一种高透稳定超疏水复眼透镜的制造方法与流程

技术特征：
1.一种高透稳定超疏水复眼透镜的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：1)玻璃基板使用丙酮、酒精处理，去离子水冲洗，最后氮气吹干，将光刻胶旋涂在玻璃片上，转速1000
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2000r/min旋涂40
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60s，95
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100℃烘5
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10min；重复旋涂过程，获得18
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25μm光刻胶薄膜，即样片一；将圆孔间距40
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80μm，直径5
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20μm的掩膜板与样片一紧密压紧贴合，紫外曝光后，用质量分数为3
‰‑8‰
的氢氧化钠溶液显影30
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50s，流动去离子水充分清洗，氮气吹干，得样片二；2)将pdms本体和固化剂质量比为10:1的液态pdms聚合物用于样片二的翻模，经过两次翻模后，得到凹微柱阵列模具，即样片三；将noa紫外固化胶浇灌在样片三上，覆盖玻璃片压紧后，充分紫外曝光，得到高度为18
‑
25μm的微柱阵列，即样片四；3)将样片四疏水处理后，利用高精度移动平台和显微成像系统在样片四微柱阵列间隙喷印1
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8次微透镜阵列，样片90
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100℃前烘10
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20min，紫外曝光80
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120s，90
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100℃后烘20
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40min，得微透镜和微柱阵列复合结构的样片五，即高透稳定超疏水复眼透镜。2.根据权利要求1所述的一种高透稳定超疏水复眼透镜的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：1)玻璃基板使用丙酮、酒精处理，去离子水冲洗，最后氮气吹干，将光刻胶旋涂在玻璃片上，转速1500r/min旋涂45s，95℃烘5min；重复旋涂过程，获得22μm光刻胶薄膜，即样片一；将圆孔间距50μm，直径10μm的掩膜板与样片一紧密压紧贴合，紫外曝光后，用质量分数为5
‰
的氢氧化钠溶液显影40s，流动去离子水充分清洗，氮气吹干，得样片二；2)将pdms本体和固化剂质量比为10:1的液态pdms聚合物用于样片二的翻模，经过两次翻模后，得到凹微柱阵列模具，即样片三；将noa紫外固化胶浇灌在样片三上，覆盖玻璃片压紧后，充分紫外曝光后，得到高度为22μm的微柱阵列，即样片四；3)将样片四疏水处理后，利用高精度微喷印系统在样片四微柱阵列间隙喷印1次微透镜阵列，样片90℃前烘15min，紫外曝光100s，100℃后烘30min，得微透镜和微柱阵列复合结构的样片五，即高透稳定超疏水复眼透镜。

技术总结
一种高透稳定超疏水复眼透镜的制造方法，将光刻胶旋涂在玻璃片上，烘干；重复旋涂获得光刻胶薄膜，即样片一；将掩膜板与样片一紧密压紧，紫外曝光，用氢氧化钠溶液显影，清洗吹干，得样片二；再将液态PDMS聚合物用于样片二的翻模，经过两次翻模后，得到凹微柱阵列模具，即样片三；将NOA紫外固化胶浇灌在样片三上，覆盖玻璃片压紧，紫外曝光，得到微柱阵列，即样片四；将样片四疏水处理后，利用高精度移动平台和显微成像系统在样片四微柱阵列间隙喷印微透镜阵列，样片前烘、紫外曝光、后烘，得微透镜和微柱阵列复合结构的样片五，即高透稳定超疏水复眼透镜；本发明显著提高微透镜阵列的疏水稳定性，整个基底的光透性几乎不受影响。整个基底的光透性几乎不受影响。整个基底的光透性几乎不受影响。


技术研发人员：李江 黄玉祥 朱瑞祥 闫小丽 付作立
受保护的技术使用者：西北农林科技大学
技术研发日：2021.04.22
技术公布日：2021/10/19