱动单元90进行控制而使搬送车10沿着所确定的朝向进入至停车区域280。第3标记286c代表性地设置于搬送车10的车轮86要通过的区域。不过，对于第3标记286c的配置等没有限制。
376.如图32所示，在搬送车10相对于停车区域280(或待机区域284)进入的方向上，在停车区域280(或待机区域284)的后侧(近前侧)设置有相对于第1标记286a或第3标记286c交叉的第4标记286d。该第4标记286d示出停车区域280(或待机区域284)的位置。
377.如图33所示，搬送车10的控制部130包含停车控制部130f，该停车控制部130f在通
过位于搬送车10行进的方向的后侧的第1传感器122(一对第1传感器122中的一方)检测到第4标记286d时使搬送车10停车。停车控制部130f与第1传感器控制部130a连接。
378.第1传感器控制部130a利用第1传感器122监视行驶区域278或停车区域280等(搬送路6)的上表面而利用第1传感器122检测到第4标记286d。当通过第1传感器122检测到第4标记286d时，该意思借助第1传感器控制部130a而通知给停车控制部130f。
379.当从第1传感器控制部130a对停车控制部130f通知检测到第4标记286d的意思时，停车控制部130f对驱动单元90进行控制而使搬送车10迅速地停止。即，当搬送车10例如利用后侧的第1传感器122检测到第4标记286d时，立即停车。
380.另外，该第4标记286d也可以在搬送车10相对于停车区域280(或待机区域284)进入的方向上设置于停车区域280(或待机区域284)的前侧(里侧)。在该情况下，当搬送车10利用前侧的第1传感器122检测到第4标记286d时，立即停车。
381.另外，第4标记286d可以设置于能够通过第2传感器124进行检测的位置。在该情况下，图33所示的停车控制部130f与第2传感器控制部130c连接。并且，停车控制部130f在第2传感器控制部130c所控制的第2传感器124检测到第4标记286d时，对驱动单元90进行控制而使搬送车10停车。
382.另外，停车控制部130f也可以在从通过第1传感器122或第2传感器124检测到第4标记286d起经过了规定的时间之后使搬送车10停车。从第4标记286d的检测到搬送车10的停车为止的时间例如根据第4标记286d与停车区域280之间的距离、搬送车10行驶的速度等而进行调整。
383.如图32所示，在搬送车10进入的方向上，在停车区域280和待机区域284的前侧(里侧)的位置配置有与电源(未图示)连接的供电用的端子(供电端子)288。例如若使搬送车10停车在停车区域280或待机区域284并使搬送车10的端子(受电端子)100与端子288接触，则借助端子100和充电用的布线(充电布线)98而向电池(二次电池)96提供充电用的电力。即，能够对电池96进行充电。
384.如图27所示，端子288通过固定于路面面板266或上层框架264的端子支承部290进行支承，与供电用的布线(供电布线)292连接。即，该端子288借助供电用的布线292而与电源连接。
385.端子支承部290例如具有朝向停车区域280或待机区域284对端子288施力的施力部件(未图示)。通过施力部件对端子288施力，能够将端子288适当地连接于端子100。不过，对于端子288或端子支承部290的构造等没有限制。
386.例如在搬送车10在停车区域280停车之后，通过升降单元110使容器102升降。在本实施方式中，在停车区域280配置有供电用的端子288，因此在使容器102进行升降时也能够对电池96进行充电。由此，能够充分提供当使容器102进行升降时升降单元110所消耗的大量的电力。
387.另外，在本实施方式中，在待机区域284也配置有端子288。由此，例如在使搬送车10在待机区域284待机时，也能够对电池96进行充电。由此，能够延长搬送车10能够运转的时间，提高被加工物11或托盘33的搬送的效率。
388.使搬送车10从搬送路6上的某一位置(出发地)移动至另一位置(目的地)时的动作例如如下所述。首先，搬送系统2的控制单元12对作为移动的对象的搬送车10发送与从出发
地移动至目的地的意思的指示相对应的信号。
389.接收了控制单元12的指示的搬送车10的控制部130首先将自身的当前的位置作为出发地而确定前往目的地的路径，沿着该路径而求出从出发地到搬送车10要转向的各位置之间所存在的第2标记286b的数量以及要转向的各位置上的转向的方向。并且，搬送车10的控制部130根据自身所求出的第2标记286b的数量和转向的方向而对驱动单元90等进行控制。
390.例如搬送车10的控制部130一边利用第1传感器122和第2传感器124监视搬送路6的上表面一边使搬送车10行驶。即，控制部130一边使搬送车10沿着第1传感器122所检测的第1标记286a所示的方向行驶，一边利用该第2传感器124检测第2传感器124所通过的第2标记286b。
391.控制部130在第2传感器124所通过的第2标记286b的数量达到自身所求的第2标记286b的数量时，使搬送车10按照自身所要求的转向的方向进行转向。然后，控制部130使搬送车10再次沿着第1标记286a所示的方向行驶。当搬送车10到达目的地时，控制部130将用于通知该意思的信号发送至控制单元12。
392.另外，在使搬送车10进入至停车区域280时，控制部130利用第2传感器124对第3标记286c进行检测而细致地调整搬送车10行进的方向。由此，能够防止搬送车10的车轮86向开口282脱落。此时，与使搬送车10沿着第1标记286a所示的方向行驶时相比，可以将行驶的速度抑制得较低。然后，控制部130利用第1传感器122对第4标记286d进行检测而使搬送车10在停车区域280停车。
393.搬送车10作为原则按照车轮86位于行进的方向的前方且车轮88位于行进的方向的后方的方式行驶。不过，在从停车区域280或待机区域284向行驶区域278移动时，搬送车10按照车轮86位于行进的方向的后方且车轮88位于行进的方向的前方的方式行驶。
394.当搬送车10在停车区域280停车时，容器102定位于开口282的正上方。另外，搬送车10侧的端子100与搬送路6侧的端子288接触。由此，搬送车10能够一边对电池96进行充电一边使容器102下降而将容器102载置于位于开口282的下方的载置区域a。
395.另外，在上述的动作的方式中，控制部130求出第2标记286b的数量及转向的方向，但也可以将控制部130的判断限制在最小限度。在该情况下，例如从控制单元12发送包含与从出发地到搬送车10要转向的各位置之间所存在的第2标记286b的数量以及要转向的各位置上的转向的方向相关的信息的信号。在该动作中，控制部130可以不求出第2标记286b的数量及转向的方向，因此能够将控制部130简略化。
396.接着，对本实施方式的搬送系统2的控制方法的例子进行说明。图34是用于对搬送系统2的控制方法的例子进行说明的图。例如当加工装置4的控制装置246成为需要加工前的被加工物11等的状况时，生成用于通知该意思的信号(被加工物等要求信号)。控制装置246所生成的信号(被加工物等要求信号)从发送机250发送至控制单元12。
397.如图34所示，控制单元12具有生成用于进行各种控制的信号的控制部(信号生成部)302。该控制部302例如由计算机构成，其包含cpu(central processing unit，中央处理器)等处理装置、dram(dynamic random access memory，动态随机存取存储器)等主存储装置以及闪存等辅助存储装置。按照存储于辅助存储装置的软件使处理装置等进行动作，从而实现控制部302的功能。
398.在控制部302上连接有接收机304和发送机306，该接收机304接收从加工装置4、装载机/卸载机8、搬送车10等发送的信号，该发送机306对加工装置4、装载机/卸载机8、搬送车10等发送信号。
399.当控制单元12的接收机304接收到从加工装置4的发送机250发送的通知用的信号(被加工物等要求信号)时，将该信号发送至控制部302。当控制部302确认了来自加工装置4的通知用的信号(被加工物等要求信号)时，对任意的搬送车10发出指示，以使该搬送车10移动至装载机/卸载机8的正上方的停车区域280且将容器102载置于装载机/卸载机8的载置台66的上表面上(第2载置区域a2)。具体而言，控制部302生成相当于该指示的控制用的信号(第1载置指示信号)并从发送机306发送至搬送车10。
400.当搬送车10的接收机132接收到来自控制单元12的信号(第1载置指示信号)时，将该信号发送至控制部130。控制部130根据该信号(第1载置指示信号)而对驱动单元90等进行控制，使搬送车10沿着搬送路6行驶。当搬送车10在装载机/卸载机8的正上方的停车区域280停车时，容器102定位于开口282的正上方。
401.在使搬送车10在停车区域280停车的状态下，控制部130对升降单元110进行控制而将悬吊部件112送出。由此，能够按照通过开口282等的方式使容器102下降而将容器102载置于载置台66的上表面上。
402.在将容器102载置于载置台66的上表面之后，控制部130生成用于通知已完成容器102向载置台66的上表面的载置的意思的通知用的信号(第1载置完成信号)。控制部130所生成的信号(第1载置完成信号)从发送机134发送至控制单元12。
403.当控制单元12的接收机304接收到从搬送车10的发送机134发送的信号(第1载置完成信号)时，将该信号发送至控制部302。当控制部302确认了来自搬送车10的信号(第1载置完成信号)时，对装载机/卸载机8通知已完成容器102向载置台66的上表面的载置的意思。具体而言，控制部302生成用于通知已完成容器102向载置台66的上表面的载置的意思的通知用的信号(第2载置完成信号)并从发送机306发送至装载机/卸载机8。
404.当装载机/卸载机8的接收机68接收到来自控制单元12的信号(第2载置完成信号)时，将该信号发送至控制装置46。控制装置46在接收到该信号(第2载置完成信号)时，对各构成要素的动作进行控制而将加工前的被加工物11等搬入至容器102。另外，在将加工后的被加工物11等收纳于容器102的情况下，在将加工后的被加工物11等从容器102搬出之后，将加工前的被加工物11等搬入至容器102。
405.当将加工前的被加工物11等搬入至容器102时，控制装置46生成用于通知已完成被加工物11等向容器102的搬入的意思的通知用的信号(第1搬送完成信号)。控制装置46所生成的信号(第1搬送完成信号)从发送机70发送至控制单元12。
406.当控制单元12的接收机304接收到从装载机/卸载机8的发送机70发送的信号(第1搬送完成信号)时，将该信号发送至控制部302。当控制部302确认了来自装载机/卸载机8的信号(第1搬送完成信号)时，对搬送车10发出指示，以使其移动至加工装置4的正上方的停车区域280并将容器102载置于加工装置4的升降台204的上表面上(载置区域a)。具体而言，控制部302生成相当于该指示的控制用的信号(第2载置指示信号)并从发送机306发送至搬送车10。
407.当搬送车10的接收机132接收到来自控制单元12的信号(第2载置指示信号)时，将
该信号发送至控制部130。控制部130根据该信号(第2载置指示信号)而对升降单元110进行控制，将悬吊部件112卷绕。由此，能够按照通过开口282等的方式使容器102上升而储存于储存区域104。然后，控制部130对驱动单元90等进行控制而使搬送车10沿着搬送路6行驶。
408.当搬送车10在加工装置4的正上方的停车区域280停车时，容器102定位于开口282的正上方。在使搬送车10在停车区域280停车的状态下，控制部130对升降单元110进行控制而将悬吊部件112送出。由此，能够按照通过开口282等的方式使容器102下降而将容器102载置于加工装置4的升降台204的上表面上。
409.在将容器102载置于升降台204的上表面之后，控制部130生成用于通知已完成容器102向升降台204的上表面的载置的意思的通知用的信号(第3载置完成信号)。控制部130所生成的信号(第3载置完成信号)从发送机134发送至控制单元12。
410.当控制单元12的接收机304接收到从搬送车10的发送机134发送的信号(第3载置完成信号)时，将该信号发送至控制部302。当控制部302确认了来自搬送车10的信号(第3载置完成信号)时，对加工装置4通知已完成容器102向升降台204的上表面的载置的意思。具体而言，控制部302生成用于通知已完成容器102向载置台66的上表面的载置的意思的通知用的信号(第4载置完成信号)并从发送机306发送至加工装置4。
411.当加工装置4的接收机248接收到来自控制单元12的信号(第4载置完成信号)时，将该信号发送至控制装置246。控制装置246在接收到该信号(第4载置完成信号)时，对各构成要素的动作进行控制而将加工前的被加工物11等从容器102搬出。另外，在加工装置4内存在加工后的被加工物11等的情况下，在将加工前的被加工物11等从容器102搬出之后，将加工后的被加工物11等搬入至容器102。
412.当将加工前的被加工物11等从容器102搬出时，例如控制装置246生成用于通知已完成被加工物11等从容器102搬出的意思的通知用的信号(第2搬送完成信号)。控制装置246所生成的信号(第2搬送完成信号)从发送机250发送至控制单元12。
413.按照这样的步骤，能够将收纳于装载机/卸载机8的加工前的被加工物11等搬送至任意的加工装置4。另外，这里主要对将被加工物11等从装载机/卸载机8搬送至加工装置4时的步骤进行了说明，但将被加工物11等从加工装置4搬送至装载机/卸载机8时的步骤等也是同样的。
414.另外，上述的步骤可以在能够适当地搬送被加工物11等的范围内任意地变更。例如可以同时进行上述的步骤中所包含的多个步骤，也可以在不阻碍被加工物11等的搬送的范围内切换步骤的顺序。同样地，可以在不阻碍被加工物11等的搬送的范围内追加、变更、省略任意的步骤。
415.如上所述，本实施方式的搬送路6、装载机/卸载机(搬送装置)8、搬送车10、盒收纳机构24以及升降单元(升降机构)110均构成为能够高效且安全地搬送被加工物11或托盘33。因此，通过使用组装有它们的搬送系统2，能够高效且安全地搬送被加工物11或托盘33。
416.(第2实施方式)
417.在本实施方式中，对与上述实施方式不同的方式的加工装置(切削装置)进行说明。图35是示出本实施方式的加工装置(切削装置)402的内部的构造的立体图。另外，在以下的说明中，对与上述实施方式共通的构成要素标记相同的标号并省略了详细的说明。
418.在加工装置402的升降台404上未载置搬送车10的容器102。取而代之，在加工装置
的升降台404上设置有与上述实施方式的装载机/卸载机8的两层的盒收纳机构24(即、第1盒收纳机构24a和第2盒收纳机构24b)同样的两层的盒收纳机构406(第1盒收纳机构406a和第2盒收纳机构406b)。
419.即，对本实施方式的加工装置402搬入盒30。并且，在加工装置402中还搭载有由止挡部件50和轴机构52构成的移动限制机构。由此，容易进行比较重的盒30的搬入搬出，因此能够降低收纳于盒30的被加工物11等随着搬入搬出而破损的风险。另外，容易实现在宽度方向上紧凑的盒收纳机构406。
420.另外，在本实施方式的加工装置402中，还实现了用于限制从加工装置402的外部向内部进入的第1安全机构和第2安全机构。由此，能够防止操作者错误地访问位于加工装置402的内部的动作中的可动部等。
421.另外，本实施方式的加工装置402可以从上述搬送系统2独立。即，本实施方式的加工装置402未必与上述搬送系统2连接。
422.本实施方式的盒收纳机构406与上述实施方式的盒收纳机构24同样地构成为能够高效且安全地搬送被加工物11等。因此，通过使用组装有该盒收纳机构406的加工装置4，能够高效且安全地搬送被加工物11等。
423.除此以外，上述的实施方式或变形例等的构造、方法等只要不脱离本发明的目的的范围，则可以适当地变更并实施。