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一种Z向互连印制电路板的制备方法与流程

2021-10-24 08:15:00 来源:中国专利 TAG:互连 电路板 印制 制备方法 集成电路设计

技术特征:
1.一种z向互连印制电路板的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:s1:在芯板或叠板上贴覆保护膜;s2:在目标z向导通的注浆位置开设通孔;s3:将导电铜浆注入s2中开设的通孔中,进行加热预固化,之后再整平通孔处的凸出铜浆,构成z向导电结构;s4:对注浆后的通孔处进行清洗,之后去除保护膜,在注浆后芯板或叠板的通孔处上下表面印制铜浆,之后进行真空压合,构成水平的铜导电层,使得铜导电层与z向导电结构电连接;s5:根据预设的层间导电通路,对s4中制备的水平的铜导电层进行蚀刻,得到层间的水平导电图层,通过各层印制电路板之间上下表面的水平导电图层与特定层z向的导电结构的配合,实现多层印制电路板之间的z向互连。2.根据权利要求1所述的一种z向互连印制电路板的制备方法,其特征在于,s2中采用机械钻孔的方式开设通孔。3.根据权利要求1所述的一种z向互连印制电路板的制备方法,其特征在于,s3中使用真空塞孔机进行将导电铜浆注入s2中开设的通孔中。4.根据权利要求1所述的一种z向互连印制电路板的制备方法,其特征在于,s3中加热预固化的条件为在50~70℃条件下,加热1~10min。5.根据权利要求4所述的一种z向互连印制电路板的制备方法,其特征在于,s3中加热预固化的条件为在70℃条件下,加热10min。6.根据权利要求1所述的一种z向互连印制电路板的制备方法,其特征在于,s3中在真空箱中采用刮刀刮除通孔处的凸出铜浆,实现整平过程。7.根据权利要求1所述的一种z向互连印制电路板的制备方法,其特征在于,s4中采用3%

5%的稀硫酸与50

70g/l的过硫酸钠的混合液进行清洗。8.根据权利要求1所述的一种z向互连印制电路板的制备方法,其特征在于,s4中的真空压合的温度为180℃。9.根据权利要求1所述的一种z向互连印制电路板的制备方法,其特征在于,所述导电铜浆为铜、银、锡和环氧树脂构成的导电浆料。10.根据权利要求1所述的一种z向互连印制电路板的制备方法,其特征在于,所述导电铜浆的粘度为1500(bh type/dpa.s),密度为5.1
±
0.2(g/cm3),摇变系数为4.0(2/20rpm),热传导率为28(w/mk),熔点为260℃。

技术总结
本发明涉及一种Z向互连印制电路板的制备方法,包括:在芯板或叠板上贴覆保护膜;在目标Z向导通的注浆位置开设通孔;将导电铜浆注入开设的通孔中,进行加热预固化,之后再整平通孔处的凸出铜浆;清洗,之后去除保护膜,在注浆后芯板或叠板的通孔处上下表面印制铜浆,之后进行真空压合,构成水平的铜导电层,使得铜导电层与Z向导电结构电连接;蚀刻得到层间的水平导电图层,实现多层印制电路板之间的Z向互连。与现有技术相比,本发明使其各层之间的连通不再依靠贯通孔,从而增加电路板设计的灵活度,将复杂结构的高层数板变成简单结构的低层数板,对于高多层板厚径比的限制也不复存在。对于高多层板厚径比的限制也不复存在。对于高多层板厚径比的限制也不复存在。


技术研发人员:翟新龙 姚宇国
受保护的技术使用者:上海嘉捷通电路科技股份有限公司
技术研发日:2021.07.12
技术公布日:2021/10/23
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