一种真空抽空速度控制装置的制作方法

技术特征：
1.一种真空抽空速度控制装置，包括与内部填充液体(2)的待抽空部件(1)通过管道组件连接的真空泵(3)，其特征在于：所述管道组件包括与待抽空部件(1)连接的一级管路(4)和与真空泵(3)连接的抽空管路(5)，所述一级管路(4)与抽空管路(5)之间设置至少一条二级管道(6)，所述二级管道(6)内设置抽速控制部件(7)，所述抽速控制部件(7)外壁与二级管道(6)内壁紧密贴合固定，且其中间形成通孔(8)。2.根据权利要求1所述的真空抽空速度控制装置，其特征在于：所述二级管道(6)的数量大于一时，多条二级管道(6)之间并联设置；所述二级管道(6)两端均设置阀门(11)。3.根据权利要求1所述的真空抽空速度控制装置，其特征在于：所述一级管路(4)与待抽空部件(1)的抽空口处通过法兰(9)连接。4.根据权利要求1所述的真空抽空速度控制装置，其特征在于：所述二级管道(6)与一级管路(4)或抽空管路(5)之间设置连接盘(10)。5.根据权利要求4所述的真空抽空速度控制装置，其特征在于：所述连接盘(10)上形成与二级管道(6)数量一致的连接孔，每个连接孔对应连接一条二级管道(6)。6.根据权利要求1所述的真空抽空速度控制装置，其特征在于：所述抽速控制部件(7)设置于二级管道(6)中点位置。7.根据权利要求1所述的真空抽空速度控制装置，其特征在于：所述抽速控制部件(7)为气体流量孔板。8.根据权利要求1所述的真空抽空速度控制装置，其特征在于：所述抽速控制部件(7)与其安装处的二级管道(6)共轴线。9.根据权利要求1所述的真空抽空速度控制装置，其特征在于：所述通孔(8)与其所在处的二级管道(6)共轴线。10.根据权利要求1所述的真空抽空速度控制装置，其特征在于：所述通孔(8)的直径的平方式中：γ为空气绝热指数、m为抽空气体的平均摩尔质量、r为理想气体常数，δp为压强每秒变化，p为抽空前系统压强，v为被抽空系统体积，t0为系统温度。

技术总结
本实用新型公开了一种真空抽空速度控制装置，包括与内部填充液体的待抽空部件通过管道组件连接的真空泵，所述管道组件包括与待抽空部件连接的一级管路和与真空泵连接的抽空管路，所述一级管路与抽空管路之间设置至少一条二级管道，所述二级管道内设置抽速控制部件，所述抽速控制部件外壁与二级管道内壁紧密贴合固定，且其中间形成通孔。本实用新型提供了一种真空抽空速度控制装置，自动控制抽速均匀稳定，提高操作精度；可直接对系统进行抽空，减少人工操作工作量；避免了手动操作失误，降低安全风险；抽速控制部件易于设计加工，且安装或替换操作简单；抽速控制部件结构简单，成本较低。本较低。本较低。


技术研发人员：杨坤
受保护的技术使用者：核工业理化工程研究院
技术研发日：2021.01.29
技术公布日：2021/9/21