一种晶圆检测装置用信号模糊控制滤波器的制作方法

技术特征：
1.一种晶圆检测装置用信号模糊控制滤波器，其特征在于：所述晶圆检测装置包括晶圆机台(1)、检测模块和控制器；所述晶圆机台(1)在其每个工位中设有滤波器终端(2)；所述检测模块将对晶圆检测的图案数据转化为电信号并传输到滤波器终端(2)；所述控制器对滤波器终端(2)处理后的数据的进行判定，获取电信号所对应晶圆的质量信息；所述晶圆机台(1)中还设有传输电信号的电缆(3)，晶圆机台(1)中每个工位与滤波器终端(2)间的电缆(3)长度相等；所述滤波器终端(2)与晶圆机台(1)每个工位中接地线(4)的距离也相等，滤波器终端(2)贴合安装在晶圆机台(1)中的接地线(4)上；所述滤波器终端(2)中还设有相位差测量电路和时钟电路，滤波器终端(2)通过相位差测量电路记录电信号的相位数据；所述时钟电路用于标记晶圆机台(1)不同工位中滤波器终端(2)内波形的相位角。2.根据权利要求1所述的一种晶圆检测装置用信号模糊控制滤波器，其特征在于：所述晶圆机台(1)在每个工位中还设有保护套(5)，保护套(5)包裹在电缆(3)、接地线(4)和滤波器终端(2)的表面；所述保护套(5)用于隔绝晶圆机台(1)加工温度的传导。3.根据权利要求2所述的一种晶圆检测装置用信号模糊控制滤波器，其特征在于：所述保护套(5)中还设有环绕贴合的水路管(51)，水路管(51)用于调节保护套(5)的温度范围，水路管(51)并联在晶圆机台(1)的冷却水系统中。4.根据权利要求3所述的一种晶圆检测装置用信号模糊控制滤波器，其特征在于：所述水路管(51)上还设有铜制的屏蔽网(52)，屏蔽网(52)呈伞形展开在滤波器终端(2)与电缆(3)间的接口处，屏蔽网(52)上还设置有与接地线(4)相连的搭地线。5.根据权利要求4所述的一种晶圆检测装置用信号模糊控制滤波器，其特征在于：所述水路管(51)上还设置有鳍片(53)，鳍片(53)位于滤波器终端(2)与电缆(3)间的接口处，鳍片(53)间的楔槽上缠绕固定着屏蔽网(52)。6.根据权利要求4所述的一种晶圆检测装置用信号模糊控制滤波器，其特征在于：所述滤波器终端(2)中还设有相位角偏移电路，相位偏移电路根据晶圆机台(1)工位中晶圆工艺过程的偏转量，改变滤波器终端(2)内波形相位角的增量。

技术总结
本发明涉及滤波器技术领域，具体涉及一种晶圆检测装置用信号模糊控制滤波器；包括晶圆机台、检测模块、滤波器终端和控制器；由于晶圆在流转过程中的碎片等情况，需要暂停机台的运行进行清理，而影响到晶圆检测装置在生产中的应用效果；故此，本发明通过设置的相位电路和时钟电路，对晶圆检测装置在晶圆机台不同工位中晶圆位置信息的电信号波形进行相位角分析，将每个晶圆在晶圆机台中的位置误差，转化为每个工位中流转晶圆间的相对位置差异，对晶圆检测装置传输的电信号数据起到了模糊化筛选的作用，通过对波形相位角的分析降低了滤波器终端处理电信号波形峰谷值后控制器的处理量，从而提升了晶圆检测装置用信号模糊控制滤波器的应用效果。的应用效果。的应用效果。


技术研发人员：樊一平 陈诺
受保护的技术使用者：樊一平
技术研发日：2021.05.14
技术公布日：2021/9/28