显示装置的制造装置以及制造方法与流程

1.本发明涉及一种显示装置的制造装置以及显示装置的制造方法，更加详细地涉及一种在墨喷出工序中能够检查墨喷出不良的显示装置的制造装置以及制造方法。


背景技术：

2.正在广泛地应用基于移动性的电子设备。作为移动用电子设备除了诸如移动电话的小型电子设备以外，最近平板电脑也被广泛地应用。
3.这样的移动型电子设备为了支持多种功能，并为了向用户提供诸如图像或者影像的视觉信息而包括显示装置。最近，随着用于驱动显示装置的其他部件趋于小型化，显示装置在电子设备中所占的比重处于逐渐增加的趋势，并且也正在从平坦的状态开发为能够以具有预定的角度的方式弯曲的结构。
4.当制造这样的显示装置时，为了在部件上形成有机层等，例如，可以利用喷墨打印(inkjet printing)工序。在上述工序中可以利用喷出作为涂覆物质的墨的装置，然而在喷出装置中发生墨喷出不良的情况下，可能导致产品的品质不良。因此，可能需要检查喷出不良的装置以及方法。


技术实现要素：

5.现有的显示装置的制造装置在结束墨喷出工序后在单独的检查工序中检查喷出不良，从而存在在墨喷出工序中无法确认喷出不良的问题。
6.本发明用于解决包括如上所述的问题的多种问题，其他目的在于提供一种能够实施地确认墨喷出工序中的喷出不良的显示装置的制造装置及制造方法。但是，该课题仅为示例性的，并不据此限定本发明的范围。
7.根据本发明的一观点，提供一种显示装置的制造装置，包括：台面，放置部件；喷出单元，配备有头部、第一喷嘴部以及第二喷嘴部，其中，所述头部在所述台面上能够沿第一方向进行往复移动，所述第一喷嘴部以及第二喷嘴部在所述头部的一侧沿与所述第一方向交叉的第二方向排列，并且朝所述部件喷出墨；激光单元，发射分别与所述第一喷嘴部以及所述第二喷嘴部对应的第一激光束以及第二激光束；传感器单元，接收所述第一激光束以及所述第二激光束而测量所述第一激光束以及所述第二激光束各自的强度；以及判断单元，基于所述强度的测量结果来判断所述墨的喷出是否不良。
8.根据本实施例，所述第一激光束以及所述第二激光束的路径的至少一部分可以分别与所述第一喷嘴部的第一喷出路径以及所述第二喷嘴部的第二喷出路径交叉。
9.根据本实施例，所述激光单元可以包括：激光生成部，生成基础激光束；以及激光分割部，将所述基础激光束分割为所述第一激光束以及所述第二激光束。
10.根据本实施例，所述激光单元可以包括：间距调节部，调节所述第一激光束和所述第二激光束之间的间距。
11.根据本实施例，所述激光单元可以包括：发射角调节部，调节所述第一激光束以及
第二激光束的发射角，以使所述第一激光束和第二激光束的路径彼此平行。
12.根据本实施例，所述激光单元的发射位置和所述传感器单元的受光位置可以布置于同一平面上。
13.根据本实施例，所述同一平面可以位于所述喷出单元和所述部件之间。
14.根据本实施例，所述显示装置的制造装置还可以包括：第一驱动部以及第二驱动部，分别使所述激光单元以及所述传感器单元升降。
15.根据本实施例，所述显示装置的制造装置还可以包括：镜子，调节所述第一激光束以及第二激光束的路径。
16.根据本实施例，所述显示装置的制造装置还可以包括：第三驱动部，使所述镜子升降。
17.根据本实施例，所述激光单元可以布置于所述台面上，并且可以朝放置所述部件的所述台面的第一面发射所述第一激光束以及所述第二激光束。
18.根据本实施例，所述激光单元还可以发射与位于所述第一喷出路径的一侧的第一区域对应的第三激光束、与位于所述第一喷出路径和所述第二喷出路径之间的第二区域对应的第四激光束；以及与位于所述第二喷出路径的一侧的第三区域对应的第五激光束，所述第一区域可以将所述第一喷出路径置于之间而位于第二区域的相反侧，所述第三区域可以将所述第二喷出路径置于之间而位于第二区域的相反侧。
19.根据本实施例，所述第一激光束以及所述第二激光束的路径的至少一部分分别与所述第一喷嘴部的第一喷出路径以及所述第二喷嘴部的第二喷出路径交叉，所述第三激光束至第五激光束的路径的至少一部分可以分别通过所述第一区域、所述第二区域以及所述第三区域。
20.根据本实施例，所述激光单元可以发射沿所述第二方向延伸的线(line)形态的激光束。
21.根据本实施例，所述线形态的激光束的路径的至少一部分可以通过所述第一喷嘴部的第一喷出路径、所述第二喷嘴部的第二喷出路径、位于所述第一喷出路径的一侧的第一区域、位于所述第一喷出路径和所述第二喷出路径之间的第二区域以及位于所述第二喷出路径的一侧的第三区域，并且，所述第一区域可以将所述第一喷出路径置于之间而位于第二区域的相反侧，所述第三区域可以将所述第二喷出路径置于之间而位于第二区域的相反侧。
22.根据本发明的另一观点，提供一种显示装置的制造方法，包括如下步骤：在台面上准备部件；沿第一方向排列的第一喷嘴部以及第二喷嘴部向所述部件上喷出墨；发射分别与所述第一喷嘴部的第一喷出路径以及所述第二喷嘴部的第二喷出路径对应的第一激光束以及第二激光束；所述第一激光束以及所述第二激光束分别与所述第一喷出路径以及所述第二喷出路径交叉；接收所述第一激光束以及所述第二激光束而测量各自的强度；以及若所述第一激光束以及所述第二激光束各自的强度为预定的基准值以上，则确定第一喷嘴部以及第二喷嘴部各自的喷出不良。
23.根据本实施例，所述显示装置的制造方法还可以包括如下步骤：调节所述第一激光束以及所述第二激光束的路径，以使所述第一激光束以及所述第二激光束朝所述部件和所述第一喷嘴部以及所述第二喷嘴部之间行进。
24.根据本实施例，发射所述第一激光束以及所述第二激光束的步骤可以包括如下步骤：生成基础激光束；以及将所述基础激光束分割为所述第一激光束以及所述第二激光束而发射。
25.根据本实施例，发射所述第一激光束以及所述第二激光束的步骤可以包括如下步骤：调节所述第一激光束和所述第二激光束之间的间距；以及分别调节所述第一激光束以及所述第二激光束的发射角，以使所述第一激光束以及所述第二激光束的路径彼此平行。
26.根据本实施例，所述显示装置的制造方法还可以包括如下步骤：发射与位于所述第一喷出路径的一侧的第一区域对应的第三激光束、与位于所述第一喷出路径和所述第二喷出路径之间的第二区域对应的第四激光束以及与位于所述第二喷出路径的一侧的第三区域对应的第五激光束；所述第三激光束至所述第五激光束分别通过第一区域至第三区域；以及接收所述第三激光束至所述第五激光束而测量各自的强度，其中，确定所述喷出不良的步骤可以包括如下步骤：若所述第一激光束、所述第三激光束以及所述第四激光束的强度均为基准值以上，则确定所述第一喷嘴部的由于未喷出导致的不良；以及若所述第二激光束、所述第四激光束以及所述第五激光束的强度均为基准值以上，则确定所述第二喷嘴部的由于未喷出导致的不良。
27.根据本实施例，确定所述喷出不良的步骤还可以包括如下步骤：若所述第一激光束的强度为基准值以上，并且第三激光束的强度以及第四激光束的强度中的任意一个小于基准值，则确定第一喷嘴部的喷出角度不良；若所述第二激光束的强度为基准值以上，并且第四激光束的强度以及第五激光束的强度中的任意一个小于基准值，则确定第二喷嘴部的喷出角度不良。
28.根据本发明的另一观点，提供一种显示装置的制造方法，包括如下步骤：在台面上准备部件；沿第一方向排列的第一喷嘴部以及第二喷嘴部向所述部件上喷出墨；发射沿所述第一方向延伸的线形态的激光束；接收所述激光束而测量强度；以及判断所述第一喷嘴部以及所述第二喷嘴部各自的喷出是否不良。
29.根据本实施例，所述激光束可以包括分别与所述第一喷嘴部的第一喷出路径、所述第二喷嘴部的第二喷出路径、位于所述第一喷出路径的一侧的第一区域、位于所述第一喷出路径和所述第二喷出路径之间的第二区域以及位于所述第二喷出路径的一侧的第三区域对应的部分。
30.根据本实施例，测量所述强度的步骤可以包括如下步骤：测量所述激光束中的与所述第一喷出路径以及所述第二喷出路径对应的部分各自的第一强度以及第二强度；以及测量所述激光束中的与所述第一区域至所述第三区域对应的部分各自的第三强度、第四强度及第五强度。
31.根据本实施例，判断所述喷出是否不良的步骤可以包括如下步骤：若所述第一强度、第三强度以及第四强度均为基准值以上，则确定所述第一喷嘴部的由于未喷出导致的不良；以及若所述第二强度、第四强度以及第五强度均为基准值以上，则确定所述第二喷嘴部的由于未喷出导致的不良。
32.根据本实施例，确定所述喷出不良的步骤可以包括如下步骤：若所述第一强度为基准值以上，并且所述第三强度以及第四强度中的任意一个小于基准值，则确定第一喷嘴部的喷出角度不良；以及若所述第二强度为基准值以上，并且所述第四强度以及第五强度
中的任意一个小于基准值，则确定第二喷嘴部的喷出角度不良。
33.除了前述的记载之外的其他方面、特征、优点可从以下的用于实施发明的具体内容、权利要求书以及附图变得明确。
34.这样的一般并具体的侧面可以利用系统、方法、计算机程序或者任何系统、方法、计算机程序的组合而实施。
35.根据构成为如上的本发明的一实施例，可以在墨喷出工序中实时地确认喷出不良，从而可以提升产品生产率，并且可以实现能够实现有效的工序进行的显示装置的制造装置以及制造方法。当然，本发明的范围并不局限于这样的效果。
附图说明
36.图1是示意性地图示根据本发明的一实施例的显示装置的制造装置的剖视图。
37.图2是示意性地图示根据本发明的另一实施例的显示装置的制造装置的剖视图。
38.图3是示意性地图示根据本发明的又一实施例的显示装置的制造装置的剖视图。
39.图4是示意性地图示根据本发明的实施例的显示装置的制造装置的一部分的平面图。
40.图5a以及图5b是示意性地图示根据本发明的实施例的显示装置的制造装置的一部分的剖视图。
41.图6a以及图6b是示意性地示出图5b的显示装置的制造装置的操作方法的剖视图。
42.图7是示意性地示出根据本发明的实施例的显示装置的制造装置的一部分的剖视图。
43.图8a至图8c是示意性地示出图7的显示装置的制造装置的操作方法的剖视图。
44.图9是示意性地图示根据本发明的实施例的显示装置的制造装置的一部分的剖视图。
45.图10是示意性地示出图9的显示装置的制造装置的操作方法的剖视图。
46.符号说明：
47.1：显示装置的制造装置
48.10：台面
49.20：喷出单元
50.20h：头部
51.20n：喷嘴部
52.30：激光单元
53.40：传感器单元
54.50：判断单元
55.61：第一驱动部
56.62：第二驱动部
57.63：第三驱动部
58.a1～a3：第一区域至第三区域
59.l：激光束
60.p：喷出路径
具体实施方式
61.本发明可以进行多种变换且可以具有多种实施例，将特定实施例例示于附图并在具体说明中进行详细说明。本发明的效果和特征以及实现这些的方法若参照与附图一起详细地后述的实施例则将变得明确。然而，本发明并不限于以下公开的实施例，而是可以以多种形态实现。
62.以下，将参照附图对本发明的实施例进行详细说明，在参照附图进行说明时，对相同或者相应的构成要素赋予相同的附图符号，并且省略对此的重复说明。
63.在以下实施例中，第一、第二等术语并不被使用为限定性含义，而是以将一个构成要素与其他构成要素进行区分为目的而使用。
64.在以下的实施例中，只要在上下文中没有明确表示其他含义，则单数的表述包括复数的表述。
65.在以下的实施例中，“包括”或者“具有”等术语表示说明书上记载的特征或者构成要素的存在，并不预先排除附加一个以上的其他特征或者构成要素的可能性。
66.在以下的实施例中，当提及膜、区域、构成要素等的部分位于另一部分上或者之上时，不仅包括在另一部分的紧邻的上方的情形，还包括在其中间夹设有其他膜、区域、构成要素等的情形。
67.在附图中，为了便于说明，构成要素的大小可能被夸大或者缩小。例如，为了便于说明，在附图中示出的各个构成的大小以及厚度被任意地示出，因此本发明并不一定限于图示的内容。
68.在某个实施例能够以不同方式实现的情形下，特定工序顺序可以按不同于所说明的顺序而执行。例如，连续说明的两个工序可以实质上同时进行，也可以按与说明的顺序相反的顺序进行。
69.本说明书中，“a和/或b”表示是a、或者是b、或者是a和b的情形。并且，“a以及b中的至少一个”表示是a、或者是b、或者是a和b的情形。
70.在以下的实施例中，当提到膜、区域、构成要素等形成了连接时，不仅包括膜、区域、构成要素直接连接的情形，而且还包括在膜、区域、构成要素中间夹设其他膜、区域、构成要素而间接连接的情形。例如，在本说明书中，当提到膜、区域、构成要素等形成了电连接时，不仅表示膜、区域、构成要素等直接电连接的情形，而且还表示在其中间夹设其他膜、区域、构成要素等而间接电连接的情形。
71.x轴、y轴以及z轴不限于直角坐标系上的三个轴，可以被解释为包括其的宽泛的含义。例如，x轴、y轴以及z轴虽然也可以彼此垂直，但也可以指代彼此不垂直的彼此不同的方向。
72.图1是示意性地图示根据本发明的一实施例的显示装置的制造装置的剖视图。
73.参照图1，显示装置的制造装置1可以包括台面10、喷出单元20、激光单元30、传感器单元40、判断单元50、第一驱动部61以及第二驱动部62。
74.在台面10的一面可以放置部件s。部件s可以是借由显示装置的制造装置1而执行的工序的对象物。部件s可以是显示装置或者其一部分，例如，可以是利用于有机发光显示装置的制造的部件、膜等。台面10可以具有能够使部件s放置的平坦的一面，放置部件s的面可以具有四边形等的形状。
75.台面10可以被固定，或者在与以下所述的喷出单元20的关系中可以相对运动。以下为了便于说明，以台面10被固定的情形作为中心进行说明。
76.喷出单元20可以喷出作为涂覆于部件s的物质的墨(ink)。喷出单元20可以包括头部20h以及喷嘴部20n。头部20h可以布置于台面10的上部，并且可以沿x方向进行往复移动。
77.在头部20h一侧可以配备有至少两个喷嘴部20n。喷嘴部20n可以沿与所述x方向交叉的y方向排列。喷嘴部20n可以从头部20h接收墨，并且可以朝部件s喷出墨液滴。在此情况下，部件s将成为涂覆对象物，并且部件s的表面中的朝向所述喷嘴部20n的表面将成为涂覆对象面。作为涂覆物质的墨可以是液态，例如，可以包括颜料、染料、粘结剂、发光物质溶液等。
78.激光单元30可以布置为从部件s隔开。例如，激光单元30可以布置为沿头部20h的移动方向从部件s隔开。激光单元30可以生成激光束l而朝外部发射。此时，激光束l可以是检查用激光束，并且可以具有线形路径。作为一例，激光束l可以从激光单元30朝部件s以及喷出单元20行进。激光单元30可以发射一个以上的激光束l。在激光单元30发射一个激光束l的情况下，在显示装置的制造装置1可以配备有至少两个激光单元30。
79.传感器单元40可以接收激光单元30发射的激光束l。并且，传感器单元40可以测量接收的激光束l的强度。在接收两个以上的激光束l的情况下，传感器单元40可以测量接收的每个激光束l的强度。激光束的强度可以是激光束的光量。
80.传感器单元40可以布置为从部件s隔开。例如，传感器单元40可以布置为沿头部20h的移动方向隔开。传感器单元40可以布置于激光单元30的相反侧，以使部件s布置于它们之间。此时，传感器单元40接收激光束l的受光位置rp可以与激光单元30发射激光束l的发射位置ep处于同一平面r上。在此，所述平面r作为假想的平面，可以位于喷出单元20和部件s之间。据此，可以使从激光单元30发射的激光束l通过喷出单元20和部件s之间而到达传感器单元40为止的距离最小。通过使激光束l的路径的长度最短，可以使激光束l的强度的损失最小。如以下后述，这对于在判断墨喷出是否不良可以做出更加准确的判断。
81.判断单元50可以判断喷出单元20的墨的喷出是否不良。判断单元50可以接收传感器单元40对于激光束l强度的测量结果，并可以基于此来判断墨的喷出是否不良。判断单元50可以从传感器单元40通过有线或者无线而接收针对测量结果的数据信号。所述判断的方法将参照图6a以及图6b后述。
82.第一驱动部61以及第二驱动部62可以布置于台面10。第一驱动部61可以使激光单元30升降。第一驱动部61可以包括：第一动力要素61d，提供用于升降的动力；以及第一底座61m，支撑激光单元30，并且连接于第一动力要素61d。第二驱动部62可以使传感器单元40升降。第二驱动部62可以包括：第二动力要素62d，提供用于升降的动力；以及第二底座62m，支撑传感器单元40，并且连接于第二动力要素62d。
83.例如，第一动力要素61d以及第二动力要素62d可以包括气压缸、油压缸、直线马达、马达和齿条等线形运动器件。第一底座61m以及第二底座62m可以分别包括收纳部以及螺栓等的紧固机构，以能够分别与激光单元30以及传感器单元40牢固地固定而支撑这些。
84.喷出单元20可以在部件s上沿x方向进行往复移动，此时，第一驱动部61以及第二驱动部62可以以布置于部件s的两侧的激光单元30以及传感器单元40不与所述喷出单元20发生碰撞的方式分别使激光单元30以及传感器单元40升降。据此，可以防止装置受损，并且
可以确保安全性。
85.并且，第一驱动部61以及第二驱动部62可以用于为了确保用于在台面10上准备部件s的空间。部件s可以通过机器臂等安置于台面10上，此时，可以使激光单元30以及传感器单元40升降，以防止与部件s或者机器臂等碰撞。
86.图2是示意性地图示根据本发明的另一实施例的显示装置的制造装置的剖视图。将省略针对与之前参照图1而说明的显示装置的制造装置的构成相同的构成的说明，并且以下以差异点为主进行说明。
87.参照图2，在显示装置的制造装置1可以配备有调整激光束l的路径而使激光束l的路径的至少一部分位于喷出单元20和部件s之间的镜子m。镜子m可以以预定的角度反射入射的激光束l。虽然，在图2中图示了配备有4个镜子m的情形，然而并不局限于此，可以根据激光单元30以及传感器单元40等的布置而选择镜子的数量。
88.从激光单元30发射的激光束l可以朝第一镜子m1行进，并且可以在第一镜子m1的一面反射而朝第二镜子m2行进。入射至第二镜子m2的激光束l可以再次在第二镜子m2的一面反射而通过部件s和喷出单元20之间的空间。随后，激光束l可以朝第三镜子m3入射，并且可以在第三镜子m3的一面反射而朝第四镜子m4行进。入射至第四镜子m4的激光束l可以在第四镜子m4的一面反射而最终到达传感器单元40。
89.在显示装置的制造装置1可以配备有使镜子m升降的第三驱动部63。第三驱动部63可以包括：第三动力要素63d，提供用于升降的动力；以及第三底座63m，支撑镜子m，并且连接于第三动力要素63d。第三驱动部63可以与之前所述的第一驱动部61以及第二驱动部62类似地使镜子m升降，以防止镜子m与喷出单元20或者部件s碰撞。据此，可以防止装置受损，并且可以确保安全性。图2图示了配备有2个第三驱动部63的情形，然而并不局限于此，可以根据镜子m的数量而选择第三驱动部63的数量。
90.如上所述，显示装置的制造装置1可以配备镜子m以及第三驱动部63，从而可以使激光单元30以及传感器单元40多样地变形而布置。
91.图3是示意性地图示根据本发明的又一实施例的显示装置的制造装置的剖视图。将省略针对与之前参照图2而说明的显示装置的制造装置的构成相同的构成的说明，并且以下以差异点为主进行说明。
92.参照图3，激光单元30可以布置为在台面10上部与台面10重叠。并且，激光单元30可以朝放置部件s的台面10的第一面10a发射激光束l。在此情况下，在显示装置的制造装置1可以配备有调整激光束l的路径而使激光束l的路径的至少一部分位于喷出单元20和部件s之间的镜子m。
93.例如，从激光单元30发射的激光束l可以沿-z方向而朝第五镜子m5行进，并且可以在第五镜子m5的一面反射而通过部件s和喷出单元20之间的空间。随后，激光束l可以朝第六镜子m6入射，并且可以在第六镜子m6的一面反射而最终到达传感器单元40。
94.通过如上的布置，可以使显示装置的制造装置1所占的面积最小化。因此，可以减少用于设置显示装置的制造装置1的空间上的限制。
95.图4是示意性地图示根据本发明的一实施例的显示装置的制造装置的一部分的平面图。图4示意性地图示了激光单元的内部结构。
96.参照图4，激光单元30可以包括激光生成部31、激光分割部32、间距调节部33以及
发射角调节部34。
97.激光生成部31可以包括生成基础激光束lb的光源。激光生成部31可以生成基础激光束lb，并可以传送至激光分割部32。
98.激光分割部32可以将借由激光生成部31而生成的基础激光束lb分割而形成n个以上的激光束l1～ln。n可以是2以上的自然数。例如，分割的激光束l1～ln可以包括第一激光束l1以及第二激光束l2。激光分割部32可以将一个基础激光束lb分割为多个激光束l1～ln并同时发射。分割的数量可以根据喷嘴部20n的数量而决定。
99.间距调节部33可以调节分割的多个激光束l1～ln之间的间距d。所述间距d可以是沿与分割的多个激光束l1～ln的激光行进方向垂直的方向相邻的激光束l1～ln之间的距离。例如，间距调节部33可以调节第一激光束l1和第二激光束l2之间的间距。据此，如后所述，可以发射对应于每个喷嘴部20n的激光束l。
100.发射角调节部34可以调节激光束l1～ln的发射角θ，以使多个激光束l1～ln的路径彼此平行。在此，作为发射角θ可以是针对从发射角调节部34发射激光束l1～ln的一面的激光束l1～ln的角度。图4中图示了发射角θ为90度的情形，然而并不局限于此。发射角调节部34可以是使激光束l衍射以及折射而调节角度的f-θ透镜。例如，发射角调节部34可以调节第一激光束l1和第二激光束l2的发射角，而使第一激光束l1和第二激光束l2的路径彼此平行。
101.通过激光单元30的如上的结构，即使配备有一个激光生成部31，也可以同时发射多个激光束l。因此，在显示装置的制造装置1配备多个喷嘴部20n的情况下，可以以对应于各喷嘴部20n的方式发射激光束l，从而可以同时检查在多个喷嘴部20n的墨喷出不良。
102.图5a以及图5b是示意性地图示根据本发明的一实施例的显示装置的制造装置的一部分的剖视图。图5a以及图5b可以对应于在图1至图3的显示装置的制造装置中沿v-v'线截取的剖面。
103.参照图5a，喷出单元20的头部20h的朝向台面10的一侧可以排列有至少两个喷嘴部20n。喷嘴部20n可以沿与x方向交叉的y方向依次排列。三个点表示喷嘴部20n反复布置的状态。
104.喷嘴部20n可以朝部件s喷出墨。在喷嘴部20n正常地喷出墨的情况下，可以将墨的液滴所经过的路径定义为喷出路径p。喷出路径p可以是从喷嘴部20n至部件s的涂覆对象面为止的线形路径，并且针对涂覆对象面可以具有预定的角度，优选地，可以是最短直线路径(在此情况下，所述角度为90度)。在图5a中，各喷嘴部的喷出路径p示意性地以虚线的箭头图示。
105.参照图5b，激光单元30(图1)可以发射至少两个激光束l。在图5b中，激光束l的剖面图示为圆形，然而并不局限于此。激光束l可以对应于每个喷嘴部20n。
106.在借由激光单元30而持续地发射激光束l的状态下，借由喷嘴部20n可以喷出墨。激光束l的路径的至少一部分可以沿与喷嘴部20n的排列方向交叉的-x方向行进，并且可以与所述喷嘴部20n的喷出路径p交叉。激光束l的路径的至少一部分可以彼此平行。
107.图6a以及图6b是示意性地示出图5b的显示装置的制造装置的一部分的剖视图。图6a以及图6b图示以一部分喷嘴部为中心而放大的显示装置的制造装置的剖面。
108.参照图6a，如之前所述，显示装置的制造装置1可以包括沿y方向排列的至少两个
喷嘴部20n。例如，可以包括第一喷嘴部20n1及第二喷嘴部20n2。激光单元30(图1)可以发射分别与第一喷嘴部20n1的第一喷出路径p1以及第二喷嘴部20n2的第二喷出路径p2对应的第一激光束l1以及第二激光束l2。
109.在从第一喷嘴部20n1正常地喷出墨的情况下，第一激光束l1可以经过第一喷嘴部20n1的第一喷出路径p1并通过从第一喷嘴部20n1喷出的墨的液滴。若第一激光束l1通过所述墨的液滴，则第一激光束l1的强度可以改变。例如，第一激光束l1的一部分可以被墨的液滴吸收，第一激光束l1的强度可以变小。因此，在借由第一喷嘴部20n1正常地喷出墨的情况下，第一激光束l1的强度在通过第一喷出路径p1之后相比于通过第一喷出路径p1之前可以减少。可以小于第一激光束l1的强度。这相同地适用于第二激光束l2的情形。
110.传感器单元40可以接收通过第一喷出路径p1的第一激光束l1而测量该第一激光束l1的强度。若第一激光束l1的强度小于预定的基准值，则接收上述测量的结果的判断单元50可以判断第一喷嘴部20n1喷出良好。所述基准值作为关于激光束的强度的值，可以由用户确定，可以小于或等于从激光单元30发射之后的第一激光束l1的强度的值。基准值可以成为判断喷出不良与否的基准。若第一激光束l1经过第一喷出路径p1并通过从第一喷嘴部20n1喷出的墨的液滴，则第一激光束l1的强度可以更小于从激光单元30发射之后的强度。因此，如果借由传感器单元40测量的第一激光束l1的强度小于预定强度，则可以意味着第一喷嘴部20n1的墨喷出良好。这也相同地适用于第二激光束l2的情形。
111.与第一喷嘴部20n1正常地喷出墨的情形相反，图6b图示了第二喷嘴部20n2无法正常地喷出墨的状况。在此情况下，第一激光束l1可以通过第一喷嘴部20n1的第一喷出路径p1并通过墨的液滴。第一激光束l1的强度在通过第一喷出路径p1之后相比于通过第一喷出路径p1之前可以分别减少。
112.然而，第二激光束l2通过第二喷嘴部20n2的第二喷出路径p2，而可能并不通过墨的液滴。因此，第二激光束l2的强度可以在通过第二喷出路径p2前和后实质上相同。最终，第二激光束l2的强度可能为基准值以上。传感器单元40可以接收通过第二喷出路径p2的第二激光束l2并测量其强度。若第二激光束l2的强度在预定的基准值以上，则接收上述测量的结果的判断单元50可以判断为第二喷嘴部20n2的喷出不良。
113.虽然，在图6b中图示了仅第二喷嘴部20n2存在喷出不良的情况，然而如上所述，若第一激光束l1的强度在预定的基准值以上，则可以判断为第一喷嘴部20n1的喷出不良。
114.在为了在部件s上涂覆特定层而喷出墨的情况下，若发生墨的喷出不良(例如，墨的未喷出等)，则墨不会涂覆于在部件s上的所需的区域，从而可能导致产品的品质不良。然而，根据本发明的一实施例，可以在墨喷出工序中实时地检查墨的喷出不良，从而可以及时地判断是否发生墨的喷出不良。因此，在判断为在上述工序中墨并未喷出的情况下，进行反馈而使喷出工序再一次执行，从而可以减少产品的品质不良，并且可以提升产品生产率。
115.作为比较例，相比于墨喷出工序全部结束后检查涂覆状态或者在墨喷出工序中中断并检查喷出的情形，根据本发明的一实施例，无需中断喷出，并且能够实时地反馈，从而可以实现有效的工序进行。进一步，易于确认喷出单元20是否发生故障，因此在设备的维修保养层面也具有优点。
116.并且，根据本发明的实施例，利用与各喷嘴部20n对应并沿与各喷嘴部20n的排列方向交叉的方向行进的多个激光束l，从而可以同时检查多个喷嘴部20n中的每个的喷出不
良与否。据此，可以最小化检查所需的时间。
117.图7是示意性地示出根据本发明的又一实施例的显示装置的制造装置的一部分的剖视图。图8a至图8c是示意性地示出图7的显示装置的制造装置的一部分的剖视图，可以对应于图7的viii区域。
118.参照图7，激光单元30(图1)可以发射至少两个激光束l。发射的激光束l可以包括与喷嘴部20n对应的激光束l以及与喷嘴部20n之间的区域对应的激光束l。并且，发射的激光束l可以包括与布置于头部20h的最外侧的每个喷嘴部20n的外侧的区域对应的激光束l。
119.激光束l的路径的至少一部分可以沿-x方向行进。与喷嘴部20n对应的激光束l可以与喷嘴部20n的喷出路径p交叉。与喷嘴部20n之间的区域对应的激光束l可以通过喷出路径p之间。
120.图8a至图8c图示以一部分喷嘴部20n为中心放大的显示装置的制造装置的剖面。
121.参照图8a，如上所述，显示装置的制造装置1可以包括沿y方向排列的至少两个喷嘴部20n，例如，可以包括第一喷嘴部20n1以及第二喷嘴部20n2。激光单元30(图1)可以发射分别与第一喷嘴部20n1的第一喷出路径p1以及第二喷嘴部20n2的第二喷出路径p2对应的第一激光束l1以及第二激光束l2。
122.并且，激光单元30还可以发射如下：第三激光束l3，与位于第一喷出路径p1的一侧的第一区域a1对应；第四激光束l4，与位于第一喷出路径p1和第二喷出路径p2之间的第二区域a2对应；以及第五激光束l5，与位于第二喷出路径p2的一侧的第三区域a3对应。在此情况下，第一区域a1可以将第一喷出路径p1置于之间而位于第二区域a2的相反侧，第三区域可以将第二喷出路径p2置于之间而位于第二区域a2的相反侧。
123.第一区域a1可以是包括第一喷嘴部20n1的相邻的两个喷嘴部之间的区域，第三区域a3可以是包括第二喷嘴部20n2的相邻的两个喷嘴部之间的区域。并且，第一区域a1以及第三区域a3可以对应于布置于头部20h(图1)的最外侧的每个喷嘴部20n的外侧的区域。
124.第一激光束l1的路径的至少一部分可以与第一喷嘴部20n1的第一喷出路径p1交叉，第二激光束l2的路径的至少一部分可以与第二喷嘴部20n2的第二喷出路径p2交叉。并且，第三激光束l3的路径的至少一部分可以通过第一区域a1，第四激光束l4的路径的至少一部分可以通过第二区域a2，第五激光束l5的路径的至少一部分可以通过第三区域a3。
125.如图8a所示，在从第一喷嘴部20n1以及第二喷嘴部20n2正常地喷出墨的情况下，第一激光束l1以及第二激光束l2可以分别通过经第一喷出路径p1以及第二喷出路径p2而喷出的墨的液滴。据此，第一激光束l1以及第二激光束l2的强度可以改变。相反，第三激光束l3、第四激光束l4以及第五激光束l5可能分别通过第一区域a1、第二区域a2以及第三区域a3且不通过墨的液滴。因此，第三激光束至第五激光束l3、l4、l5的强度可以在通过第一区域至第三区域a1、a2、a3前后实质上相同。
126.与第一喷嘴部20n1正常地喷出墨的情形相反，图8b图示第二喷嘴部20n2无法喷出墨的情形。在此情况下，第一激光束l1可以通过第一喷出路径p1的同时通过墨的液滴。第一激光束l1的强度在通过第一喷出路径p1之后相比于通过第一喷出路径p1之前，可以分别减少。
127.然而，第二激光束l2可以通过第二喷出路径p2的同时不通过墨的液滴。因此，第二激光束l2的强度可以在通过第二喷出路径p2前后实质上相同。
128.并且，经过第二激光束l2的两侧的区域的第四激光束l4以及第五激光束l5分别可以经过第二区域a2以及第三区域a3，并且可以不通过墨的液滴。因此，第四激光束l4以及第五激光束l5的强度可以在通过第二区域a2以及第三区域a3前后实质上相同。
129.传感器单元40可以接收第一激光束至第五激光束l1、l2、l3、l4、l5而测量其强度，判断单元50可以接收上述测量的结果，并可以基于此来判断喷出不良。例如，若第二激光束l2的强度和第二激光束l2两侧的第四激光束l4以及第五激光束l5的强度均为基准值以上，则可以确定第二喷嘴部20n2的由于未喷出而导致的不良。
130.虽然，图8b图示了仅第二喷嘴部20n2存在由于未喷出而导致的喷出不良的情形，然而第一喷嘴部20n1也可能是由于未喷出而导致喷出不良。在此情况下，与上述内容类似，若第一激光束l1的强度和第一激光束l1两侧的第三激光束l3以及第四激光束l4的强度均为基准值以上，则可以确定第一喷嘴部20n1的由于未喷出而导致的不良。
131.与第一喷嘴部20n1正常地喷出墨的情形相反，图8c图示了第二喷嘴部20n2无法朝需要的方向喷出墨的状况(喷出角度不良)。
132.在此情况下，第一激光束l1可以通过第一喷出路径p1而与墨的液滴相遇。第一激光束l1的强度在通过第一喷出路径p1之后相比于通过第一喷出路径p1之前，可以分别减少。
133.然而，第二激光束l2可以通过第二喷出路径p2而不通过墨的液滴。因此，第二激光束l2的强度可以在通过第二喷出路径p2前后实质上相同。
134.另外，随着墨从第二喷嘴部20n2朝不需要的方向喷出，墨的液滴可能经过第二区域a2或者第三区域a3。此时，第四激光束l4或者第五激光束l5可以通过第二区域a2或者第三区域a3，并与墨的液滴相遇。在此情况下，第四激光束l4或者第五激光束l5的强度可以改变，例如，第四激光束l4或者第五激光束l5的一部分被墨的液滴吸收，而使第四激光束l4或者第五激光束l5的强度可以变小。以下为了便于说明，针对随着第二喷嘴部20n2的喷出角度不良而使墨的液滴经过第二区域a2的情形进行说明。
135.第三激光束l3以及第五激光束l5分别可以通过第一区域a1以及第三区域a3而不通过墨的液滴。因此，第三激光束l3以及第五激光束l5的强度可以在通过第一区域a1以及第三区域a3前后实质上相同。
136.传感器单元40可以接收第一激光束至第五激光束l1、l2、l3、l4、l5而测量其强度，判断单元50可以接收上述测量的结果，并可以基于此来判断喷出不良。例如，若第二激光束l2的强度为基准值以上，并且第四激光束l4的强度以及第五激光束l5的强度中的任意一个小于基准值，则可以确定第二喷嘴部20n2的喷出角度不良。作为另一例，若第一激光束l1的强度为基准值以上，并且第三激光束l3的强度以及第四激光束l4的强度中的任意一个小于基准值，则可以确定第一喷嘴部20n1的喷出角度不良。
137.据此，不仅可以检查喷嘴部20n的由于墨未喷出而导致的喷出不良，而且也可以检查由于墨喷出角度不良而导致的喷出不良。若发生墨的喷出角度不良，则墨可能无法充分地涂覆于部件s上的所需的区域，从而可能导致产品的品质不良。根据本发明的一实施例，在墨喷出工序中实时地检查墨的喷出角度不良，从而可以提升产品的生产品质。
138.图9是示意性地图示根据本发明的又一实施例的显示装置的制造装置的一部分的剖视图。图9可以与在图1至图3的显示装置的制造装置沿v-v'线截取的剖面对应。省略与之
前参照图5a以及图5b进行说明的构成相同的内容，以下以差异点为主进行说明。
139.参照图9，激光单元30(图1)可以发射沿y方向延伸的线(line)形态的激光束l。例如，激光单元30可以将由激光生成部31生成的点形态的激光束利用透镜等的光学装置来变换为线形态的激光束l而发射。
140.借由激光单元30而发射的线形态的激光束l可以同时与至少两个喷嘴部20n对应，并且可以同时与喷嘴部20n之间的区域对应。线形态的激光束l的路径的至少一部分可以沿-x方向行进，并且可以同时与至少两个喷出路径p交叉。
141.图10是示意性地图示图9的显示装置的制造装置的一部分的剖视图，并且可以与图9的x区域对应。
142.参照图10，如上所述，显示装置的制造装置1可以包括沿y方向排列的至少两个喷嘴部20n，例如，可以包括第一喷嘴部20n1以及第二喷嘴部20n2。
143.由激光单元30(图1)发射的线形态的激光束l可以同时与第一喷嘴部20n1的第一喷出路径p1以及第二喷嘴部20n2的第二喷出路径p2对应。并且，可以同时与位于第一喷出路径p1的一侧的第一区域a1、位于第一喷出路径p1和第二喷出路径p2之间的第二区域a2以及位于第二喷出路径p2的一侧的第三区域a3对应。在此情况下，第一区域a1可以将第一喷出路径p1置于之间而位于第二区域a2的相反侧，第三区域a3可以将第二喷出路径p2置于之间而位于第二区域a2的相反侧。第一区域a1可以是包括第一喷嘴部20n1的相邻的两个喷嘴部之间的区域，第三区域a3可以是包括第二喷嘴部20n2的相邻的两个喷嘴部之间的区域。
144.线形态的激光束l的路径的至少一部分可以同时通过第一喷出路径p1、第二喷出路径p2、第一区域a1、第二区域a2以及第三区域a3。
145.传感器单元40可以接收线形态的激光束l。传感器单元40可以测量激光束l中的与第一喷出路径p1以及第二喷出路径p2对应的部分的各自的第一强度以及第二强度。并且，传感器单元40可以测量激光束l中的与第一区域至第三区域a1、a2、a3对应的部分的各自的第三强度至第五强度。判断单元50可以接收上述测量的结果，并基于此来判断喷出不良。
146.与之前的参照图8a至图8c进行说明的方法类似，若第一强度、第三强度以及第四强度均为基准值以上，则确定第一喷嘴部20n1的由于未喷出而导致的喷出不良，若第二强度、第四强度以及第五强度均为基准值以上，则确定第二喷嘴部20n2的由于未喷出而导致的喷出不良。
147.并且，若第一强度为基准值以上，并且第三强度以及第四强度中的任意一个小于基准值，则可以确定第一喷嘴部20n1的喷出角度不良。若第二强度为基准值以上，并且第四强度以及第五强度中的任意一个小于基准值，则可以确定第二喷嘴部20n2的喷出角度不良。
148.作为比较例，在利用点形态的多个激光束的情况下，可以预想到激光束和喷嘴部之间的对准(align)问题。然而，根据本发明的一实施例，在利用线形态的激光束l的情况下，可以消除上述对准问题。
149.本发明虽然参考附图中示出的实施例而进行了说明，但其仅为示例性的，只要是在本技术领域中具有普通知识的技术人员，便可以理解能够据此实现多种变形以及等同的其他实施例。因此，本发明的真正的技术保护范围应当根据所记载的权利要求书的技术思想而被确定。