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一种用于给压力敏感元件传递标准压力的组合工装的制作方法

2021-10-30 12:39:00 来源:中国专利 TAG:压力 组合 工装 元件 测量


1.本实用新型属于压力测量装置技术领域,尤其涉及一种用于给压力敏感元件传递标准压力的组合工装。


背景技术:

2.溅射薄膜压力敏感元件制作的压力传感器是典型的表压型压力传感器。溅射薄膜压力敏感元件采用金属的承压结构,敏感元件测量的压力量程较大,通常在2mpa~200mpa之间,溅射薄膜敏感元件一经制作完毕,其量程就已经确定。
3.测定该量程指标通常的方法是采用经验公式对制作完成的溅射薄膜压力敏感元件进行其压力量程预计,其准确度较低,而准确度高的测定方法是将该溅射薄膜压力敏感元件焊接到测试结构上,通过打压测试而得到该元件的精确量程指标。这两种测定方法都不能够在保障溅射薄膜压力敏感元件无损伤的情况下,检测出该元件量程指标的准确值,对溅射薄膜压力敏感元件的后续应用影响非常大。为避免上述技术问题,确有必要提供一种用于给压力敏感元件传递标准压力的组合工装以克服现有技术中的所述缺陷。


技术实现要素:

4.本实用新型实施例的目的在于提供一种用于给压力敏感元件传递标准压力的组合工装,旨在实现在不“破坏”溅射薄膜压力敏感元件自身结构的条件下,对该压力敏感元件施加标准压力值。
5.本实用新型实施例是这样实现的,一种用于给压力敏感元件传递标准压力的组合工装,包括连通底座,还包括压力转换接头,所述连通底座中设置有内部连接孔,所述压力转换接头与内部连接孔一端的内侧壁螺纹连接,所述内部连接孔另一端的内侧壁螺纹连接有封压外壳,所述封压外壳中设置有对溅射薄膜压力敏感元件进行支撑和压力传递的传压组件。
6.进一步的技术方案,所述传压组件包括支撑管,所述支撑管设置在封压外壳中,所述支撑管的一端与内部连接孔内侧的承台固定连接,所述封压外壳的内腔为凸形腔,溅射薄膜压力敏感元件滑动连接在所述封压外壳的内腔中,溅射薄膜压力敏感元件与支撑管之间以及溅射薄膜压力敏感元件与封压外壳的内侧壁间均设置有用于传递冲击力的弹性构件。
7.进一步的技术方案,所述弹性构件为封压圈。
8.进一步的技术方案,所述内部连接孔为直角形,所述内部连接孔的两个端口分别开设在连通底座的不同端面上。
9.进一步的技术方案,所述连通底座为矩形。
10.相较于现有技术,本实用新型的有益效果如下:
11.本实用新型实施例提供的一种用于给压力敏感元件传递标准压力的组合工装,结构简单,容易操作,在连通底座与压力转接头和承压外壳螺纹连接及传压组件的保障下,能
够确保压力传递的稳定性及准确性,再通过测量在标准压力下的溅射薄膜压力敏感元件的输出值,通过比例换算就可以得到准确的该溅射薄膜压力敏感元件的量程指标及其对应的满输出值,通过此组合工装,能够保障在不破坏溅射薄膜压力敏感元件的条件下,完成对溅射薄膜压力敏感元件量程指标及对应满量程输出值的准确测定,提高溅射薄膜压力敏感元件量程指标测量的准确度。
附图说明
12.图1为本实用新型

一种用于给压力敏感元件传递标准压力的组合工装的结构示意图;
13.图2为图1中溅射薄膜压力敏感元件的结构示意图;
14.图3为图1中封压外壳的结构示意图;
15.图4为图1中支撑管的结构示意图;
16.图5为图1中连通底座的结构示意图;
17.图6为图1中压力转接头的结构示意图。
18.附图中:溅射薄膜压力敏感元件1、封压圈2、封压外壳3、支撑管4、连通底座5、压力转接头6。
具体实施方式
19.为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。
20.以下结合具体实施例对本实用新型的具体实现进行详细描述。
21.如图1~3、图5~6所示,为本实用新型提供的一种用于给压力敏感元件传递标准压力的组合工装,包括连通底座5,还包括压力转换接头6,所述连通底座5中设置有内部连接孔,所述压力转换接头6与内部连接孔一端的内侧壁螺纹连接,所述内部连接孔另一端的内侧壁螺纹连接有封压外壳3,所述封压外壳3中设置有对溅射薄膜压力敏感元件1进行支撑和压力传递的传压组件。
22.此用于给压力敏感元件传递标准压力的组合工装,标准压力通过压力转接头6、连通底座5、传压组件及承压外壳3的内孔传递到溅射薄膜压力敏感元件1内部,在连通底座5与压力转接头6和承压外壳3螺纹连接及传压组件的保障下,能够确保压力传递的稳定性及准确性,再通过测量在标准压力下的溅射薄膜压力敏感元件1的输出值,通过比例换算就可以得到准确的该溅射薄膜压力敏感元件1的量程指标及其对应的满输出值。
23.在本实用新型实施例中,如图1和图3~4所示,作为本实用新型的一种优选实施例,所述传压组件包括支撑管4,所述支撑管4设置在封压外壳3中,所述支撑管4的一端与内部连接孔内侧的承台固定连接,所述封压外壳3的内腔为凸形腔,溅射薄膜压力敏感元件1滑动连接在所述封压外壳3的内腔中,溅射薄膜压力敏感元件1与支撑管4之间以及溅射薄膜压力敏感元件1与封压外壳3的内侧壁间均设置有用于传递冲击力的弹性构件;通过弹性构件和支撑管4能够确保压力传递的稳定性及准确性。
24.在本实用新型实施例中,如图1所示,作为本实用新型的一种优选实施例,所述弹
性构件为封压圈2;通过封压圈2可避免在传压过程中溅射薄膜压力敏感元件1受到损坏,同时保证压力传递的稳定性及准确性。
25.在本实用新型实施例中,如图1所示,作为本实用新型的一种优选实施例,所述内部连接孔为直角形,所述内部连接孔的两个端口分别开设在连通底座5的不同端面上;在连通底座5放置在放置台上时,内部连接孔的两个端口分别开设在连通底座5的不同端面上可便于溅射薄膜压力敏感元件1与此组合工装的安装同时便于标准压力通过压力转接头进行输入。
26.在本实用新型实施例中,如图5所示,作为本实用新型的一种优选实施例,所述连通底座5为矩形,便于此组合工装的稳定放置。
27.此用于给压力敏感元件传递标准压力的组合工装,将溅射薄膜压力敏感元件1连同传压组件穿入到承压外壳3的内腔中,标准压力通过压力转接头6、连通底座5、支撑管4、封压圈2及承压外壳3的内孔传递到溅射薄膜压力敏感元件1内部,在连通底座5与压力转接头6和承压外壳3螺纹连接及传压组件的保障下,能够确保压力传递的稳定性及准确性,再通过测量在标准压力下的溅射薄膜压力敏感元件1的输出值,通过比例换算就可以得到准确的该溅射薄膜压力敏感元件1的量程指标及其对应的满输出值,通过此组合工装,能够保障在不破坏溅射薄膜压力敏感元件1的条件下,完成对该压力敏感元件量程指标及对应满量程输出值的准确测定,提高溅射薄膜压力敏感元件1量程指标测量的准确度。
28.以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已,并不用以限制本实用新型,凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。
29.此外,应当理解,虽然本说明书按照实施方式加以描述,但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案,说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见,本领域技术人员应当将说明书作为一个整体,各实施例中的技术方案也可以经适当组合,形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。
再多了解一些

本文用于企业家、创业者技术爱好者查询,结果仅供参考。

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