感光性组合物、经图案化的固化膜的制造方法及经图案化的固化膜与流程

技术特征：
1.感光性组合物,其包含碱溶性树脂(a)、光聚合性化合物(b)、和光聚合引发剂(c)，所述碱溶性树脂(a)包含下述丙烯酸系树脂，所述丙烯酸系树脂包含相对于全部结构单元的量而言为20质量％以上的来自(甲基)丙烯酸多环烷基酯的结构单元(a
‑
1)，所述丙烯酸系树脂的重均分子量为9,000以上。2.如权利要求1所述的感光性组合物,其中,所述丙烯酸系树脂包含相对于全部结构单元的量而言为20质量％以上且40质量％以下的所述结构单元(a
‑
1)。3.如权利要求1或2所述的感光性组合物，其中，所述丙烯酸系树脂以相对于全部结构单元的量而言为30质量％以上且70质量％以下的量包含来自含有脂环式环氧基的(甲基)丙烯酸酯的结构单元(a
‑
2)。4.如权利要求1或2所述的感光性组合物，其中，所述光聚合性化合物(b)包含具有3个以上(甲基)丙烯酰基的多官能化合物。5.如权利要求4所述的感光性组合物，其中，所述光聚合性化合物(b)包含具有3或4个(甲基)丙烯酰基的多官能化合物。6.如权利要求1或2所述的感光性组合物，其中，所述光聚合引发剂(c)包含下述式(1)表示的化合物，式(1)中，r
c1
为氢原子、硝基或一价有机基团，r
c2
及r
c3
各自为可具有取代基的链状烷基、可具有取代基的环状有机基团、或氢原子，r
c2
与r
c3
可以彼此键合而形成环，r
c4
为一价有机基团，r
c5
为氢原子、可具有取代基的碳原子数1以上且11以下的烷基、或者可具有取代基的芳基，n1为0以上且4以下的整数，n2为0或1。7.固化物，其为权利要求1～6中任一项所述的感光性组合物的固化物。8.固化物的制造方法，其包括下述工序：将权利要求1～6中任一项所述的感光性组合物根据要形成的固化物的形状来进行成型的工序；和对经成型的所述感光性组合物进行曝光的工序。

技术总结
本发明涉及感光性组合物、经图案化的固化膜的制造方法及经图案化的固化膜。提供能形成相对介电常数低的固化物且能够在具有高低差的基板上形成保形性良好的涂布膜的感光性组合物、该感光性组合物的固化物、和使用该感光性组合物的固化物的制造方法。在包含碱溶性树脂(A)、光聚合性化合物(B)和光聚合引发剂(C)的感光性组合物中，使用包含特定量的来自(甲基)丙烯酸多环烷基酯的结构单元(A


技术研发人员：加藤广树 染谷和也 引田二郎
受保护的技术使用者：东京应化工业株式会社
技术研发日：2021.04.12
技术公布日：2021/10/18