基于流化床和化学气相沉积技术的粉体颗粒包覆设备的制作方法

技术特征：
1.一种基于流化床和化学气相沉积技术的粉体颗粒包覆设备，其特征在于，包括：加热炉(1)，所述加热炉(1)包括开盖式炉壳(18)；流化管，所述流化管安装于所述加热炉(1)的炉腔内，所述流化管由下至上间隔设置有下盖板(10)、一级流化床(9)、二级流化床(8)和上盖板(7)，所述下盖板(10)与所述一级流化床(9)之间具有流化气腔(17)，所述一级流化床(9)与所述二级流化床(8)之间具有一级流化腔，所述二级流化床(8)与所述上盖板(7)之间具有二级流化腔；流化气体管道(13)，流化气体源通过所述流化气体管道(13)与所述流化气腔(17)相连通，以便将流化气体通入所述流化气腔(17)；第一前驱体管道(15)，所述第一前驱体管道(15)将第一前驱体通入所述一级流化腔；第二前驱体管道(12)，所述第二前驱体管道(12)将第二前驱体通入所述二级流化腔；尾气管道(4)，所述尾气管道(4)的一端与所述二级流化腔相连通，其另一端与尾气处理系统相连。2.根据权利要求1所述的粉体颗粒包覆设备，其特征在于，所述流化气体管道(13)、所述第一前驱体管道(15)和所述第二前驱体管道(12)外均包覆有冷却水套。3.根据权利要求1所述的粉体颗粒包覆设备，其特征在于，还包括：外套管(2)，所述流化管通过所述外套管(2)安装于所述加热炉(1)的炉腔内，所述外套管(2)与所述流化管之间具有保护气腔；排气管道(6)，所述排气管道(6)的一端与所述保护气腔相连通，其另一端设置有排气泵；保护气体管道(14)，所述保护气体管道(14)的一端与所述保护气腔相连通，其另一端与保护气源相连通。4.根据权利要求3所述的粉体颗粒包覆设备，其特征在于，所述外套管(2)包括：管体；上封板(3)，所述上封板(3)设置于所述管体的顶端，并封闭所述管体的顶端开口，所述上封板(3)与所述加热炉(1)相连接，所述排气管道(6)和所述尾气管道(4)均穿过所述上封板(3)；下封板(16)，所述下封板(16)设置于所述管体的底端，并封闭所述管体的底端开口，所述流化气体管道(13)、所述第一前驱体管道(15)和所述第二前驱体管道(12)均穿过所述下封板(16)。5.根据权利要求4所述的粉体颗粒包覆设备，其特征在于，所述管体沿轴向为可伸缩结构。6.根据权利要求5所述的粉体颗粒包覆设备，其特征在于，所述尾气管道(4)、所述第一前驱体管道(15)和所述第二前驱体管道(12)均具有波纹管段(5)。7.根据权利要求4所述的粉体颗粒包覆设备，其特征在于，所述流化气体管道(13)、所述第一前驱体管道(15)和所述第二前驱体管道(12)分别通过锁紧件(11)与所述下封板(16)锁紧。8.根据权利要求3所述的粉体颗粒包覆设备，其特征在于，还包括：连通管路，所述连通管路的一端与所述尾气管道(4)相连通，其另一端与所述排气管道(6)相连通；
开关阀(20)，所述开关阀(20)设置于所述连通管路上。9.根据权利要求1-8任一项所述的粉体颗粒包覆设备，其特征在于，所述加热炉(1)由下至上分别包括第一温控区、第二温控区和第三温控区，所述第一温控区、所述第二温控区和所述第三温控区分别调节加热温度。10.根据权利要求1-8任一项所述的粉体颗粒包覆设备，其特征在于，还包括支架(19)，所述加热炉(1)放置于所述支架(19)的支撑面上。

技术总结
本发明公开了一种基于流化床和化学气相沉积技术的粉体颗粒包覆设备，包括：加热炉；流化管，流化管安装于所述加热炉的炉腔内，流化管由下至上间隔设置有下盖板、一级流化床、二级流化床和上盖板，下盖板与一级流化床之间具有流化气腔，一级流化床与所述二级流化床之间具有一级流化腔，所述二级流化床与所述上盖板之间具有二级流化腔；流化气体源通过所述流化气体管道与所述流化气腔相连通，所述第一前驱体管道将第一前驱体通入所述一级流化腔；第二前驱体管道将第二前驱体通入所述二级流化腔；尾气管道的一端与所述二级流化腔相连通，其另一端与尾气处理系统相连。其解决了粉体颗粒包覆过程中前驱体易于孔口沉积、粉体流态化不均匀的技术问题。匀的技术问题。匀的技术问题。


技术研发人员：刘马林 刘荣正 邵友林 刘兵 常家兴
受保护的技术使用者：清华大学
技术研发日：2020.04.29
技术公布日：2021/10/28