等离子发生设备及其离子平衡度的检测装置的制作方法

1.本实用新型属于等离子发生设备技术领域，具体涉及一种等离子发生设备的离子平衡度的检测装置和等离子发生设备，尤其涉及一种离子平衡度检测的装置、以及具有该离子平衡度检测的装置的等离子发生设备。


背景技术：

2.离子风机等一些等离子发生设备的原理是，由固定的正负极离子针通过尖端放电来产生正负离子，正离子针产生正离子，负离子针产生负离子，当产生的正离子数量与产生的负离子数量相同时，出现离子平衡。离子平衡代表的是不带电的状态，也就是极性接近
±
0v的状态，离子平衡标示的就是响应的精度。等离子发生设备的离子平衡越接近0v，也就是等离子发生设备的性能越高。
3.但是，由于正负离子通过放电针同时产生，可能会产生正负离子的量不一致的情况，如正负离子中的某一种离子的数量过多，造成离子失衡，从而影响等离子发生设备的性能。因此检测和控制等离子发生设备的离子平衡度非常重要，相关方案中，通过在等离子发生设备的出风口设置不锈钢电极板和接地电极板，利用利用设置在等离子发生设备的出风口设置不锈钢电极板和接地电极板之间的静电电压传感器，能够得到不锈钢电极板和接地电极板之间的电压信号的大小，将该电压信号能够确定等离子设备的离子平衡度，但该静电电压传感器的成本较高。
4.上述内容仅用于辅助理解本实用新型的技术方案，并不代表承认上述内容是现有技术。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于，提供一种等离子发生设备的离子平衡度的检测装置和等离子发生设备，以解决通过利用设置在等离子发生设备的出风口设置不锈钢电极板和接地电极板之间的静电电压传感器，检测等离子设备的离子平衡度，但该静电电压传感器的成本较高，存在等离子发生设备的离子平衡度的检测成本高的问题，达到不需设置静电电压传感器，通过根据对设置在等离子发生设备的出风口设置不锈钢电极板和接地电极板中不锈钢电极板处的电压信号进行检测，能够得到等离子发生设备的离子平衡度，能够降低等离子发生设备的离子平衡度的检测成本的效果。
6.本实用新型提供一种等离子发生设备的离子平衡度的检测装置，包括：检测单元、零点补偿单元和比较单元；所述检测单元，包括：平行设置在所述等离子发生设备的离子风出风口的第一电极板和第二电极板，以及设置在所述第一电极板和所述第二电极板之间的绝缘柱；所述第一电极板电连接至所述零点补偿单元，所述第二电极板接地；其中，所述检测单元，被配置为在所述等离子发生设备输出离子风的情况下，自所述第一电极板处输出检测信号；所述零点补偿单元，被配置为对所述第一电极板处输出的检测信号进行零点补偿处理，得到零点补偿信号；所述比较单元，被配置为对所述零点补偿信号与预设的基准电
压进行比较，得到比较结果，以作为所述等离子发生设备的离子平衡度。
7.在一些实施方式中，所述第一电极板和所述第二电极板，采用大小相同的两块正方形钢板构成。
8.在一些实施方式中，所述第一电极板和所述第二电极板，采用直径相同的两个不锈钢管防护罩构成。
9.在一些实施方式中，所述零点补偿单元，包括：信号跟随模块、信号调整模块和信号补偿模块；其中，所述信号跟随模块，被配置为对所述第一电极板处输出的检测信号进行跟随处理，得到跟随信号；所述信号调整模块，被配置为对所述跟随信号进行信号调整，得到调整信号；所述信号补偿模块，被配置为对所述调整信号进行信号补偿，得到零点补偿信号。
10.在一些实施方式中，其中，所述信号跟随模块，包括：电压跟随器；所述电压跟随器的供电电压，具有第一电压范围；所述信号调整模块，包括：比较积分电路；所述信号补偿模块，包括：零点补偿电路。
11.在一些实施方式中，所述比较单元，包括：比较和放大模块和a/d转换模块；其中，所述比较和放大模块，被配置为对所述零点补偿信号与预设的基准电压进行比较和放大处理，输出比较信号；所述a/d转换模块，被配置为对所述比较信号进行模数转换，得到比较结果，以作为所述等离子发生设备的离子平衡度。
12.在一些实施方式中，所述比较和放大模块，包括：运算放大器模块。
13.与上述装置相匹配，本实用新型再一方面提供一种等离子发生设备，包括：以上所述的等离子发生设备的离子平衡度的检测装置。
14.由此，本实用新型的方案，通过在等离子发生设备的出风口设置不锈钢电极板和接地电极板，不锈钢电极板处的电压信号进行检测，对检测到的信号进行补偿处理后进行比较放大，能够得到等离子发生设备的离子平衡度；从而，不需设置静电电压传感器，通过根据对设置在等离子发生设备的出风口设置不锈钢电极板和接地电极板中不锈钢电极板处的电压信号进行检测，能够得到等离子发生设备的离子平衡度，能够降低等离子发生设备的离子平衡度的检测成本。
15.本实用新型的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本实用新型而了解。
16.下面通过附图和实施例，对本实用新型的技术方案做进一步的详细描述。
附图说明
17.图1为本实用新型的等离子发生设备的离子平衡度的检测装置的一实施例的结构示意图；
18.图2为一种等离子发生设备的离子平衡度的检测装置的一实施例的结构示意图；
19.图3为本实用新型的等离子发生设备的离子平衡度的检测装置的一实施例的结构示意图；
20.图4为本实用新型的等离子发生设备的离子平衡度的检测装置的另一实施例的结构示意图；
21.图5为本实用新型的等离子发生设备的离子平衡度的检测装置中信号预处理与补
偿模块的一实施例的结构示意图；
22.图6为本实用新型的等离子发生设备的离子平衡度的检测装置中信号预处理与补偿模块的一实施例的具体结构示意图；
23.图7为本实用新型的等离子发生设备的离子平衡度的检测装置中信号比较与放大模块的一实施例的结构示意图；
24.图8为本实用新型的等离子发生设备的离子平衡度的检测装置中信号比较与放大模块的一实施例的具体结构示意图；
25.图9为本实用新型的等离子发生设备的离子平衡度的检测装置的一实施例的检测流程示意图；
26.图10为本实用新型的等离子发生设备的离子平衡度的检测装置中对所述第一电极板处输出的检测信号进行零点补偿处理的一实施例的处理流程示意图；
27.图11为本实用新型的等离子发生设备的离子平衡度的检测装置中对所述零点补偿信号与预设的基准电压进行比较的一实施例的比较流程示意图。
28.结合附图，本实用新型实施例中附图标记如下：
29.11
‑
第一电极板；2
‑
绝缘柱；12
‑
第二电极板。
具体实施方式
30.为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型具体实施例及相应的附图对本实用新型技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
31.根据本实用新型的实施例，提供了一种等离子发生设备的离子平衡度的检测装置。参见图1所示本实用新型的装置的一实施例的结构示意图。该等离子发生设备的离子平衡度的检测装置可以包括：检测单元、零点补偿单元(如信号预处理与补偿模块)和比较单元(如信号比较与放大电路)。所述检测单元，包括：平行设置在所述等离子发生设备的离子风出风口的第一电极板11和第二电极板12，以及设置在所述第一电极板11和所述第二电极板12之间的绝缘柱2。所述第一电极板11电连接至所述零点补偿单元，所述第二电极板12接地。
32.例如：离子风有专门的出风风道，第一电极板11和第二电极板12形成的平衡装置，可以安装在距离风机(即能够产生风的风机)2
‑
3厘米的位置处。
33.其中，所述检测单元，被配置为在所述等离子发生设备输出离子风的情况下，自所述第一电极板11处输出检测信号。
34.在一些实施方式中，所述第一电极板11和所述第二电极板12，采用大小相同的两块正方形钢板构成。
35.具体地，使用绝缘柱2将两层金属化电极板(如第一电极板11和第二电极板12)隔开，两个极板(如第一电极板11和第二电极板12)的间隔3cm
‑
6cm，两个极板(如第一电极板11和第二电极板12)中每个极板采用大小为10cm*10cm的正方形钢板，其中最下一个电极板(如第二电极板12)直接接地，另一个电极板(如第一电极板11)用导线引出，作为检测信号。
36.在一些实施方式中，所述第一电极板11和所述第二电极板12，采用直径相同的两个不锈钢管防护罩构成。
37.具体地，电极板采用不锈钢隔离网状结构(如网状的不锈钢防护罩)。不锈钢隔离网状结构的大小，采用直径为12cm的网状的不锈钢防护罩。一方面，离子风可以轻松穿透不锈钢隔离网，不影响正负离子风正常吹向区域，另一方面，构成了离子针放电区域的安全隔离网，同时，整体成本低。
38.所述零点补偿单元，被配置为对所述第一电极板11处输出的检测信号进行零点补偿处理，得到零点补偿信号(即补偿处理后的信号)。
39.在一些实施方式中，所述零点补偿单元，包括：信号跟随模块、信号调整模块和信号补偿模块。
40.其中，所述信号跟随模块，被配置为对所述第一电极板11处输出的检测信号进行跟随处理，得到跟随信号。
41.在一些实施方式中，所述信号跟随模块，包括：电压跟随器。所述电压跟随器的供电电压，具有第一电压范围。
42.具体地，在图6所示的例子中，电容c10、电容c11、电容c12，为
±
5v电压与0电平的滤波电容。运算放大器u11，形成一个电压跟随器，将从电极板(如第一电极板11)引出的信号(即signal_in信号)调至
±
5v电压的0电平电势差。
43.所述信号调整模块，被配置为对所述跟随信号进行信号调整，得到调整信号。
44.在一些实施方式中，所述信号调整模块，包括：比较积分电路。
45.具体地，在图6所示的例子中，比例积分电路u12，将通过三极管q10、三极管q11、电阻r15、电阻r16、电阻r17、电阻r18、电容c14、电容c15、电容c13、电阻r14、电阻r13，调整5v _1和5v
‑
_1电压的0电平与电路的公共地的电势差。
46.所述信号补偿模块，被配置为对所述调整信号进行信号补偿，得到零点补偿信号(即补偿处理后的信号)。
47.在一些实施方式中，所述信号补偿模块，包括：零点补偿电路(如图6中的0点补偿模块)。
48.具体地，将从电极板(如第一电极板11)引出的信号，经
±
5v的电压跟随器后，进行信号的调整，再由 70v～
‑
70v电压进行补偿调整，将5v _1和5v
‑
_1电压的0电平电势差调整到接地信号的电势差，作为补偿处理后的信号。
49.所述比较单元，被配置为对所述零点补偿信号与预设的基准电压进行比较，得到比较结果，以作为所述等离子发生设备的离子平衡度，进而能够根据所述等离子发生设备的离子平衡度对所述等离子发生设备的离子风的出风情况进行控制。
50.由此，通过检测单元、零点补偿单元(如信号预处理与补偿模块)和比较单元(如信号比较与放大电路)，形成正负离子平衡度检测信号处理电路，可批量用于等离子发生设备等产品上来进行离子平衡度检测，并用于等离子发生设备等产品自身进行正负离子平衡调节，实现了低成本、可批量应用与产品上的的正负离子平衡度的检测，且该检测方式和装置简易，成本低，还有应用其他类似的离子正负平衡度的检测场合。
51.在一些实施方式中，所述比较单元，包括：比较和放大模块和a/d转换模块。
52.其中，所述比较和放大模块，被配置为对所述零点补偿信号与预设的基准电压进
行比较和放大处理，输出比较信号。
53.在一些实施方式中，所述比较和放大模块，包括：运算放大器模块(如运算放大器u20
‑
a和运算放大器u20
‑
b)。
54.具体地，在图8所示的例子中，电阻r20、电阻r21、稳压二极管d33、电容c20形成一个标准电压，此标准电压经电阻r22、电阻r23、电容c21再次分压后，形成预设的基准电压，此预设的基准电压送至运算放大器u20
‑
a的同相输入端，经一个电压跟随器后，送至运算放大器u20
‑
b的同相输入端。其中，电容c21为滤波电容。补偿处理后的信号5v_gnd经电容c22滤波后，经电阻r24、电阻r26送至运算放大器u20
‑
b的反相输入端，形成差分放大。电阻r27为，放大比例电阻。电容c23、电容c24、电容c25、电阻r25，为运算放大器(如运算放大器u20
‑
a、运算放大器u20
‑
b)的同相输入端与反相输入端的电阻和电容。
55.所述a/d转换模块，被配置为对所述比较信号进行模数转换，得到比较结果，以作为所述等离子发生设备的离子平衡度，进而能够根据所述等离子发生设备的离子平衡度对所述等离子发生设备的离子风的出风情况进行控制。
56.具体地，信号比较与放大模块，通过设置一个标准的基准电压，与信号预处理与补偿模块补偿处理后的信号进行比较放大后，送至a/d转换模块(即模数转换模块)，再送至mcu(即为控制模块)处理。
57.经大量的试验验证，采用本实用新型的技术方案，通过在等离子发生设备的出风口设置不锈钢电极板和接地电极板，不锈钢电极板处的电压信号进行检测，对检测到的信号进行补偿处理后进行比较放大，能够得到等离子发生设备的离子平衡度；从而，不需设置静电电压传感器，通过根据对设置在等离子发生设备的出风口设置不锈钢电极板和接地电极板中不锈钢电极板处的电压信号进行检测，能够得到等离子发生设备的离子平衡度，能够降低等离子发生设备的离子平衡度的检测成本。
58.根据本实用新型的实施例，还提供了对应于等离子发生设备的离子平衡度的检测装置的一种等离子发生设备。该等离子发生设备可以包括：以上所述的等离子发生设备的离子平衡度的检测装置。
59.图2为一种等离子发生设备的离子平衡度的检测装置的一实施例的结构示意图。等离子发生设备的离子平衡度的检测方式，可以参见图2所示的例子。
60.如图2所示，一种等离子发生设备的离子平衡度的检测装置，包括：设置在等离子设备如防静电离子风机的出风口处的电极板，绝缘支撑柱，以及静电电压传感器。电极板由两块平行的15cm*15cm的不锈钢板构成，产生的离子风吹在上面的极板(如图2中的不锈钢电极板)上，下面的极板(如图2中的接地电极板)接地，两极板用绝缘支架(如图2中的绝缘支撑柱)固定，要求两极板间的电阻大于10
14
ω，电容在18pf到22pf之间。非接触式的静电电压传感器装在两极板之间的中心偏下位置处。通过收集等离子发生设备吹出的与不锈钢电极板所带异种电荷的离子，该电极板、绝缘支撑柱和静电电压传感器结合，可检测等离子设备工作时不锈钢电极板上电压变化的过程，根据检测到的等离子设备工作时不锈钢电极板上电压变化的过程，能够确定等离子设备的离子平衡度。但这种检测方式的操作方式复杂、且成本高，无法在产品批量推广。
61.在一些实施方式中，本实用新型的方案，提出了一种实用、简单、低成本的等离子发生设备的离子平衡度检测方式和装置，并设计检测信号处理电路，能够实现离子风的平
衡度检测，并可批量应用于产品。本实用新型的方案，通过增加感应装置和感应电路用来收集静电电压，从而来取代相关方案中的静电电压传感器。
62.具体地，本实用新型的方案，提供了一种简易、低成本的等离子设备的正负离子平衡度检测方式、以及一种正负离子平衡度检测信号处理电路，可批量用于等离子发生设备等产品上来进行离子平衡度检测，并用于等离子发生设备等产品自身进行正负离子平衡调节，实现了低成本、可批量应用与产品上的的正负离子平衡度的检测，且该检测方式和装置简易，成本低，还有应用其他类似的离子正负平衡度的检测场合。
63.下面结合图3至图8所示的例子，对本实用新型的方案的具体实现过程进行示例性说明。
64.图3为本实用新型的等离子发生设备的离子平衡度的检测装置的一实施例的结构示意图。如图3所示，等离子发生设备的离子平衡度的检测装置，包括：第一电极板11和第二电极板12，以及设置在第一电极板11和第二电极板12之间的绝缘柱2。
65.在图3所示的例子中，使用绝缘柱2将两层金属化电极板(如第一电极板11和第二电极板12)隔开，两个极板(如第一电极板11和第二电极板12)的间隔3cm
‑
6cm，两个极板(如第一电极板11和第二电极板12)中每个极板采用大小为10cm*10cm的正方形钢板，其中最下一个电极板(如第二电极板12)直接接地，另一个电极板(如第一电极板11)用导线引出，作为检测信号。
66.图4为本实用新型的等离子发生设备的离子平衡度的检测装置的另一实施例的结构示意图。如图4所示，电极板采用不锈钢隔离网状结构(如网状的不锈钢防护罩)。不锈钢隔离网状结构的大小，采用直径为12cm的网状的不锈钢防护罩。一方面，离子风可以轻松穿透不锈钢隔离网，不影响正负离子风正常吹向区域，另一方面，构成了离子针放电区域的安全隔离网，同时，整体成本低。
67.在本实用新型的方案中，等离子发生设备的离子平衡度的检测装置的检测电路分两部分，一部分是信号预处理与补偿模块，另一部分是信号比较与放大电路。
68.图5为本实用新型的等离子发生设备的离子平衡度的检测装置中信号预处理与补偿模块的一实施例的结构示意图。如图5所示，将从电极板(如第一电极板11)引出的信号，经
±
5v的电压跟随器后，进行信号的调整，再由 70v～
‑
70v电压进行补偿调整，将
±
5v电压的0电平电势差调整到接地信号的电势差，作为补偿处理后的信号。其中，
±
5v是直接给放电器供电的，其接地是大地。
69.具体地，进行信号的调整，包括：信号经过比例积分电路u12，进行信号的比例积分运算，最终调整成是5v _1和5v
‑
_1电压的0电平与电路的公共地(即大地)之间的电势差。
70.例如：因检测信号是微弱信号，不能直接做ad转换，因此需要做处理。如检测信号为5mv(即对大地的压降)，经电压跟随器后，电压还是5mv(对大地的压降)，此时5mv还是太小无法输入到mcu中进行运算，需要将5mv叠加到另一个电压参考5v _1和5v
‑
_1电压的0电平，使其幅度增大。这样，5mv相对于5v _1和5v
‑
_1电压的0电平来说是1v，放大了200倍，然后对5v _1和5v
‑
_1电压的0电平进行对大地的压降测试，如果测试到5v _1和5v
‑
_1电压的0电平相对于大地来说是2v，那么就可得出实际信号对地的的电压是5mv。这里固定了参数，实际上，检测信号到5v _1和5v
‑
_1电压的0电平之间参数固定，例如放大倍数是200，还有，5v _1和5v
‑
_1电压的0电平对大地的电压是参数固定，例如2倍关系，5v _1和5v
‑
_1电压的0
电平是个中间变量。
71.图6为本实用新型的等离子发生设备的离子平衡度的检测装置中信号预处理与补偿模块的一实施例的具体结构示意图。如图6所示，等离子发生设备的离子平衡度的检测装置中信号预处理与补偿模块，包括：电容c10、电容c11、电容c12、电容c13、电容c14和电容c15，运算放大器u11，比例积分电路u12，电阻r10、电阻r11、电阻r12、电阻r13、电阻r14、电阻r15、电阻r16、电阻r17和电阻r18，三极管q10和三极管q11，二极管d10、二极管d11、二极管d12和二极管d13。
72.在图6所示的例子中，电容c10、电容c11、电容c12，为
±
5v电压与0电平的滤波电容。
73.在图6所示的例子中，运算放大器u11，形成一个电压跟随器，将从电极板(如第一电极板11)引出的信号(即signal_in信号)调至
±
5v电压的0电平电势差。
74.在图6所示的例子中，比例积分电路u12，将通过三极管q10、三极管q11、电阻r15、电阻r16、电阻r17、电阻r18、电容c14、电容c15、电容c13、电阻r14、电阻r13，调整5v _1和5v
‑
_1电压的0电平与电路的公共地的电势差。
75.其中，零点补偿，即5v _1和5v
‑
_1电压的0电平电压在 70与
‑
70v之间进行调整，补偿的是5v _1和5v
‑
_1电压的0电平与大地之间的电压差。
76.在图6所示的例子中，电阻r11、电r12，用于引入
±
5v电压以控制三极管q10、三极管q11三极管的导通。
77.在图6所示的例子中，二极管d10、二极管d11为钳位二极管。
78.图7为本实用新型的等离子发生设备的离子平衡度的检测装置中信号比较与放大模块的一实施例的结构示意图。如图7所示，信号比较与放大模块，通过设置一个标准的基准电压，与信号预处理与补偿模块补偿处理后的信号进行比较放大后，送至a/d转换模块(即模数转换模块)，再送至mcu(即为控制模块)处理。
79.图8为本实用新型的等离子发生设备的离子平衡度的检测装置中信号比较与放大模块的一实施例的具体结构示意图。如图8所示，等离子发生设备的离子平衡度的检测装置中信号比较与放大模块，包括：电阻r20、电阻r21、电阻r22、电阻r23、电阻r24、电阻r25、电阻r26、电阻r27和电阻r28，稳压二极管d33，二极管d21和二极管d22，电容c21、电容c22、电容c23、电容c24和电容c25，运算放大器u20a和运算放大器u20b。
80.在图8所示的例子中，电阻r20、电阻r21、稳压二极管d33、电容c20形成一个标准电压，此标准电压经电阻r22、电阻r23、电容c21再次分压后，形成预设的基准电压，此预设的基准电压送至运算放大器u20
‑
a的同相输入端，经一个电压跟随器后，送至运算放大器u20
‑
b的同相输入端。其中，电容c21为滤波电容。
81.其中，运算放大器u20
‑
a的同相输入端、运算放大器u20
‑
a的反相输入端，直接接到输出端，就构成了电压跟随器。
82.在图8所示的例子中，补偿处理后的信号5v_gnd经电容c22滤波后，经电阻r24、电阻r26送至运算放大器u20
‑
b的反相输入端，形成差分放大。
83.在图8所示的例子中，电阻r27为，放大比例电阻。
84.在图8所示的例子中，电容c23、电容c24、电容c25、电阻r25，为运算放大器(如运算放大器u20
‑
a、运算放大器u20
‑
b)的同相输入端与反相输入端的电阻和电容。
85.在图8所示的例子中，二极管d21和二极管d22为保护二极管，防止反向高峰脉冲损坏运算放大器。
86.由于本实施例的等离子发生设备所实现的处理及功能基本相应于前述图1所示的装置的实施例、原理和实例，故本实施例的描述中未详尽之处，可以参见前述实施例中的相关说明，在此不做赘述。
87.经大量的试验验证，采用本实用新型的技术方案，通过在等离子发生设备的出风口设置不锈钢电极板和接地电极板，不锈钢电极板处的电压信号进行检测，对检测到的信号进行补偿处理后进行比较放大，能够得到等离子发生设备的离子平衡度，能够实现离子风的平衡度检测，并可批量应用于产品。
88.根据本实用新型的实施例，还提供了对应于等离子发生设备的一种等离子发生设备的离子平衡度的检测方式，如图9所示本实用新型的方法的一实施例的检测流程示意图。该等离子发生设备的离子平衡度的检测方式可以包括：步骤s110至步骤s130。
89.在步骤s110处，通过检测单元，在所述等离子发生设备输出离子风的情况下，自第一电极板11处输出检测信号。
90.其中，所述检测单元，包括：平行设置在所述等离子发生设备的离子风出风口的第一电极板11和第二电极板12，以及设置在所述第一电极板11和所述第二电极板12之间的绝缘柱2。所述第一电极板11电连接至所述零点补偿单元，所述第二电极板12接地。
91.在步骤s120处，通过零点补偿单元，对所述第一电极板11处输出的检测信号进行零点补偿处理，得到零点补偿信号(即补偿处理后的信号)。
92.在一些实施方式中，步骤s120中通过零点补偿单元，对所述第一电极板11处输出的检测信号进行零点补偿处理的具体过程，参见以下示例性说明。
93.下面结合图10所示本实用新型的方法中对所述第一电极板11处输出的检测信号进行零点补偿处理的一实施例的补偿流程示意图，进一步说明步骤s120中对所述第一电极板11处输出的检测信号进行零点补偿处理的具体过程，包括：步骤s210至步骤s230。
94.步骤s210，通过信号跟随模块，对所述第一电极板11处输出的检测信号进行跟随处理，得到跟随信号。
95.步骤s220，通过信号调整模块，对所述跟随信号进行信号调整，得到调整信号。
96.步骤s230，通过信号补偿模块，对所述调整信号进行信号补偿，得到零点补偿信号(即补偿处理后的信号)。
97.具体地，将从电极板(如第一电极板11)引出的信号，经
±
5v的电压跟随器后，进行信号的调整，再由 70v～
‑
70v电压进行补偿调整，将5v _1和5v
‑
_1电压的0电平电势差调整到接地信号的电势差，作为补偿处理后的信号。
98.在步骤s130处，通过比较单元，对所述零点补偿信号与预设的基准电压进行比较，得到比较结果，以作为所述等离子发生设备的离子平衡度，进而能够根据所述等离子发生设备的离子平衡度对所述等离子发生设备的离子风的出风情况进行控制。
99.由此，通过检测单元、零点补偿单元(如信号预处理与补偿模块)和比较单元(如信号比较与放大电路)，形成正负离子平衡度检测信号处理电路，可批量用于等离子发生设备等产品上来进行离子平衡度检测，并用于等离子发生设备等产品自身进行正负离子平衡调节，实现了低成本、可批量应用与产品上的的正负离子平衡度的检测，且该检测方式和方法
简易，成本低，还有应用其他类似的离子正负平衡度的检测场合。
100.在一些实施方式中，步骤s130中通过比较单元，对所述零点补偿信号与预设的基准电压进行比较的具体过程，参见以下示例性说明。
101.下面结合图11所示本实用新型的方法中对所述零点补偿信号与预设的基准电压进行比较的一实施例的比较流程示意图，进一步说明步骤s130中对所述零点补偿信号与预设的基准电压进行比较的具体过程，包括：步骤s210和步骤s220。
102.步骤s210，通过比较和放大模块，对所述零点补偿信号与预设的基准电压进行比较和放大处理，输出比较信号。
103.步骤s220，通过a/d转换模块，对所述比较信号进行模数转换，得到比较结果，以作为所述等离子发生设备的离子平衡度，进而能够根据所述等离子发生设备的离子平衡度对所述等离子发生设备的离子风的出风情况进行控制。
104.具体地，信号比较与放大模块，通过设置一个标准的基准电压，与信号预处理与补偿模块补偿处理后的信号进行比较放大后，送至a/d转换模块(即模数转换模块)，再送至mcu(即为控制模块)处理。
105.由于本实施例的方法所实现的处理及功能基本相应于前述等离子发生设备的实施例、原理和实例，故本实施例的描述中未详尽之处，可以参见前述实施例中的相关说明，在此不做赘述。
106.经大量的试验验证，采用本实施例的技术方案，通过在等离子发生设备的出风口设置不锈钢电极板和接地电极板，不锈钢电极板处的电压信号进行检测，对检测到的信号进行补偿处理后进行比较放大，能够得到等离子发生设备的离子平衡度，实现了低成本、可批量应用与产品上的的正负离子平衡度的检测，且该检测方式和装置简易，成本低，还有应用其他类似的离子正负平衡度的检测场合。
107.综上，本领域技术人员容易理解的是，在不冲突的前提下，上述各有利方式可以自由地组合、叠加。
108.以上所述仅为本实用新型的实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的权利要求范围之内。