用于处理超薄玻璃的设备和用于处理超薄玻璃的方法与流程

技术特征：
1.一种用于处理超薄玻璃的设备，所述设备包括：载物台，配置成支撑超薄玻璃；转移部件，配置成将所述超薄玻璃转移到所述载物台上；粘合剂提供部件，配置成将粘合剂提供到由所述载物台支撑的所述超薄玻璃上；以及按压部件，配置成将按压力提供到其间以所述粘合剂层压的多个超薄玻璃上，其中所述按压部件包括弹性地变形以按压所述超薄玻璃的弹性隔膜。2.根据权利要求1所述的用于处理超薄玻璃的设备，更包括：第一光源部件，配置成从所述多个超薄玻璃的侧方向发射光，其中所述粘合剂提供部件提供第一粘合剂，所述第一粘合剂在所述超薄玻璃的边缘部分处由所述第一光源部件固化。3.根据权利要求2所述的用于处理超薄玻璃的设备，更包括：第一光源驱动部件，配置成在所述多个超薄玻璃的层压方向上移动所述第一光源部件。4.根据权利要求2所述的用于处理超薄玻璃的设备，更包括：第二光源部件，安置在所述载物台上方以发射光，其中所述粘合剂提供部件提供第二粘合剂，所述第二粘合剂在所述超薄玻璃的中心部分处由所述第二光源部件固化。5.根据权利要求1所述的用于处理超薄玻璃的设备，其中所述按压部件更包括主体部件，所述弹性隔膜的边缘部分由所述主体部件固定和支撑，以及所述弹性隔膜通过在所述主体部件的表面与所述弹性隔膜之间供应的流体扩张。6.根据权利要求5所述的用于处理超薄玻璃的设备，其中所述流体供应到所述弹性隔膜的中心部分。7.根据权利要求1所述的用于处理超薄玻璃的设备，更包括：间隙调整部件，配置成通过移动所述载物台和所述按压部件中的至少一个来调整所述载物台与所述按压部件之间的间隙。8.根据权利要求1所述的用于处理超薄玻璃的设备，更包括：处理部件，配置成处理其中层压有所述多个超薄玻璃的超薄玻璃层压体。9.根据权利要求8所述的用于处理超薄玻璃的设备，其中所述超薄玻璃具有10微米到150微米的厚度，且所述超薄玻璃层压体通过层压两个到五十个所述超薄玻璃来形成。10.一种用于处理超薄玻璃的方法，所述方法包括：在载物台上支撑第一超薄玻璃；将粘合剂提供到由所述载物台支撑的所述第一超薄玻璃上；在所述粘合剂上设置第二超薄玻璃；以及通过使用按压部件将按压力提供到所述第二超薄玻璃上，其中所述按压力的提供包括使所述按压部件的弹性隔膜弹性变形。11.根据权利要求10所述的用于处理超薄玻璃的方法，其中所述按压力的提供更包括允许所述弹性隔膜接触所述第二超薄玻璃，且通过经由所述按压部件的主体部件与所述弹性隔膜之间的流体供应使所述弹性隔膜
扩张来执行所述弹性隔膜的所述弹性变形。12.根据权利要求11所述的用于处理超薄玻璃的方法，其中在所述弹性隔膜的所述弹性变形中，所述流体供应到所述弹性隔膜的中心部分。13.根据权利要求11所述的用于处理超薄玻璃的方法，其中所述粘合剂的提供包括将第一粘合剂提供到所述第一超薄玻璃或所述第二超薄玻璃的边缘部分，且所述方法更包括通过从其中层压有所述第一超薄玻璃和所述第二超薄玻璃的超薄玻璃层压体的侧方向对所述第一粘合剂发射光来固化所述第一粘合剂。14.根据权利要求13所述的用于处理超薄玻璃的方法，其中所述第一粘合剂的所述固化在所述弹性隔膜的所述弹性变形之前或与所述弹性变形同时执行。15.根据权利要求13所述的用于处理超薄玻璃的方法，更包括：第一光源部件，在所述超薄玻璃层压体的层压方向上移动，所述第一光源部件配置成从所述超薄玻璃层压体的所述侧方向发射光。16.根据权利要求13所述的用于处理超薄玻璃的方法，其中所述粘合剂的提供更包括将第二粘合剂提供到所述第一超薄玻璃或所述第二超薄玻璃的中心部分，且所述方法更包括通过在所述第一粘合剂的固化之后从所述载物台上方发射光来固化所述第二粘合剂。17.根据权利要求11所述的用于处理超薄玻璃的方法，更包括在所述弹性隔膜的所述弹性变形之后减小所述载物台与所述按压部件之间的间隙。18.根据权利要求10所述的用于处理超薄玻璃的方法，更包括处理其中层压有所述第一超薄玻璃和所述第二超薄玻璃的超薄玻璃层压体。

技术总结
本公开涉及一种用于处理超薄玻璃的设备和用于处理超薄玻璃的方法，所述设备层压多个超薄玻璃。用于处理超薄玻璃的设备包含：载物台，配置成支撑超薄玻璃；转移部件，配置成将超薄玻璃转移到载物台上；粘合剂提供部件，配置成将粘合剂提供到由载物台支撑的超薄玻璃上；以及按压部件，配置成将按压力提供到用其间的粘合剂层压的多个超薄玻璃上，且按压部件包含弹性地变形以按压超薄玻璃的弹性隔膜。弹性地变形以按压超薄玻璃的弹性隔膜。弹性地变形以按压超薄玻璃的弹性隔膜。


技术研发人员：赵在俊 刘正必 尹靑龙 梁相熙
受保护的技术使用者：AP系统股份有限公司
技术研发日：2021.03.31
技术公布日：2021/10/11