显示装置的制造装置以及显示装置的制造方法与流程

1.本公开涉及装置以及方法，更详细地涉及显示装置的制造装置以及显示装置的制造方法。


背景技术：

2.以移动性作为基础的电子设备得到广泛地使用。作为移动用电子设备，除移动电话之类小型电子设备以外，最近平板电脑也得到广泛使用。
3.这样的移动型电子设备为了向使用者提供各种功能、即图像或影像之类视觉信息而包括显示装置。最近，趋势是显示装置在电子设备中所占据的比重正在增加，在平整的状态下可弯曲成具有预定的角度的结构也正被开发。
4.另一方面，显示装置可以包括各种层，当形成所述各种层时可以使用各种工艺。尤其，当在显示装置的各种层中使用有机物时，可以通过印刷工艺层叠有机物或形成结构物。在如上所述的印刷工艺中，根据如何形成有机物液滴的图案，被决定显示装置的分辨率等之类因子，因此一般是预先将有机物液滴喷出于检查台之后，再喷出于显示基板。


技术实现要素：

5.本公开的实施例目的在于提供通过对被喷出在检查台的液滴的表面轮廓(surface profile)进行测定来精密地测定所述被喷出的液滴的体积的显示装置的制造装置以及显示装置的制造方法。
6.本公开的一实施例公开一种显示装置的制造装置，包括：测定部，在检查台上向第一方向移动，并测定对象物的表面轮廓(surface profile)；以及距离调节部，调节所述测定部与所述检查台之间的距离。
7.在一实施例中，可以是，所述显示装置的制造装置还包括：至少一个距离测定部，测定从已设定的高度至所述检查台的距离。
8.在一实施例中，可以是，所述至少一个距离测定部先行于所述测定部并向所述第一方向一起移动。
9.在一实施例中，可以是，所述检查台包括：第一区域，被喷出液滴；以及第二区域，与被喷出的所述液滴向与所述第一方向交叉的第二方向隔开，所述测定部测定所述第一区域的表面轮廓，所述至少一个距离测定部向与所述第一方向以及所述第二方向交叉的第三方向测定从所述已设定的高度至所述第二区域的距离。
10.在一实施例中，可以是，所述第一区域和所述第二区域隔开。
11.在一实施例中，可以是，所述第一区域和所述第二区域重叠。
12.在一实施例中，可以是，所述至少一个距离测定部包括第一距离测定部以及第二距离测定部。
13.在一实施例中，可以是，所述第二区域包括第一部分以及第二部分，所述第一部分以及所述第二部分配置成将被喷出的所述液滴置于所述第一部分与所述第二部分之间，所
述第一距离测定部测定从所述已设定的高度至所述第一部分的距离，所述第二距离测定部测定从所述已设定的高度至所述第二部分的距离。
14.在一实施例中，可以是，所述距离调节部使所述测定部与所述检查台之间的距离保持一定。
15.在一实施例中，可以是，所述显示装置的制造装置还包括：液滴喷出部，喷出液滴。
16.本公开的另一实施例公开一种显示装置的制造方法，包括：测定从已设定的高度至检查台的距离的步骤；调节测定部与所述检查台之间的距离的步骤；以及所述测定部沿第一方向移动，并测定所述检查台中被喷出液滴的第一区域的表面轮廓(surface profile)的步骤。
17.在一实施例中，可以是，根据从所述已设定的高度至所述检查台的距离，调节所述测定部与所述检查台之间的距离。
18.在一实施例中，可以是，测定从所述已设定的高度至所述检查台的距离的步骤测定从所述已设定的高度至第二区域的距离，所述第二区域向与所述第一方向交叉的第二方向与被测定表面轮廓的所述第一区域隔开。
19.在一实施例中，可以是，测定从所述已设定的高度至所述检查台的距离的步骤测定从所述已设定的高度至与被测定表面轮廓的所述第一区域重叠的第二区域的距离。
20.在一实施例中，可以是，测定从所述已设定的高度至所述检查台的距离的步骤分别测定从所述已设定的高度至第一部分以及第二部分的距离，所述第一部分以及所述第二部分配置成将所述液滴置于所述第一部分与所述第二部分之间。
21.在一实施例中，可以是，所述第一部分以及所述第二部分中至少一个与被测定表面轮廓的所述第一区域重叠。
22.在一实施例中，所述第一部分以及所述第二部分与被测定表面轮廓的所述第一区域向与所述第一方向交叉的第二方向隔开。
23.在一实施例中，可以是，从所述已设定的高度至检查台的距离是从所述已设定的高度至所述第一部分的距离和从所述已设定的高度至所述第二部分的距离的平均值。
24.在一实施例中，可以是，所述测定部与所述检查台之间的距离在所述测定部在所述检查台上沿所述第一方向移动的期间保持一定。
25.在一实施例中，可以是，所述显示装置的制造方法还包括：将液滴喷出于所述检查台或显示基板的步骤。
26.(公开的效果)
27.如上所述，本公开的一实施例包括在检查台上向第一方向移动并测定对象物的表面轮廓的测定部以及调节测定部与检查台之间的距离的距离调节部，从而可以与检查台表面的形状无关地测定被喷出在检查台上的液滴的表面轮廓。因此，可以实现被喷出的液滴的精密的体积测定。
28.另外，本公开的一实施例测定从已设定的高度至检查台的距离，调节测定部与检查台之间的距离，从而可以以与检查台表面的形状无关地以对焦保持一定的状态测定被喷出在检查台上的液滴的表面轮廓。因此，可以实现对被喷出的液滴的精密的体积测定。
附图说明
29.图1是概要示出根据本公开的一实施例的显示装置的制造装置的立体图。
30.图2是概要示出根据本公开的一实施例的液滴测定部的立体图。
31.图3是示出根据本公开的一实施例的第一区域以及第二区域的俯视图。
32.图4是示出距离测定部的运转方法的截面图。
33.图5、图6以及图7是示出测定部以及距离调节部的运转方法的截面图。
34.图8是示出根据本公开的另一实施例的第一区域以及第二区域的俯视图。
35.图9是概要示出根据本公开的另一实施例的液滴测定部的立体图。
36.图10以及图11是示出根据本公开的又另一实施例的第一区域以及第二区域的俯视图。
37.图12a以及图12b是示出被喷出的液滴的表面轮廓的模拟结果。
38.图13是概要示出通过根据本公开的一实施例的显示装置的制造装置制造的显示装置的俯视图。
39.图14是概要示出通过根据本公开的一实施例的显示装置的制造装置制造的显示装置的截面图。
40.(附图标记说明)
41.ra2：第一部分
42.rb2：第二部分
43.r1：第一区域
44.r2：第二区域
45.100：检查台
46.200：测定部
47.300：距离调节部
48.400，400-1：距离测定部
49.400a：第一距离测定部
50.400b：第二距离测定部
51.1000：显示装置的制造装置
52.4000：液滴喷出部
53.5000-1：液滴测定部
54.5000、5000-1：液滴测定部
具体实施方式
55.本公开可以进行多种变换并可以具有多种实施例，特定实施例例示在附图中，在详细的说明中进行详细说明。本公开的效果和特征以及实现它们的方法参照与附图一起详细后述的实施例而会得到明确。但是，本公开不限于以下公开的实施例，可以以多种形式实现。
56.以下，参照所附的图，详细说明本公开的实施例，在参照附图说明时，相同或对应的构成要件赋予相同的附图标记，省略对其的重复说明。
57.在以下的实施例中，第一、第二等用语不是限定性的含义，用于将一个构成要件区
分于其它构成要件的目的。
58.在以下的实施例中，单数的表达只要在文脉上没有明确表示为不同，包含复数的表达。
59.在以下的实施例中，包括或具有等用语意指存在说明书中记载的特征或构成要件，并不预先排除附加一个以上的其它特征或构成要件的可能性。
60.在以下的实施例中，当表述为膜、区域、构成要件等部分在其它部分之上或上时，不仅包括直接在其它部分之上的情况，还包括其它膜、区域、构成要件等介于其中间的情况。
61.在附图中，为了便于说明，可能放大或缩小构成要件其尺寸。例如，由于在附图中出现的各构成的尺寸和厚度是为了便于说明而任意呈现，因此本公开并不是必须限于如图所示的。
62.在某实施例能够不同地实现的情况下，特定的工艺顺序也可以与说明的顺序不同地执行。例如，连续说明的两个工艺也可以实质上同时执行，可以以与说明的顺序相反的顺序进行。
63.在以下的实施例中，当表述为膜、区域、构成要件等被连接时，不仅包括膜、区域、构成要件被直接连接的情况，还包括膜、区域、构成要件中间介入有其它膜、区域、构成要件而间接连接的情况。例如，当在本说明书中表述为膜、区域、构成要件等被电连接时，不仅包括膜、区域、构成要件等被直接电连接的情况，还包括其中间介入有其它膜、区域、构成要件等而间接电连接的情况。
64.图1是概要示出根据本公开的一实施例的显示装置的制造装置1000的立体图。图2是概要示出根据本公开的一实施例的液滴测定部5000的立体图。
65.参照图1以及图2，显示装置的制造装置1000可以包括工作台1100、第一门吊2000、第一移动部3000、液滴喷出部4000、液滴测定部5000以及控制部6000。
66.工作台1100可以包括导向部件1200以及基板移动部件1300。工作台1100可以包括用于排列显示基板s的对齐标记(未图示)。工作台1100可以向第一方向以及与第一方向交叉的第二方向延伸配置。在一实施例中，第一方向和第二方向可以彼此正交。例如，可以是，第一方向为x方向或
–
x方向，第二方向为y方向或
–
y方向。在一实施例中，第一方向和第二方向可以彼此形成锐角，或者形成钝角。以下，以第一方向和第二方向彼此正交的情况为中心进行详细说明。
67.在此，显示基板s可以是制造中的显示装置。显示基板s可以包括玻璃或聚醚砜(polyethersulfone)、聚芳酯(polyarylate)、聚醚酰亚胺(polyetherimide)、聚萘二甲酸乙二醇酯(polyethylene naphthalate)、聚对苯二甲酸乙二醇酯(polyethylene terephthalate)、聚苯硫醚(polyp henylene sulfide)、聚酰亚胺(polyimide)、聚碳酸酯(pc)、三醋酸纤维素(tac)、纤维素醋酸丙酸酯(cellulose acetate propionate)等之类聚合树脂。
68.导向部件1200可以将基板移动部件1300置于其之间而隔开配置于两侧。另外，导向部件1200可以从工作台1100向与第一方向以及第二方向交叉的第三方向(例如，z方向或
–
z方向)延伸配置。导向部件1200的长度可以比显示基板s的棱边长度更长。此时，导向部件1200的长度和显示基板s的棱边的长度可以沿着第二方向(例如，y方向或
–
y方向)测定。
69.在导向部件1200可以配置第一门吊2000。在一实施例中，导向部件1200可以包括一定的轨道以使得第一门吊2000可以沿导向部件1200的长度方向进行线性运动。例如，导向部件1200可以包括线性移动轨道(linear motion rail)。
70.基板移动部件1300可以配置于工作台1100上，并可以包括基板转动部件1400。基板移动部件1300可以沿导向部件1200的长度方向延伸。例如，基板移动部件1300可以沿第二方向(例如，y方向或
–
y方向)延伸。另外，基板移动部件1300可以包括轨道以使得基板转动部件1400可以线性移动。例如，基板移动部件1300可以包括线性移动轨道(line ar motion rail)。
71.基板转动部件1400可以在基板移动部件1300上转动。若基板转动部件1400转动，则配置于基板转动部件1400上的显示基板s可以转动。在一实施例中，基板转动部件1400可以以与安放显示基板s的工作台1100的一面垂直的转轴为中心转动。例如，基板转动部件1400可以以第三方向(例如，z方向或
–
z方向)为基准转动。若基板转动部件1400以与安放显示基板s的工作台1100的一面垂直的转轴为中心转动，则配置于基板转动部件1400上的显示基板s也可以以与工作台1100的一面垂直的转轴为中心转动。
72.第一门吊2000可以配置于导向部件1200上。即，第一门吊2000可以配置于将基板移动部件1300置于其之间而隔开配置于两侧的导向部件1200上。
73.第一门吊2000可以沿导向部件1200的长度方向移动。例如，第一门吊2000可以沿第二方向(例如，y方向或
–
y方向)移动。在一实施例中，第一门吊2000可以手动进行线性运动，或者具备马达、汽缸等而自动进行线性运动。例如，第一门吊2000可以通过包括沿线性移动轨道移动的线性移动块(linear motion block)而自动进行线性运动。
74.第一移动部3000以及喷出液滴ink的液滴喷出部4000可以配置于第一门吊2000上。在一实施例中，第一移动部3000可以在第一门吊2000上进行线性运动。第一门吊2000可以包括轨道以使得第一移动部3000可以进行线性运动。
75.第一移动部3000可以包括多个喷嘴移动单元。例如，第一移动部3000可以包括第一喷嘴移动单元3000a、第二喷嘴移动单元3000b以及第三喷嘴移动单元3000c。作为另一例，第一移动部3000可以包括一个以上喷嘴移动单元，或者包括4个以上喷嘴移动单元。但是，为了便于说明，以第一移动部3000包括第一喷嘴移动单元3000a、第二喷嘴移动单元3000b以及第三喷嘴移动单元3000c的情况为中心进行详细说明。
76.第一喷嘴移动单元3000a与第二喷嘴移动单元3000b之间的间隔可以与第二喷嘴移动单元3000b与第三喷嘴移动单元3000c之间的间隔相同地隔开配置。另外，第一喷嘴移动单元3000a与第二喷嘴移动单元3000b之间的间隔可以与第二喷嘴移动单元3000b与第三喷嘴移动单元3000c之间的间隔不同地隔开配置。
77.第一移动部3000可以在第一门吊2000上进行线性运动。第一移动部3000可以沿第一门吊2000的长度方向移动。例如，第一喷嘴移动单元3000a、第二喷嘴移动单元3000b以及第三喷嘴移动单元3000c中至少一个可以沿第一方向(例如，x方向或
–
x方向)移动。
78.在一实施例中，第一移动部3000可以自动进行线性运动。第一移动部3000可以通过具备马达、汽缸等而自动进行线性运动。例如，第一移动部3000可以包括沿线性移动轨道移动的线性移动块(linear motion b lock)。
79.液滴喷出部4000可以将液滴ink喷出于显示基板s或者要后述的检查台100。此时，
液滴ink可以是液晶(liquid crystal)、取向液、溶剂中混合颜料粒子的红色、绿色或蓝色的墨。在另一实施例中，液滴ink可以是与有机发光显示装置的发光层相应的高分子或低分子有机物。
80.第一移动部3000的喷嘴移动单元和液滴喷出部4000的喷出部可以以各种方式配置。例如，喷嘴移动单元和喷出部可以各具备一个。在这种情况下，从喷出部喷出液滴ink的喷头可以具备一个以上。
81.作为另一例，可以是，喷出部具备一个以上，喷嘴移动单元具备一个。此时，在具备多个喷出部的情况下，多个喷出部可以配置于一个喷嘴移动单元。因此，根据喷嘴移动单元的移动，多个喷出部可以同时移动。
82.作为又另一例，喷嘴移动单元和喷出部可以各具备多个。此时，在一个喷嘴移动单元可以配置一个以上喷出部。以下，为了便于说明，以在一个喷嘴移动单元配置一个喷出部的情况为中心进行详细说明。
83.即，液滴喷出部4000的喷出部可以配置于第一移动部3000的喷嘴移动单元。例如，第一喷出部4000a可以配置于第一喷嘴移动单元3000a。第二喷出部4000b可以配置于第二喷嘴移动单元3000b。第三喷出部4000c可以配置于第三喷嘴移动单元3000c。
84.第一喷出部4000a、第二喷出部4000b以及第三喷出部4000c可以各自独立地调节液滴量。第一喷出部4000a、第二喷出部4000b以及第三喷出部4000c可以与控制部6000分别电连接。因此，从第一喷出部4000a、第二喷出部4000b以及第三喷出部4000c分别喷出的液滴量可以通过控制部6000来调节。
85.液滴测定部5000可以测定从液滴喷出部4000被喷出的液滴ink。具体地，液滴测定部5000可以测定从液滴喷出部4000被喷出的液滴ink的体积。液滴测定部5000可以在液滴喷出部4000将液滴ink喷出于显示基板s之前，测定从液滴喷出部4000喷出的液滴ink的体积。在本实施例中，液滴测定部5000可以通过测定对象物的表面轮廓(surface profile)来测定从液滴喷出部4000被喷出的液滴ink的体积。此时，表面轮廓意指已设定区域的三维表面模样。例如，表面轮廓是将表面的模样、例如弯曲程度、槽、凸出部等三维表现的。因此，对象物的表面轮廓可以定义为对象物的三维表面模样。
86.液滴测定部5000可以包括检查台100、测定部200、距离调节部300、距离测定部400、第二移动部500以及第二门吊600。
87.检查台100可以配置于工作台1100上。此时，检查台100可以配置于导向部件1200之间。在一实施例中，检查台100的形状可以是与显示基板s相同的形状。在另一实施例中，检查台100可以包括膜供应部、膜回收部以及膜。此时，膜可以以卷轴形式配置于膜供应部以及膜回收部。即，膜可以卷绕在膜供应部以及膜回收部。以下，以检查台100的形状与显示基板s的形状相同的情况为中心进行详细说明。
88.检查台100可以与显示基板s类似地包括玻璃，或者包括聚醚砜(polyethersulfone)、聚芳酯(polyarylate)、聚醚酰亚胺(polyetherimide)、聚萘二甲酸乙二醇酯(polyethylene naphthalate)、聚对苯二甲酸乙二醇酯(polyethylene terephthalate)、聚苯硫醚(polyphenylene sulfide)、聚酰亚胺(polyimide)、聚碳酸酯(pc)、三醋酸纤维素(tac)、纤维素醋酸丙酸酯(cellulose acetate propionate)等之类聚合树脂。
89.测定部200可以测定对象物的表面轮廓(surface profile)。即，测定部200可以测定对象物的三维表面模样。另外，测定部200可以与控制部6000电连接而将对象物的三维表面模样向控制部6000传送。
90.测定部200可以是共聚焦显微镜(confocal microscope)或干涉显微镜(interferometric microscope)。共聚焦显微镜(confocal microscope)是可以将对象物以彼此不同深度获得多个二维图像并以其为基础重组对象物的三维结构的显微镜。作为共聚焦显微镜，例如可以是光谱共聚焦显微镜(chromatic confocal microscope)、光谱线性共聚焦显微镜(c hromatic line confocal microscope)等。干涉显微镜(interferometric microscope)是观察对象物的微细结构凹凸的变化、相位的变化等而进行定量测定的显微镜。作为干涉显微镜，例如可以是激光干涉显微镜(las er interferometric microscope)、白光干涉显微镜(white light interfero metric microscope)等。
91.测定部200可以在检查台100上移动。测定部200可以配置于第二移动部500而沿第二门吊600的长度方向移动。例如，测定部200可以与第二移动部500一起沿第一方向(例如，x方向或
–
x方向)移动。另外，测定部200可以与第二移动部500一起沿第二方向(例如，y方向或
–
y方向)移动。
92.测定部200可以向与工作台1100的一面垂直的方向移动。例如，测定部200可以向第三方向(例如，z方向或
–
z方向)移动。因此，可以调节检查台100与测定部200之间的距离。例如，测定部200与检查台100之间的距离可以变长或变短。
93.距离调节部300可以调节测定部200与检查台100之间的距离。距离调节部300可以与测定部200连接，并可以与第二移动部500连接。距离调节部300可以通过使测定部200移动而使检查台100与测定部200之间的距离变长或变短。
94.距离调节部300可以向第三方向(例如，z方向或
–
z方向)延长或缩短。在这种情况下，距离调节部300可以包括汽缸。另外，距离调节部300可以包括线性马达，或者包括齿条和小齿轮。如此，距离调节部300可以包括使测定部200移动的所有装置以及所有结构。
95.距离调节部300可以与控制部6000电连接。因此，距离调节部300可以根据从控制部6000传递的电信号而延长或缩短。
96.距离测定部400可以测定从已设定的高度至检查台100的距离。已设定的高度例如可以是向第三方向(例如，z方向或
–
z方向)从工作台1100的上面至距离测定部400的末端部的距离。另外，已设定的高度可以是从向第三方向(例如，z方向或
–
z方向)从工作台1100的上面至距离测定部400的末端部的距离减去检查台100的平均厚度的值。另外，已设定的高度可以是向第三方向(例如，z方向或
–
z方向)从任意地点至距离测定部400的末端部的距离。从已设定的高度至检查台100的距离可以是向第三方向(例如，z方向或
–
z方向)从已设定的高度至检查台100的上面的距离。
97.距离测定部400可以与控制部6000电连接。因此，从距离测定部400获得的从已设定的高度至检查台100的距离可以向控制部6000传送。
98.在一实施例中，液滴测定部5000可以包括至少一个距离测定部400。例如，液滴测定部5000可以包括一个距离测定部400。在另一实施例中，液滴测定部5000可以包括多个距离测定部400。以下，以液滴测定部5000包括一个距离测定部400的情况为中心进行详细说
明。
99.距离测定部400可以包括距离测定模组410以及连接部420。距离测定模组410可以测定从已设定的高度至检查台100的上面的距离。在一实施例中，距离测定模组410可以在与检查台100的上面隔开的状态下，测定从已设定的高度至检查台100的上面的距离。例如，距离测定模组410可以包括激光位移传感器。在这种情况下，距离测定模组410可以利用从所述激光位移传感器射出的激光来测定从已设定的高度至检查台100的上面的距离。作为另一例，距离测定模组410可以包括共聚焦显微镜(confocal microscope)或干涉显微镜(interferometric microscope)。在这种情况下，距离测定模组410可以通过测定到的对象物的表面轮廓来测定从已设定的高度至检查台100的上面的距离。作为又另一例，距离测定模组410可以包括超声波位移传感器。在这种情况下，可以利用从所述超声波位移传感器射出的超声波来测定从已设定的高度至检查台100的上面的距离。作为又另一例，距离测定模组410可以包括静电容量式位移传感器。在这种情况下，所述静电容量式位移传感器可以利用静电容量式位移测定原理来测定从已设定的高度至检查台100的上面的距离。作为又另一例，距离测定模组410可以包括自动对焦(auto focus)装置，从而测定从已设定的高度至检查台100的上面的距离。
100.在一实施例中，距离测定模组410可以通过与检查台100的上面接触来测定从已设定的高度至检查台100的上面的距离。在这种情况下，距离测定模组410可以下降至检查台100的上面，从而测定从已设定的高度至检查台100的上面的距离。如上述那样，距离测定模组410可以包括测定从已设定的高度至检查台100的上面的距离的所有装置以及所有结构。
101.连接部420可以连接距离测定模组410和第二移动部500。连接部420可以向第二方向(例如，y方向或
–
y方向)延伸。在这种情况下，可以是在连接部420的一侧配置第二移动部500，在连接部420的另一侧配置距离测定模组410。
102.在一部分实施例中，连接部420可以向第二方向(例如，y方向或
–
y方向)延长或缩短。在这种情况下，连接部420可以包括汽缸、线性马达等。
103.在一实施例中，距离测定模组410以及测定部200可以向第二方向(例如，y方向或
–
y方向)隔开配置。因此，测定部200可以测定沿第一方向(例如，x方向或
–
x方向)被喷出于第一区域的液滴ink的表面轮廓。距离测定模组410可以沿第一方向(例如，x方向或
–
x方向)测定从已设定的高度至检查台100中与被喷出的液滴ink向第二方向(例如，y方向或
–
y方向)隔开的第二区域的距离。
104.另外，距离测定模组410以及测定部200可以向第一方向(例如，x方向或
–
x方向)隔开配置。在这种情况下，距离测定模组410可以沿第一方向(例如，x方向或
–
x方向)先行于测定部200并测定从已设定的高度至检查台100的上面的距离。
105.第二移动部500可以使距离调节部300以及距离测定部400向第一方向(例如，x方向或
–
x方向)移动。可以是，距离调节部300的一端与测定部200连接，距离调节部300的另一端与第二移动部500连接。另外，可以是，连接部420的一端与距离测定模组410连接，连接部420的另一端与第二移动部500连接。
106.在一实施例中，第二移动部500可以与距离调节部300以及距离测定部400连接。在这种情况下，距离调节部300以及距离测定部400可以与第二移动部500连接而向第一方向(例如，x方向或
–
x方向)一起移动。另外，在距离测定部400与测定部200沿第一方向(例如，x
方向或
–
x方向)隔开的情况下，距离测定部400可以先行于测定部200并一起移动。
107.在另一实施例中，可以是，第二移动部500与距离调节部300连接，距离测定部400与第三移动部(未图示)连接。以下，以距离调节部300以及距离测定部400都连接于第二移动部500的情况为中心进行详细说明。
108.在一实施例中，第二移动部500可以手动进行线性运动，或者具备马达、汽缸等而自动进行线性运动。例如，第二移动部500可以包括沿线性移动轨道移动的线性移动块(linear motion block)而自动进行线性运动。
109.第二门吊600可以配置于导向部件1200。第二门吊600可以与第一门吊2000类似地配置于将检查台100置于其之间而隔开配置于两侧的导向部件1200。图1中示出第二门吊600配置于配置有第一门吊2000的导向部件1200，但在另一实施例中，第二门吊600也可以配置于不是导向部件1200的其它第二导向部件。
110.第二门吊600可以沿导向部件1200的长度方向移动。例如，第二门吊600可以沿第二方向(例如，y方向或
–
y方向)移动。在一实施例中，第二门吊600可以手动进行线性运动，或者具备马达、汽缸等而自动进行线性运动。例如，第二门吊600可以包括沿线性移动轨道移动的线性移动块(linear motion block)。
111.在第二门吊600可以连接第二移动部500。第二移动部500可以沿第二门吊600的长度方向移动。例如，第二移动部500可以向第一方向(例如，x方向或
–
x方向)移动。此时，第二门吊600可以包括线性移动轨道。
112.如上述那样的显示装置的制造装置1000可以用于与检查台100的表面的模样无关地精密测定多个液滴ink的表面轮廓。检查台100由于外部的因素或检查台100内部的应力(stress)而可能发生弯曲。在这种情况下，需要执行将检查台100的上面平坦化的作业。另外，在测定部200测定被喷出的液滴ink的表面轮廓的情况下，由于检查台100的形状而液滴ink的表面轮廓可能被失真测定，测定部200可能与检查台100的上面不对焦。
113.在第三方向(例如，z方向或
–
z方向)上的检查台100的弯曲偏差大于第三方向(例如，z方向或
–
z方向)上的测定部200的测定范围的情况下，可能测定不到液滴ink的表面轮廓。在这种情况下，需要重新设定测定部200与检查台100之间的距离之后，测定液滴ink的表面轮廓，因此测定时间可能增加。
114.在本公开的实施例中，测定部200与调节测定部200和检查台100之间的距离的距离调节部300连接，因此可以与检查台100的形状无关地精密测定多个液滴ink的表面轮廓。因此，由于没有必要在液滴喷出部4000喷出液滴ink之前执行将检查台100的上面平坦化的平坦化作业，可以有效地测定液滴ink的体积。
115.另外，在本公开的实施例中，距离测定部400可以先行于测定部200并沿第一方向(例如，x方向或
–
x方向)测定从已设定的高度至检查台100的距离。由此，距离调节部300可以调节测定部200与检查台100之间的距离。具体地，可以在距离测定部400测定从已设定的高度至检查台100的距离之后，控制部6000利用测定的距离数据使距离调节部300延长或缩短。因此，当测定部200沿第一方向(例如，x方向或
–
x方向)移动时，距离调节部300可以使测定部200与检查台100之间的距离保持一定。由此，显示装置的制造装置1000可以与检查台100的表面的模样无关地以保持对焦的状态测定液滴ink的表面轮廓，可以缩短液滴ink的体积测定时间。
116.以下，详细说明显示装置的制造装置1000的运转方法。
117.图3是示出根据本公开的一实施例的第一区域r1以及第二区域r2的俯视图。图4是示出距离测定部400的运转方法的截面图。图5、图6以及图7是示出测定部200以及距离调节部300的运转方法的截面图。
118.参照图3，液滴ink可以喷出于检查台100。此时，液滴喷出部(未图示)可以将多个液滴ink喷出于检查台100。液滴喷出部可以将已设定的液滴的量喷出于检查台100。
119.在一实施例中，多个液滴ink可以沿第一方向(例如，x方向或
–
x方向)喷出。在另一实施例中，多个液滴ink可以沿第一方向(例如，x方向或
–
x方向)和/或第二方向(例如，y方向或
–
y方向)喷出。以下，以多个液滴ink沿第一方向(例如，x方向或
–
x方向)被喷出的情况为中心进行详细说明。
120.液滴ink可以喷出于第一区域r1。第一区域r1可以是检查台100的上面中测定部200测定表面轮廓的区域。此时，第一区域r1可以沿第一方向(例如，x方向或
–
x方向)延伸。
121.参照图3以及图4，距离测定部400可以测定从已设定的高度至检查台100的距离。距离测定部400可以测定从已设定的高度至与液滴ink隔开的第二区域r2的距离。例如，已设定的高度可以是从工作台(未图示)的上面至距离测定模组410的末端部的高度。此时，从已设定的高度至第二区域r2的距离可以测定为第一距离d1。距离测定部400测定的有关第一距离d1的信息可以向控制部(未图示)传递。
122.第二区域r2可以沿第一方向(例如，x方向或
–
x方向)延伸。具体地，第二区域r2可以与液滴ink向第二方向(例如，y方向或
–
y方向)隔开并沿第一方向(例如，x方向或
–
x方向)延伸。因此，距离测定部400可以测定从已设定的高度至检查台100的距离而不是从已设定的高度至液滴ink的表面的距离。
123.假若第二区域r2与液滴ink重叠，则距离测定部400可以测定从已设定的高度至液滴ink的表面的距离。在这种情况下，距离调节部300还反映液滴ink的高度来延长或缩短，因此不能测定液滴ink的准确的表面轮廓。在本公开的实施例中，距离测定部400可以测定从已设定的高度至与液滴ink向第二方向(例如，y方向或
–
y方向)隔开的第二区域r2的距离。
124.在一实施例中，第一区域r1可以与第二区域r2隔开。在图3中，示出第二区域r2从第一区域r1向y方向隔开，但在另一实施例中，第二区域r2可以从第一区域r1向
–
y方向隔开。以下，以第二区域r2从第一区域r1向y方向隔开的情况为中心进行详细说明。
125.参照图4以及图5，第二移动部500可以沿第一方向(例如，x方向或
–
x方向)移动。由此，测定部200以及距离测定部400可以同时沿第一方向(例如，x方向或
–
x方向)移动。在这种情况下，距离测定部400可以先行于测定部200并一起移动。
126.距离调节部300可以在测定部200在检查台100上移动的期间，调节测定部200与检查台100之间的距离。在本实施例中，距离调节部300可以在测定部200在检查台100上移动的期间，使测定部200与检查台100之间的距离dis保持一定。首先，可以设定测定部200与检查台100之间的距离dis。然后，距离测定部400可以一边向第一方向(例如，x方向或
–
x方向)移动一边测定从已设定的高度至第二区域r2的距离。其后，距离测定部400测定的距离值、例如有关第一距离d1的信息可以向控制部(未图示)传递。控制部可以基于有关第一距离d1的信息使距离调节部300延长或缩短。因此，距离调节部300可以根据从已设定的高度至检
查台100的距离来调节测定部200与检查台100之间的距离，尤其是距离调节部300可以使测定部200与检查台100之间的距离dis保持一定。因此，测定部200可以对第一区域r1保持对焦。
127.测定部200可以测定被喷出于第一区域r1的液滴ink的表面轮廓。在本公开的实施例中，测定部200与检查台100之间的距离dis保持一定，因此可以与检查台100的形状无关地精密测定液滴ink的表面轮廓。
128.参照图6，第二移动部500可以沿第一方向(例如，x方向或
–
x方向)移动。由此，测定部200以及距离测定部400可以同时沿第一方向(例如，x方向或
–
x方向)移动。
129.距离测定部400可以测定从已设定的高度至检查台100的距离。距离测定部400可以测定从已设定的高度至与液滴ink隔开的第二区域(未图示)的距离。此时，从已设定的高度至第二区域(未图示)的距离可以测定为第二距离d2。距离测定部400测定的有关第二距离d2的信息可以向控制部(未图示)传递。
130.距离调节部300可以在测定部200在检查台100上移动的期间，调节测定部200与检查台100之间的距离。在本实施例中，距离调节部300可以在测定部200在检查台100上移动的期间，使测定部200与检查台100之间的距离dis保持一定。在图6中，示出为了使测定部200与检查台100之间的距离dis保持一定而距离调节部300延长。
131.测定部200可以测定被喷出于第一区域r1的液滴ink的表面轮廓。
132.参照图7，第二移动部500可以沿第一方向(例如，x方向或
–
x方向)移动。由此，测定部200以及距离测定部400可以同时沿第一方向(例如，x方向或
–
x方向)移动。
133.距离测定部400可以测定从已设定的高度至检查台100的距离。距离测定部400可以测定从已设定的高度至与液滴ink隔开的第二区域(未图示)的距离。此时，从已设定的高度至第二区域(未图示)的距离可以测定为第三距离d3。距离测定部400测定的有关第三距离d3的信息可以向控制部(未图示)传递。
134.距离调节部300可以在测定部200在检查台100上移动的期间，调节测定部200与检查台100之间的距离。在本实施例中，距离调节部300可以在测定部200在检查台100上移动的期间，使测定部200与检查台100之间的距离dis保持一定。在图7中，示出为了使测定部200与检查台100之间的距离dis保持一定而距离调节部300缩短。
135.图8是示出根据本公开的另一实施例的第一区域r1以及第二区域r2的俯视图。在图8中，与图3相同的附图标记意指相同部件，省略重复的说明。
136.参照图8，多个液滴ink可以喷出于沿第一方向(例如，x方向或
–
x方向)延伸的第一区域r1。第一区域r1可以是检查台100的上面中测定部200测定表面轮廓的区域。
137.在本实施例中，第二区域r2可以与第一区域r1重叠。此时，第二区域r2可以与液滴ink向第二方向(例如，y方向或
–
y方向)隔开。因此，距离测定部400可以测定从已设定的高度至检查台100的距离而不是从已设定的高度至液滴ink的表面的距离。
138.在本实施例中，距离测定部400可以测定从已设定的高度至与第一区域r1重叠的第二区域r2的距离。因此，距离测定部400可以测定与测定部200所测定的检查台100的表面轮廓对应的检查台100的形状。
139.图9是概要示出根据本公开的另一实施例的液滴测定部5000-1的立体图。在图9中，与图2相同的附图标记意指相同部件，省略重复的说明。
140.参照图9，液滴测定部5000-1可以包括检查台100、测定部200、距离调节部300、距离测定部400-1、第二移动部500以及第二门吊600。
141.距离测定部400-1可以测定从已设定的高度至检查台100的距离，并可以与控制部(未图示)电连接。因此，从距离测定部400-1获得的从已设定的高度至检查台100的距离可以向控制部6000传送。
142.在本实施例中，液滴测定部5000-1可以包括多个距离测定部400-1。例如，多个距离测定部400-1可以包括第一距离测定部400a以及第二距离测定部400b。多个距离测定部400-1可以还包括第三距离测定部。以下，以多个距离测定部400-1包括第一距离测定部400a以及第二距离测定部400b的情况为中心进行详细说明。
143.第一距离测定部400a可以包括第一距离测定模组411以及第一连接部421。第二距离测定部400b可以包括第二距离测定模组412以及第二连接部422。第一距离测定模组411以及第二距离测定模组412与图2的距离测定模组410相同或类似，因此省略详细的说明。
144.第一连接部421可以连接第一距离测定模组411和第二移动部500。第一连接部421可以从第二移动部500向y方向延伸。在这种情况下，可以是在第一连接部421的一侧配置第二移动部500，在第一连接部421的另一侧配置第一距离测定模组411。第一距离测定模组411可以从测定部200向y方向隔开配置。因此，测定部200可以测定沿第一方向(例如，x方向或
–
x方向)被喷出的液滴ink的表面轮廓，第一距离测定模组411可以测定从已设定的高度至检查台100中从被喷出的液滴ink向y方向隔开的区域的距离。
145.第二连接部422可以连接第二距离测定模组412和第二移动部500。第二连接部422可以从第二移动部500向-y方向延伸。在这种情况下，可以是在第二连接部422的一侧配置第二移动部500，在第二连接部422的另一侧配置第二距离测定模组412。第二距离测定模组412可以从测定部200向-y方向隔开配置。因此，测定部200可以沿第一方向(例如，x方向或
–
x方向)测定被喷出的液滴ink的表面轮廓，第二距离测定模组412可以测定从已设定的高度至检查台100中从被喷出的液滴ink向-y方向隔开的区域的距离。
146.在一部分实施例中，第一连接部421以及第二连接部422中至少一个可以向第二方向(例如，y方向或
–
y方向)延长或缩短。在这种情况下，第一连接部421以及第二连接部422中至少一个可以包括汽缸、线性马达等。
147.在本实施例中，从已设定的高度至检查台100的距离可以是第一距离测定模组411所测定的距离以及第二距离测定模组412所测定的距离的平均值。控制部(未图示)可以利用所述平均值而使距离调节部300延长或缩短，测定部200可以对应于检查台100的形状向第三方向(例如，z方向或
–
z方向)移动。因此，测定部200可以与被喷出液滴ink的检查台100的形状无关地测定液滴ink的表面轮廓。
148.图10以及图11是示出根据本公开的又另一实施例的第一区域r1以及第二区域r2的俯视图。在图10以及图11中，与图3相同的附图标记意指相同部件，省略重复的说明。
149.参照图10以及图11，多个液滴ink可以喷出于沿第一方向(例如，x方向或
–
x方向)延伸的第一区域r1。第一区域r1可以是检查台100的上面中测定部200测定表面轮廓的区域。
150.距离测定部(未图示)可以测定从已设定的高度至检查台100的距离。距离测定部可以测定从已设定的高度至与液滴ink隔开的第二区域r2的距离。第二区域r2可以包括将
液滴ink置于其之间而向第二方向(例如，y方向或
–
y方向)隔开的第一部分ra2以及第二部分rb2。第一部分ra2以及第二部分rb2可以沿第一方向(例如，x方向或
–
x方向)延伸。
151.第一距离测定部400a(参照图9)可以测定从已设定的高度至第一部分ra2的距离。第二距离测定部400b(参照图9)可以测定从已设定的高度至第二部分rb2的距离。在这种情况下，从已设定的高度至检查台100的距离可以是从已设定的高度至第一部分ra2的距离以及从已设定的高度至第二部分rb2的距离的平均值。控制部(未图示)可以利用所述平均值而使距离调节部300延长或缩短，测定部200可以对应于检查台100的形状向第三方向(例如，z方向或
–
z方向)移动。因此，测定部200可以准确地测定液滴ink的表面轮廓。
152.参照图10，第一区域r1和第二区域r2可以彼此隔开。具体地，第一部分ra2可以与第一区域r1向第二方向(例如，y方向或
–
y方向)隔开。第二部分rb2可以与第一区域r1向第二方向(例如，y方向或
–
y方向)隔开。第一区域r1可以配置于第一部分ra2与第二部分rb2之间。
153.参照图11，第一区域r1和第二区域r2可以彼此重叠。此时，第一部分ra2可以与液滴ink向第二方向(例如，y方向或
–
y方向)隔开。第二部分rb2可以与液滴ink向第二方向(例如，y方向或
–
y方向)隔开。液滴ink可以配置于第一部分ra2与第二部分rb2之间。
154.在本实施例中，第一距离测定部400a(参照图9)可以测定从已设定的高度至与第一区域r1重叠的第一部分ra2的距离。第二距离测定部400b(参照图9)可以测定从已设定的高度至与第一区域r1重叠的第二部分rb2的距离。因此，第一距离测定部400a(参照图9)以及第二距离测定部400b(参照图9)可以测定与测定部200所测定的检查台100的表面轮廓对应的检查台100的形状。
155.在这样的显示装置的制造装置1000中，液滴喷出部4000可以将液滴ink喷出于检查台100，可以测定液滴ink的表面轮廓而测定液滴ink的体积。在一实施例中，控制部6000可以比较从液滴测定部5000获得的液滴ink的准确的体积和使得从液滴喷出部4000喷出的已设定的液滴的体积。例如，控制部6000可以设定成使得从第一喷出部4000a喷出1ml的液滴。然后，第一喷出部4000a喷出在液滴测定部5000中已设定的液滴(1ml)。此时，若从液滴测定部5000获得的被喷出的液滴ink的准确的体积不是1ml，则控制部6000可以改变使得从第一喷出部4000a喷出的已设定的液滴的体积。重复这样的过程，就会可以从液滴喷出部4000喷出原本要喷出的液滴的体积。因此，可以实现针对液滴喷出部4000所喷出的液滴ink的体积的精密控制。
156.显示装置的制造装置1000的液滴喷出部4000可以将已设定的液滴喷出于显示基板s上。此时，液滴喷出部4000所喷出的液滴ink可以向显示基板s喷出在液滴测定部5000中测定的准确的体积量。因此，可以解决在制造的显示装置中由于多个液滴ink之间的体积差异而发生的斑点等的问题。
157.图12a以及图12b是示出被喷出的液滴ink的表面轮廓的模拟结果。图12a示出表现没有调节测定部与检查台之间的距离的情况下的被喷出的液滴ink的表面轮廓的模拟结果。图12b示出表现调节了测定部与检查台之间的距离的情况下的被喷出的液滴ink的表面轮廓的模拟结果。
158.参照图12a，检查台由于外部的因素或检查台内部的应力而可能发生弯曲，多个液滴ink可能沿检查台的形状配置。在这种情况下，由于检查台的形状，液滴ink中一部分ink
′
的表面轮廓可能被失真测定。另外，在检查台的弯曲偏差大的情况下，可能测定不到液滴ink的表面轮廓。
159.参照图12b，由于测定部与调节测定部与检查台之间的距离的距离调节部连接，因此测定部与检查台之间可以与检查台的形状无关地保持一定的距离。因此，测定部可以与检查台的形状无关地精密测定多个液滴i nk的表面轮廓。
160.以下，详细说明利用如上述那样的显示装置的制造装置制造的显示装置1。
161.图13是概要示出通过根据本公开的一实施例的显示装置的制造装置制造显示装置1的俯视图。
162.参照图13，显示装置1包括展现图像的显示区域da和不展现图像的非显示区域nda。显示装置1可以利用从配置于显示区域da的多个像素px发出光来提供图像。各像素px可以分别发出红色、绿色、蓝色或白色的光。
163.显示装置1作为显示图像的装置，可以是如游戏机、多媒体机、超小型pc那样可携带的移动设备。后述的显示装置1可以包括液晶显示装置(liquid crystal display)、电泳显示装置(electrophoretic display)、有机发光显示装置(organic light emitting display)、无机电致发光显示装置(inorganic light emitting display)、场发射显示装置(field e mission display)、表面传导电子发射显示装置(surface-conduction ele ctron-emitter display)、量子点显示装置(quantum dot display)、等离子显示装置(plasma display)、阴极射线管显示装置(cathode ray di splay)等。以下，作为用根据本公开的一实施例的显示装置的制造装置制造的显示装置1，以有机发光显示装置为例进行说明，但是本公开的实施例可以用于如前述那样的多种方式的显示装置的制造。
164.像素px可以分别电连接于扫描线sl以及数据线dln。可以是，扫描线sl向x方向延伸，数据线dln向y方向延伸。
165.图14是概要示出通过根据本公开的一实施例的显示装置的制造装置制造的显示装置的截面图。
166.参照图14，显示层dl、薄膜封装层tfe可以配置于基板10上。显示层dl可以包括像素电路层pcl以及显示要件层del。
167.基板10可以包括玻璃或聚醚砜(polyethersulfone)、聚芳酯(polya rylate)、聚醚酰亚胺(polyetherimide)、聚萘二甲酸乙二醇酯(polyeth ylene naphthalate)、聚对苯二甲酸乙二醇酯(polyethylene terephthalate)、聚苯硫醚(polyphenylene sulfide)、聚酰亚胺(polyimide)、聚碳酸酯(polycarbonate)、三醋酸纤维素、纤维素醋酸丙酸酯(cellulose acetat e propionate)等之类聚合树脂。
168.在显示层dl与基板10之间可以还包括势垒层(未图示)。势垒层作为防止外部异物渗透的势垒层，可以是包含氮化硅、氧化硅之类无机物的单一层或多层。
169.在基板10上配置像素电路层pcl。图14示出像素电路层pcl包括薄膜晶体管tft以及配置于薄膜晶体管tft的构成要件之下或/和之上的缓冲层11、第一栅极绝缘层13a、第二栅极绝缘层13b、层间绝缘层15以及平坦化绝缘层17。
170.缓冲层11可以包含氮化硅、氮氧化硅以及氧化硅之类无机绝缘物，并可以是包含前述的无机绝缘物的单层或多层。
171.薄膜晶体管tft包括半导体层12，半导体层12可以包含多晶硅。另外，半导体层12
可以包含非晶(amorphous)硅，或者包含氧化物半导体，或者包含有机半导体等。半导体层12可以包括沟道区域12c以及分别配置于沟道区域12c的两侧的漏极区域12a以及源极区域12b。栅极电极14可以与沟道区域12c重叠。
172.栅极电极14可以包含低阻抗金属物质。栅极电极14可以包含将钼(mo)、铝(al)、铜(cu)、钛(ti)等包含的导电物质，并可以由包含所述的材料的多层或单层形成。
173.半导体层12与栅极电极14之间的第一栅极绝缘层13a可以包含氧化硅(sio2)、氮化硅(sin
x
)、氮氧化硅(sion)、氧化铝(al2o3)、氧化钛(tio2)、氧化钽(ta2o5)、氧化铪(hfo2)或氧化锌(zno2)等之类无机绝缘物。
174.第二栅极绝缘层13b可以以覆盖所述栅极电极14的方式具备。第二栅极绝缘层13b可以与所述第一栅极绝缘层13a类似地包含氧化硅(sio2)、氮化硅(sin
x
)、氮氧化硅(sion)、氧化铝(al2o3)、氧化钛(t io2)、氧化钽(ta2o5)、氧化铪(hfo2)或氧化锌(zno2)等之类无机绝缘物。
175.在第二栅极绝缘层13b上方可以配置储存电容器cst的上电极cst2。上电极cst2可以与其下的栅极电极14重叠。此时，将第二栅极绝缘层13b置于其之间而重叠的栅极电极14和上电极cst2可以形成储存电容器c st。即，栅极电极14可以以储存电容器cst的下电极cst1发挥功能。
176.如此，储存电容器cst和薄膜晶体管tft可以重叠形成。在一部分实施例中，储存电容器cst也可以形成为与薄膜晶体管tft不重叠。
177.上电极cst2可以包含铝(al)、铂(pt)、钯(pd)、银(ag)、镁(mg)、金(au)、镍(ni)、钕(nd)、铱(ir)、铬(cr)、钙(ca)、钼(mo)、钛(ti)、钨(w)和/或铜(cu)，并可以是前述的物质的单一层或多层。
178.层间绝缘层15可以覆盖上电极cst2。层间绝缘层15可以包含氧化硅(sio2)、氮化硅(sin
x
)、氮氧化硅(sion)、氧化铝(al2o3)、氧化钛(tio2)、氧化钽(ta2o5)、氧化铪(hfo2)或氧化锌(zno2)等。层间绝缘层15可以是包含前述的无机绝缘物的单一层或多层。
179.漏极电极16a以及源极电极16b可以分别位于层间绝缘层15上。漏极电极16a以及源极电极16b可以分别通过其下方的绝缘层的接触孔与漏极区域12a以及源极区域12b连接。漏极电极16a以及源极电极16b可以包含导电性好的材料。漏极电极16a以及源极电极16b可以包含将钼(m o)、铝(al)、铜(cu)、钛(ti)等包含的导电物质，并可以由包含上述的材料的多层或单层形成。作为一实施例，漏极电极16a以及源极电极16b可以具有ti/al/ti的多层结构。
180.平坦化绝缘层17可以包括有机绝缘层。平坦化绝缘层17可以包含聚甲基丙烯酸甲酯(pmma)或聚苯乙烯(ps)之类普通通用聚合物、具有酚基的聚合物衍生物、丙烯酸类聚合物、酰亚胺类聚合物、芳醚类聚合物、酰胺类聚合物、氟类聚合物、对二甲苯类聚合物、乙烯醇类聚合物以及这些的共混物之类有机绝缘物。
181.在前述的结构的像素电路层pcl上配置显示要件层del。可以是，显示要件层del包括有机发光二极管oled，并且有机发光二极管ole d的像素电极21通过平坦化绝缘层17的接触孔与薄膜晶体管tft电连接。
182.像素px可以包括有机发光二极管oled以及薄膜晶体管tft。各像素px可以通过有机发光二极管oled例如可以发出红色、绿色或蓝色光，或者发出红色、绿色、蓝色或白色的
光。
183.像素电极21可以包含氧化铟锡(ito；indium tin oxide)、氧化铟锌(izo；indium zinc oxide)、氧化锌(zno；zinc oxide)、氧化铟(in2o3：indium oxide)、氧化铟镓(igo；indium gallium oxide)或氧化锌铝(azo；aluminum zinc oxide)之类导电性氧化物。作为另一实施例，像素电极21可以包括将银(ag)、镁(mg)、铝(al)、铂(pt)、钯(pd)、金(au)、镍(ni)、钕(nd)、铱(ir)、铬(cr)或这些的化合物包含的反射膜。作为另一实施例，像素电极21可以还包括以ito、izo、zno或in2o3形成于前述的反射膜的之上/之下的膜。
184.在像素电极21上配置具有使像素电极21的中央部暴露的开口19op的像素界定膜19。像素界定膜19可以包含有机绝缘物和/或无机绝缘物。开口19op可以界定从有机发光二极管oled发出的光的发光区域(以下，称为发光区域)ea。例如，开口19op的宽度可以对应于发光区域ea的宽度。
185.在像素界定膜19的开口19op可以配置发光层22。发光层22可以包含发出预定颜色的光的高分子或低分子有机物。这样的发光层22可以通过本公开的实施例即显示装置的制造装置喷出液滴来形成。
186.虽未示出，在发光层22的之上和之下可以分别配置第一功能层以及第二功能层。第一功能层例如可以包括空穴传输层(htl：hole transpo rt layer)，或者包括空穴传输层以及空穴注入层(hil：hole injection layer)。第二功能层作为配置于发光层22之上的构成要件，是选择性(o ptional)的。第二功能层可以包括电子传输层(etl：electron transportlayer)和/或电子注入层(eil：electron injection layer)。第一功能层和/或第二功能层可以是形成为与要后述的公共电极23相同地将基板10整体覆盖的公共层。
187.公共电极23可以由功函数低的导电性物质形成。例如，公共电极23可以包括将银(ag)、镁(mg)、铝(al)、铂(pt)、钯(pd)、金(au)、镍(ni)、钕(nd)、铱(ir)、铬(cr)、锂(li)、钙(ca)或这些的合金等包含的(半)透明层。另外，公共电极23可以在包含前述的物质的(半)透明层上还包括ito、izo、zno或in2o3之类的层。
188.在一实施例中，薄膜封装层tfe可以包括至少一个无机封装层以及至少一个有机封装层，作为一实施例，图14示出薄膜封装层tfe包括依次层叠的第一无机封装层31、有机封装层32以及第二无机封装层33。
189.第一无机封装层31以及第二无机封装层33可以包含氧化铝、氧化钛、氧化钽、氧化铪、氧化锌、氧化硅、氮化硅、氮氧化硅中一个以上的无机物。有机封装层32可以包含聚合物(polymer)系列的物质。作为聚合物系列的材料，可以包括丙烯酸类树脂、环氧类树脂、聚酰亚胺以及聚乙烯等。作为一实施例，有机封装层32可以包含丙烯酸酯(acrylat e)。
190.在另一实施例中，薄膜封装层tfe可以是基板10和作为透明的部件的上基板用密封部件结合而密封基板10与上基板之间的内部空间的结构。此时，吸湿剂或填充材料等可以位于内部空间中。密封部件可以是密封剂，在另一实施例中，密封部件可以由被激光硬化的物质构成。例如，密封部件可以是熔块(frit)。具体地，密封部件可以由作为有机密封剂的聚氨酯类树脂、环氧类树脂、丙烯酸类树脂或作为无机密封剂的硅酮等形成。作为聚氨酯类树脂，例如可以使用聚氨酯丙烯酸酯等。作为丙烯酸类树脂，例如可以使用丙烯酸丁酯、乙基硅酸盐等。另一方面，密封部件可以由被热硬化的物质构成。
191.可以在薄膜封装层tfe上配置包括触摸电极的触摸电极层(未图示)，在触摸电极
层上配置光学功能层(未图示)。触摸电极层可以获取外部的输入、例如基于触摸事件的坐标信息。光学功能层可以减少从外部朝向显示装置1入射的光(外部光)的反射率，和/或可以提高从显示装置1发出的光色纯度。作为一实施例，光学功能层可以包括相位延迟片(retarder)和/或偏光片(polarizer)。相位延迟片可以是膜型或液晶涂层型，并可以包括λ/2相位延迟片和/或λ/4相位延迟片。偏光片也可以是膜型或液晶涂层型。可以是，膜型包括拉伸式合成树脂膜，液晶涂层型包括以预定的行列排列的液晶。相位延迟片以及偏光片可以还包括保护膜。
192.作为另一实施例，光学功能层可以包括黑色矩阵和滤色器。滤色器可以考虑从显示装置1的各个像素px发出的光的颜色来排列。各个滤色器可以包括红色、绿色或蓝色的颜料或染料。另外，各个滤色器可以除前述的颜料或染料以外还包括量子点。另外，滤色器中一部分可以不包括前述的颜料或染料，而可以包括氧化钛之类散射粒子。如上述那样的滤色器可以通过作为本公开的实施例的显示装置的制造装置喷出液滴来形成。
193.作为另一实施例，光学功能层可以包括相消干涉结构物。相消干涉结构物可以包括配置于彼此不同层上的第一反射层和第二反射层。在第一反射层以及第二反射层分别反射的第一反射光和第二反射光可以相消干涉，由此外部光反射率可以减少。
194.在所述触摸电极层与光学功能层之间可以配置粘合部件。所述粘合部件可以无限制地采用本技术领域中公知的普通粘合部件。所述粘合部件可以是压敏粘合剂(pressure sensitive adhesive，psa)。
195.这样的本公开通过参考附图中示出的一实施例来进行了说明，但其只是例示性的，本领域中具有通常知识的人员可以理解从其可以进行各种变形以及实施例的变形的这一点。因此，本公开的真正的技术保护范围应通过所附的权利要求书的技术构思来定。